Четырехзондный метод. 
Влияние редкоземельных элементов на оптические свойства германия

Этот метод был предложен в 1953 г. Вальдесом. Сущность метода: на плоскую поверхность образца, размеры которого много больше расстояния между зондами (образец мощно считать полубесконечным) опускается 4 зонда (см. рис1.). Через крайние зонды (1 и 4) пропускается ток I, между средними зондами 2 и 3 измеряется падение напряжения U.

Рис. 1 Схема для измерения удельного эдектросопротивления.

Измерение производится компенсационным методом. Можно показать, что удельное сопротивление определяется из отношения:

где S — расстояние между зондами.

Эта формула может быть получена следующим образом. Если через контакт проходит ток I, то в точке, удаленной от контакта на расстояние r, плотность тока i, напряженность электрического поля и соответственно потенциал равны:

где, А — постоянная величина.

Знак потенциала определяется направлением тока.

Потенциалы 2-го и 3-го зонда, определяемые наложением потенциалов от первого и четвертого зондов, равны:

Разность потенциалов между средними зондами:

Из этой формула может быть рассчитано удельное сопротивление:

Расстояние между зондами обычно выбирается такими, чтобы оно было много меньше линейных размеров полупроводника. Обычно это расстояние для различных головок меняется от 100 мкм до нескольких миллиметров.