Выращивание многокомпонентных твердых растворов соединений А3 В5 в области термодинамической неустойчивости методом зонной перекристаллизации градиентом температуры
Диссертация
Рост скорости кристаллизации эпитаксиальных слоев AlGabiAsP на подложках InP во всем диапазоне толщин жидкой зоны с увеличением концентрации висмутд в растворе-расплаве обусловлен уменьшением теплопроводности расплава и повышением растворимости исходных компонентов в нем. В ПТР InxAlyGaixyAszSbiz/GaSb наблюдается снижение скорости кристаллизации при увеличении содержания более тугоплавких… Читать ещё >
Список литературы
- Алферов Ж.И. Полупроводниковые гетероструктуры. (Обзор)// ФТП.-1977.-Т. 11 .-С.2072−2083.
- ДолгиновЛ.М., Елисеев П. Г., Исмаилов И. Инжекционные излуча-тельные приборы на основе многокомпонентных полупроводниковых твердых растворов // Итоги науки и техники. Радиотехника.-М.: ВИНИТИ, 1980.-т. 21.-C.3−115.
- БатураВ.П., ВигдоровичВ.Н., Селин А. А. Четырехкомпонентные твердые растворы соединений А3В5- перспективны. е материалы оп-тоэлектроники. Зарубежная электроника и техника. -М.: Наука, 1980.-С. 3−52.
- Алферов Ж.И. история и будущее полупроводниковых структур// ФТП.-1998.-т.32.-С.З-17.
- Мильвидский М.Г. Полупроводниковые материалы в современной электронике М.: Наука, 1986.-144 е., ил.
- Осинский В.И., Привалов В. И., Тихоненко О. Я. Оптоэлектронные структуры на многокомпонентных полупроводниках.-Минск: Наука и техника, 1981. -208с.
- Мильвидский М.Г., Освенский В. Б. Структурные дефекты в монокристаллах полупроводников.-М.: Металлургия, 1984.-256с.
- ДжафаровТ.Г. Дефекты и диффузия в эпитаксиальных структурах,-Л.: Наука, 1978.-208с.
- Лозовский В.Н., Лунин Л. С. Пятикомпонентные твердые растворы соединений А3В5 (новые материалы оптоэлектроники).- Ростов-на-Дону, издательство Ростовского университета, 1992,193 с.
- Ю.Чарыков Н. А., Литвак A.M. Михайлова М. П. и др. Твердый раствор1. xGai-xAsySbzPi.y.z: новый материал инфракрасной оптоэлектроники. 1.
- Термодинамический анализ условий получения твердых растворов, изопериодных подложкам InAs и GaSb методом жидкофазной эпитаксии.// ФТП.-1997.-т.31, № 4, С.410−415.
- П.Лунин Л. С., Аскарян Т. Г., Овчинников В. А. Исследование полупроводниковых гетероструктур InAlGaAs Sb/GaSb.//Изв .Сев. Кавк.науч. центра высш. шк. Естественные науки, — 1991, — № 3.-С.39−43.
- Вигдорович В.Н., Селин А. А., Ханин В. А. Анализ зависимости свойств от состава для пятикомпонентных твердых растворов.// Изв. АНСССР. Неорганические материалы- 1982.-t.18, № 10.-С. 1697−1699.
- Ратушный В.И., Благин А. В. Фотоприемники дальней ИК-области на основе гетероструктур InGaAsSbBi/InSb, полученных из жидкой фазы в поле температурного градиента. // Труды докладов III Всероссийской конф., г. Таганрог, 1996.-С.26.
- Chui Т.Н., Tsang W.T., CHU S.N.G., Shun J. Molecular beam epitaxy of GaSbo. s As0,5 and AlxGaix SbyAsi. y lattice matched to InP.// Appl.Phys.Letter -1985., Y.46,№ 4 P. 408−410.
