ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ
ΠΠΈΠ°Π³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΎΡΡΠΈ (T — X) Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π° Π½Π° ΡΠΈΡ. 2.1 ΠΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ±Π½Π°Ρ ΠΊΡΠΈΠ²Π°Ρ Π»ΠΈΠΊΠ²ΠΈΠ΄ΡΡΠ°, Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΡΡΠ°Ρ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ° Π² ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠΌ Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΈ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ, ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π° Π½Π° ΡΠΈΡ. 2.3 ΠΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΡΠ°Π·Π»Π°Π³Π°ΡΡΡΡ Π½Π° ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠΉ Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΉ ΠΈ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠΉ ΠΌΡΡΡΡΠΊ (ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»Ρ As4). ΠΡΠ΅Π½Ρ ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π΄ΠΈΡΡΠΎΡΠΈΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ Ρ 600Β° Π‘. ΠΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π²ΡΠ°ΡΡΡ… Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
ΠΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΠΎΡΡΠ΄Π°ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΡΠΊΡΡΡΡΠΉ Π£Π½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅Ρ.
Π€Π°ΠΊΡΠ»ΡΡΠ΅Ρ: «ΠΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ»
ΠΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ° Π½Π° ΡΠ΅ΠΌΡ:
ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° ΠΠ°Π»Π»ΠΈΡ ΠΡΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΠ»:
ΠΠΈΡ Π°ΠΉΠ»ΠΎΠ² Π. Π Π¨ΠΈΡΡ: 608 859
Π‘ΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ: 200 300
2009 Π³.
- ΠΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΌΠ΄ Π³Π°ΠΌΠ»Π»ΠΈΡ (GaAs)
- ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° GaAs
- ΠΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² GaAs
- ΠΠ°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½Π°Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ
- ΠΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ°
- ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π§ΠΎΡ ΡΠ°Π»ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ
- ΠΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ
- ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅
- ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°
ΠΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΌΠ΄ Π³Π°ΠΌΠ»Π»ΠΈΡ (GaAs)
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΈ ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ°. ΠΠ°ΠΆΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ, ΡΡΠ΅ΡΠΈΠΉ ΠΏΠΎ ΠΌΠ°ΡΡΡΠ°Π±Π°ΠΌ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡ Π΅ΠΌ, ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ², Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΡΡ Π΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ², Π΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΠ°Π½Π½Π°, ΡΡΠ½Π½Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ Π΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ², ΡΠΎΡΠΎΠΏΡΠΈΡΠΌΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² ΡΠ΄Π΅ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ.
ΠΠ΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° GaAs ΠΏΡΠ΅Π²ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ°ΠΌ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π½Π° ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ°Ρ Π΄ΠΎ 250 ΠΠΡ.
ΠΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ GaAs Π³Π΅Π½Π΅ΡΠΈΡΡΡΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ ΡΡΠΌΠ°, ΡΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΡ Π½Π° ΡΠΎΠΉ ΠΆΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ΅. ΠΠ·-Π·Π° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ ΠΏΡΠΎΠ±ΠΎΡ Π² GaAs ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Si ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΡ ΠΈΠ· Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΡΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π΄Π΅Π»Π°ΡΡ GaAs ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠΌ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ°Ρ , Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ°Π΄Π°ΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ . ΠΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ, ΡΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅, ΡΡΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π² ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΡΡ , ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π² ΠΊΠΎΡΠΌΠΎΡΠ΅).
ΠΠΎ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌ GaAs — Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΈΠΉ ΠΈ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π», ΡΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ. ΠΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΈΠ· Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Π΅Π΅ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ Π²ΠΏΡΡΠ΅ΡΠΎ Π΄ΠΎΡΠΎΠΆΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅, ΡΡΠΎ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°.
ΠΠ±ΡΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°:
ΠΠ±ΡΠΈΠ΅. | ||
ΠΠ°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ | ΠΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΌΠ΄ Π³Π°ΠΌΠ»Π»ΠΈΡ | |
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Π° | GaAs | |
ΠΠ½Π΅ΡΠ½ΠΈΠΉ Π²ΠΈΠ΄ | Π’ΡΠΌΠ½ΠΎ-ΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ | |
Π‘ΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° | ||
ΠΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»ΡΡΠ½Π°Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠ° | 144.64 Π°Ρ. Π΅Π΄. | |
ΠΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½Π°Ρ ΡΠ΅ΡΡΡΠΊΠΈ | 0.56 533 Π½ΠΌ | |
ΠΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° | ΡΠΈΠ½ΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΠΌΠ°Π½ΠΊΠΈ | |
Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ | ||
ΠΠ³ΡΠ΅Π³Π°ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈ Π½. Ρ. | ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΠ΅ | |
Π’ΠΎΡΠΊΠ° ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ Π½. Ρ. | 1513 K | |
ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ | ||
Π¨ΠΈΡΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΏΡΠΈ 300 K | 1.424 ΡΠ | |
ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ, ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠ° | 0.067 me | |
ΠΡΠ³ΠΊΠΈΠ΅ Π΄ΡΡΠΊΠΈ, ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠ° | 0.082 me | |
Π’ΡΠΆΡΠ»ΡΠ΅ Π΄ΡΡΠΊΠΈ, ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠ° | 0.45 me | |
ΠΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΏΡΠΈ 300 K | 9200 ΡΠΌΠ/ (ΠΒ· Ρ) | |
ΠΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄ΡΡΠΎΠΊ ΠΏΡΠΈ 300 K | 400 ΡΠΌΠ/ (ΠΒ· Ρ) | |
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ²ΡΠ·Ρ. Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ²ΡΠ·Ρ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΡ ΡΠΈΠΏΠ° ΠΡΠv ΠΏΠΎ ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΉ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ. Π ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ Π°ΡΠΎΠΌ ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΎΡΠ΄Π°ΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ Π°ΡΠΎΠΌΠ° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² Ρ ΡΠ΅ΡΡΡΡΠΌΡ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ. Π§ΠΈΡΡΠΎ ΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΠ²ΡΠ·Ρ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ Π°ΡΠΎΠΌ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΎΡΠ΄Π°Π» ΡΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π° Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌ ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ° Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ², ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡΡ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π΅ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠΈΠ»Π°ΠΌΠΈ. ΠΠ΅ΠΉΡΡΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ²ΡΠ·Ρ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΈΡ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ². ΠΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΈΠ΅Π² ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΈ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠΈΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠΉ Ρ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΌ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠΌ.
