Наноматериалы и нанотехнологии в микроэлектронике

Микроэлектроника, которая основывается на комплексном использовании химических, физических, кибернетических, технологических и других исследований, за сравнительно короткий период прошла большой путь. Главным достижением микроэлектроники является создание принципиально новых технологических процессов на основании применения контрольно-измерительного и прецизионного технологического оборудования…

Реферат