ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π“Π˜ΠœΠ‘

ΠšΡƒΡ€ΡΠΎΠ²Π°ΡΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

ΠŸΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ рСзистор конструктивно состоит ΠΈΠ· Ρ€Π΅Π·ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ, ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ. На Ρ€ΠΈΡΡƒΠ½ΠΊΠ΅ 1.1 прСдставлСны Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ часто примСняСмыС ΠΈΡ… ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ: Π½Π° Ρ€ΠΈΡΡƒΠ½ΠΊΠ΅ 1.1 Π° — рСзистор ΠΏΡ€ΡΠΌΠΎΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹, подходящий для рСзисторов с Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠΌ сопротивлСниСм ΠΈ ΠΊΠΎΡΡ„Ρ„ΠΈΡ†ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΎΠΌ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ мСньшС 10, Π½Π° Ρ€ΠΈΡΡƒΠ½ΠΊΠ΅ 1.1 Π± — рСзистор Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠΌΠ΅Π°Π½Π΄Ρ€. Π”Π°Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π“Π˜ΠœΠ‘ (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

Π’Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅

4

1 Π Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π“Π˜ΠœΠ‘

1.1 Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов ΠΈ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² 5

1.2 Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ конструкции ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов ΠΈ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠΈ ΠΈΡ… Ρ€Π°ΡΡ‡Π΅Ρ‚Π° 10

1.3 Расчёт топологичСских Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² элСмСнтов 13

1.4 Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° Ρ‚ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ 14

Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅

19

Бписок ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… источников

20

ΠŸΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ

1 ΠŸΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ А. Π“Π˜ΠœΠ‘. Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° элСктричСская ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ.

2 ΠŸΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π‘. Π“Π˜ΠœΠ‘. ВопологичСский Ρ‡Π΅Ρ€Ρ‚Ρ‘ΠΆ.

3 ΠŸΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π’. Π“Π˜ΠœΠ‘. Π§Π΅Ρ€Ρ‚Ρ‘ΠΆ рСзистивного слоя.

Π—Π°Π΄Π°Ρ‡Π° курсового ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚Π° — Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° конструкции ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π“Π˜Π‘.

Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ тСхничСского задания ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ схСму, Π² ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ А, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΡŽ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ИМБ, Ρ‚. Π΅.:

1.1Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ для ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов ΠΈ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²;

1.2 Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΡŽ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов;

1.3 Ρ€Π°ΡΡΡ‡ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ топологичСскиС Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов;

1.4 Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡŽ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹;

1.5 Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΡΠΊΡƒΡŽ Π΄ΠΎΠΊΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΡŽ.

Π’ Ρ‚СхничСском Π·Π°Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ Π΄Π°Π½Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ элСктричСская схСма устройства.

ЭлСктричСская схСма Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ Π² ΡΠ΅Π±Ρ 13 рСзисторов R1, R2, R3, R4, R5, R6, R7, R8, R9, R10, R11, R12, R13 со ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ характСристиками

R = 1100:12 000 Ом, ?R= 15%, P =10:25 ΠΌΠ’Ρ‚. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ данная схСма ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ навСсныС элСмСнты: 9 транзисторов ΠΈ 1 микросхСму, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°, Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΈΠ· Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ 40 ΠΌΠΊΠΌ. ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ сборки — тСрмокомпрСссионная сварка.

Π’ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠ²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ напылСния с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° свободной маски.

Данная гибридная ИМБ являСтся ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ нСбольшоС быстродСйствиС. Π˜ΡΡ…ΠΎΠ΄Ρ ΠΈΠ· ΡΡ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Π²Ρ‹Π±ΠΈΡ€Π°ΡŽΡ‚ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ элСмСнтов схСмы.

ΠŸΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ рСзистивного ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° слСдуСт ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ?R<=2*10-4 1/?Π‘, ?Rст<=3%, Π° ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Ρ‹ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹.

Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ этапом являСтся Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ конструкции элСмСнтов, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΡ‹ Π±ΡƒΠ΄Π΅ΠΌ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅. Выбранная конструкция Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌ элСмСнтов. Π”Π°Π»Π΅Π΅ выполняСм расчСт Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов схСмы, Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅ ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ Ρ‚ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹.

