Разработка самосогласованных моделей для стационарных и нестационарных разрядов в низкотемпературной плазме
Диссертация
Результаты, полученные при моделировании физических процессов в разряде ячейки плазменной дисплейной панели, могут быть использованы при разработке схем ее электрического управления и оптимизации излучательных характеристик. Исследование механизмов образования и гибели активных частиц в плазме электроотрицательных газов является необходимым этапом для создания адекватных моделей, позволяющих… Читать ещё >
Список литературы
- V.V. 1. anov, K.S.Klopovskiy, YA. Mankelevich, O.V.Proshina, A.T.Rakhimov, T.V.Rakhimova, «One-dimensional hybrid model of plasma display cell «Proc. of XXXIII ICPIG (Toulose, France), vol. 2, p. 228, (1997).
- Ivanov V.V., .Klopovskiy K.S., .Lopaev D.V., .Popov N.A., Proshina O.V., .Rakhimov
- B.B. Иванов, Ю. А. Манкелевич, O.B. Прошина, A.T. Рахимов, Т. В. Рахимова. «Моделирование разряда в ячейке плазменной дисплейной панели в частотном режиме «. ФИЗИКА ПЛАЗМЫ, т. 25, с. 646 (1999).
- В.В.Иванов, К. С. Клоповский, Д. В. Лопаев, О. В. Прошина, А. Т. Рахимов, Т. В. Рахимова,
- B.Н. Волынец, Д. И. Словецкий. «Образование радикалов CF2 при диссоциации молекул CF4 электронным ударом в плазме газового разряда». ФИЗИКА ПЛАЗМЫ, т. 25, с. 716 (1999).
- MantzarisN.V., Boudouvis A., Godolides E., J.Appl.Phys,.ll, p.6169−6180, (1995).
- Волынец B.H., Словецкий Д. И., Химическая физика., т.11, с. 1620, (1992).
- McMillan B.K., Zacharian M.R., J. Vac.Sci. Technol, v. A15, p.230−237, (1997).
- W.N.G. Hitchon, D.J. Koch, J.B. Adams, J. Сотр. Phys., v. S3 (1989).
- A.M. Попов, А. Т. Рахимова, Т. В. Рахимова, Физика плазмы, т. 19, с. 1241 (1993).
- D. Loffhagen, R. Winkler, J.Phys.D, v.29, p. 618 (1996).
- B. Bernstein, T. Holstein, Phys.Rev., vol.94, p.1475 (1954).
- Л.Д. Цендин, ЖЭТФ, т.66, с. 1638 (1974).
- V.A. Feoktistov, A.M. Popov, O.B. Popovicheva, A.T. Rakhimov, T.V. Rakhimova, E.A. Volkova, IEEE Trans. Plasma Sci., vol. 19, p.163, (1991).
- V.N. Volynets, A.V. Lukyanova, A.T. Rakhimov, D. I. Slovetsky, N.V. Suetin, J.Phys.D, vol. 26, p. 647 (1993).
- M. Surendra, D.B. Graves, Phys.Rev.Lett., vol. 66, p. 1469 (1991).
- A.S. Smirnov, L.D. Tsendin, IEEE Trans. Plasma Sci., v. 20, p.86, (1992).
- B.B. Иванов, A.M. Попов, T.B. Рахимова, Физика плазмы, т.21, с. 731, (1995).
- U. Kortshagen, I. Pukropshy, L.D. Tsendin, Phys.Rev. E, vol. 51, p.6093 (1995).
- V.V.Ivanov, K.S.Klopovsky, D.V.Lopaev, Yu.A.Mankelevich, A.T.Rakhimov and T.V.Rakhimova, in Electron Kinetics and Applications of Glow Discharges ed. by U. Kortshagen and L.D.Tsendin NATO ASI Series, Series B: Physics vol .367, p.37, (1997).
- K.H.Schoenbach, A. El-Habachi, W. Shi, M.Ciocca. «High-pressure hollow cathode discharges». Plasma Scources Sci.Technol., Vol.6, pp.468−477 (1997).
- V.G. Samoilovich, V.I. Gibalov, K.V. Kozlov, Physical Chemistry of the Barrier Discharge, DVS-Verlag, Dussedorf, p. 1−26,(1997).