Π‘ΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°. ΠΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΡΡΠ°Π»Π΅ΡΠΈΡΠ° (ΡΠΈΠ½ΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΠΌΠ°Π½ΠΊΠΈ). Π‘ΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΡΡΠ°Π»Π΅ΡΠΈΡΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠ°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΡ Π΄Π²ΡΡ Π²ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΎΠ΄Π½Π° Π² Π΄ΡΡΠ³ΡΡ ΠΊΡΠ±ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π³ΡΠ°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΎΠΊ, ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π΄ΡΡΠ³ Π΄ΡΡΠ³Π° Π½Π° ΡΠ΅ΡΠ²Π΅ΡΡΡ Π΄ΠΈΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΠΈ ΠΊΡΠ±Π° ΠΈ ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΠΈΡ ΠΈΠ· ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ° Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Π°Ρ.
ΠΠ°Π»Π΅Π½ΡΠ½Π°Ρ Π·ΠΎΠ½Π° Π² Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π΅ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ ΠΈΠ· Π·ΠΎΠ½Ρ ΡΡΠΆΠ΅Π»ΡΡ Π΄ΡΡΠΎΠΊ, Π·ΠΎΠ½Ρ Π»Π΅Π³ΠΊΠΈΡ Π΄ΡΡΠΎΠΊ ΠΈ ΠΈΠ· Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΈΠ½-ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ.
ΠΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠ° Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° ΠΈ ΠΈΡ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ Π΄ΡΡΠΎΠΊ. Π‘Π²ΡΠ·Ρ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ΅ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΡΠΈΠ»ΡΠ½Π΅Π΅ ΡΠ΅ΠΌ, Π² ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ , ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ, ΠΏΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ, Π² Π½ΠΈΡ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ°Ρ Π΄ΠΎΠ»Ρ ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ. ΠΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΠΎΡΠ»Π°Π±Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° ΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΈ ΠΊ ΡΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π΅ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ Π² ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Ρ ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π° ΠΌΠ°Π»ΡΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΡΡ Π² Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΉ Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ.
ΠΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ Π² GaAs. ΠΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ, Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π² GaAs, ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΡΠ° Ga ΠΈΠ»ΠΈ As, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π²Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠΈ, Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ°Ρ ΡΠΎΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π°ΡΠΎΠΌΡ, Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π²Π½Π΅Π΄ΡΡΡΡΡΡ Π² ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΡΠ·Π»ΠΈΠ΅. ΠΠ½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°Ρ GaAs ΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅Ρ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ Ρ ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΠΌΠΈ, Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΡΠΌΠΈ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΠΌΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ.
ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΡΡΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° GaAs
ΠΠ»Π°Π³ΠΎΠΏΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ Π² ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°Ρ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ Π²Π΅ΡΡΠΌΠ° Π·Π°ΡΡΡΠ΄Π½ΡΡΡ, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ. ΠΠ±ΡΡΠ½ΠΎ Π½Π΅Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ GaAs Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΡΠΎΠ±ΠΎΠ΅ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΠ΅Π³ΠΈΡΡΡ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΠ°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΡΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ Π΄ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 1017 ΡΠΌ-3 Π²ΡΠ΅ Π°ΡΠΎΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ Ρ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ, Ρ. Π΅. Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΡ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ. ΠΡΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡΡ ΡΠ°ΡΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² Si Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ ΡΠ·Π»Ρ As ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ. ΠΠ½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ.