1.1 Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов ΠΈ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²

ПодлоТки Π“Π˜Π‘ слуТат основаниСм для располоТСния ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΈ Π½Π°Π²Π΅ΡΠ½Ρ‹Ρ… элСмСнтов, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ для Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΎΡ‚Π²ΠΎΠ΄Π°. Для изготовлСния ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ Π“Π˜Π‘ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹, ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Ρ‘Π½Π½Ρ‹Π΅ Π² Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅ 1.1

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 1.1 ЭлСктрофизичСскиС ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ Π“Π˜Π‘

ΠŸΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹

ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹

Π‘Ρ‚Π΅ΠΊΠ»ΠΎ

Π‘ΠΈΡ‚Π°Π»Π»

Π‘Π’50−1

ΠŸΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Ρ‹ΠΉ

ΠšΠ²Π°Ρ€Ρ†

ΠšΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ°

C41−1

C48−3

22Π₯Π‘

(96% Al2О3)

ΠŸΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΎΡ€

Класс чистоты ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ повСрхности

13−14

12−14

Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ коэффициСнт Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΡ Π’ΠšΠ›Π  ΠΏΡ€ΠΈ Π’=20?300?Π‘

(41±2)**10?7

(48±2)**10?7

(50±2)*10?7

(55±2)*10?7

(60±2)**10?7

(70±2)*10?7

ΠšΠΎΡΡ„Ρ„ΠΈΡ†ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ тСплопроводности, Π’Ρ‚/(ΠΌ* ?Π‘)

1,5

1,5

7−15

30−45

ДиэлСктричСская ΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΡ†Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ f=106 Π“Ρ† ΠΈ Π’=20 ?Π‘

7,5

3,2−8

5−8,5

3,8

10,3

10,5

ВангСнс ΡƒΠ³Π»Π° диэлСктричСских ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ f=106 Π“Ρ† ΠΈ Π’=20 ?Π‘

20*10?4

15*10?4

20*10?4

;

6*10?4

10*10?4

ΠžΠ±ΡŠΡ‘ΠΌΠ½ΠΎΠ΅ сопротивлСниС ΠΏΡ€ΠΈ Π’=25 ?Π‘, Ом*Π‘ΠΌ

1017

1014

;

1015

;

;

ЭлСктричСская ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, ΠΊΠ’/ΠΌΠΌ

;

;

;

К ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρƒ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ нСзависимо ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ ΠΈ Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡ микросхСмы ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡŠΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ трСбования:

1. высокоС качСство ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΉ повСрхности, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Ρ‡Ρ‘Ρ‚ΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ рисунка схСмы;

2. высокая мСханичСская ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ нСбольшой Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅;

3. минимальная ΠΏΠΎΡ€ΠΈΡΡ‚ΠΎΡΡ‚ΡŒ;

4. высокая Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ;

5. химичСская ΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ;

6. высокоС ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ сопротивлСниС;

7. Π±Π»ΠΈΠ·ΠΎΡΡ‚ΡŒ коэффициСнтов тСрмичСского Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΠΌΡ‹Ρ… Π½Π° Π½Π΅Ρ‘ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΠΊ;

8. низкая ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ исходного ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ.

НСдостатком ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ являСтся Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡΡ‚ΡŒ повСрхности, Ρ‡Ρ‚ΠΎ затрудняСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ воспроизводимых Π½ΠΎΠΌΠΈΠ½Π°Π»ΠΎΠ² Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов. По ΡΡ‚ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π΅ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΡƒ 22Π₯Π‘ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ для толстоплёночных Π“Π˜Π‘. Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ класса чистоты ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ повСрхности ΠΏΡƒΡ‚Ρ‘ΠΌ глазурования ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ слоСм бСсщСлочного стСкла ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌΡƒ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ тСплопроводности.

Для ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΌΠΎΡ‰Π½Ρ‹Ρ… Π“Π˜Π‘ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ бСсщСлочныС боросиликатныС стёкла Π‘41−1 ΠΈ Π‘48−3, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ситаллы. Π‘Ρ‚Ρ‘ΠΊΠ»Π° ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π½ΠΈΠ·ΠΊΡƒΡŽ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ. Π‘ΠΈΡ‚Π°Π»Π» Π² 2−3 Ρ€Π°Π·Π° ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½Π΅Π΅ стСкла. Π’Π°ΠΊ ΠΆΠ΅ ΠΎΠ½ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ обрабатываСтся, Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΏΠ°Π΄Ρ‹ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ высоким элСктричСским сопротивлСниСм, Π³Π°Π·ΠΎΠ½Π΅ΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΡ†Π°Π΅ΠΌ, ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ ΡΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²Π»ΡΠ΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊ ΠΈΡΡ‚ΠΈΡ€Π°Π½ΠΈΡŽ, Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ‚Π°ΠΌ, ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ ΠΌΠ°Π»ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΡ€ΠΈΡΡ‚ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π½Π΅Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΠ½ΡƒΡŽ усадку, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΡ‚Π΄Π°Ρ‡Π΅ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ….

Из ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Ρ‘Π½Π½Ρ‹Ρ… Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ я Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π» ситалл, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… соотвСтствуСт трСбованиям, ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡŠΡΠ²Π»ΡΠ΅ΠΌΡ‹ΠΌ ΠΊ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°ΠΌ. Π‘ΠΈΡ‚Π°Π»Π» — стСклокСрамичСский ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π», ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΉ Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΉ стСкла. Он Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ поддаСтся ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅: Π΅Π³ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€Π΅ΡΡΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ, Π²Ρ‹Ρ‚ΡΠ³ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ, ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ±Π΅ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ способом.

ΠŸΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ рСзисторы конструктивно состоят ΠΈΠ· Ρ€Π΅Π·ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ Π² ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π’. ΠŸΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… рСзисторов ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ свойствами примСняСмых рСзистивных ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ рСзистивной ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΈ ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΠΌΠΈ Π΅Π΅ Ρ„ормирования. Для создания Π“Π˜Π‘ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ рСзистивныС ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ с ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ повСрхностным сопротивлСниСм ?S ΠΎΡ‚ Π΄Π΅ΡΡΡ‚ΠΊΠΎΠ² Π΄ΠΎ Π΄Π΅ΡΡΡ‚ΠΊΠΎΠ² тысяч Ом Π½Π° ΠΊΠ²Π°Π΄Ρ€Π°Ρ‚. Π§Π΅ΠΌ мСньшС Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ, Ρ‚Π΅ΠΌ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ ?S, Π½ΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ ВКР, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΡƒΡ…ΡƒΠ΄ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ врСмСнная ΠΈ Ρ‚СмпСратурная ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ.

Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ рСзистивных ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ чистыС ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Ρ‹ ΠΈ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ‹ с Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΈΠΌ элСктричСским сопротивлСниСм, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ рСзистивныС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ — ΠΊΠ΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ‹, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ состоят ΠΈΠ· Ρ‡Π°ΡΡ‚ΠΈΡ† ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° ΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΠΊΠ°. Π¨ΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ распространСны ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Ρ…Ρ€ΠΎΠΌΠ° ΠΈ Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π»Π°. Из ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² часто ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Π½ΠΈΡ…Ρ€ΠΎΠΌ, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ?S ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°ΠΌΠΈ чистых ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ². ΠŸΡ€ΠΈ ΡΡ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΌ ВКР ΠΈ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ воспроизвСдСния ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… повСрхностных сопротивлСний Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ Π½ΠΎΠΌΠΈΠ½Π°Π»ΠΎΠ² сплавов ?S достаточно

ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊ: 50 Ом/? — 50 кОм/?.ΠŸΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ рСзистивных ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² прСдставлСны Π² Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅ 1.2.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 1.2 ΠŸΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… рСзисторов

ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»

рСзисторов

ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»

ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ…

ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ

?S

Ом/?

?Rmax

*104

P0, Π’Ρ‚/см2

?Rст. ,%

Бпособ

нанСсСния

ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ

Π₯Ρ€ΠΎΠΌ

МСдь

0.6

1.5

ВСрмичСскоС Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅

Нихром

мСдь

±1

1.1−1.3

Π‘ΠΏΠ»Π°Π² ΠœΠ›Π’-3М

МСдь с ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ Π½ΠΈΡ…Ρ€ΠΎΠΌΠ°

±2

±0.5

Π Π΅Π½ΠΈΠΉ

;

300−7000

0−20

;

Π’Π°Π½Ρ‚Π°Π»

Π’Π°Π½Ρ‚Π°Π»

— 2

ВСрмичСскоС Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅

Π Π‘-3001

Π—ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ с ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ Π½ΠΈΡ…Ρ€ΠΎΠΌΠ°

1000−2000

— 0,2

0,5

Нитрид Π’Π°

0.2

К ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ рСзисторам ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡŠΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ основныС трСбования:

1. ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π²ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ;

2. малая занимаСмая ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅;

3. Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ коэффициСнт сопротивлСния;

4. трСбуСмая ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ рассСяния;

5. Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π΅Π½ΡŒ ΡˆΡƒΠΌΠΎΠ²;

6. ΠΌΠ°Π»Ρ‹Π΅ значСния ΠΏΠ°Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ².

Π’ Ρ‚СхничСском Π·Π°Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ΡΡ рСзисторы со ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ характСристиками: R = 1100:12 000 Ом, ?R = 15%, P=10:25ΠΌΠ’Ρ‚. НаиболСС часто для ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² рСзисторов ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Ρ…Ρ€ΠΎΠΌ, Π½ΠΈΡ…Ρ€ΠΎΠΌ, Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π», Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄ Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π»Π°, сплавы ΠœΠ›Π’-3М ΠΈ Π Π‘-3001. Нихром, Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π» ΠΈ Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄ Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π»Π° ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ нСбольшоС Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ?s: Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 300 Ом/?, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΌΠΎΡ‘ΠΌ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π²Π°Π»Π΅ сопротивлСний даст большиС гСомСтричСскиС Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ элСмСнтов. Π£ Ρ…Ρ€ΠΎΠΌΠ° Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π 0=1Π’Ρ‚/см, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ bp, Π° Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚

ΠΈ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΌΠΎΠΈΡ… рСзисторов. Π‘ΠΏΠ»Π°Π² ΠœΠ›Π’-3М ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ?s всСго 500 Ом/?,

Π° Π Π‘-3001 — 1000?2000 Ом/?, Ρ‡Ρ‚ΠΎ даст ΠΌΠ½Π΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ рСзисторы с ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ. Π’Π°ΠΊ ΠΆΠ΅ Π Π‘-3001 ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ?Rст всСго 0.5%.