- U.Kogelschatz, Pure & Appl. Chem., v. 62, p.1667, (1990).
- D.Brawn, V. Gibalov, G. Pietsch, Plasma Sources Sci. Technol., v.1, p. l, (1992).
- L. F. Weber, in Flat Panel Displays and CRT’s, edited by L.E. Tannas, Jr. (Van Rostand Reinhold, New York, 1985), p. 322.
- C. Lanza and O. Sahni, IBM J. Res. Develop., vol. 22, p. 641, (1978).
- J. Meunier, Ph. Belenguer and J. P. Boeuf, J. Appl. Phys., vol. 78(2), p.731, (1995).
- K. Takanashi, S. Hashiguchi, Y. Murakami, M. Takei, K. Iton, K. Tachibana and T. Sakai, Jpn. J. Appl. Phys., vol. 35, p. 251, (1996).
- R. Veerasingam, R. B. Campbell and R. T. McGrath, IEEE Transactions on Plasma Science, vol. 23, p. 688, 1995.
- J. P. Boeuf and L. C. Pitchford, IEEE Transactions on Plasma Science, vol. 24, p. 95, (1996).
- R. B. Campbell, R. Veerasingam, and R. T. McGrath, IEEE Transactions on Plasma Science, vol. 23, p. 698, (1995).
- N. J. Chou, J. Vac. Sci. Technol, Jan./Feb. 1977.
- S. R. Hunter, J. G. Carter, and L. G. Christophorou, Phys. Rev. A, vol. 38, p. 5539, (1988).
- M. Hayashi, J. Phys. D, vol. 16, p. 581, (1983).
- V. Puech and S. Mizzi, J. Phys. D, vol. 24, p. 1974, (1991).
- D. Rapp and P. Englander- Golden, J. Chem. Phys., vol. 43, p. 1464, (1965).
- D. Thon- That and M. R. Flannery, Phys. Rev. A, vol. 15, p. 517, (1977).
- H. A. Hyman, Phys. Rev. A, vol. 20, p. 855, (1979).
- A. G. Robertson, J. Phys. B, vol. 5, p. 648, (1972).
- Shimamura, Scientific papers of the Institute of Physical and Chemical Research 82:1,(1989).
- R. C. Wetzel, F. A. Baiocchi, T. R. Hayes, and R. S. Freund, Phys. Rev. A, vol. 35, p.559, (1987).
- F. G. de Heer, R. H. J. Jansen, and W. van der Kaay, J. Phys. B, vol. 12, p. 979, (1979).
- W. Furssov and A. Vlassov, Phys. Zeits. Sowjetunion, vol. 10, p.378, (1936).
- A. C. G. Mitchell and M. W. Zemansky, Resonance Radiation and Exited Atoms, p. 97, (The Macmillan Company, New York, 1934).
- Биберман JI. M., ЖЭТФ, т. 17, с. 416, (1947).
- Биберман Л. М., Воробьев В. С., Якубов И. Т., «Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы», глава 3, (Москва, «Наука», 1982).
- Т. Holstein, Phys. Rev., v. 72, p. 1212, (1947) — Т. Holstein, Phys. Rev., v. 83, p. 1159, (1951).
- L. A. Levin, S. E. Moodly, E. I. Klosterman, R.E. Center, and J. J. Ewing, IEEE J. Quantum Electron, vol. QE-17, p. 2282, (1981).
- H. S. Oskham and V. R. Mittelstad, Phys. Rev., vol.32, p. 1445, (1963).
- Gen. Inoue, J. K. Ku, and D. W. Setser, J. Chem. Phys., vol.81, p. 5760, (1984).
- Y. Salamero, A. Birot, J. Galy, and P. Millet, J. Chem. Phys., vol.80, p. 4774, (1984).
- J. Galy, K. Aouame, A. Birot, H. Brunet, and P. Millet, J. Phys. B, vol. 26, p. 447, (1993).
- R. Brodmann and G. Zimmerer, J. Phys. B, vol. 10, p. 3395, (1977).
- W. J. Alford, J. Chem. Phys., vol. 96, p. 4330, (1992).