- Акчурин P.X., Сахарова T.B., Тарасов А. В. Уфимцев В.Б., Эпитакси-альный рост InAsi-xySbxBiy на подложках из InSb из висмутовых расплавов.// Неорганические материалы, т.28., № 3,1992, с.502−506.
- Берг А. И Дин П. Светодиоды.:Пер. с англ. -М.: Мир, 1973.-130с./Berg A.A. and Dean P.J. Light-Emitting diodes/
- Lendway E., Gevorkyan V.A., Petras L., Pozcqai I. Liquid phase epitaxy of AlGaInSb//J.ofCryst. Growth.- 1985.-Vol.73.-P.63−72.
- B.B. Кузнецов, П. П. Москвин, В. С. Сорокин. Неравновесные явления при жидкостной гетероэпитаксии полупроводниковых твердых растворов. М.: Металлургия, -1991, -175с.
- Сорокин B.C., Рубцов Э. Р. Расчет спинодальных изотерм в пятикомпонентных твердых растворах, А ШВУ. // ФТП, т.27. № 11/12, 1993, с.1931−1943
- Mahajan S., Dutt B.V., Temkin Н. Spinodal decomposition in InGaAsP epitaxial layers. //J.ofCryst. Growth.- 1984.-Vol.68,№ 2.-P.589−595.
- Васильев В.И., Дерягин А. Г., Кучинский В. И. и др. Свойства твердых растворов GalnAsSb в области спинодального распада, полученных из сурьмянистых растворов-расплавов методом жидкофазной эпитаксии. // Письма в ЖТФ, — 1998.-t.24, № 6, — С.58−62.
- Малышкин В.Г., Щукин В. А. Развитие неоднородностей состава при послойном росте эпитаксиальной пленки твердых растворах полупроводников А3В5./ ФТП т.27.№ 11/12,1993 г., -1943 с.
- Ипатова И.П., Малышкин В.Г.и др. Образование периодических структур с модулированным составом при когерентном разделении фаз в четырехкомпонентных твердых растворах полупроводников А3В5. /ФТП т.27.№ 11/12,1993 г., -1943 с
- Henoc P., Israel A., Launois М. Composition modulation in liquid phase epitaxial InGaAsP layers lattice matched to InP substrates./Appl.Phys.Let.-1988, — Vol.40, № 11, — P.963−965.
- А.Г.Хачатурян Теория фазовых превращений и структура твердых растворов. Монография. М.:Наука, 1974 г.-384с., ил.
- Скрипов В.П., Скрипов А. В. Спинодальный распад (Фазовый переход с участием неустойчивых состояний)/ Успехи физических наук. Т.128, № 2, 1979, с.193−231. (обзор).
- Lendvey Е., G6rOg T., TothA.L. LPE growth of GaAsbxSbx// J. Cryst. Growth.- 1981.-Vol. 53, № 3, — P.591−597.
- Gratton M.F., Goodchild R.G. Miscibility gan in GaAsySbiy system. //J.Electron. Mater. -1979, — Vol.8, №l.-P.25−29.
- Cherng M.J., Stringfellow G.B., Kisker D.W. Srivastava A.K. Zysking J.L. GalnAsSb metastable alloys grown by organ-metallic vapor phase epitaxy.// Appl. Phys. Lett.- 1986,-Vol. 48, № 6.-P.419−421.
- Nahory R.E., Pollack M.A., Beebe E.D. e.a. The liquid phase epitaxy of AlyGai. yAsxSbix and the importance of strain effects near the miscibility gap.//J. Electrochem.Soc.- 1978, — Vol. 125, № 7.-P.1053−1058.
- Quillec M., Benchimol J.L., SlempkesS., Launois H. High mobility in liquid liquid phase epitaxial InGaAsP free of composition modulation. //Appl. Phys. Lett.- 1983.-Vol. 42, № 10.-P.886−887.