Π’ ΡΠΈΠ»Ρƒ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Ρ‘Π½Π½Ρ‹Ρ… Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ прСимущСств я Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π» сплав Π Π‘-3001.

Π­Π»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π“Π˜Π‘ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π² Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡƒΡŽ систСму с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ систСмы ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΌΠΌΡƒΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π² ΠΌΠ΅ΡΡ‚Π°Ρ… соСдинСния с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ элСмСнтами ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ°Ρ€Ρ‹. ΠšΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ Π² Π“Π˜Π‘ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ для присоСдинСния Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π“Π˜Π‘ ΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² навСсных элСмСнтов.

К ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡŠΡΠ²Π»ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ масса Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ: ΠΎΠ½ΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ с ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ потСрями ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ напряТСниС питания ΠΊ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π°ΠΌ Π“Π˜Π‘, с ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ искаТСниями ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ сигналы, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ с ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°ΠΌΠΈ Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ схСмы. ВрСбования, ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡŠΡΠ²Π»ΡΠ΅ΠΌΡ‹Π΅ ΠΊ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌ, Π² Ρ€ΡΠ΄Π΅ случаСв ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΡ€Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ. НапримСр, с ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ ΠΈΠ½Π΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π½ΠΎ Ρ€Π°ΡΡ‚Ρ‘Ρ‚ Ρ‘ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π±Π»ΠΈΠ·Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ‰ΠΈΡ… элСмСнтов.

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΌΡƒΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… соСдинСний ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π“Π˜Π‘ часто ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡƒΡŽ структуру, ΡΠΎΡΡ‚ΠΎΡΡ‰ΡƒΡŽ ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΎΡ, токопроводящСго ΠΈ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоСв. Подслой, выполняСмый ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ…Ρ€ΠΎΠΌΠ°, Ρ…Ρ€ΠΎΠΌΠ°, ванадия ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ адгСзию токопроводящих слоСв с ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΎΠΉ. Для проводящих слоёв Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ подходят Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ, мСдь, Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π», Al. Π’Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΈΠΉ слой многослойной структуры выполняСтся ΠΈΠ· Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»Ρ, сСрСбра ΠΈ ΡΠ»ΡƒΠΆΠΈΡ‚ для Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ ΠΎΡ‚ Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… воздСйствий. Для Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° производят ΠΈΡ… ΠΎΠ±Π»ΡƒΠΆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ. Из ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ‰ΠΈΡ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² часто ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ, мСдь, алюминий. Π—ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ — ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ», Ρ‚Π°ΠΊ ΠΆΠ΅ ΠΎΠ½ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ нанСсСния подслоя ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ…Ρ€ΠΎΠΌΠ°, Π΅Π³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Π² ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΠ°Ρ… ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ надёТности, Π² ΠΌΠΎΡ‘ΠΌ ΠΆΠ΅ случаС это Π½Π΅ ΠΎΠ±ΡΠ·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ. МСдь для Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΡ€Ρ€ΠΎΠ·ΠΈΠΈ Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ слоСм Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π°, никСля ΠΈΠ»ΠΈ сСрСбра, Ρ‡Ρ‚ΠΎ повысит ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ. Для ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ ΠΎΠ±Π»ΡƒΠΆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΠ³Ρ€ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ схСмы Π² ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠΉ, Π½ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π°Π΄ΠΎ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ элСмСнты. Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² я Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π» алюминий. Он ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ высокой ΠΊΠΎΡ€Ρ€ΠΎΠ·ΠΈΠΉΠ½ΠΎΠΉ ΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Π΅Π³ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ для ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ. Π’ ΠΌΠΎΡ‘ΠΌ случаС присоСдинСниС Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² осущСствляСтся сваркой, Π° ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΌΡƒ алюминий я ΠΌΠΎΠ³Ρƒ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π±Π΅Π· Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… слоёв. Π’Π°ΠΊ ΠΆΠ΅ ΠΎΠ½ Π΄Ρ‘ΡˆΠ΅Π², ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ распространён. Π’ ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅ΠΉ 1.2 ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ для Π Π‘-3001 являСтся структура: Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ с ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ Π½ΠΈΡ…Ρ€ΠΎΠΌΠ°. Π’Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ я Π΄Π»Ρ этой Ρ†Π΅Π»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽ алюминий, я ΠΎΠ±ΡΠ·Π°Π½ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ?RК Π½Π° 1%.

1.2 Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ конструкции ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов ΠΈ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠΈ ΠΈΡ… Ρ€Π°ΡΡ‡Π΅Ρ‚Π°

1.2.1 РСзистор.

ΠŸΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ рСзистор конструктивно состоит ΠΈΠ· Ρ€Π΅Π·ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ, ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ. На Ρ€ΠΈΡΡƒΠ½ΠΊΠ΅ 1.1 прСдставлСны Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ часто примСняСмыС ΠΈΡ… ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ: Π½Π° Ρ€ΠΈΡΡƒΠ½ΠΊΠ΅ 1.1 Π° — рСзистор ΠΏΡ€ΡΠΌΠΎΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹, подходящий для рСзисторов с Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠΌ сопротивлСниСм ΠΈ ΠΊΠΎΡΡ„Ρ„ΠΈΡ†ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΎΠΌ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ мСньшС 10, Π½Π° Ρ€ΠΈΡΡƒΠ½ΠΊΠ΅ 1.1 Π± — рСзистор Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠΌΠ΅Π°Π½Π΄Ρ€. Π”Π°Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ для рСзисторов с Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠΌ сопротивлСниСм ΠΈ ΠΊΠΎΡΡ„Ρ„ΠΈΡ†ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΎΠΌ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ большС 10. Π’ΠΎ Π²ΡΠ΅Ρ… конфигурациях ΠΎΡ‚ΡΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΡ€ΠΈΠ²Ρ‹Π΅ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… радиусов, поэтому ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ΠΎΠ² рСзистивных слоСв Π“Π˜Π‘ сущСствСнно упрощаСтся.

1.2.3 ОписаниС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠΈ расчСта рСзистора

ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ расчСт Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… рСзисторов Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹, гСомСтричСских Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ, Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΠΌΠΎΠΉ рСзисторами Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅. ΠŸΡ€ΠΈ этом Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ рСзисторы обСспСчивали рассСиваниС Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ мощности ΠΏΡ€ΠΈ ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π»Π΅Ρ‚Π²ΠΎΡ€Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ точности ?R Π² ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ… ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… тСхнологичСских возмоТностСй.

ΠŸΠΎΡ€ΡΠ΄ΠΎΠΊ расчСта рСзистора ΠΏΡ€ΡΠΌΠΎΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ РассчитаСм коэффициСнт Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ ΠšΡ„ ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅ (1.1)

ΠšΡ„ = (1.1)

Π³Π΄Π΅ R — номинальноС Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ сопротивлСния, Ом;

?S — повСрхностноС сопротивлСниС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, Ом/?.

РассчитаСм ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρƒ рСзистора bΡ€, ΠΌΠΌ, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ обСспСчиваСтся заданная ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅ (1.2)

bΡ€ = (1.2)

Π³Π΄Π΅ Π  — ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π’Ρ‚;

Π 0 -ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ мощности рассСяния, Π’Ρ‚/см2.

РассчитаСм Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ?Rt,%, ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅ (1.3)

?Rt = ?R*(tmax — 20Β°C)*100% (1.3)

Π³Π΄Π΅ ?R — Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ коэффициСнт сопротивлСния, 1/Β°Π‘;

tmax — Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½, Β°Π‘.

РассчитаСм ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ коэффициСнта Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ ?ΠšΡ„max,%, ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅ (1.4)

?ΠšΡ„max = ?R — ??s — ?Rt — ?Rk — ?Rст (1.4)

Π³Π΄Π΅ ?R — ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ сопротивлСния, %;

??s — ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ формирования повСрхностного сопротивлСния ,%;

?Rt — тСмпСратурная ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, %;

?Rk — ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ сопротивлСния ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ области, %;

?Rст — ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ сопротивлСния, %.

РассчитаСм ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρƒ рСзистора bΡ‚ΠΎΡ‡Π½, ΠΌΠΌ, ΠΎΠ±ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ воспроизвСдСния, ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅ (1.5)

bΡ‚ΠΎΡ‡Π½ = (1.5)

Π³Π΄Π΅ ?l,?b — Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡŽΡ‚Π½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ формирования гСомСтричСских Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ², ΠΌΠΌ;

Π’Ρ‹Π±ΠΈΡ€Π°Π΅ΠΌ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρƒ рСзистора Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅ самого большого ΠΈΠ· Ρ‚Ρ€Π΅Ρ… Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ bΡ‚Π΅Ρ…Π½, bP, bΡ‚ΠΎΡ‡Π½ ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅ (1.6)

b > = max (bΡ‚Π΅Ρ…Π½; bP; bΡ‚ΠΎΡ‡Π½) (1.6)

Π³Π΄Π΅ bΡ‚Π΅Ρ…Π½ — Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π°Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° формирования ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ, ΠΌΠΌ.

РассчитаСм Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΡƒΡŽ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρƒ рСзистора l, ΠΌΠΌ, ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅ (1.7)

l = b*КЀ (1.7)

РассчитаСм ΠΏΠΎΠ»Π½ΡƒΡŽ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρƒ рСзистивной ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ l0, ΠΌΠΌ, ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅ (1.8)

l0 = l + 2*l1 (1.8)

Π³Π΄Π΅ l1 — Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° пСрСкрытия рСзистивной ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ‰Π΅ΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ, ΠΌΠΌ.

ΠŸΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ S, ΠΌΠΌ, занимаСмая рСзистором рассчитываСтся ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅ (1.9)

S = b*l0 (1.9)

1.3 РасчСт топологичСских Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² элСмСнтов

1.3.1 РасчСт топологичСских Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² рСзисторов

Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ провСдСния расчСтов Ρƒ ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»ΠΎΡΡŒ 13 рСзисторов ΠΏΡ€ΡΠΌΠΎΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹, эскиз ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Ρ‘Π½ Π½Π° Ρ€ΠΈΡΡƒΠ½ΠΊΠ΅ 1.1 Π°. Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ расчёта рСзисторов ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π² Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅ 1.4.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 1.4 Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ расчСта рСзисторов.

НаимСнованиС

элСмСнта

КЀ

bP

ΠΌΠΌ

?Rt

%

?ΠšΡ„max

%

bΡ‚Π΅Ρ…

ΠΌΠΌ

bΡ‚ΠΎΡ‡Π½

ΠΌΠΌ

b

ΠΌΠΌ

l

ΠΌΠΌ

l0

ΠΌΠΌ

S

ΠΌΠΌ2

R1

0,7

2.1

8,4

0,2

0,48

0,8

0,8

1,3

0,91

R2

2.5

0,45

2.1

8.4

0,2

0,33

0,45

1,13

1,73

0,78

R3

5.1

0.31

2.1

8.4

0,2

0,29

0,35

1,8

2,4

0,84

R4

0,5

2.1

8.4

0,2

0,32

0,5

1,5

2,1

1,05

R5

7.3

0,37

2.1

8.4

0,2

0,27

0,4

2,9

3,5

1,4

R6

0,34

2.1

8.4

0,2

0,5

0,5

5,5

6,1

3,05

R7

6.5

0,39

2.1

8.4

0,2

0,27

0,4

2,6

3,2

1,28

R8

0,7

2.1

8,4

0,2

0,48

0,8

0,8

1,3

0,91

R9

5.1

0.31

2.1

8.4

0,2

0,29

0,35

1,8

2,4

0,84

R10

0,5

2.1

8.4

0,2

0,32

0,5

1,5

2,1

1,05

R11

6.5

0,39

2.1

8.4

0,2

0,27

0,4

2,6

3,2

1,28

R12

7.3

0,37

2.1

8.4

0,2

0,27

0,4

2,9

3,5

1,4

R13

2.5

0,45

2.1

8.4

0,2

0,33

0,45

1,13

1,73

0,78

1.4 Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° Ρ‚ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹

ΠŸΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ Ρ‚ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π“Π˜Π‘, согласно ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡŽ Π‘, Π·Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρƒ принимаСтся ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ элСктричСская схСма, прСобразованная с ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ конструктивных особСнностСй ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΈ Π½Π°Π²Π΅ΡΠ½Ρ‹Ρ… элСмСнтов, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ мСТсоСдинСний.

Π’ Π“Π˜Π‘ пСрСсСчСния ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ двумя способами: Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· диэлСктрик ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов. Π’ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΌ случаС Π΄Π²Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, Π² ΠΌΠ΅ΡΡ‚Π΅ ΠΈΡ… ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΡΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡ, Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ слоСм диэлСктрика, Π½ΠΎ Π·Π° ΡΡ‡Ρ‘Ρ‚ этого ΠΏΠΎΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ёмкости, поэтому Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π²Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ проходят ΠΏΠΎΠ΄ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ навСсных элСмСнтов.

На Ρ‚опологичСском Ρ‡Π΅Ρ€Ρ‚Π΅ΠΆΠ΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ°ΡŽΡ‚ со Π²ΡΠ΅ΠΌΠΈ нанСсёнными Π½Π° Π½Π΅Π΅ слоями, с ΡƒΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ элСмСнтов Π² ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ элСктричСской схСмой. ΠšΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ слой ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π°ΡŽΡ‚ ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΡˆΡ‚Ρ€ΠΈΡ…ΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ. ΠšΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ Π½ΡƒΠΌΠ΅Ρ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ, начиная с Π»Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅Π³ΠΎ ΡƒΠ³Π»Π° Ρ‡Π΅Ρ€Ρ‚Π΅ΠΆΠ°.

ΠŸΡ€ΠΈ конструировании Π“Π˜Π‘ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»Π° ΠΈ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ:

1. навСсныС ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ рСкомСндуСтся ΠΏΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Ρ‚ΡŒ рядами, ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ сторонам ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹;

2. Π½Π΅ Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°Π΅Ρ‚ся установка навСсных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ кондСнсаторы, ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ индуктивности ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΡΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²;

3. Π½Π΅ Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‚ся Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈΠ΅ ΠΈΠ·Π³ΠΈΠ±Ρ‹ ΠΈ Π½Π°Ρ‚яТСниС ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². НС Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³ΠΈΠ± ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π° Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· навСсной ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚;

4. Π½Π΅ Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°Π΅Ρ‚ся ΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ Π½Π΅Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»Ρ‘Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ участки Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 3 ΠΌΠΌ;

5. ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π° навСсных элСмСнтов Π½Π°Π΄ΠΎ ΡΡ‚Π°Ρ€Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ дальшС Π΄Ρ€ΡƒΠ³ ΠΎΡ‚ Π΄Ρ€ΡƒΠ³Π°, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ΠΈ Π½Π΅ Π½Π°Ρ‚януты ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΡΠΎΠΏΡ€ΠΈΠΊΠΎΡΠ½ΡƒΡ‚ΡŒΡΡ, Π²Ρ‹Π·Π²Π°Π² Ρ‚Π΅ΠΌ самым ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠ΅ Π·Π°ΠΌΡ‹ΠΊΠ°Π½ΠΈΠ΅.

