ΠΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ
ΠΠ°ΠΊΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ Π΄Π»Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΎΡ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π΅ΠΊΠΎΡΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅. ΠΠ½ΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΡΠΌΠΈ, Π±Π΅ΡΠΏΠΎΡΠΈΡΡΡΠΌΠΈ, Π³Π°Π·ΠΎΠΈ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ½Π΅ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΡΠΌΠΈ, Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΠΌΠΈ, ΡΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ, ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡΡ. Π Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡΠΌ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π»ΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ: ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ , ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ² ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ… Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
ΠΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
Π ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ: ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅, Π»Π°ΠΊΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅, Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅, ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ ΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°ΠΌΠΈ. ΠΠ½ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΈ Π½Π΅ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ. ΠΡ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠ΅ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ ΠΊ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° ΠΎΡ ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ. Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π½Π΅ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ Π½Π΅ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΌΠ°Π»ΠΈ, ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΡΠΎΠΌΠ°, ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ° ΠΈ Π΄Ρ. Π ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡΡ Π»Π°ΠΊΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ, ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΡΠΌΠΎΠ»Π°ΠΌΠΈ, ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠ°ΠΌΠΈ, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΡΠ΅Π·ΠΈΠ½ΠΎΠΉ.
ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ. ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ. Π ΡΠΎ ΠΆΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠΎΠ»Π΅ΠΏΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ, ΠΈ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ, ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠ°Ρ , Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±Π»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ ΡΠ³ΠΎΡΠ°Π½ΠΈΡ. ΠΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΡΠ°ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΡ Ρ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠ°ΠΌΠΈ ZrC2, Π12Π3, Π‘Π΅Π2 ΠΈ Ρ. Π΄., ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ Π΄ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ 1260 Β°C.
ΠΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½Π°Ρ ΡΠΌΠ°Π»Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ Π²Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π² ΡΠΈΡΠ»ΠΎ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ, ΡΠ°ΠΌΡΡ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΡ ΠΊ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ Π² Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄Π°Ρ . ΠΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠΌΠ°Π»ΠΈ Π½Π΅ ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΠ°Ρ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡΡ, ΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Ρ ΠΎΡΠΎΡΡΡ Π·Π°ΡΠΈΡΡ Π΄ΠΎ 600 Β°C.
Π ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠ°ΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡΡ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΡΡ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ΄Π°ΡΠ°Ρ .
ΠΠ°ΠΊΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ
ΠΠ°ΠΊΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ Π΄Π»Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΎΡ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π΅ΠΊΠΎΡΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅. ΠΠ½ΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΡΠΌΠΈ, Π±Π΅ΡΠΏΠΎΡΠΈΡΡΡΠΌΠΈ, Π³Π°Π·ΠΎΠΈ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ½Π΅ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΡΠ°Π΅ΠΌΡΠΌΠΈ, Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΠΌΠΈ, ΡΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ, ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡΡ. Π Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡΠΌ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π»ΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ: ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ , ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ² ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ, ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ΅ΠΉ, Π±Π΅Π½Π·ΠΈΠ½Π° ΠΈ Ρ. ΠΏ.
ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ ΡΡΠ°ΠΏΠΎΠ²: ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ, Π΅Π΅ ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΈ ΡΡΡΠΊΠΈ, ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΠΊΠΈ. ΠΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΡ, Π²ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, Π³ΡΡΠ½ΡΠΎΠ²ΠΊΡ ΠΈ ΡΠΏΠ°ΡΠ»Π΅Π²ΠΊΡ Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌ ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΡΠΈΡΡΠΊΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ»ΠΎΡΠΌΠΈ. ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈ ΡΠΌΠ°Π»Π΅Π²ΡΠ΅ ΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΈ Π»Π°ΠΊΠΈ. Π‘ΡΠΎΠΊ ΡΡΡΠΊΠΈ Π½ΠΈΡΡΠΎΡΠΌΠ°Π»Π΅ΠΉ 30−40 ΠΌΠΈΠ½. ΠΡΠΈ Π²ΡΡΡΡ Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠΉ Π±Π»Π΅ΡΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ. ΠΠ°ΡΠ»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈ ΡΠΏΠΈΡΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΌΠ°Π»ΠΈ ΡΠΎΡ Π½ΡΡ 24−48 Ρ. Π ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΡΡΡΠΊΠΈ ΡΠΌΠΎΠ»Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ»ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΡΡΡΡ, ΠΈΡΠΏΠ°ΡΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ.
ΠΠ»Π°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ
ΠΠ»Π°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π°Π½ΡΠΈΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ , Π΄Π΅ΠΊΠΎΡΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΈ Π°Π½ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ. ΠΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡ Π³Π°Π·ΠΎΠΏΠ»Π°ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Π²ΠΈΡ ΡΠ΅Π²ΡΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠΌ. ΠΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ ΡΠ»ΡΠΆΠ°Ρ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΡ (ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΡΠΈΠ»Π΅Π½, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΏΡΠΎΠΏΠΈΠ»Π΅Π½, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ°ΠΌΠΈΠ΄, ΠΊΠ°ΠΏΡΠΎΠ»Π°ΠΊΡΠ°ΠΌ, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ²ΠΈΠ½ΠΈΠ»Π±ΡΡΠΈΡΠ°Π»Ρ, ΡΡΠΎΡΠΎΠΏΠ»Π°ΡΡ, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΡΠ°Π½) Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΎΠ΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ°, ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅ Π² Π²ΡΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΊΡΡΠ΅Π΅ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅. Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ 0,15−0,35 ΠΌΠΌ. ΠΠ°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°ΡΡ Π΄ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ 180−300Β°Π‘ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΡ. ΠΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ 2−5 Ρ. ΠΠ»Π°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡΠ΅ ΡΡΠ°Π»ΠΈ Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ².
ΠΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ
ΠΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΡ ΠΈΠ· Π΄Π²ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΏΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΠΎ, Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΌΠ΅ΡΠΈ. Π ΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΡΠ΅Π³ΠΎΡΠΈΠΈ ΡΠΌΠ΅ΡΠ°Π½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡΡ ΡΠ°ΠΊ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΠ΅ ΠΊΠ΅ΡΠΌΠ΅ΡΡ — ΡΠΌΠ΅ΡΠΈ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°. ΠΠ½ΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ Π² ΡΠ΅Π±Π΅ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ². ΠΠ²Π΅ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² ΠΈ ΠΊΠ΅ΡΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² — ΡΡΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π±ΡΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°ΡΠ²Π΅ΡΠ΄Π΅Π²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΌ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠΎΠ½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΡΠΊΠΈ.
ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΈΡΡ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡΡ, Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ Π²ΡΠ·ΠΊΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ.
Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΏΠΈΡΠΊΡ ΠΏΠ°ΡΠΎΠΌ ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°ΡΡ Ρ CVD (Chemical vapor deposition) — Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠΈΡΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΠ΅Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ CVD ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ.
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΌΠΈ Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ, — Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°, ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎΡ, Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ — ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° ΠΈ ΠΏΠ°Ρ — Π³Π°Π·. ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ CVD ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΏΡΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡΡ ΠΎΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π½ΠΈΠΆΠ΅ Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ . Π’ΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡΠ΅, Π²Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΡ ΡΠ΅Π°Π³Π΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΈ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠ°.