- Kudela R., Morvic M., Imnisability in InixGaxAsiyPy lattice matched to GaAs. //Phys. Status Solidi. 1986.-Vol.A95, №l.-P.kl-k3.
- Lapierre R.R., Okada Т., Robinson B.J., Thompson D.A. Spinodal-like decomposition of InGaAsP (lOO)InP grown by gas sourse molecular beam epitaxy. //J. Cryst.Growth.-1995., V.155, № 1−2, — P. 1−15 .
- Quillec M., Pearsell Т., Daguet C. The compositional uniformity of GaxInixAsyPiy grown by near-equilibrium cooling LPE. // Gallium Arsenide and Relat. Compounds. Pap. 8-th Int. Symp., 1980.-Bristol-London 1981.-P.105−113.
- Jim Sung Won, Seong Tae-Yeon, Lee J.N. Naturally formed InxAlixAs /InyAliyAs vertical superlattices. //. Appl.Phys. Lett.- 1996, — Vol.68, № 24 -P.3443−3445.
- Stringfellow G. B Immiscibility and spinodal decomposition in III / V alloys //J. Cryst.Growth.-1983., V.65, № 1−3, — P. 454−462 .
- Stringfellow G.B., Miscibility gaps in quaternary III/V alloys. // J. Cryst. Growth.- 1982-V 58, № 1, p.194−202.
- Onabe K. Calculation of miscibility gaps in quaternary InGaAsP with strictly regular solution approximation.//Jap.J. Appl.Phys.- 1982- Vol.21, № 5 P.797−798.
- Onabe К. Unstable regions in type Ai. xy BxCiyD III-V quaternary solid solutions calculated with strictly regular solution approximation //Jap.J. Appl.Phys.- 1983 V.22, № 2 — P. 287−291.
- Пригожин И, Дефей Р. Химическая термодинамика // пер. с англ. -Новосибирск: Наука, 1966, -510с.
- Казаков А.И., Мокрицкий В. А. и др. Расчет фазовых равновесий в многокомпонентных системах,— М.: Металлургия, 1987, 136с.
- Литвак A.M., Чарыков Н. А. Новый термодинамический метод расчета фазовых диаграмм двойных и тройных ситем, содержащих In, Ga, As, Sb. //Неорганические материалы.-199l.-т.27, № 2, — С.225−230.
- Ilegems М. Panish М.В. Phase equilibria in III-V quaternary systems-application to Al-Ga-P-As. // J.Phys.Chem.Sol.- 1974.-Vol.35.-P.409−420.
- Аскарян Т.А. Исследование гетеросистем на основе пятикомпонент-ных твердых растворов A1TIBV. // Канд. Диссертация, — Новочеркасск.-1980.-с.110−189.
- Уфимцев В.Б., Акчурин Р. Х. Физико-химические основы жидкофаз-ной эпитаксии,— М.: Металлургия, 1983, 224с.
- Казаков В.В. Твердые растворы AlGalnAsP на основе GaAs и InP, полученные в поле температурного градиента и их свойства. // Канд.диссертация. Новочеркасск. 1996. с. 100−150.
- Лозовский В.Н., Лунин Л. С., Попов В. П. Зонная перекристаллизация градиентом температур полупроводниковых материалов.-М. Металлургия, 1987, 232с.
- Сысоев И.А. Метод зонной перкристаллизации градиентом температур в технологии оптоэлектронных приборов на основе многокомпо5 5нентных полупроводниковых соединений, А В . // Канд. Диссертация. -Новочеркасск. 1993. с. 120.
- Ратушный В.И., Благин А. В., Казаков В. В. Твердые растворы GalnAsSb/InSb и использование фотоприемников на их основе в оптоэлектронных автоматических системах. //Тезисы докладов МНТК, т.1.- Набережные Челны.-1996.-С. 198.
- Васильченко Н.Д., Дьяченко ВА., Марончук И. Е. Микровключения растворителя в эпитаксиальных структурах, выращенных из жидкой фазы. // Автометрия.- 1980, № 6, — С.32−37.