ВопологичСский эскиз ΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Π“Π˜Π‘ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ особСнности:

— ΡΠ°ΠΌΡ‹ΠΉ большой навСсной элСмСнт — ИМБ — располоТСн Π² Π»Π΅Π²ΠΎΠΌ Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½Π΅ΠΌ ΡƒΠ³Π»Ρƒ;

— Ρ‚Ρ€ΠΈ транзистора VT5, VT6, VT9 располоТСны Π² Π»Π΅Π²ΠΎΠΌ Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΌ ΡƒΠ³Π»Ρƒ, Π² Ρ€ΡΠ΄;

— Ρ‚ранзисторы VT1, VT2, VT3, VT4 располоТСны Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠΎΠΉ Π² ΠΏΡ€Π°Π²ΠΎΠΌ Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½Π΅ΠΌ ΡƒΠ³Π»Ρƒ;

— ΡΠ°ΠΌΡ‹ΠΉ большой рСзистор R6 располоТСн Π² Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ;

— ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ 14, ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ… 9 располоТСны Π½Π° Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½Π΅ΠΉ сторонС ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, 5 — Π½Π° Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΉ.

ΠŸΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Ρ€Π°ΡΡΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅ (1.33)

S = K *(+++* n) (1.33)

Π³Π΄Π΅ К — коэффициСнт использования ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, 2 — 3;

SRi — ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ i-Π³ΠΎ рСзистивного элСмСнта;

SCi — ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ i-Π³ΠΎ Смкостного элСмСнта;

Sаэ — ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ навСсного элСмСнта;

SΠΊΠΏ -ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ;

n — число ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ;

n, m, k — число рСзисторов, ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… кондСнсаторов, ΠΈ Π½Π°Π²Π΅ΡΠ½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ².

Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ расчСта Ρ‚ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π“Π˜Π‘ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ элСктричСской схСмы ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅ (1.33) получаСтся:

S = 3*(15,57+18+2,8) = 109,11 ΠΌΠΌ2

ΠŸΠ»Π°Ρ‚Π° выбираСтся Ρ‚Π°, ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠ° ΠΊ Ρ€Π°ΡΡΡ‡ΠΈΡ‚Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π΅ S. Π’ ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π°ΠΌΠΈ расчСта S ΠΏΠΎ Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅ 1.6 ΠΌΠ½Π΅ подходят ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ № 10 ΠΈ № 15, ΠΈΡ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ Ρ€Π°Π²Π½Π° S=120ΠΌΠΌ2. Но ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ топологичСского эскиза я ΡΡ‚олкнулся с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠΎΠΉ Π½Π΅Ρ…Π²Π°Ρ‚ΠΊΠΈ мСста для располоТСния Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ всСх элСмСнтов ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ ΠΈΡ… ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ. Π­Ρ‚ΠΎ связано с ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ями схСмы: элСмСнты ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρƒ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Π° Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚, ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Ρ‚ΡŒ слишком Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ. Π§Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ располоТСниС всСх элСмСнтов я Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π» Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ с ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒΡŽ 192 ΠΌΠΌ2. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° № 8, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰Π°Ρ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ 12*16ΠΌΠΌ. Π”Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ располоТСниС элСмСнтов Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 1.6 Π’ΠΈΠΏΠΎΡ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π“Π˜Π‘ (Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹, ΠΌΠΌ)

β„– Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΡ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°

Π¨ΠΈΡ€ΠΈΠ½Π°

Π”Π»ΠΈΠ½Π°

β„– Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΡ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°

Π¨ΠΈΡ€ΠΈΠ½Π°

Π”Π»ΠΈΠ½Π°

β„– Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΡ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°

Π¨ΠΈΡ€ΠΈΠ½Π°

Π”Π»ΠΈΠ½Π°

β„– Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΡ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°

Π¨ΠΈΡ€ΠΈΠ½Π°

Π”Π»ΠΈΠ½Π°

2,5

_

_

_

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π“Π˜Π‘ Π½Π°Π΄ΠΎ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒ основныС конструктивныС ΠΈ Ρ‚СхнологичСскиС ограничСния, ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Ρ‘Π½Π½Ρ‹Π΅ Π² Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅ 1.7. Π’Π°ΠΊ ΠΆΠ΅ слСдуСт Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»Π° ΠΈ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ:

1. Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ микросхСмС слСдуСт ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ навСсныС ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ с ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ²;

2. навСсныС ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ рСкомСндуСтся ΠΏΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Ρ‚ΡŒ рядами, ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ сторонам ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹;

3. Π½Π΅ Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°Π΅Ρ‚ся установка навСсных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ кондСнсаторы, индуктивности;

4. Π½Π΅ Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‚ся Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈΠ΅ ΠΈΠ·Π³ΠΈΠ±Ρ‹ ΠΈ Π½Π°Ρ‚яТСния ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ².

