Помощь в написании студенческих работ
Антистрессовый сервис

Расчет высоковакуумной системы ионно — лучевой установки для облучения материалов «вокал»

Курсовая: Расчет высоковакуумной системы ионно — лучевой установки для облучения материалов «вокал»
КурсоваяПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

2. Проверочный расчет. Расчет вакуумной системы с учетом газоотделения с поверхности стенок камеры. Расчет вакуумной системы рабочей камеры1. 6. 1. Исходные данные. Предварительный расчет идеальной системы. 2. проверочный расчет. Схема вакуумной системы ионно-лучевой установки «ВОКАЛ"1. 2. 1. Схема ускоряющей камеры. Конструкторская часть2. 1. Фланцевое соединение. Выбор насосов1. 5. 4. 1. Выбор… Читать ещё >

Расчет высоковакуумной системы ионно — лучевой установки для облучения материалов «вокал» (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Содержание

  • Введение
  • 1. Расчет высоковакуумной системы ионно-лучевой установки «ВОКАЛ»
    • 1. 1. Общая схема установки
    • 1. 2. Схема вакуумной системы ионно-лучевой установки «ВОКАЛ»
      • 1. 2. 1. Схема ускоряющей камеры
      • 1. 2. 2. Схема камеры, разделяющей ионы по энергиям
      • 1. 2. 3. Схема рабочей камеры
    • 1. 3. Основные принципы работы вакуумной системы установки
    • 1. 4. Методика расчетов (основные формулы, используемые в расчете
  • вакуумной системы)
    • 1. 5. Расчет вакуумной системы ускорителя ионов
      • 1. 5. 1. Исходные данные
      • 1. 5. 2. Предварительный расчет идеальной системы
      • 1. 5. 3. Расчет вакуумной системы с учетом натекания из источника ионов
      • 1. 5. 4. Выбор насосов
        • 1. 5. 4. 1. Выбор высоковакуумного насоса
        • 1. 5. 4. 2. Проверочный расчет
        • 1. 5. 4. 3. Выбор насоса для работы в области среднего и низкого вакуума
    • 1. 6. Расчет вакуумной системы рабочей камеры
      • 1. 6. 1. Исходные данные
      • 1. 6. 2. Предварительный расчет идеальной системы
      • 1. 6. 3. Расчет вакуумной системы с учетом газоотделения с поверхности стенок камеры
      • 1. 6. 4. Выбор насосов
        • 1. 6. 4. 1. Выбор высоковакуумного насоса
        • 1. 6. 4. 2. проверочный расчет
        • 1. 6. 4. 3. Выбор насоса для работы в области среднего и низкого вакуума
  • 2. Конструкторская часть
    • 2. 1. Фланцевое соединение
    • 2. 2. Электрический ввод
    • 2. 3. Оптический ввод
    • 2. 4. Механический ввод вращения
  • Заключение
  • Литература

При помощи установки «ВОКАЛ» возможно облучение материалов различными пучками ионов для исследования их основных свойств и характеристик. Пучки ионов могут быть полиэнергетическими, моноэнергетическими, многокомпонентными, однокомпонентными и т. д.

Для успешной работы установки необходимо выполнение следующего условия: число распыляемых атомов с единицы поверхности образца должно быть значительно больше числа атомов остаточного газа, попадающих на поверхность образца в процессе облучения. Также, должен быть известен профиль рельефа поверхности исследуемого образца. В процессе облучения, изменения профиля рельефа поверхности должны контролироваться, так как они зависят от интенсивности облучения и скорости распыления атомов с поверхности изучаемого образца.

В связи с этим, к вакуумным системам ионно-лучевой установки и предъявляются определенные, достаточно жесткие, требования.

В настоящее время разработано достаточное количество установок, позволяющих проводить различные работы с использованием ионно-лучевой технологии как научного, так и производственного характера. Однако значительная их часть предназначена для работы с моноэнергетическими пучками и пучками частиц какой-либо одной массы. Для реализации условий облучения образца пучками, состоящих из ионов с различными массами и энергиями применяется ионно-лучевая установка «ВОКАЛ».

Показать весь текст

Список литературы

  1. Л.Н. Розанов «Вакуумная техника» — М.: Высш. Шк., 1990.- 207 — 224 с.
  2. Е. С. Фролов, В. Е. Минайчев «Вакуумная техника. Справочник» — М.: «Машиностроение», 1971. — 173 — 190 с.
  3. , Б. А. Калин, Н. В. Волков, Н. П. Волошин, М. И. Солонин «Распыление материалов под действием корпускулярного излучения» М: МИФИ 1998 г., 63стр.
  4. Н.В. Волков «Курс лекций по технике физического эксперимента» М.:МИФИ, 2001 г.
  5. Интернет ресурсы: http://www.lbmvac.ru/0111-turbomolecular-nasosy.html
Заполнить форму текущей работой

Сессия? Спокойно!