ΠΡΠΈ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ GaAs Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° n-ΡΠΈΠΏΠ° Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ Π΄ΠΎ Π΄Π΅ΡΡΡΠΊΠ° ΠΎΠΌ?ΡΠΌ. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ Π΄ΠΎ 0,2 ΠΎΠΌ?ΡΠΌ ΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π» ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ p-ΡΠΈΠΏΠ°. ΠΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ Π»ΠΈΡΠΈΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΡ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΠΎΡΠ·Π»ΠΈΡΠΌ, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ. Π ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΠΎΡΠ·Π»ΠΈΡΡ Π»ΠΈΡΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡΠΎΠΌ (LiiΠΠ), Π° Π² ΡΠ·Π»Π°Ρ — Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠΎΠΌ (LiGaΠΠΠΠ). ΠΡΠΈ Π΄Π²Π° Π²ΠΈΠ΄Π° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡ LiiΠΠ LiGaΠΠΠΠ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡΠΈΠΉ Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ.
Π ΠΈΡ. 1.1 ΠΠΈΠ°Π³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΎΡΡΠΈ (X - T) Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ.
ΠΡΠΈ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ·Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ Π°ΡΠΎΠΌΡ Π»ΠΈΡΠΈΡ Π΄ΠΈΡΡΡΠ½Π΄ΠΈΡΡΡΡ ΠΊ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΡΠΌ ΠΈ ΡΠ°ΠΌ Π²ΡΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡ ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°; ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π΅ ΠΎΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΡ LiiΠΠ LiGaΠΠΠΠ. ΠΠ±ΡΡΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ: ΡΠΈΠ½ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡ ΠΈ ΡΠ΅Π»Π΅Π½ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡ. ΠΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°Ρ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°Π΅Ρ 1016 ΡΠΌ-3, ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π»Π΅Π³ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°: 1017−1019 Π°Ρ?ΡΠΌ-3. ΠΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² GaAs ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΡΠΈΠ΄ΠΆΠΌΠ΅Π½Π°, Π±Π΅ΡΡΠΈΠ³Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΎΠΉ ΠΈ ΠΈΠ· ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 109 ΡΠΌ3. Π‘Π²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΡ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΎ Π»Π΅ΠΆΠ°ΡΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠ²Π½ΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π·Π°Ρ Π²Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ ΠΈ Π΄ΡΡΠΊΠΈ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΡΠ΅ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΠΌΠΈ Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΈ Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΡΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ. ΠΡΠΈΡΠΎΠ΄Π° Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΈΡ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π½Π΅ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π°; ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡΡΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈ (ΠΈΠ»ΠΈ) ΠΌΠ΅Π΄ΡΡ.
ΠΠΈΠ°Π³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΎΡΡΠΈ (T - X) Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π° Π½Π° ΡΠΈΡ. 2.1 ΠΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ±Π½Π°Ρ ΠΊΡΠΈΠ²Π°Ρ Π»ΠΈΠΊΠ²ΠΈΠ΄ΡΡΠ°, Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΡΡΠ°Ρ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ° Π² ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠΌ Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΈ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ, ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π° Π½Π° ΡΠΈΡ. 2.3 ΠΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΡΠ°Π·Π»Π°Π³Π°ΡΡΡΡ Π½Π° ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠΉ Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΉ ΠΈ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠΉ ΠΌΡΡΡΡΠΊ (ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»Ρ As4). ΠΡΠ΅Π½Ρ ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π΄ΠΈΡΡΠΎΡΠΈΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ Ρ 600Β° Π‘. ΠΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π²ΡΠ°ΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΡΡΡ Π² ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠΌ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΌ GaAs ΠΈ ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·ΠΎΠΉ, ΡΡΡΠ΅ΠΌΠΈΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ Ρ ΠΌΡΡΡΡΠΊΠΎΠΌ, ΡΠΎΡΡΠ°Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈ Π»ΡΠ±ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΡΠΈΠ²ΠΎΠΉ Π»ΠΈΠΊΠ²ΠΈΠ΄ΡΡΠ° ΡΠΈΡ. 2.2 ΠΡΠ»ΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π² Π³Π΅ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ, ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ Π½Π°Π³ΡΠ΅ΡΠΎΠΉ Π°ΠΌΠΏΡΠ»Π΅, ΡΠΎ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π²ΡΠ΅ΠΌΠΈ ΡΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠ°Π·Π°ΠΌΠΈ ΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠΈΠ΅, Π΄Π»Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° Π² ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠΌ Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΈ. ΠΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΠ΅Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΉ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ
Π·Π½Π°ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠΎΠ² ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ° Π½Π°Π΄ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΉ — ΠΌΡΡΡΡΠΊ.
ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠΎΠ² ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ° ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π°Π΄ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ Π² Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΈ, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π½Π°Π΄ ΡΠΈΡΡΡΠΌ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡΡΡΡ ΡΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²Π°Ρ ΡΠ°Π·Π° ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΈΠ· ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ» As4, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΈΠ· ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ» As2.
Π ΠΈΡ. 2.2 ΠΡΠΈΠ²Π°Ρ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ° Π² ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠΌ ΠΠ°Π»Π»ΠΈΠΈ.
Π‘ΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ½ΡΡΠΎΠΏΠΈΠΈ
S0298= 15,3 ΠΊΠ°Π»/ (ΠΌΠΎΠ»Ρ?Π³ΡΠ°Π΄).
ΠΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅Π΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠΎΠ² ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ°
Π ΠΎΠ±Ρ=0,976 Π°Ρ, Π As4 =0,902 Π°Ρ, Π As2=0,074 Π°Ρ.
ΠΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠΎΠ² Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 10−4Π°Ρ.
Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° Π΄ΠΈΡΡΠΎΡΠΈΠ°ΡΠΈΠΈ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΈΠ²ΠΎΠΉ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠΎΠ² Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ Ρ ΠΊΡΠΈΠ²ΠΎΠΉ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ As2. Π‘ ΡΡΠ΅ΡΠΎΠΌ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΌΠ°Π»ΡΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° Π½Π°ΡΠ°Π»Π° Π΄ΠΈΡΡΠΎΡΠΈΠ°ΡΠΈΠΈ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΈ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠ΅Π΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠΎΠ² (Π Ga = Π As2) ΡΠ°Π²Π½Ρ: Π’Ρ=660Π}100Β°Π‘;
PGa=Π As2=5?10-7 — 5?10-10 Π°Ρ.
ΠΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² GaAs
ΠΠ»Ρ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½Π°Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ, Π·ΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ° ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π§ΠΎΡ ΡΠ°Π»ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ.
Π ΠΈΡ. 2.3 Π Π°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ Π² Π΄Π²ΡΡ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠΈ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ GaAs ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΡΠΈΠ΄ΠΆΠΌΠ΅Π½Π°.
ΠΠ°ΠΊ ΠΈ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ , Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² ΡΡΠ΅Ρ ΠΈΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π° (ΠΈΠ»ΠΈ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊ Π½Π΅ΠΌΡ) ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Π΅Π½ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅ΡΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΎΠΉ. ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΈΠ· ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π²Π΅ΡΡΠΌΠ° ΠΌΠ°Π»ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ, Π° ΡΠΈΡΡΠΎΡΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π² ΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°Ρ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Ρ Π·Π°Π³ΡΡΠ·Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° Π½ΠΈΠΆΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ², Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠ΅.
ΠΠ°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½Π°Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ
ΠΠ»Ρ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΡΠΈΠ΄ΠΆΠΌΠ΅Π½Π°. (ΡΠΈΡ 1.1)
Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ GaAs.
ΠΠ°Π»Π»ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΠ²Π°ΡΡ Π² ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Π±Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠΊΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ, Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ Π² Π΄Π΅ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ Ρ ΠΌΡΡΡΡΠΊΠΎΠΌ Π² ΡΡΠ΅Ρ ΠΈΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠΎΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π² ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΡΡ Π»ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΊΡ. ΠΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΡΡ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΈΠ·Π±ΡΡΠΎΠΊ ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ°, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·Π±ΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌ Π»ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΊΡ Ρ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Π°ΠΌΠΏΡΠ»Ρ, Π·Π°ΠΏΠ°ΡΠ½Π½ΡΡ Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°. ΠΡΡΠ³ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ Π°ΠΌΠΏΡΠ»Ρ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΡ ΠΊ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅, Π° Π°ΠΌΠΏΡΠ»Ρ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ Π² ΠΏΠ΅ΡΡ, Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π΅ΠΌΡΡ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΡΠΊΠ°ΡΠΊΠΈ Π΄ΠΎ 250 Β°C. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ΄Π°Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΠ΅Ρ ΠΎΠΊΠΈΡΡ ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ°, ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΡΠ΅Π³ΠΎ Π°ΠΌΠΏΡΠ»Ρ Π·Π°ΠΏΠ°ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ Π² ΠΎΡΠΊΡΡΡΡΡ Ρ ΠΎΠ±Π΅ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΎΠ² ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΡΡΠ±ΠΊΡ, ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π΅ΠΌΡΡ Ρ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΉ, ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΡΡ ΠΈΠ· ΡΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ. Π ΠΏΠ΅ΡΠΈ 3 ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° 605 Β°C, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΠ°Ρ ΡΠΏΡΡΠ³ΠΎΡΡΡ ΠΏΠ°ΡΠ° ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ° Π² Π°ΠΌΠΏΡΠ»Π΅. ΠΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠΉ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΏΠ΅ΡΠΈ 2, Π³Π΄Π΅ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΡΠ°Π²Π½Π° 1250 Β°C. ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎ, Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°, ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π°ΠΌΠΏΡΠ»Ρ ΡΠΎ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ 1−2ΡΠΌ/Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠΉ Π³ΡΠ°Π΄ΠΈΠ΅Π½Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈ 1ΠΈ2. Π ΡΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅ Π·ΠΎΠ½Ρ 1 ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 1150 Β°C, ΡΡΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π΅Ρ Π³ΡΠ°Π΄ΠΈΠ΅Π½Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ 5Β° Π½Π° 1 ΡΠΌ. Π’ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ Π² Π·ΠΎΠ½Π°Ρ ±2,0Β°Π‘. ΠΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ Π·Π°ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½Π°, Π²Π΅ΡΡ ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠΊ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΠΏΡΠΈ 1200 Β°C, ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΡ Π»Π°ΠΆΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ Π΄ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ.