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 1.7 ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ-тСхнологичСскиС ограничСния Π“Π˜Π‘

Π‘ΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ограничСния

Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ ограничСния, ΠΌΠΌ

Минимально допустимый Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ рСзистора, ΠΌΠΌ

b

l

0,1

0,3

Минимально допустимыС расстояния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ элСмСнтами, располоТСнными Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ слоС

0,3

Максимально допустимыС расстояния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ элСмСнтами, располоТСнными Π² Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… слоях

0,2

ΠŸΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΡ для совмСщСния ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов, располоТСнныС Π² Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… слоях

0,2

МинимальноС расстояниС ΠΎΡ‚ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов Π΄ΠΎ ΠΊΡ€Π°Ρ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹

0,5

Минимальная ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²

0,1

Минимально допустимоС расстояниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΊΡ€Π°Π΅ΠΌ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ рСзистора ΠΈ ΠΊΡ€Π°Π΅ΠΌ Π΅Π³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ

0,2

Минимально допустимоС расстояниС:

ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ краями диэлСктрика ΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΉ ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠΈ кондСнсатора

0,1

ΠœΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ краями Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½Π΅ΠΉ ΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΉ ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΎΠΊ кондСнсатора

0,2

ΠœΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΊΡ€Π°Π΅ΠΌ диэлСктрика ΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π° кондСнсатора с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ элСмСнтом

0,3

ΠœΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΊΡ€Π°Π΅ΠΌ диэлСктрика ΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΉ ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠΎΠΉ кондСнсатора Π² ΠΌΠ΅ΡΡ‚Π΅ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π° Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½Π΅ΠΉ ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠΈ

0,2

ΠžΡ‚ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ кондСнсатора Π΄ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… навСсных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ²

0,5

Минимальная ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ пСрСкрытия ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΎΠΊ кондСнсатора

0,5*0,5

ΠœΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ расстояния ΠΎΡ‚ ΠΊΡ€Π°Ρ навСсного ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π°, Π΄ΠΎ:

ΠšΡ€Π°Ρ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π°

0,4

ΠšΡ€Π°Ρ навСсного пассивного ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π°

0,6

Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅

Π’ Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ курсового ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚Π° сдСлано ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π΅:

1. Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π½ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» для ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, рСзисторов ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ (Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π±Ρ‹Π» сдСлан Π² ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Ρ‘Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π°ΠΌΠΈ).

2. Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π½Ρ‹ конструкции элСмСнтов ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ описаниС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠΈ ΠΈΡ… Ρ€Π°ΡΡ‡Ρ‘Ρ‚Π°;

3. Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Ρ‹ эскизы конструкций, ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ расчётов топологичСских Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² элСмСнтов;

4. ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²Π΅Π΄Ρ‘Π½ расчёт ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ· Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Ρ‹ Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΡ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π“Π˜Π‘.

Π’ Π³Ρ€Π°Ρ„ичСской части ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹:

1. схСма элСктричСская ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ (Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ‚ А3);

2. топологичСский Ρ‡Π΅Ρ€Ρ‚Ρ‘ΠΆ (Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ‚ А1);

3. топологичСский Ρ‡Π΅Ρ€Ρ‚Ρ‘ΠΆ рСзистивного слоя (Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ‚ А1);

Π’ ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Π΅ курсового ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚Π° Π±Ρ‹Π»Π° составлСна докумСнтация, Π² Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Π±Ρ‹Π»ΠΈ пСрСчислСны источники ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ Π»ΠΈΡ‚Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹.

Бписок ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… источников

КолСдов Π›. А. ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Ρ‚Схнология микросхСм: ΡƒΡ‡Π΅Π±Π½ΠΈΠΊ.

М.: Π’Ρ‹ΡΡˆΠ°Ρ школа, 1984.-231с.

НиколаСв И. М. Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы ΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρ‹ ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ирования: ΡƒΡ‡Π΅Π±Π½ΠΈΠΊ. М.: Π Π°Π΄ΠΈΠΎ ΠΈ ΡΠ²ΡΠ·ΡŒ, 1992.-424с.

ΠœΠ°Π»Ρ‹ΡˆΠ΅Π²Π° И. А. ВСхнология производства ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм: ΡƒΡ‡Π΅Π±Π½ΠΈΠΊ М.: Π Π°Π΄ΠΈΠΎ ΠΈ ΡΠ²ΡΠ·ΡŒ, 1991.-344с.

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