Маркшейдерия возникла одновременно с горным делом. Задачи, связанные с измерениями в рудниках, решались в глубокой древности. Ещё в 16−14 веках до н. э. в Египте строили на плоскости уменьшенные масштабные изображения горных выработок. Герон Александрийский (предположительно 1 век) впервые описал способ подземной съёмки и её ориентирования. Краткую сводку способов решения маркшейдерских задач дал немецкий учёный Г. Агрикола (16 век).
В России маркшейдерское дело окончательно выделилась в особую службу горных предприятий при Петре I. Специалистов, которые занимались пространственно-геометрическими измерениями, связанными с горным делом, называли в ту эпоху горными геометрами. Их опыт работы был впервые обобщён М. В. Ломоносовым в его труде по горному делу «Первые основания металлургии или рудных дел» (1763). Термин «Маркшейдерия» установился в 40-х годах 20 века; ему предшествовали термины: подземная геометрия, горное землемерие (А. Мартов, 1777), горная топография, рудничная топография (Г. А. Тиме, 1884, 1890), маркшейдерское искусство, горная геодезия (Л. А. Сакс, 1886, В. И. Бауман, 1900, 1905), горная геометрия (П. М. Леонтовский, 1906). В конце 19 и в 1-й половине 20 веков разработкой теории и практики маркшейдерского дела занимались крупные русские учёные: В. И. Бауман, П. М. Леонтовский, П. К. Соболевский, И. М. Бахурин, Н. Г. Келль, Д. Н. Оглоблин. В СССР М. получает дальнейшее развитие: разрабатывается методика геометризации месторождений и формируется научная дисциплина «геометрия недр» (П. К. Соболевский, П. А. Рыжов, И. Н. Ушаков и другие), создаётся методика изучения деформации горных пород и расчёта элементов их сдвижения (И. М. Бахурин, С. Г. Авершин, М. В. Коротков и другие). Эти работы позволили создать правила охраны сооружений и природных объектов от вредного влияния подземных разработок в СССР и положить начало формированию в составе маркшейдерии дисциплины «сдвижение горных пород» .