- J. W. Keto, R. E. Gleason, J. D. Bornifield, G. K. Walters, and F. K. Soley, Chem. Phys. Lett., vol. 42, p. 125, (1976).
- G. Thornton, E. D. Poliakoff, E. Matthias, S. H. Southworth, R. A. Rosenberg, M. G. White, and D. A. Shirley, J. Chem. Phys., vol. 71, p. 133, (1979).
- J. Meunier, Ph. Belenguer and J. P. Boeuf, J. Appl. Phys., vol. 78(2), p.731, (1995).
- Godolides E» Sawin H.H., J.Appl.Phys., vol.72, p.3921, (1992).
- Mantzaris N.V., Boudouvis A., Godolides E., J.Appl.Phys., vol.77, p.6169, (1995).
- Masek K., Laska L., D’Agostino R., Cramarossa F., Beitr.Plasmaphys., vol.27, p. 15, (1987).
- Словецкий Д.И., Дерюгин A.A. в сб. Химия плазмы 13 (Энергоатомиздат, Москва, 1987) с. 240.
- Feoktistov V.A., Ivanov V.V., Popov A.M., Rakhimov А.Т., Rakhimova T.V., SlovetskyD.I., Volynets V.N., J.Phys.D., vol. 30, p. 423, (1997).
- Hayashi M. Handbook of Plasma Matirial Science. Tokyo: Ohm, 1992. p.762
- Wormhout J., J. Vac.Sci.Technol, vol. A8, p. 1722, (1990).
- Hansen S.G., Luckman G., J. Vac.Sci. Technol., vol. B8, p. 128, (1990). 73. Ito S., Nakamura K., Sugai H., Jpn.J.Appl.Phys, vol.33, p. L1261, (1994).
- McMillan B.K., Zacharian M.R., J. Vac.Sci.Technol., vol. A15, p.230, (1997).
- Невзоров П.И., Словецкий Д. И., Шелыхманов Е.ФХимия высоких энергий, т.21, с. 458, (1987).
- Кравченко Ю.С., Осадчук B.C., Словецкий Д. И., Таранов С. В., Химия высоких энергий, т.23. с. 317 (1989).
- Волынец В.Н., Словецкий Д.ИХимическая физика, т. 11, с. 1620, (1992).
- Plumb I.C., Ryan K.R., Plasma Chem. Plasma Process, vol.6, p.205, (1986).
- Ryan K.R., Plumb I.C., Plasma Chem. Plasma Process, vol.6, p.231, (1986) —
- Edelson D., Flamm D.L., J.Appl.Phys., vol.56, p. 1522, (1984).
- Словецкий Д.И. в сб. Химия плазмы.10 (Энергоатомиздат, Москва, 1983), с. 108.
- Park S.K., Economou D.J., J. Electrochem. Soc,.vol.138, p.1991, (1991).
- Winters H., Inokuti M., Phys.Rev. A., vol.25, p. 1430, (1982).
- Bruce M.R., Ce Ma, Bonham R.A., Chem.Phys.Lett., vol.190, p.285, (1992).
- Nakano Т., Sugai H., Jpn.J.Appl.Phys., vol.31, p.2919, (1992).
- L.Mi, R.A.Bonham, J.Chem.Phys., vol. 108 p.1910, (1998).
- H.Nishimura, W.M.Huo, M.A.Ali, Y.-K.Kim, J.Chem.Phys., vol. 110, p.3811, (1999).
- M. C. Bordage, P. Segur, and A. Chouki, J. Appl. Phys., vol 80, p. 1325, (1996).
- L.G.Christophorou, J.K.Otthoff, and M.V.V.S.Rao, J.Phys.ChemRef.Data, vol. 25, p.1341, (1996).
- M. C. Bordage, P. Segur, L.G.Christophorou and J.K.Otthoff, J. Appl. Phys., vol 86, p.3558, (1999).
- Nakano Т., Toyoda H., Sugai H., Jpn.J.Appl.Phys., vol.30, p.2908, (1991).
- Nakano Т., Toyoda H., Sugai H., Jpn.J.Appl.Phys., vol.30., p.2912, (1991).
- M.R. Bruce and R.A. Boham, Intern. J. Mass Spectrom. Ion Process, vol. 123, p.97 (1993).