ΠΠ°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½Π°Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π». ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π²ΡΠ΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΡΡΡ ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Π»ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΊΠΈ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠΊ. ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°ΡΠ»ΠΈ Π»ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΈΠ· ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ°, ΠΎΠΊΠΈΡΠΈ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ, Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° Π±ΠΎΡΠ°. Π‘ΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² GaAs Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈ 800 Β°C Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ 484Ρ. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΈΡΡΠ΅Π·Π°ΡΡ ΡΡΠΎΠ²Π½ΠΈ Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π°ΡΠΈΠΈ 0,01−0,2ΡΠ².
ΠΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ, Π²ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ, ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² 5*1014ΡΠΌ-3 ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ 8000 ΡΠΌ2/ (Π²*ΡΠ΅ΠΊ) ΠΏΡΠΈ 300Β°Π. ΠΠ°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ.
ΠΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ°
ΠΠΎΠΌΠ½Π½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°ΠΌΠ²ΠΊΠ° (Π·ΠΎΠΌΠ½Π½Π°Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΠΌΡΠΈΡ) — ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΡΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ², ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ Π½Π° ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ Π² ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Π°Ρ . ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΡ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ, ΠΎΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎ Π² ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ°Ρ ΡΠ°ΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°. Π’Π°ΠΊΠ°Ρ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½Π°Ρ Π·ΠΎΠ½Π° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π²ΠΈΠ³Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ. ΠΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π»ΡΡΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Π΅, ΡΠΎ ΠΎΠ½Π° ΠΏΠΎΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Π½ΠΎ Π½Π°ΠΊΠ°ΠΏΠ»ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π΅, Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΡΡ Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ Ρ Π½Π΅ΠΉ. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠΊΠ°ΠΏΠ»ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°. ΠΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΡΡΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡΡ.
ΠΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ° ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π΄Π»Ρ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°. ΠΠ½Π° ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π·Π°ΠΏΠ°ΡΠ½Π½ΠΎΠΉ Π°ΠΌΠΏΡΠ»Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ Π2Π3.
ΠΠ°Π³ΡΡΠ·ΠΊΡ, ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΡΡ ΠΈΠ· Π·Π°ΡΡΠ°Π²ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΈ Π½Π°Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ°, ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ Π² Π»ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΊΡ. ΠΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΡΠ΅ Π»ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡ, ΠΏΠΎΠΊΡΡΠ²Π°Ρ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈ Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΠ±ΠΆΠΈΠ³Π°Ρ ΠΏΡΠΈ 1300 Β°C Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ 2Ρ.
Π ΠΈΡ1 — 2. Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ Π±Π΅ΡΡΠΈΠ³Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ GaAs ΠΏΠΎΠ΄ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ Π2Π3. 1-ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²Π°Ρ Π°ΠΌΠΏΡΠ»Π°; 2 ΠΈΠ½Π΄ΡΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π².
Π ΠΈΡ 1 — 3. Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ Π±Π΅ΡΡΠΈΠ³Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ GaAs. 1-ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²Π°Ρ Π°ΠΌΠΏΡΠ»Π°; 2 — Π΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠ΅Π»Ρ ΡΡΠ΅ΡΠΆΠ½Ρ; 3 — ΡΡΠ΅ΡΠΆΠ΅Π½Ρ ΠΈΠ· GaAs; 4 — ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠ΅ ΠΎΠΊΠ½ΠΎ; 5 — ΠΈΠ½Π΄ΡΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²; 6 — ΠΏΠ΅ΡΡ Π΄Π»Ρ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π° ΡΡΠ΅Π½ΠΎΠΊ Π°ΠΏΠΏΠ°ΡΠ°ΡΠ°; 7 — ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠΏΠ°ΡΠ°.
Π ΠΈΡ 1 — 4. Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΡΠ³ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² GaAs ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ Π§ΠΎΡ ΡΠ°Π»ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ. 1 — Π·Π°ΠΏΠ°ΡΠ½Π½Π°Ρ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²Π°Ρ Π°ΠΌΠΏΡΠ»Π°; 2 — ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΡ; 3 — ΡΠΏΠ»Π°Π² Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΡΠΊΠΈ ΠΡΡΠΈ; 4 — ΠΏΠ΅ΡΡ Π΄Π»Ρ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°; 5 — ΠΈΠ½Π΄ΡΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²; 6 — ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½Π°Ρ Π·ΠΎΠ½Π°; 7 — Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠΈΠ³Π΅Π»Ρ; 8 — Π·Π°ΡΡΠ°Π²ΠΊΠ°; 9 — Π΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠ΅Π»Ρ Π·Π°ΡΡΠ°Π²ΠΊΠΈ.
ΠΠΎΠ΄ΠΎΡΠΊΡ Ρ Π·Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ Π² ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΡΡ Π°ΠΌΠΏΡΠ»Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π·Π°ΠΏΠ°ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠΎΠΌ. ΠΠ°Π³ΡΠ΅Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΡΠ΅Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΉ: ΠΏΠ΅ΡΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΈ Π΄Π²ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π³ΡΠ°Π΄ΠΈΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ: ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ 800 Β°C, Π° Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ 600 Β°C. Π‘ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄Π° Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ 0,5 — 5ΡΠΌ/Ρ.
Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ° Π2Π3 ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π° Π½Π° ΡΠΈΡ. 1 — 2.