- Благин А.В. Зонная перкристаллизация градиентом температуры в многокомпонентных системах на основе антимонида индия.// Канд.диссертация. Новочеркасск. 1996. с. 60−89.
- Постников B.C., Паршин А. В., Рембеза С. П. Внутреннее трение в полупроводниковых группах AmBv, содержащих включения матричного металла. // Письма в ЖТФ, — 1978.-т.4,№ 12,С.65−68.
- Судзуки Т., Есинага X., Такеути С. Динамика дислокаций и пластичность: Пер. с. Япон.- М.:Мир, 1989.-296с., ил.
- Красильников B.C., Югова Т. Г. и др. Влияние состава твердых растворов на условия когерентного роста эпитаксиальных слоев GaxIni xAsyP.y. // Кристаллография, т. ЗЗ, вып.6, 1988, С. 1469−1477.
- Вдовин В.И., Красильников B.C., Югова Т. Г. Влияние природы и соо сстава четверных растворов соединений, А В на формирование дислокационной структуры в эпитаксиальных гетерокомпозициях.// Кристаллография, т.36, 1991, № 3, С.744−749.
- Петухов Б.В. Влияние флуктуаций состава на кинетику дислокаций в пленках твердых растворов полупроводников.// ФТП.-1995, т.29, вып.1,-С.104−113.
- Tashicawa S. Reduction of dislocation generation for geteroepitaxial III-V/Si by slow cooling. // J. Cryst. Growth.- 1998.-Vol.l-2.-P.194−202.
- Лунин Л.С., Овчинников В. А., Алфимова Д. Л. и др. Физико-химические равновесия в системе In-Ga-As-Sb-Bi. // Изв. ВУЗОВ Сев. Кавк. Регион. Естественные науки.-1998.-№ 2, С.85−97.
- Акчурин Р.Х., Сахарова Т. В., Тарасов А.В, Уфимцев В. В. Эпитаксиаль-ный рост InAsi-x-ySbxBiy на подложках из InSb из висмутовых растворов.
- Неорганические материалы.-1992.-т.28,№ 3.-С.501−503.
- Абдулаев Г. Б., Джафаров Т. Д. Атомная диффузия в порлупроводниковых струткурах.-М.: Атомиздат, 1980, 280с.
- Регель А.Р., Глазов В. М. Периодический закон и физические свойства электронных расплавов.-М.: Наука, 1978.-309с
- Иевлев В.М., Трусов П. И., Холмянский В. А. Структурные превращения в тонких пленках, — 2-е изд., перераб. И доп., — М.: Металлургия.-1988.-326с.
- Стрельченко С.С., Лебедев В. В. Соединения А3В5 : Справочник-М.: Металлургия, 1984.-144с.
- Соколов В.И. Проблемы микроэлектроники. (Диффузия, дефектооб-разование, деградация). // ФТП, 1995.-т.29, вып. 5, — С.842−855.
- Благин А.В., Ермолаева Н. В., Труфманов А. П. О возможном механизме формирования сверхрешеток в висмутсодержащих многокомпо3 5нентных пленках, А В . //Труды шестой международной научно-технической конференции. Таганрог, 1999, С.65
- Казаков В.В., Ермолаева Н. В., Мышкин A.J1. Исследование зависимости структурного совершенства многокомпонентных твердых растворов типа А3В5 от уровня их легирования висмутом// Сборник научных трудов, Новочеркасск, 2000с.46−50.
- Сорокин B.C. Эффект стабилизации периода решетки в четырехком-понентных твердых растворах. //Кристаллография, т.31, вып.5,1986,с844−851.
- Brantley W.A. /Я. Appl.Phys., 1973, V.44, Р.534.
- Van der Merve J.H., Ball C.A.B. // Epitaxial growth. N.Y.: Acad. Press, 1975. P.493
- Brantley W.A. // J. Appl.Phys., 1973, V.44, P.534
- Труфманов А.П., Благин A.B., Ермолаева H.B., Идентификация состава многокомпонентных гетероструктур с помощью искуственных нейронных сетей// Труды II Международной НПК, С-Петербург, 2000 г., с.352−353.
- Благин А.В., Труфманов А. П., Ермолаева Н. В. Оценка состава многокомпонентных твердых растворов по их спектральным характеристикам.// Международная конференция по оптике полупроводников, Ульяновск, с. 155.
- Брябрин В.М. Программное обеспечение персональных ЭВМ,-М.:Наука, 1988.-272с.81 .Романовская JI.M., Русс Т. В., Свитковский С. П. Программирование в среде СИ для ПЭВМ ЕС.- М.: Финансы и статистика, 1992, — 352 е., ил.
- Васильев Ф.П. Численные методы решения экстремальных задач.-М.: Наука, 1980,250 с.
- De Cremox В. // J. Physiqua.-1982.-Vol.43?-P.C5−19-C5−27.
- Ермолаева Н. В, Благин А. В, Труфманов А. П. Моделирование устойчивости межфазных границ пятикомпонентных твердых растворов типа А3В5 в поле градиента температур.// Труды II Международной НПК, С-Петербург, 2000 г., с. 128−130.
- Благин А.В., Катаев В. Ф., Ермолаева Н. В. Исследование фазовых превращений при кристаллизации твердого раствора AlGalnSbBi в поле температурного градиента// Труды седьмой международной научно-технической конференции. Таганрог, 2000, С.151−153.
- Xu Z. L., Хи W.J., Li 1. Liquid phase epitaxy growth of AlxGayInix yPzAsiz/GaAs with direct band gap up to 2,0 eV.
- Уфимцев В.Б., Арбенина В. В. Особенности поведения примесей редкоземельных металлов при кристаллизации соединений АШВУ из гал-лийсодержащих расплавов//Неоранические материалы, 1996. том 32, № 10.с.1171−1177.
- Воронина Т.И., Джуртанов Б. Е. Электрические свойства твердых растворов нва основе GaSb/GalnAsSb, GaAsSb, GaAlAsSb.// ФТП.-1998, т.32,№ 3.-С.278−284.
- Арбенина В.В., Акчурин Р. Х. и др. Анализ путей снижения концентрации фоновых примесей в эпитаксиальных слоях InSb // Высокочистые вещества. 1990.№ 2. С. 186−191.
- Ермолаева Н.В., Казаков В. В. Влияние различных факторов и состава твердого раствора в системе Al-Ga-In-P-As на формирование дислокационной структуры эпитаксиальных слоев.// Изв. ВУЗОВ Сев.-Кавк. Регион. Техн. Науки, — 2001.-№ 2.-С.88−90.
- Арсентьев П.П., Коледов JI.А. Металлургические расплавы и их свойства.-М.: Металлургия.-1976.-456с.
- Takahei К., Nagai Н. //Jap. J. Appl. Phys.-1981.-v.20.-№ 4.-P.L3131.16.
- Ермолаева H.B. Благин А. В. Исследование условий формирования гетероструктур AlGalnSbBi на подложках InSb в поле температурного градиента.// Сборник научных трудов, Новочеркасск, 2000, с.50−54.
- Столяров С.М. Получение многокомпонентных полупроводниковых материалов на основе соединений А3В5 с заданными свойствами.// Канд.диссертация. Новочеркасск. 1998. с. 65−78.
- Ахмедов Д.П. Получение й исследование гетероструктур и приборов на основе твердых растворов InGaAsP.// Канд.диссертация.- 1985, с. 185
- Putley Е.Н.,// Prog. Phys.Soc., 1959.V.73, Р280.
- J. Hlasnic., // Sol.St. Electron., У.8, P.461, 1965.