- R. A. Boham, Jpn. J. Appl. Phys., vol.33, p.4157 (1994).
- H. Sugai, H. Toyoda, T. Nakano, and M. Goto, Contrib. Plasma Phys., vol. 35, p.415 (1995).
- G. Cunge and J. P. Booth, J. of Appl. Phys., vol. 85, p. 3952 (1999).
- E.Stoffels, W.W.Stoffels, D. Vender, M. Kondo, G.M.W.Kroesen and F.J. deHoog, Phys.Rev.E, vol.51, p.2425, (1995).
- E.Gogolides, M. Stathakopoulos and A. Boudouvis, J. Phys. D: Appl. Phys., vol.27, p.1878, (1994).
- R.N.Franklin, P.G.Daniels and J. Snell, J .Phys. D: Appl. Phys., vol.26, p.1638, (1993).
- OftD.P.Lymberopoulos and D.J.Economou, IEEE Trans. Plasma sci., vol.23, p.573, (1995).
- О/.V.V.Ivanov, K.S.Klopovsky, D.V.Lopaev, Yu.A.Mankelevich, A.T.Rakhimov and T.V.Rakhimova, in Electron Kinetics and Applications of Glow Discharges ed. by Uwe Kortshagen and Lev D. Tsendin NATO ASI Series, Series B: Physics vol .367, p.37, (1997).
- D.V.Vender, W.W.Stoffeels, E. Stoffels, G.M.W.Kroesen and F.J.deHoog, Phys.Rev.E, vol.51, p.2436, (1995).
- V.A.Feoktistov, D.V.Lopaev, K.S.Klopovsky, A.M.Popov, O.B.Popovicheva, A.T.Rakhimov, T.V.Rakhimova, J.ofNucl.Mater, vol.200, p.309, (1993).
- C.M.Ferreira, G. Gousset and M. Touzeau, J.Phys.D:Appl.Phys., vol.21, p. 1403, (1998).
- A.J.Lichtenberg, V. Vahedi and M.A.Liberman, J.Appl.Phys., vol.75, p.2339, (1994).
- I.G.Kouznetsov, A.J.Lichtenberg and M.A.Liberman, Plasma Sourc.Sci. Technol, vol.5, p.662, (1996).
- M.Shibata, N. Nakano and T. Makabe, J.Phys.D:Appl.Phys» vol.30, p.1219, (1997).
- D.Hayashi and K. Kadota, J.Appl.Phys., vol.83, p.697, (1998).
- D. Pagnon, J. Amorim, J. Nahorny, M. Touzeau and M. Vialle, J. Phys. D, vol. 28, p.1856 (1995).
- G. Gousset, C.M. Ferreira, M. Pinheiro, P.A. Sa, M. Touzeau, M. Vialle and J. Loureiro, J. Phys. D, vol. 24, p.290 (1991).
- H.V.V.Ivanov, K.S.Klopovsky, D.V.Lopaev, A.T.Rakhimov and T.V.Rakhimova, IEEE Trans. Plasma sci., vol.27, p. 1279, (1999).
- Franklin R.N., Snell J., J.Phys. D, vol. 27, p. 2102, (1994).
- V.A.Feoktistov, V.V. Ivanov, A.M.Popov, A.T.Rakhimov, T.V.Rakhimova, D. I Slovetsky and V.N. Volynets, J.Phys. D: Appl.Phys., vol. 30, p.423, (1997).
- Мак-Даниэль И. и Мэзон Э., «Подвижность и диффузия ионов в газах», М., Мир, 1976, с. 142.
- L. Magne, Н. Coitout, G. Chernogora and G. Gousset, J. Phys. Ill France, vol.3, p. 1871 (1993).
- Y.C. Kim and M. Boudart, Langmuir, vol. 7, p.2999 (1991).
- H. Sabatil, S. Pfau, Plasma Chem. Plasma Process, vol.5, p.67 (1985).
- G. Carty, L. Magne and G. Cernogora, J. Phys. D, vol. 32, p. L53 (1999).
- K.S. Klopovskiy, D.V. Lopaev, N.A. Popov, A .T. Rakhimov amd T.V. Rakhimova, J. Phys. D» vol. 32, p. 3004 (1999).