Π€Π»ΡΡ Π2Π3 ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ 450 Β°C ΠΊΠΈΠΏΠΈΡ, ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΡΠ²ΡΡΠ΅ 1500 Β°C; Π² ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ ΠΎΠ½ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ Π²ΡΠ·ΠΊΡΡ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ, ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΠ²Π°Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°, ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ°. ΠΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π·Π°Π³ΡΡΠ·Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΌΠΈ, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠΌΠΈΡΡ Π² ΠΎΠΊΠΈΡΠΈ Π±ΠΎΡΠ°, ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ Π½Π΅Ρ. Π Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠ°ΠΌ ΠΎΠΊΠΈΡΠΈ Π±ΠΎΡΠ° ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠ½Π΅ΡΡΠΈ Π³ΠΈΠ³ΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°ΡΡ Ρ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅ΠΌ.
ΠΡΠΈ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ΅ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° 1016ΡΠΌ-3 Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ°Ρ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠ° ΡΡΠΈΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π½Π΅ Π΄Π°Π΅Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ°.
Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π±Π΅ΡΡΠΈΠ³Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ Π² Π·Π°ΠΏΠ°ΡΠ½Π½ΠΎΠΉ Π°ΠΌΠΏΡΠ»Π΅ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° Π½Π° ΡΠΈΡ. 1−3. ΠΠ΅ΡΡΠΈΠ³Π΅Π»ΡΠ½Π°Ρ Π·ΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ° Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ² ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ. Π’ΡΡΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠ΅ Ρ Π³Π΅ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠ° GaAs Π² ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ Π°ΠΌΠΏΡΠ»Π΅ ΠΈ Π½Π΅ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π΄Π΅Π»Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π±Π΅ΡΡΠΈΠ³Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ ΠΌΠ°Π»ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. Π‘Π»ΠΈΡΠΎΠΊ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ Π±Π΅ΡΡΠΈΠ³Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ, ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ (ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° ΠΠΎΠΌ*ΡΠΌ) Π² Π½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ΅ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΎΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°. ΠΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π² Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π΅ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ 5500 ΡΠΌ2 / (Π²*ΡΠ΅ΠΊ).
ΠΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π΅ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ Π² ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°Ρ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΌ, Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΠΊ ΡΠ΅Π½ΡΡΡ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ, Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΠΊΠ°ΠΊ Π»ΠΎΠ²ΡΡΠΊΠ°.
ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π§ΠΎΡ ΡΠ°Π»ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ
ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π§ΠΎΡ ΡΠ°Π»ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ — ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΏΡΡΡΠΌ Π²ΡΡΡΠ³ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΡ Π²Π²Π΅ΡΡ ΠΎΡ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΠΌΠ° ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° Ρ ΠΈΠ½ΠΈΡΠΈΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ Π½Π°ΡΠ°Π»Π° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΡΡΠΌ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π°ΡΡΠ°Π²ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° (ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ²) Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π² ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡ ΡΠΎ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°.
ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π΄Π²Π° Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½ΡΠ° Π²ΡΡΡΠ³ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ Π§ΠΎΡ ΡΠ°Π»ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ: Π² Π·Π°ΠΏΠ°ΡΠ½Π½ΠΎΠΉ Π°ΠΌΠΏΡΠ»Π΅, Π³Π΄Π΅ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π΅ΡΡΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠΎΠ² ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ°, ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ Π2Π3.
Π ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΌ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½ΡΠ΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΈΠ· ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ³Π»Ρ Π² ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π². ΠΠ»Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΡΠΈΠ³Π»ΠΈ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ, Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠΌ ΠΈ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΡΡΡΠ±ΠΊΠΎΠΉ Π½Π΅Ρ ΠΏΡΡΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ°. ΠΡΡΠ³ΠΎΠΉ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° Π§ΠΎΡ ΡΠ°Π»ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠ° (ΡΠΈΡ. 1−4). ΠΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ.
ΠΡΠΈ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΡΠ°ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Ρ ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ° Π°ΠΌΠΏΡΠ»Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°Π»Π°ΡΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΉ 615 Β°C, ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π°ΡΡΠ°Π²ΠΊΠΈ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ»Π° 17 ΠΎΠ±/ΠΌΠΈΠ½, ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π²ΡΡΡΠ³ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ — 45 — 50 ΠΌΠΌ/Ρ. ΠΠ»ΠΈΠ½Π° Π²ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² 20 ΡΠΌ, Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ 20 ΠΌΠΌ.
Π Π°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ Π² Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π΅ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ, Π²ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°, Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ, ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΡΡΠ°. Π Π°Π΄ΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠΉ Π³ΡΠ°Π΄ΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅Ρ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠ° Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ, Π²ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ Π§ΠΎΡ ΡΠ°Π»ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Ρ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΠΉ.
ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π§ΠΎΡ ΡΠ°Π»ΡΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π»ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ Π²ΡΡΠ΅ 7000 ΡΠΌ2/ (Π²*ΡΠ΅ΠΊ). ΠΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π² Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°Ρ Π²ΡΡΠ΅ 8000 ΡΠΌ2/ (Π²*ΡΠ΅ΠΊ), ΠΏΡΠΈΡΠ΅ΠΌ ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΎΠ½Π° Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π»Π° 8500 ΡΠΌ2 (Π²*ΡΠ΅ΠΊ) ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅. ΠΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°Ρ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠ»Π°ΡΡ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ (4Ρ6) *1015ΡΠΌ-3.
ΠΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ
ΠΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΡ — ΡΡΠΎ ΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΡΠ°ΡΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° Π½Π° Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ.
ΠΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡΠΈΡ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ, ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ Π² Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΠΎΡΡΠΈ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎΡΠ° Π² ΠΏΡΠΎΡΠΎΠΊΠ΅. ΠΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎΡ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π³Π°Π»ΠΎΠ³Π΅Π½Π°ΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ 650 — 950Β° Π‘. Π‘Π»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ Π² ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°Ρ , ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΉ, ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π½Π° ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠΊ Π½ΠΈΠΆΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°Ρ , ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ², Π° ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅Ρ 9000 ΡΠΌ2/ (Π²?ΡΠ΅ΠΊ) (ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ² 5000—6000, Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΠΌΡΡ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°Ρ ); ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π²ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ². ΠΡΠΎ, ΠΏΠΎ-Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΌΡ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Ρ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ ΠΈ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ ΡΠΎΡΡΠ° ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Ρ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π·Π°Π³ΡΡΠ·Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°ΠΌ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ².
ΠΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠ²ΡΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°ΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎΡΠ° ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΊΠ°ΠΊ Π² Π·Π°ΠΌΠΊΠ½ΡΡΡΡ Π°ΠΌΠΏΡΠ»Π°Ρ , ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π² ΠΏΡΠΎΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ . ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π·Π° ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠ΅ Π³ΠΎΠ΄Ρ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ Π½Π°ΠΈΠ»ΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ΅Π°Π³Π΅Π½ΡΠ° ΠΠ‘l, Π° Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π³Π°Π·Π° Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ — Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π°. ΠΡΠ±ΠΎΡ HCl Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎΡΡΠΈΠΊΠ° ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ ΡΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ½ Π½Π΅ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π° Ρ ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΡΡΠΎ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΉΠΎΠ΄Π°, Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΡ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π΄ΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠΈΡΡΠΈΡΡ ΠΎΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ² Π²Π»Π°Π³ΠΈ. Π‘Π»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΠ‘l ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎ Π½Π΅ ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ»Π΅ΠΌ, ΠΈ Π½Π°ΠΈΠ»ΡΡΡΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ² ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π΄ΠΎΡΡΠΈΡΡ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ HΠ‘l, ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΈΠ· ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ Cl2 (ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΏΡΠΈ Π΄ΠΈΡΡΠΎΡΠΈΠ°ΡΠΈΠΈ CuCl2) ΠΈ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π°. ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΡΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠΈΡΠ°ΡΡ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠ΅ΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΏΠ°Π»Π»Π°Π΄ΠΈΠΉ.
Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΏΠΎΠ΄Π»Π΅ΠΆΠ°ΡΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎΡΡ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ: Π°) ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ; Π±) GaCl3+Ga+As; Π²) Ga+AsCl3.
ΠΡΠ±ΠΎΡ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠΈΠΌΠΎΠΉ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΡΠ΅Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ. Π‘ ΡΡΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΊΠΈ Π·ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ, ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΈ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ, Π½Π΅ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅ ΡΠ΄ΠΎΠ²Π»Π΅ΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ.
ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΈ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ GaΠ‘13 ΠΎΡΠ²ΠΎΠ΅Π½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡΡ. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π½Ρ Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°. ΠΠ°Π³ΡΡΠ·Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ Π΅Π³ΠΎ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΈ Ρ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΡΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΉΠ½Π΅ΡΠΎΠΌ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΡΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Π½ΠΈΠΆΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°.
ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ° Π²ΡΠ΅ Π΅ΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ, Π° Π΅Π³ΠΎ Π»Π΅Π³ΠΊΠ°Ρ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΡΠ΅ΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ Ρ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΎΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Π΅Π½ΠΈΡΠΌ. AsCl3 ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π½ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ. ΠΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ AsCl3 ΠΎΡΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΠ‘l.
ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ, ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π° ΡΠΈΡ. 2.4 ΠΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΠΉ Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΉ 6 ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ 7 ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π² ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΡΡ ΡΡΡΠ±Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π° Π² Π΄Π²ΡΠ·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠΈ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. Π ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΡΠΉ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠΌΠ΅ΡΡ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΠΈ ΠΏΠ°ΡΠΎΠ² AsCl3. ΠΠ»Ρ Π΄ΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΠΎΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ AsCl3/H2 ΠΏΠΎΡΠΎΠΊ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π° Π΄Π²Π΅ Π½ΠΈΡΠΈ; ΠΏΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΠΏΠΎΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡ, Π° ΠΏΠΎ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ ΡΠ½Π°ΡΠ°Π»Π° ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΏΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»Ρ, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠΉ AsCl3, Π½Π°ΡΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠΈ AsCl3, Π° Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΡΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π°. ΠΠ°ΡΠΎΠ³Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ ΡΠΌΠ΅ΡΡ, ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Ρ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡ, Π½Π°Π³ΡΠ΅ΡΡΠΉ Π΄ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π’1, ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ³Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ
2ΠsΠ‘l3+3Π2?6ΠΠ‘l+2 (As).
ΠΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ T1=750 — 1000Β° Π‘ ΠΌΡΡΡΡΠΊ Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΏΠ°ΡΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠ΅Π»ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠΌ Π³Π°Π»Π»ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄ΠΎ ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΡ, ΠΏΠΎΠΊΠ° Π½Π΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π°ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ° Π² Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΈ.
Π ΠΈΡ. 24. Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ GaAs: 1 - Π±Π°Π»Π»ΠΎΠ½ Ρ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ; 2 - Π±Π»ΠΎΠΊ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π°; 3 - ΠΈΠ³ΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡΠ΅ Π½Π°ΡΠ΅ΠΊΠ°ΡΠ΅Π»ΠΈ; 4 - ΡΠΎΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ; 5 - Π±Π°ΡΠ±ΠΎΡΠ΅Ρ Ρ AsCl3; 6 - ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π² Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ; 7 — ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ.
ΠΡΠ΄Π΅Π»ΡΡΡΠΈΠΉΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΠ‘l ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ Ρ Π³Π°Π»Π»ΠΈΠ΅ΠΌ Π² ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΠΈΠ·Π±ΡΡΠΊΠ° Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΠΏΠΎ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ
Ga (ΠΆ) + HCl (Π³) ΠΠ GaCl (Π³) + 1/2H2 (Π³)
ΠΠ°Π·ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠΉ GaCl ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ Π² Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ (T2=T1 - 25ΠΠ50Β°) ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎ Π΄ΠΈΡΡΠΎΡΠΈΠΈΡΡΠ΅Ρ:
3GaCl ΠΠ 2Ga + GaΠ‘l3
ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π»ΡΡ Π½Π°ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ° Π² Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΈ, ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΠΉ ΠΌΡΡΡΡΠΊ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ Ρ GaCl ΠΈ Π²ΠΎ Π²ΡΠΎΡΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΈΠ· Π΄Π²ΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΉ:
3GaCl + 2As ΠΠ 2GaAs+GaCl3
3GaCl + 3As + 3/2H2 ΠΠ 3HCl + 3GaAs.
Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΉ ΡΡΠ΅Π½ΠΊΠΈ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ ΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΎΠΉ GaAs. Π‘ΡΡΡΠΊΡΡΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ ΠΈ ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΎΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ²: ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²Π° ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΡΠ΅Π°Π³Π΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΈΡΡΠΎΡΡ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ, ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΡΡΠ° ΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΡΡΠ²Π° ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ ΡΠΎΡΡΠ° (ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊΠ°, ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ).
ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ΅ Π΄ΠΎ Π½Π°ΡΠ°Π»Π° ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ. ΠΠ»Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π² Π½Π°ΡΠ°Π»Π΅ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ. Π§Π΅ΡΠ΅Π· Π°ΠΏΠΏΠ°ΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°ΡΡ ΠΏΠ°ΡΠΎΠ³Π°Π·ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΌΠ΅ΡΡ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠΈΠ½ΡΡ; ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡΡ Π΄ΠΎ Π΅Π΅ Π½ΠΎΡΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ.
ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅
ΠΠ»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² Π½Π° Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π΅ Π³Π°Π»ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π²ΡΠ±ΠΎΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΊΠΎΡΡΠ΅ΡΠΏΠΎΠ½Π΄ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ Ρ ΡΠΈΠΏΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ², Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½Ρ. ΠΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ Π΄Π»Ρ Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΡ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ.
ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΡΠΎ, ΡΡΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΏΠΎ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Ρ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ Π²Π΅Π΄ΡΡΡΡ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΡΠΎΠ½ΡΠΎΠΌ, Π΅Π³ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π°Π»Π΅ΠΊΠΎ Π½Π΅ΠΈΡΡΠ΅ΡΠΏΠ°Π½Π½Ρ.
ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°
Π.Π. Π§Π΅ΡΠ½ΡΠ΅Π², Π.Π., ΠΠΎΠΆΠΈΡΠΎΠ² «Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΡ Π½Π° ΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅.» 1974 Π³.
ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΈΠ· ΠΠΈΠΊΠΈΠΏΠ΅Π΄ΠΈΠΈ — ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠ½ΡΠΈΠΊΠ»ΠΎΠΏΠ΅Π΄ΠΈΠΈ. www.wikipedia.org 2009 Π³.
«ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π’Π΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠΈ» Π. Π. ΠΠ°ΡΡΠ½ΠΊΠΎΠ², Π. Π‘. Π‘ΠΎΡΠΎΠΊΠΈΠ½. 1986 Π³.
«Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π’Π΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠΈ» Π. Π. ΠΠ°ΠΌΠ΅Π½ΡΠΊΠ°Ρ, ΠΠΎΠ²ΠΎΡΠΈΠ±ΠΈΡΡΠΊΠΈΠΉ ΠΠΎΡΡΠ΄Π°ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΉ Π£Π½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅Ρ 1999 Π³.