ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

Π₯имичСская ΠΈ элСктрохимичСская мСталлизация Π² производствС ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

ΠšΡƒΡ€ΡΠΎΠ²Π°ΡΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

Π’ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΉ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² элСктричСская связь ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, располоТСнными Π½Π° Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… слоях ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, осущСствляСтся с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ мСханичСских Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ: ΡˆΡ‚ΠΈΡ„Ρ‚ΠΎΠ², Π·Π°ΠΊΠ»Π΅ΠΏΠΎΠΊ, пистонов, ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… лСпСстков. МПП изготавливаСтся ΠΈΠ· Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… Π”ΠŸΠŸ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ прСссования, Π² ΠΎΡ‚вСрстия Π²ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Π»ΡƒΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΡˆΡ‚ΠΈΡ„Ρ‚Ρ‹, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ΄ дСйствиСм элСктричСского Ρ‚ΠΎΠΊΠ°, проходящСго Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΡˆΡ‚ΠΈΡ„Ρ‚… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

Π₯имичСская ΠΈ элСктрохимичСская мСталлизация Π² производствС ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ производства ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΡˆΠ»ΠΎ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΈΠΉ ΠΏΡƒΡ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ ΠΊ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΠΊΡƒ ΠΈ Ρ€ΡƒΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ луТСния, Π΄ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Ρ‹Ρ… Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… химичСских ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚рохимичСских процСссов. ΠšΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ, Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚ΠΎΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΌ зависят ΠΎΡ‚ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π° изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚. ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡Π΅Π½ΡŒ тСхнологичСских ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ входящих Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ производства ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚:

1) Π½Π°Ρ€Π΅Π·ΠΊΠ° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… отвСрстий — Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²Π΅ Π½Π°Ρ€Π΅Π·ΠΊΡƒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡˆΡ‚Π°ΠΌΠΏΠΎΠ²ΠΊΠΈ с ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΈΠ²ΠΊΠΎΠΉ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… отвСрстий Π½Π° Ρ‚СхнологичСском ΠΏΠΎΠ»Π΅.

2) химичСская мСталлизация ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ химичСских Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΉ осаТдСния ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ слоя, ΠΈΠ»ΠΈ подслоя ΠΏΡ€ΠΈ нанСсСнии основного слоя токопроводящСго рисунка Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌ способом.

3) Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ мСталлизация — ΠΏΡ€ΠΈ производствС ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π΅Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ для увСличСния Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ³ΠΎ слоя химичСской ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ нанСсСния Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ проводящСго слоя.

4) нанСсСниС рисунка схСмы Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡ… ΡΠ»ΠΎΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ для получСния Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ маски Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ осущСствлСнии процСссов ΠΈ Ρ‚равлСния проводящСго слоя.

5) Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст — Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ проводящСго рисунка схСмы.

6) ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ маски послС ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ.

7) ΠΎΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ мСталлорСзиста — Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈ нанСсСнный мСталлорСзист ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц.

8) нанСсСниС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ наносится Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ€Π°ΡΠΏΡ‹Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹, Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π»Π°ΠΊ, Ρ„Π»ΡŽΡΡ‹ Π°Ρ†ΠΈΡ‚ΠΎΠ½ΠΎΠΊΠ°Π½ΠΈΡ„ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΏΠΈΡ€Ρ‚ΠΎΠΊΠ°Π½ΠΈΡ„ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅.

ΠœΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹.

ΠžΠ΄Π½ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΎΡ‚ΠΆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ свой Π²Π΅ΠΊ, ΠΎΠ±ΠΈΠ»ΠΈΠ΅ элСмСнтов ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ рисунка Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ. Им Π½Π° ΡΠΌΠ΅Π½Ρƒ приходят двухсторонниС ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Π²ΠΎΠ΄ΠΊΡƒ практичСски любой слоТности.

Многослойная пСчатная ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° состоит ΠΈΠ· Ρ€ΡΠ΄Π° склССнных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… слоСв, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… находятся ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ, ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ отвСрстия, экраны, ΡˆΠΈΠ½Ρ‹ питания, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ выступы для присоСдинСния Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² элСмСнтов. Бохраняя всС достоинства ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°, МПП ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ прСимущСства:

Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высокая ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ (20 ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ слоСв);

ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Ρ‡Ρ‚ΠΎ обСспСчиваСт Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ быстродСйствия (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… Π² Π­Π’Πœ);

Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ экранирования Ρ†Π΅ΠΏΠ΅ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΊΠ°;

Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высокая ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ΄ воздСйствиСм Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… условий.

НСдостатки МПП:

Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ТСсткиС допуски Π½Π° Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с ΠžΠŸΠŸ ΠΈ Π”ΠŸΠŸ;

большая Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ проСктирования ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚овлСния;

ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ тСхнологичСского оборудования;

Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ всСх ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ;

высокая ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠ°Ρ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚ΠΎΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ способы получСния МПП ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρƒ создания элСктричСских мСТслойных соСдинСний.

Π’ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΉ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² элСктричСская связь ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, располоТСнными Π½Π° Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… слоях ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, осущСствляСтся с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ мСханичСских Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ: ΡˆΡ‚ΠΈΡ„Ρ‚ΠΎΠ², Π·Π°ΠΊΠ»Π΅ΠΏΠΎΠΊ, пистонов, ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… лСпСстков. МПП изготавливаСтся ΠΈΠ· Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… Π”ΠŸΠŸ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ прСссования, Π² ΠΎΡ‚вСрстия Π²ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Π»ΡƒΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΡˆΡ‚ΠΈΡ„Ρ‚Ρ‹, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ΄ дСйствиСм элСктричСского Ρ‚ΠΎΠΊΠ°, проходящСго Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΡˆΡ‚ΠΈΡ„Ρ‚, Ρ€Π°Π·ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ, образуя с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ припоя элСктричСскоС соСдинСниС с ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ (рис. 1, Π°). Π’ ΠΎΡ‚вСрстия ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒΡΡ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π·Π°ΠΊΠ»Π΅ΠΏΠΊΠΈ, пистоны, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΎΠ±Π»ΡƒΠΆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎ Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Π°ΠΌ ΠΈ Ρ€Π°Π·Π²Π°Π»ΡŒΡ†ΠΎΠ²Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ся (рис. 1, Π±). БоСдинСния ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠΎΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ°ΡΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌΡΡ Ρ„Π»Π°Π½Ρ†Π°ΠΌ пистонов, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ соСдинСния ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΡ‚Π±ΠΎΡ€Ρ‚ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ пистоном, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° (рис. 1, Π²). Π­Ρ‚ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ вСсьма Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΈ, ΠΏΠ»ΠΎΡ…ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ Π½Π΅ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ высокого качСства мСТслойных соСдинСний.

рис. 1. ΠœΠ΅ΠΆΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Π΅ соСдинСния мСханичСскими дСталями.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π²Ρ‹ΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² характСризуСтся Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ Π΅Π³ΠΎ осущСствлСнии мСТслойныС соСдинСния ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ², Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΊ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, Π²Ρ‹ΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… с ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ…одящих Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ отвСрстия Π² Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСских мСТслойных ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠ°Ρ…. Π’Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΎΡ‚Π³ΠΈΠ±Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½ΡƒΡŽ сторону МПП ΠΈ Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»ΡΡŽΡ‚ся ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΎΠΉ Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ΄ΠΊΠ°Ρ…. ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ (рис. 2, Π°):

ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΠΈΠ· ΡΡ‚Π΅ΠΊΠ»ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π½ΠΈ ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ (Π½Π°Ρ€Π΅Π·ΠΊΠ° Π² Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€);

ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ стСклоткани;

склСиваниС Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ диэлСктрика с ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΎΠΉ;

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка схСмы ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… слоСв;

Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст;

прСссованиС ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° МПП;

ΠΎΡ‚Π³ΠΈΠ±ΠΊΠ° Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π½Π° ΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ΄ΠΊΠΈ ΠΈ Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΡ…;

ΠΎΠ±Π»ΡƒΠΆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ повСрхности Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ², мСханичСская ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ;

ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ, ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ°.

Рис. 2 стадии формирования МПП: Π° ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π²Ρ‹ΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² 1-Π½Π°Ρ€Π΅Π·ΠΊΠ° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ; 2-ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ диэлСктрика; 3-нанСсСниС рисунка Π½Π° ΡΠ»ΠΎΠΉ; 4-Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ; 5-прСссованиС ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π°. Π± ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ 1-ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ; 2-нанСсСниС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π° Π½Π° ΡΠ»ΠΎΠΉ; 3-Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ; 4-ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΈΠ²ΠΊΠ° отвСрстий; 5-пСсовка ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° ΠΈ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ соСдинСний.

ΠŸΡ€ΠΈ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ толстая мСдная Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π° (Π΄ΠΎ 80 ΠΌΠΊΠΌ), ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‚ установку Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ИМБ с ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ. ΠšΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ слоСв Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ 20. ΠŸΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π° ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° — высокая ΠΆΠ΅ΡΡ‚ΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ мСТслойных соСдинСний, нСдостатки — ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ процСсса Ρ€Π°Π·Π²ΠΎΠ΄ΠΊΠΈ Π²Ρ‹ΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ ΠΈΡ… Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ установки навСсных элСмСнтов.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ основан Π½Π° ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ элСктричСских мСТслойных соСдинСний с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² навСсных элСмСнтов ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΡ‹Ρ‡Π΅ΠΊ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· тСхнологичСскиС отвСрстия, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ доступ ΠΊ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌ, ΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ (рис. 2, Π±):

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°;

нанСсСниС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка схСмы Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ слой;

Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст ΠΈ ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ рСзиста;

ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΈΠ²ΠΊΠ° отвСрстий Π² ΡΠ»ΠΎΡΡ…;

прСссованиС ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° МПП;

ΠΎΠ±Π»ΡƒΠΆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ, Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ элСктричСских соСдинСний.

Π’ ΡΠ»ΠΎΡΡ… Π²Ρ‹Ρ€ΡƒΠ±Π°ΡŽΡ‚ΡΡ отвСрстия: для ΡˆΡ‚Ρ‹Ρ€Π΅Π²Ρ‹Ρ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΊΡ€ΡƒΠ³Π»Ρ‹Π΅, для ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΡΠΌΠΎΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅. Для увСличСния ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π° Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ большС Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° отвСрстий. МПП ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚ΠΎΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ допускаСтся ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ° Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π­Π Π­. ΠšΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ слоСв — Π΄ΠΎ 12.

НСдостатки ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°: Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ попадания клСя Π½Π° ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ склСивании слоСв ΠΈ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΅Π³ΠΎ удалСния скальпСлСм; Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ процСсса ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π² ΡƒΠ³Π»ΡƒΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΡΡ…; отсутствиС элСктричСской связи ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ слоями; низкая ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… соСдинСний.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий характСризуСтся Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡΠΎΠ±ΠΈΡ€Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚ ΠΈΠ· ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… слоСв Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ диэлСктрика (Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… — одностороннСго, Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… — с Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ схСмами) ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Ρ… ΡΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΎΠΊ, ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€Π΅ΡΡΡƒΡŽΡ‚, Π° ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Π΅ соСдинСния Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий. ВСхнологичСский процСсс Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ (рис. 3, Π°):

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ диэлСктрика ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Ρ… ΡΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΎΠΊ;

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ рисунка ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ схСмы Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоСв фотохимичСским способом Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½ΠΎ Π”ΠŸΠŸ;

прСсованиС ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° МПП ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 160—180 Π‘ ΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ 2—5 МПа;

свСрлСниС отвСрстий Π² ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π΅;

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка схСмы Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоСв фотоспособом;

нанСсСниС слоя лака;

ΠΏΠΎΠ΄Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ диэлСктрика Π² ΠΎΡ‚вСрстиях Π² ΡΠΌΠ΅ΡΠΈ сСрной ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ кислот Π² ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΈ 4:1 ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ (605) Π‘ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 10—30 с. ΠŸΡ€ΠΈ этом растворяСтся смола стСклопластиков ΠΈ ΡΡ‚Π΅ΠΊΠ»ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π½ΡŒ ΡΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΎΠΊ устранСния слСдов наволакивания смолы, обнаТСния ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ ΠΈ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ контактирования;

химичСскоС ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ сквозных отвСрстий;

ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ слоя Π»Π°ΠΊΠ°;

Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ отвСрстий ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ Π΄ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ 25—30 ΠΌΠΊΠΌ Π² ΠΎΡ‚вСрстиях;

нанСсСниС мСталличСского рСзиста Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ (сплавы Sn—Pb, Sn—Ni);

ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя рисунка ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст;

освСтлСниС (ΠΎΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅) мСталличСского рСзиста;

мСханичСская ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° МПП (снятиС тСхнологичСского припуска);

ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ ΠΈ ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ°.

Рис. 3 стадии формирования МПП: Π° ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий 1- ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ; 2- нанСсСниС рисунка Π½Π° Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоях; 3- прСссованиС ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π°; 4-свСрлСниС отвСрстий; 5-ΠΏΠΎΠ΄Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ диэлСктрика. Π± ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠΏΠ°Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ прСссования 1- ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ; 2-ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ рисунка Π½Π° Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоях 3-Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ мСТслойных ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ²; 4-прСссованиС ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π°.

ΠšΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ МПП, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий, Π² Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ зависит ΠΎΡ‚ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ мСТслойных соСдинСний — Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†ΠΎΠ² ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ с ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ отвСрстиями. НадСТноС соСдинСниС образуСтся ΠΏΡ€ΠΈ ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ со ΡΡ‚Π΅Π½ΠΎΠΊ отвСрстий ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ эпоксидной смолы, Π½Π°Π²ΠΎΠ»Π°ΠΊΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ свСрлСнии. НаиболСС распространСнный способ очистки отвСрстий ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ — химичСскоС ΠΏΠΎΠ΄Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ диэлСктрика стСнок отвСрстий. Для этого ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ растворы кислот ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡ… ΡΠΌΠ΅ΡΠΈ, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ смСси кислот склонны ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π»ΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Ρ‹ травлСния Π² ΠΏΠΎΡ€Π°Ρ… диэлСктрика. Π—Π° Ρ€ΡƒΠ±Π΅ΠΆΠΎΠΌ наибольшСС распространСниС ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ» способ травлСния диэлСктрика Π½Π΅ Π² ΡΠΌΠ΅ΡΠΈ кислот, сначала Π² ΡΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Π² ΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ раствора с 30 Π΄ΠΎ 60 Π‘ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π° подтравливания диэлСктрика увСличиваСтся ΠΎΡ‚ 2—5 Π΄ΠΎ 40—50 ΠΌΠΊΠΌ, Π° ΠΏΡ€ΠΈ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ воздСйствия травящСго раствора с 1 Π΄ΠΎ 5 ΠΌΠΈΠ½ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π° подтравливания растСт ΠΎΡ‚ 25—50 Π΄ΠΎ 100—120 ΠΌΠΊΠΌ.

Π’ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ с Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ для подтравливания ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ агрСссивныС растворы (смСсь горячих ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… кислот), Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ постоянного контроля ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π½Π΅ΠΉΡ‚Ρ€Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ, Π±Ρ‹Π» ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ способ сухого ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ травлСния. Он ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΡƒΡŽ адгСзию ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π² ΠΎΡ‚вСрстиях, ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΈΠΉ Ρ†ΠΈΠΊΠ» ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΎΡ‚сутствиС ΠΏΠΎΠ±ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… эффСктов. Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Ρ€Π΅Π°Π³Π΅Π½Ρ‚Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ низкотСмпСратурная ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ° ΠΈΠ· ΡΠΌΠ΅ΡΠΈ Π³Π°Π·ΠΎΠ², Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ кислорода ΠΈ Ρ„Ρ€Π΅ΠΎΠ½Π° ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 50—350 Π‘ ΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ 0,13—260 Π“ΠŸΠ°. Плазма содСрТит свободныС Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΊΠ°Π»Ρ‹ (Π΄ΠΎ 90) ΠΈ ΠΈΠΎΠ½Ρ‹ (1%). РСкомСндуСтся ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π² ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π΄ΠΎ 50—70 Π‘. Плазма ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°Π΅Ρ‚ ΡΠΏΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡƒΡŽ смолу Π² Π»Π΅Ρ‚ΡƒΡ‡Π΅Π΅ вСщСство, Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ удаляСмоС ΠΈΠ· ΠΎΡ‚вСрстий. Никаких ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²ΠΎΠΊ ΠΈ ΡΡƒΡˆΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ Π½Π΅ Ρ‚рСбуСтся. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ процСсс сухой ΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ каТдая МПП помСщаСтся Π² ΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚ранство ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ располоТСнными Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹ΠΌΠΈ пластинами—элСктродами. Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ отвСрстия, ΡΠΎΠ²ΠΏΠ°Π΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ с ΠΎΡ‚вСрстиями Π² ΠœΠŸΠŸ.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий являСтся основным ΠΈ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ пСрспСктивным Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²Π΅ МПП, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ограничСния количСства слоСв, Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ поддаСтся Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°. Он ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ‚ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ МПП, ΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ для размСщСния Π½Π° Π½ΠΈΡ… элСмСнтов с ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΈ ΡˆΡ‚Ρ‹Ρ€Π΅Π²Ρ‹ΠΌΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ. Π‘ΠΎΠ»Π΅Π΅ 80% всСх МПП, ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Ρ… Π² ΠΌΠΈΡ€Π΅, изготавливаСтся этим ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠΏΠ°Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ прСссования характСризуСтся Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠ΅ слои МПП ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ сторонС Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈΠ· Π΄Π²ΡƒΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ½Π½Π΅Π³ΠΎ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ диэлСктрика, мСТслойныС соСдинСния — ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΎ-Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ отвСрстий Π² Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ°Ρ…, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ слои ΠΏΡ€Π΅ΡΡΡƒΡŽΡ‚ΡΡ, Π° Ρ€ΠΈΡΡƒΠ½ΠΎΠΊ Π½Π° Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… сторонах ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ выполняСтся ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ.

Π’ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ МПП Π½Π΅Ρ‚ прямой элСктричСской связи ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΌΠΈ слоями многослойной структуры, ΠΎΠ½Π° осущСствляСтся Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· внСшниС слои. Π‘Π»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π½Π΅ Π΄Π°Π΅Ρ‚ возмоТности ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°. Число слоСв МПП — Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅Ρ…. ВСхнологичСский процСсс Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ (рис. 3, Π±):

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ;

нанСсСниС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка схСмы Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоСв;

Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст ΠΈ ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка;

Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ мСТслойных элСктричСских соСдинСний ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΌΠΈ ΠΈ Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ слоями Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΎ-Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ;

прСссованиС ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° МПП (ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ отвСрстия ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ смолой Π²ΠΎ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΡ… Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ);

свСрлСниС отвСрстий ΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка схСмы Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоСв;

химичСскоС ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ сквозных отвСрстий;

Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ мСталличСского рСзиста;

Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π½Π° Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоях;

освСтлСниС мСталличСского рСзиста;

мСханичСская ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ°;

ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ, ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ°.

ΠŸΠΎΠΏΠ°Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ прСссованиСм ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ МПП, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ΡΡ навСсныС элСмСнты с ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΈ ΡˆΡ‚Ρ‹Ρ€Π΅Π²Ρ‹ΠΌΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ. НСдостатки ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° — низкая ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ получСния большого числа слоСв ΠΈ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΉ плотности ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ послойного наращивания характСризуСтся Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ Π΅Π³ΠΎ осущСствлСнии мСТслойныС соСдинСния Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ ΡΠΏΠ»ΠΎΡˆΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ (столбиками ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ), располоТСнными Π² ΠΌΠ΅ΡΡ‚Π°Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ. ВСхнологичСский процСсс Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ:

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ стСклоткани ΠΈ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ;

ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ диэлСктрика;

Π½Π°ΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ диэлСктрика Π½Π° Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Ρƒ;

Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ мСталлизация отвСрстия ΠΈ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΎ-Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ мСталлизация Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½ΠΎΠΉ повСрхности Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ;

нанСсСниС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка схСмы ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ;

Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π½Π°Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π² ΠΎΡ‚вСрстиях ΠΈ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΎ-Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ мСталлизация Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½ΠΎΠΉ повСрхности диэлСктрика;

Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст;

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ многослойной структуры ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΊΡ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ повторСния ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΎ-Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ Ρ‚равлСния;

напрСссовываниС диэлСктрика;

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ слоя;

Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст ΠΈ ΠΎΠ±Π»ΡƒΠΆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ;

мСханичСская ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ°;

ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ ΠΈ ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ°.

ΠŸΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹ΠΌ Π½Π°Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ МПП, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ навСсныС элСмСнты с ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ. НСдостатком Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° являСтся Π½Π΅Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ конструкции, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ нСльзя ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ диэлСктрики ΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ вСсти ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ†ΠΈΠΊΠ» изготовлСния многослойной структуры. Π‘Ρ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ изготовлСния МПП высокая. Достоинства ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° — Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ получСния большого числа слоСв (5 ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅) ΠΈ ΡΠ°ΠΌΡ‹Π΅ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½Ρ‹Π΅ мСТслойныС ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ соСдинСния. Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ качСствСнного сравнСния МПП, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π² Ρ‚Π°Π±Π». 1.

К Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ тСхнологичСским процСссам получСния МПП относятся прСссованиС ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π°, мСханичСская ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ. ΠŸΡ€Π΅ΡΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° МПП являСтся ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡ‹Ρ… Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… процСссов изготовлСния МПП, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΡ‚ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π° Π΅Π³ΠΎ выполнСния зависят элСктричСскиС ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ…аничСскиС характСристики Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ МПП. ВСхнологичСский процСсс прСссования состоит ΠΈΠ· ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ: ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° повСрхности слоСв ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ прСссованиСм; совмСщСниС ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… слоСв МПП ΠΏΠΎ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ отвСрстиям ΠΈ ΡΠ±ΠΎΡ€ΠΊΠ° ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π°; прСссованиС ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π°.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 1 — Π‘Ρ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ характСристика ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² изготовлСния МПП.

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ изготовлСния.

мСханичСскими дСталями.

ΠΏΠΎΠΏΠ°Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ прСссованиСм.

ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ.

Π²Ρ‹ΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ².

послойного наращивания.

ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ сквозных отвСрстий.

ΠšΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ слоСв.

ΠŸΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°.

Н.

Π‘.

Н.

Π‘.

Π‘.

Π’.

ΠΠ°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ мСТслойных соСдинСний.

Н.

Π‘.

Π’.

Π’.

Π’.

Π‘.

Π‘Ρ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊ Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΠΌ воздСйствиям.

Π‘.

Π‘.

Π‘.

Π’.

Π’.

Π‘.

Π Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚ΠΎΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ.

Н.

Н.

Π’.

Π‘.

Π‘.

Н.

ВСхнологичСская ΡΠ΅Π±Π΅ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ.

Π’.

Π‘.

Π‘.

Π’.

Π’.

Π‘.

Π₯имичСская ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚рохимичСская мСталлизация.

Π₯имичСская мСталлизация ΠŸΠŸ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ слоя ΠΈΠ»ΠΈ подслоя для нанСсСния основного слоя токопроводящСго рисунка Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌ способом ΠΏΡ€ΠΈ субтрактивном ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠ°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ основного слоя ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ.

Для придания диэлСктрику способности ΠΊ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ проводят Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ сСнсибилизация ΠΈ активация повСрхности.

БСнсибилизация (ΠΎΡ‚ Π»Π°Ρ‚. sensibilis — Ρ‡ΡƒΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ) повСрхности ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности диэлСктрика ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ².

Активация повСрхности диэлСктрика проводится Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π°Ρ… солСй Π±Π»Π°Π³ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ², прСимущСствСнно палладия, ΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΡΡ‚Π²ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌΡƒ осаТдСнию ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ.

Π₯имичСскоС осаТдСниС ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ — ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ-Π²ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ процСсс, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ происходит вслСдствиС восстановлСния ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π΄Π²ΡƒΡ…Π²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π½Π° Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… повСрхностях ΠΈΠ· Π΅Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ½Ρ‹Ρ… солСй.

Растворы для тонкослойного ΠΈ Ρ‚олстослойного мСднСния.

Π‘ ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ назначСния слоСв осаТдаСмой ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ растворы химичСского мСднСния ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π° ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Ρ‹ для тонкослойного ΠΈ Ρ‚олстослойного мСднСния. Π’ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ (Π΄ΠΎ 0,5−1,0 ΠΌΠΊΠΌ) ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Π΅ слои Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΡŽ подслоя Π² Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… процСссах ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ диэлСктриков, Π° Ρ‚олстыС слои (Π΄ΠΎ 20−40 ΠΌΠΊΠΌ) — Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΡŽ рисунков ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈΠ»ΠΈ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠ°Π±Π΅Π»Π΅ΠΉ Π² Π°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ. Π‘ΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ растворы ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ Π² ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π΅, Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ°Ρ… Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ ΠΈ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ях осаТдСния, Ρ‡Ρ‚ΠΎ сущСствСнно сказываСтся Π½Π° ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡ‚Π²Π°Ρ… ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ… слоСв.

Π’ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ Ρ‚олстыС ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ проводящими ΠΈ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ связанными с ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΎΠΉ. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, толстыС ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ устойчивы ΠΊ Ρ‚СрмичСским воздСйствиям Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ.

Боставы растворов ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ… Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ² сходны ΠΏΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π°ΠΌ, Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠ°ΠΌ, Ρ€Π΅Π³ΡƒΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ осаТдСния ΠΈ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ. Растворы толстослойного мСднСния Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½Π΅Π΅ растворов тонкослойного мСднСния, ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ осаТдСния ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ дСсятых Π΄ΠΎΠ»Π΅ΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ½Π° Π² Ρ‡Π°Ρ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅.

НаиболСС распространСнными растворами тонкослойного мСднСния ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚Π°Ρ€Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΈ Ρ‚Ρ€ΠΈΠ»ΠΎΠ½Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ растворы, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ растворы, содСрТащиС Π΄Π²Π° Π»ΠΈΠ³Π°Π½Π΄Π°. Боставы стабилизированных растворов тонкослойного химичСского мСднСния ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π² Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅ 2. Растворы с Ρ‚ΠΈΠΎΡΡƒΠ»ΡŒΡ„Π°Ρ‚ΠΎΠΌ натрия, диэтилдитиокарбоматом натрия, Ρ„Π΅Π½ΠΈΠ»Ρ‚ΠΈΠΎΠ³ΠΈΠ΄Π°Π½Ρ‚ΠΎΠΈΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ кислотой ΠΈ Ρ†ΠΈΡΡ‚Π΅ΠΈΠ½ΠΎΠΌ Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ для получСния токопроводящСго ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ подслоя Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности диэлСктриков любой ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Ρ‹, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ отвСрстий ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… субрактивным ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ. Растворы химичСского мСднСния с Ρ‚иосСмикарбазидом ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ для получСния Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Ρ… рисунков ΠΏΡ€ΠΈ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ диэлСктриков.

Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° (2).

ВолстыС (ΡΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅ 15 ΠΌΠΊΠΌ) слои ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Π΅ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… рисунок ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠ³ΠΎ кабСля, Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ пластичны (ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΡƒΠ΄Π»ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€Ρ‹Π²Π° Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 6%), ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ (ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π½Π° Ρ€Π°Π·Ρ€Ρ‹Π² 200−350 Н/ΠΌΠΌ2), элСктропроводны (ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ сопротивлСниС (2−5)Ρ…10-8 ΠžΠΌβ€’ΠΌ); Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΠΏΠ°ΡΡ‚ΡŒΡΡ, Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π±Π΅Π· растрСскивания, отслаивания, вздутия Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ… Ρ†ΠΈΠΊΠ»ΠΎΠ² ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΏΠ°Π΅ΠΊ. ΠŸΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π² ΡΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅, Ссли ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ процСсса Π½ΠΈΠΆΠ΅ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ критичСской скорости. ΠšΡ€ΠΈΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ зависит ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹: Ρ‡Π΅ΠΌ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° раствора, Ρ‚Π΅ΠΌ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ. НапримСр, для получСния ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ с Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ΅ΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈΠ· Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π° состава № 10 (Ρ‚Π°Π±Π». 3) ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ осаТдСния ΠΏΡ€ΠΈ 50 Β°C Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π½ΠΈΠΆΠ΅ 1 ΠΌΠΊΠΌ/Ρ‡, Π° ΠΏΡ€ΠΈ 70 Β°C ΠΎΠ½Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²ΠΎΠ·Ρ€Π°ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΄ΠΎ 5 ΠΌΠΊΠΌ/Ρ‡. ΠŸΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ влияниС Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ Π½Π° ΠΏΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, ΠΏΠΎ-Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΌΡƒ, ΠΎΠ±ΡŠΡΡΠ½ΠΈΡ‚ΡŒ большСй ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΌΠ΅Π»ΠΈ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ осаТдСния ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ, которая ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ кристаллов упорядочСнной структуры. Π’Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° критичСской скорости зависит ΠΈ ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ состава раствора: ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ², ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Ρ‹ Π»ΠΈΠ³Π°Π½Π΄Π°, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΎΠΊ.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° (3).

Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Π»ΠΈΠ³Π°Π½Π΄Π° Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π°Ρ… толстослойного химичСского мСднСния, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π°Ρ… тонкослойного мСднСния, Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ всСго ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Ρ‚Ρ€ΠΈΠ»ΠΎΠ½ Π‘. Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ процСсса толстослойного ΠΈ Ρ‚онкослойного химичСского мСднСния ΠΈΠ· Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ΠΎΠ² с Ρ‚Ρ€ΠΈΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠΌ Π‘ ΡΠΊΡΡ‚Ρ€Π΅ΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ зависит ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΈ Ρ€Π Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π°. ОсобоС Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ составлСнии Ρ€Π΅Ρ†Π΅ΠΏΡ‚ΡƒΡ€ растворов толстослойного мСднСния ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΎΠΊ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅, с ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ стороны, Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² ΡΠΎΡ‡Π΅Ρ‚Π°Π½ΠΈΠΈ с ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠ»Π΅ΠΌΠΎΠΉ для практичСских Ρ†Π΅Π»Π΅ΠΉ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ процСсса, Π° Ρ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ — Π½Π΅ ΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚Ρ€ΠΈΡ†Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ влияния Π½Π° ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΎΠΊ Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Ρ‹ вводят Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ блСскообразоватсли ΠΈ Π²Π΅Ρ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π° пластификаторы, ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ сниТСния количСства Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π°, Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π² ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ.

ОбилиС Ρ€Π΅Ρ†Π΅ΠΏΡ‚ΡƒΡ€ растворов толстослойного химичСского мСднСния ΠΈ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚орая ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΡ€Π΅Ρ‡ΠΈΠ²ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Ρ… Π² Π»ΠΈΡ‚Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΎΠ± ΠΈΡ… ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π°Ρ…, ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°Ρ… осаТдСния ΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡ‚Π²Π°Ρ… ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚Π΅Π»ΡŒΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° поиска ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ состава раствора Π΄ΠΎ ΡΠΈΡ… ΠΏΠΎΡ€ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π½Π΅ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½Π°.

ΠŸΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΡ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π³ΠΎ качСства с Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎ высокой для ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈΠ· Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ΠΎΠ², содСрТащих ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ½ΡƒΡŽ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΡƒ, Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½ΡƒΡŽ Π˜Π½ΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡƒΡ‚ΠΎΠΌ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΈ ΠΈ Ρ…имичСской Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ (Π³. Π’ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΡŽΡ). Π’ ΡΠΎΡΡ‚Π°Π² Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠΈ входят: диэтилдитиокарбомат (Π”Π”ΠšNΠ°) — 5 Π³/Π», ТСлСзосинСродистый ΠΊΠ°Π»ΠΈΠΉ (K4Fe (CN)6) — 70 Π³/Π», гидроксид аммония (NH4OH) — 102 ΠΌΠ»/Π». Π’ Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Ρ‹ химичСского мСднСния эта комплСксная Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠ° вводится Π² ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ 0,5 ΠΌΠ»/Π».

Π‘Ρ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π° ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия зависит ΠΎΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Ρ‹ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠΈ: Π² ΠΏΡ€ΠΈΡΡƒΡ‚ствии NaCN осаТдаСмая ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ состоит ΠΈΠ· Ρ‡Π°ΡΡ‚ΠΈΡ† Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ 2−5 ΠΌΠΊΠΌ с Ρ‡Π΅Ρ‚ΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΊΠΎΠΉ, Π° Π² ΠΏΡ€ΠΈΡΡƒΡ‚ствии V2O5 — ΠΈΠ· Π½Π΅Ρ‡Π΅Ρ‚ΠΊΠΎ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… частиц Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ Π΄ΠΎ 1 ΠΌΠΊΠΌ. ΠŸΡ€ΠΈ использовании раствора, содСрТащСго 2-ΠœΠ‘Π’, ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ сформированы ΠΈΠ· ΠΊΡ€ΡƒΠΏΠ½Ρ‹Ρ… столбчатых частиц, состоящих, Π² ΡΠ²ΠΎΡŽ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ, ΠΈΠ· ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 1 ΠΌΠΊΠΌ. Π£ΠΊΡ€ΡƒΠΏΠ½Π΅Π½ΠΈΡŽ Π·Π΅Ρ€Π΅Π½ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π² Ρ‚олстых ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°Ρ… ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΡ… Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹, ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ раствора ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π² Π½Π΅ΠΌ соли ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ гладкая ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ. ΠŸΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ сущСствСнно увСличиваСтся ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π²Π΅ ΠΈ Π²ΠΎΠ·Ρ€Π°ΡΡ‚Π°Π΅Ρ‚ с ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΅Π³ΠΎ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹. ВСроятно, это ΠΎΠ±ΡŠΡΡΠ½ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ, с ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ стороны, ΠΏΡ€ΠΎΡ‚Π΅ΠΊΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π²Π΅ процСссов, приводящих ΠΊ ΡƒΠΊΡ€ΡƒΠΏΠ½Π΅Π½ΠΈΡŽ кристаллов, Ρ‚ΠΎ Π΅ΡΡ‚ΡŒ ΠΊ ΡƒΠ΄Π»ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡŽ осСй скольТСния, Π° Ρ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ — Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡƒΠ»Π΅Ρ‚ΡƒΡ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ примСси (ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄, сСра, Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄ ΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ€ΠΎΠ΄).

АдгСзия химичСски осаТдСнных ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ опрСдСляСтся Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ ΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ повСрхности ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ (ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒ ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡΡ‚ΠΈ, Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏ), способом активирования ΠΈ Π² ΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅ΠΉ стСпСни — составом раствора ΠΈ ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΠΌΠΈ осаТдСния. ΠœΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡƒΠΌΡƒ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ (1300−1900 Н/ΠΌ) соотвСтствуСт структурированная ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ с ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ ΠΈ Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ густо (40 ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡƒΠ³Π»ΡƒΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ Π½Π° 100 ΠΌΠΊΠΌ2) располоТСнными ΠΊΠ°Π²Π΅Ρ€Π½Π°ΠΌΠΈ травлСния Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ 1−2 ΠΌΠΊΠΌ.

По ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ропроводности ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΈΠ· Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ΠΎΠ² толстослойного химичСского мСднСния Π² ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ°Ρ… ΠΈΡ… Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹, ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈ Π½Π΅ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΎΡ‚ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈ осаТдСнной ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ. Π‘ΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ зависит ΠΎΡ‚ ΠΈΡ… Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹, строСния ΠΈ ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π°. УдСльноС сопротивлСниС Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ, особСнно ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π² ΠΏΡ€ΠΈΡΡƒΡ‚ствии сСросодСрТащих Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΎΠΊ, Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠΎ. Π­Ρ‚ΠΎ связано с Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ΠΌ сСры Π² ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ΅, ΠΎΠ±ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π΅Π΅ ΡΡ‚ΠΎΠ»Π±Ρ‡Π°Ρ‚ΠΎΠ΅ строСниС. Π‘ Ρ€ΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ сопротивлСниС сниТаСтся.

ΠŸΡ€Π°Π²ΠΈΠ»Π° эксплуатации Π²Π°Π½Π½ химичСского мСднСния.

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ растворов химичСского мСднСния Π² ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Смкостях Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ΡΡŽΡ‚ Π² Π΄ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ»Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ ΡΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΡƒΡŽ мСдь, ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ ΠΈ Π΅Π΄ΠΊΠΈΠΉ Π½Π°Ρ‚Ρ€. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΡΠΌΠ΅ΡˆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Π΅ Π΄Π²Π° раствора ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎΠΌ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅ΡˆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ раствор Π΅Π΄ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Ρ‚Ρ€Π° ΠΈ Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ стабилизатора, послС Ρ‡Π΅Π³ΠΎ раствор Π² Π²Π°Π½Π½Π΅ доводят Π΄ΠΎ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π³ΠΎ уровня, Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ 8−10 часов, Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€ΡƒΡŽΡ‚ ΠΈ ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΠΎ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π΅ рН Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ NaOH ΠΈΠ»ΠΈ H2S04. Π€ΠΎΡ€ΠΌΠ°Π»ΠΈΠ½ вводят Π·Π° 10−20 ΠΌΠΈΠ½ Π΄ΠΎ Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π° Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹. ΠŸΡ€ΠΈΠ³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ раствор Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π°ΠΌ. Анализ Π½Π° ΡΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Π»ΠΈΠ½Π°, Π΅Π΄ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Ρ‚Ρ€Π° ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ проводят Π΅ΠΆΠ΅Π΄Π½Π΅Π²Π½ΠΎ.

ΠšΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ растворов. ΠšΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ растворов ΡΡƒΠ»ΡŒΡ„Π°Ρ‚ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, Ρ‰Π΅Π»ΠΎΡ‡ΡŒΡŽ ΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΌ проводят Π΅ΠΆΠ΅Π΄Π½Π΅Π²Π½ΠΎ Π² Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹, Π° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΌ — ΠΏΠΎ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ экспрСсс-Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°, 1 Ρ€Π°Π· Π² Π½Π΅Π΄Π΅Π»ΡŽ. Π‘Ρ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€ вводят Π² ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π³ΠΎ дня Π² ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ½ ΠΎΡ‚ Ρ€Π΅Ρ†Π΅ΠΏΡ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ значСния. На ΠΊΡ€ΡƒΠΏΠ½Ρ‹Ρ… прСдприятиях Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· Π²Π°Π½Π½Ρ‹ химичСского мСднСния проводят ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹Π΅ 2 часа ΠΏΠΎ NaOH, CuSO4, CH20, Ρ‚Ρ€ΠΈΠ»ΠΎΠ½Ρƒ Π‘. Для прСдотвращСния разлоТСния раствора Π² ΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΎΠ΄ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ хранСния (Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 24 часов) Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚ΡŒ Π΅Π³ΠΎ Π΄ΠΎ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹ рН = 5−6 Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ сСрной кислоты. ΠŸΡ€ΠΈ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π°Ρ… раствор рСкомсндуСтся ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠΈΡΠ»ΡΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎ Ρ€H = 12,2−12,3. МоТно Π²Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‰Π΅Π»ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ стабилизатор NaOH 180−200 Π³/Π»; Na2S203 0,05−0,06 Π³/Π».

ΠšΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ растворов Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Ρ‚Ρ€ΠΈΠ»ΠΎΠ½Π° Π‘ производят ΠΏΠΎ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° Π½Π° ΡΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, Ρ‰Π΅Π»ΠΎΡ‡ΠΈ ΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Π»ΠΈΠ½Π°. Π’Ρ€ΠΈΠ»ΠΎΠ½ Π‘ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ ΠΏΠΎ 5−7 Π³/Π» Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· 2−3 дня Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹. Для Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ хранСния Ρ‚Ρ€ΠΈΠ»ΠΎΠ½Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ растворы слСдуСт ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠΈΡΠ»ΡΡ‚ΡŒ сСрной кислотой Π΄ΠΎ Ρ€Π = 10,0−10,5. Для коррСктирования слСдуСт ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ растворы CuS04 200−250 Π³/Π» ΠΈ NaOH 400−600 Π³/Π». ΠŸΡ€ΠΈ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ использовании раствора мСднСния Π² Π½Π΅ΠΌ Π½Π°ΠΊΠ°ΠΏΠ»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… количСствах ΡΡƒΠ»ΡŒΡ„Π°Ρ‚Ρ‹ натрия ΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΠ°Ρ‚Ρ‹ натрия, Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ Ρ‡Π΅Π³ΠΎ Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡ€Ρ†ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² Π·Π°Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½Π΅Π½ΠΎ. Π’ ΡΡ‚ΠΎΠΌ случаС раствор Π½Π΅ ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚, Π° Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ свСТим.

Π‘ΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ способы ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ: ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ (Π΅ΠΆΠ΅Π΄Π½Π΅Π²Π½Ρ‹Π΅), пСриодичСскиС ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½Ρ‹Π΅.

ΠžΠ΄Π½ΠΎΡ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Π° ΠΏΡ€ΠΈ нСвысокой интСнсивности Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π²Π°Π½Π½, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° содСрТаниС основных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² Π²Π°Π½Π½Ρ‹ Π·Π° Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΡƒΡŽ смСну Π½Π΅ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ‚ся Π½ΠΈΠΆΠ΅ допустимого ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°.

ΠŸΠ΅Ρ€ΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ проводится послС ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ число Π·Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΎΠΊ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ врСмя Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ раствора. Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹, содСрТащиС 1−2 ΠΈΠ»ΠΈ 3−4 ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π° Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ растворС. ΠŸΡ€ΠΈ этом Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌ постоянный ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ раствора, Ρ‡Ρ‚ΠΎ услоТняСт ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ процСсса.

НСпрСрывный способ коррСктирования ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡ‚ΡŒΡΡ автоматичСской Ρ€Π΅Π³ΡƒΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ. Π Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½ способ с Π°Π²Ρ‚оматичСской ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡Π΅ΠΉ ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… растворов ΠΏΠΎ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Ρƒ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ°, ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΡΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ раствора Π² ΠΈΠ½Ρ„ракрасном свСтС. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ (1 Ρ€Π°Π· ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΠΎΠΌ смСны) раствор химичСского мСднСния Π·Π° 6 Ρ†ΠΈΠΊΠ»ΠΎΠ² мСднСния истощаСтся ΠΏΠΎ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π°ΠΌ Π½Π° 26,6−38%.

ΠŸΡ€ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎΠΌ ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π·Π° 16 Ρ†ΠΈΠΊΠ»ΠΎΠ² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ максимальноС ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ содСрТания всСх ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² раствора составляСт 5,7−8,4%, ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ нанСсСния покрытия Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Ρ‚Π΅Ρ€ΠΏΠ΅Π²Π°Π΅Ρ‚ сущСствСнных ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΎΡΡ‚Π°Π²Π°ΡΡΡŒ Π½Π° ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ 3−3,4 ΠΌΠΊΠΌ/Ρ‡.

ΠŸΡ€Π°Π²ΠΈΠ»Π° эксплуатации Π²Π°Π½Π½ химичСского мСднСния:

ΠŸΡ€Π΅Π΄ΡŠΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ высокиС трСбования ΠΊ Ρ‡ΠΈΡΡ‚ΠΎΡ‚Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠ² ΠΈ Π²ΠΎΠ΄Ρ‹. Π Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Ρ‹ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ чистыми ΠΈΠ»ΠΈ химичСски чистыми. Π’ΠΎΠ΄Π°, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ готовятся растворы, Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ обСссолСна дистилляциСй.

Π‘ Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ обновлСния раствора химичСского мСднСния Π² ΠΎΡ‚вСрстиях ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈ ΡƒΠΏΡ€ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΡ удалСния Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π° ΠΈΠ· ΠΎΡ‚вСрстий проводится ΠΏΠΎΠΊΠ°Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ: ΠΏΠ»Π°Π²Π½ΠΎΠ΅ ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅, 15−20 ΠΊΠ°Ρ‡Π°Π½ΠΈΠΉ Π² ΠΌΠΈΠ½ΡƒΡ‚Ρƒ ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ Ρ…ΠΎΠ΄Π° 50−100 ΠΌΠΌ. ΠŸΡ€ΠΈ этом ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ мСднСния увСличиваСтся Π² 3 Ρ€Π°Π·Π°.

НСобходимо ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΡƒΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒ Π·Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ Π²Π°Π½Π½ химичСского мСднСния (ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ 250 ΡΠΌ2/Π»).

Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌ ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ раствора (Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½Ρ‹ΠΉ).

Для стабилизации раствора Π² Π½Π΅Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΎΠ΄ Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ вводят Ρ‰Π΅Π»ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ стабилизатор Π² ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ 0,01 Π» Π½Π° 1 Π»ΠΈΡ‚Ρ€ Π²Π°Π½Π½Ρ‹. Бостав: NaOH 180−200 Π³/Π»; Na2S203 — 0,05−0,06 Π³/Π». МоТно ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ подкислСниС раствора. Для ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ качСства ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π²Π°Π½Π½Π° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π² Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ΅ ΠΊΡƒΠ±Π° с ΠΏΠ»Π°ΡΡ‚массовой Ρ„ΡƒΡ‚Π΅Ρ€ΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ. НСобходимо ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡƒΡΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ, ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ для очистки раствора ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΉ Π²Π°Π½Π½Ρ‹. ΠŸΡ€ΠΈ нСобходимости Π²Π°Π½Π½Ρƒ слСдуСт ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Π±Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π°Π·ΠΎΡ‚Π½ΠΎΠΉ кислотой HN03 (1:1), Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ.

Учитывая Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ растворов химичСского мСднСния, рСкомСндуСтся послС Π²Π°Π½Π½Ρ‹ с Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠΌ раствором ΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ Π²Π°Π½Π½Ρƒ улавливания. Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ содСрТаниС Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ² Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² 10 Ρ€Π°Π·. МоТно ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡƒΡΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΊΡƒ подвСсок Π½Π°Π΄ раствором Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 30 сСкунд, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚ врСмя стСкания раствора Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡƒΡŽ Π²Π°Π½Π½Ρƒ.

Π’Ρ‹Π±ΠΈΡ€Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ подвСски, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ Π² Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… растворах послС ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ Ρ†ΠΈΠΊΠ»Π°.

Π€ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ удаляСт Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ посторонниС примСси, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΠ΅ частицы ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° Π² ΡΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅, Ссли Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π΅ ΡƒΠΆΠ΅ Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΠΎΡΡŒ объСмноС Ρ€Π°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅. ОсобСнно эффСктивно Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ для растворов, содСрТащих стабилизаторы, — Ρ‚ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΏΡ€ΠΈ объСмной Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ образуСтся ΡΡ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ нСбольшоС число ΠΊΡ€ΡƒΠΏΠ½Ρ‹Ρ… частиц ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ пСриодичСскоС ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎΠ΅ Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ раствора ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ являСтся Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΠΈΡ… ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ. Π₯имичСскоС ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ‚Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΌ растворС с Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ обСспСчиваСт ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ прочности сцСплСния осадка Π² 2 Ρ€Π°Π·Π°, ΠΏΡ€ΠΈΡ‡Π΅ΠΌ осадок ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΡƒΡŽ структуру. Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ 3−5-ΠΊΡ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ ΠΎΠ±ΠΌΠ΅Π½ раствора Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ часа.

НСобходимо ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡƒΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ очистку раствора химичСского мСднСния ΠΎΡ‚ Π½Π°ΠΊΠ°ΠΏΠ»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ…ся примСсСй: ΡΡƒΠ»ΡŒΡ„Π°Ρ‚, Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΠ°Ρ‚ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ², ΠΊΠ°Ρ€Π±ΠΎΠ½Π°Ρ‚ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ², ΠΏΠΎΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ взаимодСйствия Ρ‰Π΅Π»ΠΎΡ‡ΠΈ с ΡƒΠ³Π»Π΅ΠΊΠΈΡΠ»Ρ‹ΠΌ Π³Π°Π·ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ Π±Π°Ρ€Π±ΠΎΡ‚Π°ΠΆΠ΅. Π£ΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΈΠΎΠ½Ρ‹ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡŽΡ‚ ΠΏΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Ρ… осадков, ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π» ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ. Π‘ΡƒΠ»ΡŒΡ„Π°Ρ‚ ΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΠ°Ρ‚ ΠΈΠΎΠ½Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡƒΠ΄Π°Π»ΡΡ‚ΡŒ элСктродиализом. НакоплСния ΡΡƒΠ»ΡŒΡ„Π°Ρ‚ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ, Ссли ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΡƒ ΠΏΠΎ Π‘ΠΈ2+ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π‘ΠΈ (ОН)2 ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹ΠΉ элСктрод, подвСргая Π΅Π³ΠΎ Π°Π½ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌΡƒ Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π΅Π½ΠΈΡŽ. Для прСдотвращСния накоплСния ΠΊΠ°Ρ€Π±ΠΎΠ½Π°Ρ‚ΠΎΠ² рСкомСндуСтся Π±Π°Ρ€Π±ΠΎΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π²Π°Π½Π½Ρƒ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…ΠΎΠΌ, ΠΎΡ‡ΠΈΡ‰Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΎΡ‚ Π‘02, ΠΈΠ»ΠΈ ΡƒΠ΄Π°Π»ΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Π±ΠΎΠ½Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΎΡ…Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ раствора Π΄ΠΎ 10 Β°C Π² Π½Π΅Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΎΠ΄. ΠŸΡ€ΠΈ этом ΠΊΠ°Ρ€Π±ΠΎΠ½Π°Ρ‚Ρ‹ Π²Ρ‹ΠΏΠ°Π΄Π°ΡŽΡ‚ Π² ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΎΡ‚Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ΡΡ.

Π’ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹Π΅ Π²ΠΈΠ΄Ρ‹ Π±Ρ€Π°ΠΊΠ° Π½Π° Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ химичСского мСднСния.

ΠžΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ€Π°ΠΊΠΎΠ²ΠΈΠ½ являСтся Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠΎΠΉ управлСния качСством, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ автоматичСской сборкС посрСдством ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ со ΡΠΊΠ²ΠΎΠ·Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ отвСрстиями. ΠšΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π²ΡˆΠΈΡ…ΡΡ Ρ€Π°ΠΊΠΎΠ²ΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ нСпосрСдствСнно связано со ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ столба ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΡΡ‚ΠΎΡΡ‚ΡŒ давлСнию Π³Π°Π·Π° ΠΏΠΎΠ·Π°Π΄ΠΈ Π½Π΅Π³ΠΎ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… сСкунд, Π²ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π³Π°Π· вырабатываСтся тСрмичСским воздСйствиСм расплавлСнного припоя. Если ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Ρ€Π°ΠΊΠΎΠ²ΠΈΠ½Ρ‹, Ρ‚ΠΎ Π³Π°Π· ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡ€Ρ‹, Π»ΠΈΠ±ΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ столб ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ. Оба эти явлСния ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ возрастания Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ столба, ΠΈ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ для всСх ΠΏΠ»Π°Ρ‚ со ΡΠΊΠ²ΠΎΠ·Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ отвСрстиями ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ€Π°ΠΊΠΎΠ²ΠΈΠ½ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ ΠΏΡ€ΠΈ возрастании Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ столба. Однако ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ€Π°ΠΊΠΎΠ²ΠΈΠ½ ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ столба являСтся Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠ΅ΠΉ качСства химичСского мСднСния. Для Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΡ€ ΠΈ ΡΠ»Π°Π±Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅ΠΊ, Π² ΡΡ‚ΠΎΠ»Π±Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ стСнок просвСрлСнных отвСрстий химичСской мСдью. Π₯имичСскоС ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ зависит ΠΎΡ‚ ΡΡ„фСктивности ΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ адсорбции ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°.

ΠŸΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Π° образования Ρ€Π°ΠΊΠΎΠ²ΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ сквозных ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий. Π“Π°Π·, приводящий ΠΊ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ Ρ€Π°ΠΊΠΎΠ²ΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ сквозных ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ ΠΈΠ·-Π·Π° поглощСния Π²Π»Π°Π³ΠΈ ΠΈΠ· Π°Ρ‚мосфСры эпоксидной ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π΅ΠΉ слоя FR-4. ΠžΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Ρ€Π°ΠΊΠΎΠ²ΠΈΠ½ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ, Ссли ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ Π²Ρ‹ΡΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ, Π½ΠΎ ΡΡ‚ΠΎ Π½Π΅ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΠΏΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΡ‡Π½ΠΎ.

Π‘Ρ‚ΠΎΠ»Π± ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΎΡΡ‚Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Ρ†Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… сСкунд с Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°, ΠΊΠ°ΠΊ тСрмичСскоС воздСйствиС расплавлСнного припоя Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°Π΅Ρ‚ Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… отвСрстиях Π²Ρ‹Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Π»Π°Π³ΠΈ, ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ эпоксидной ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π΅ΠΉ, ΠΈ Π΄ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠΉ застынСт. Π”Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π³Π°Π·Π° Π·Π° ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ стСнкой ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ, ΠΈ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ столб Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΡ†Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΌ, Π½ΠΎ ΠΈ Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ слабых Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅ΠΊ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΈΡ‚Ρ‹ Π²ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ (рис. 4Π°). Однако, Ссли столб Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΡ†Π°Π΅ΠΌ, ΠΎΠ½ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π΅Ρ‰Π΅ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΡƒΡŽ адгСзию ΠΊ ΡΡ‚Π΅Π½ΠΊΠ°ΠΌ просвСрлСнных отвСрстий ΠΈ Π½Π΅ ΠΎΡ‚Ρ€Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΈΠ·-Π·Π° давлСния Π³Π°Π·Π° ΠΏΠΎΠ·Π°Π΄ΠΈ Π½Π΅Π³ΠΎ (рис. 46). Один ΠΈΠ· Π°ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌ Π»Π΅ΠΆΠΈΡ‚ Π² Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ химичСской ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ стСнок просвСрлСнных отвСрстий, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΎΠ½Π° наносится.

ΠŸΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΏΠ»ΠΎΡ…ΠΎΠ³ΠΎ химичСского покрытия.

БущСствуСт ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ приводят ΠΊ Π½Π΅ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡŽ химичСской ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π½Π° ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ€Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ повСрхности стСклоэпоксидного слоя.

На ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ€Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ повСрхности ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²ΡΡ‚Ρ€Π΅Ρ‡Π°Ρ‚ΡŒΡΡ полости Π² ΡΠ»ΠΎΠ΅ (углублСния) Π»ΠΈΠ±ΠΎ вслСдствиС ΠΏΠ»ΠΎΡ…ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΈΡ‚ΠΊΠΈ стСкловолокна эпоксидной ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π΅ΠΉ, Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΈΠ·-Π·Π° вырывания ΠΊΠΎΠ½Ρ†ΠΎΠ² стСкловолокна ΠΏΡ€ΠΈ свСрлСнии. Π’ ΡΡ‚ΠΈΡ… углублСниях процСсс осаТдСния химичСской ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π·Π°Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½Π΅Π½. Π­Ρ‚ΠΈ полости Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π·Π°Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ раствор ΠΈΠ·-Π·Π° повСрхностного натяТСния, приводя ΠΊ Π·Π°Π³Ρ€ΡΠ·Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΈ ΠΏΡ€Π΅ΠΏΡΡ‚ствуя ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ процСссам.

Осколки свСрлСния, ΠΎΡΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ΡΡ Π½Π° ΡΡ‚Π΅Π½ΠΊΠ°Ρ… отвСрстий Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ свСрлСния, ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒΡΡ вытСснСнными ΠΏΠΎΠ·Π΄Π½Π΅Π΅ ΠΏΡ€ΠΈ производствС. Если это ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·ΠΎΠΉΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ, Π½ΠΎ Π΄ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ, Ρ‚ΠΎ ΡΡΠ½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ участки повСрхности окаТутся ΠΎΠ±Π½Π°ΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ очистки. ПослС ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ очистки стСнки отвСрстия ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹ΠΌΠΈ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌ слоСм ΠΏΡ‹Π»ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ адсорбции ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°.

ΠŸΡ€ΠΈ хромовокислом Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡˆΠ΅ΡΡ‚ΠΈΠ²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ Ρ…Ρ€ΠΎΠΌ дСйствуСт ΠΊΠ°ΠΊ яд Π½Π° ΠΊΠΎΠ»Π»ΠΎΠΈΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ°Π»Π»Π°Π΄ΠΈΠ΅Π²Ρ‹ΠΉ ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ ΠΎΡ‚ΡΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ активирования повСрхности.

ΠŸΡ€ΠΈ сСрнокислом Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ диэлСктрика обнаТаСтся стСкловолокно, ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, эпоксидная смола загрязняСтся Π°Π½ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΡΡƒΠ»ΡŒΡ„ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ остатками, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°ΡŽΡ‚ ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Π°Π΄ΡΠΎΡ€Π±Ρ†ΠΈΡŽ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ ΠΎΡ‚Ρ€ΠΈΡ†Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ элСктрокинСтичСский ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π». Эпоксидная смола Π² ΠΎΡ‚вСрстии становится Π³Π»Π°Π΄ΠΊΠΎΠΉ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π΅ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΡΡ‚Π²ΡƒΠ΅Ρ‚ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ΅ΠΉ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ химичСском осаТдСнии.

Π›ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ всСго эти нСдостатки ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ΄ΠΎΠ»Π΅Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΡ€ΠΈ использовании Π½Π°Π³Ρ€Π΅Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‰Π΅Π»ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€ΠΌΠ°Π½Π³Π°Π½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ раствора для травлСния диэлСктрика.

Адсорбция ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°. ΠšΠΎΠ»Π»ΠΎΠΈΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡ€, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΎΡ‚Ρ€ΠΈΡ†Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ элСктрокинСтичСский ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π», Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ с Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄ΠΎΠΌ Π°Π΄ΡΠΎΡ€Π±ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π½Π° ΠΎΡ‚Ρ€ΠΈΡ†Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ заряТСнной повСрхности стСкловолокна. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ отвСрстия Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΉ Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π΅ кондиционирования.

Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, качСство химичСской ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ отвСрстия зависит Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ ΠΎΡ‚ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ повСрхности диэлСктрика.

Π•Ρ‰Π΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΡΠ΅Ρ€ΡŒΠ΅Π·Π½Ρ‹ΠΌ ΠΈ Ρ€Π°ΡΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€Π°Π½Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠΌ Π±Ρ€Π°ΠΊΠ° являСтся отслаиваниС.

ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ качСства химичСского мСднСния.

Для опрСдСлСния качСства химичСской ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄, Π²Ρ‹ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΡ€ΠΈΡΡ‚ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π½Π΅ΠΎΠ±Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡƒΡŽ Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΊΠΈΠΌΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠ΅ элСктронного микроскопа. ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ «Π·Π²Π΅Π·Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π΅Π±Π°», ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ подсвСтки, Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠ΅ свСтопроницаСмости стСнки отвСрстия (рис. 5).

ΠŸΠ»Π°Ρ‚Π° разрСзаСтся особым способом. Одна сторона Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅Π·Π° ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· сСрСдину ряда отвСрстий, другая находится Π² Π΄Π²ΡƒΡ… ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ… ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°Ρ… ΠΎΡ‚ ΠΊΡ€Π°Ρ отвСрстия ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π½Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π° для увСличСния свСтопроницаСмости.

ΠŸΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° ΠΏΡ€ΠΈΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ являСтся своСго Ρ€ΠΎΠ΄Π° Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ, ΡƒΠ΄Π°Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΌ вСсь паразитичСский свСт. ΠžΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹ ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ΡΡ сзади Π»Π°ΠΌΠΏΠΎΠΉ ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ 10−20 Π’Ρ‚ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°ΡŽΡ‚ся осмотру с ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΡ‚ 20 Π΄ΠΎ 50 Ρ€Π°Π·.

ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ производится послС осаТдСния химичСской ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ послС гальвано затяТки. ВсС ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π²ΡˆΠΈΠ΅ΡΡ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ процСсса ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ пустоты ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΡΠ²Π΅Ρ‚ящиСся Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ Π½Π° Ρ‚Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΌ Ρ„ΠΎΠ½Π΅.

ΠšΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ оцСниваСтся ΠΏΠΎ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ критСриям:

ΠžΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠ΅ — отвСрстиС ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎ Ρ‡Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π° (d0).

ΠžΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π΅ — Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микроскопичСскиС Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ (d1)..

Π£Π΄ΠΎΠ²Π»Π΅Ρ‚Π²ΠΎΡ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ — нСбольшоС количСство ΠΌΠ°Π»Π΅Π½ΡŒΠΊΠΈΡ… пустот (d2)..

ΠŸΠ»ΠΎΡ…ΠΎΠ΅ — ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ частично отсутствуСт, Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠ½Π° диэлСктрика ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹, пористая мСталлизация Π½Π° ΡΠΏΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ (d3)..

ΠžΡ‡Π΅Π½ΡŒ ΠΏΠ»ΠΎΡ…ΠΎΠ΅ — слабоС ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ отсутствиС покрытия Π²ΠΎΠΎΠ±Ρ‰Π΅ (d4, d5)..

Π”Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ способы ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ диэлСктриков.

Π’ ΡΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠΈΡ€Π΅, Π³Π΄Π΅ экологичСский аспСкт ставится Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ΅ мСсто, процСсс «Ρ…имичСского мСднСния» признаСтся экологичСски Π²Ρ€Π΅Π΄Π½Ρ‹ΠΌ ΠΈ Π½Π΅Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½Ρ‹ΠΌ для Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ людСй. Рассмотрим ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ‹, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ использовании процСсса стандартного химичСского мСднСния:

1) большоС врСмя Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ химичСского мСднСния ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 2Ρ‡;

2) большой экологичСский Π²Ρ€Π΅Π΄;

3) постоянная Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π° с Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΌ;

4) постоянная Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π° с ΠΊΠ°ΡƒΡΡ‚ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚Π° каустика;

5) Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠ°Ρ‡ΠΊΠΈ раствора химичСского мСднСния Π² Π·Π°ΠΏΠ°ΡΠ½ΡƒΡŽ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ;

6) Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ добавлСния Π² Π²Π°Π½Π½Ρƒ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΎΠΊ;

7) Π½Π΅ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ раствора химичСского мСднСния;

8) большой объСм анализов;

9) частая ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ°.

Π‘ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Ρ€Ρ‹Π½ΠΎΠΊ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡŠΡΠ²Π»ΡΠ΅Ρ‚ всС Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ТСсткиС трСбования ΠΊ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Ρƒ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ. Π­Ρ‚ΠΎ, Π² ΡΠ²ΠΎΡŽ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ, Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ обновлСния ΠΈ ΠΏΠΎΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΡ ассортимСнта расходных ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²,.

использованиС соврСмСнных Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈ, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π½Π° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ. Π‘Π°ΠΌΡ‹ΠΌ доступным Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚ΠΎΠΌ являСтся ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… соврСмСнных Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ Π½Π° ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰Π΅ΠΌΡΡ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ. Рассмотрим Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚Ρ‹ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‹ процСсса химичСского мСднСния.

ВСрмичСскоС Ρ€Π°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ солСй ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ.

Для ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ диэлСктриков ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ€Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ способы, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ химичСскоС ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· Ρ‚СхнологичСского процСсса Π²ΠΎΠΎΠ±Ρ‰Π΅. Одним ΠΈΠ· ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ² являСтся ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ солСвой ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ послС тСрмичСского воздСйствия (Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ·Π°) Π½Π° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ½ΡƒΡŽ соль гипофосфита ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ токопроводящСго слоя.

ΠŸΡ€ΠΎΡΡ‚Π°Ρ нСкомплСксная соль — гипофосфит ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Cu (H2P02)2 получаСтся ΠΏΠΎ Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ.

CuS04+Ca (H2P02)2>Cu (H2P02)2 + CaS04v.

Она ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ тСрмичСской ΡƒΡΡ‚ΠΎΠΉΡ‡ΠΈΠ²ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ. ВСрмичСскоС Ρ€Π°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ этой соли — ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ-Π²ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ процСсс Π² Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠΉ Ρ„Π°Π·Π΅ с ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ мСталличСской ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΈΠ΄Π° ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, оксида ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ. Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° разлоТСния 50 Β°C, процСсс ΠΏΡ€ΠΎΡ‚Π΅ΠΊΠ°Π΅Ρ‚ с ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ большой ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ ΠΏΡ€Π°ΠΊΡ‚ичСски нСуправляСм. Для возмоТности рСгулирования процСсса разлоТСния Π² ΡΠΎΡΡ‚Π°Π² соли вводят ΡΠΎΠ»ΡŒΠ²Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΡ‹. Для этого гипофосфит ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ΡΡŽΡ‚ Π² 25-ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΌ растворС Π°ΠΌΠΌΠΈΠ°ΠΊΠ°.

Cu (H2P02)2+2NH4OH>Cu (NH3)2(H2P02)β€’2H20.

ПослС стандартной ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ³Ρ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‚ Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ комплСксной соли ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ Π½Π° 2−3 ΠΌΠΈΠ½, Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΡ… Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π΅ 3−7 ΠΌΠΈΠ½, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°ΡŽΡ‚ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Ρƒ с Ρ†ΠΈΡ€ΠΊΡƒΠ»ΡΡ†ΠΈΠ΅ΠΉ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π° ΠΏΡ€ΠΈ 130−145 Β°Π‘ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 15−20 ΠΌΠΈΠ½.

ΠŸΡ€ΠΈ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ сначала происходит кристаллизация соли, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Π²Ρ‹Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ. ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡ‚Ρ‹ Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ·Π° осущСствляСтся Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ, ΠΏΠΎ Ρ†Π²Π΅Ρ‚Ρƒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎΡΡ осадка. Π¦Π²Π΅Ρ‚ Π² ΠΎΡ‚вСрстиях Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠ½ΠΎ-ΠΊΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π½Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΎ Ρ‡Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ производится струйная ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ. Π‘ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Ρ‹ разлоТСния ΡƒΠ΄Π°Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ мСханичСским способом — зачисткой Π²Π»Π°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ смСсью ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ извСсти с ΠΌΠ°Ρ€ΡˆΠ°Π»Π»ΠΈΡ‚ΠΎΠΌ. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ осущСствляСтся Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Π²ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ стандартныС ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ. Бостав:

CuS04 * 5Н20 — 5−100 Π³/Π»;гипофосфит Na, К ΠΈΠ»ΠΈ NH2+ — 50−100 Π³/Π»; NH4F — 10−30 Π³/Π»; NH4OH — 60−120 Π³/Π»; яблочная кислота — 25−50 Π³/Π».

ΠŸΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π°:

Π½Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ся ΠΏΠ°Π»Π»Π°Π΄ΠΈΠΉ;

ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ ΠΈΠ· ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ° ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ химичСскоС ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌΡƒ экономичСскому эффСкту: ΠΎΡ‚ΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΈΡ… растворах, устраняСтся Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ слой химичСски осаТдСнной ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, ΡƒΡ…ΡƒΠ΄ΡˆΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ сцСплСния Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈ осаТдСнной ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΎΠΉ;

возрастаСт ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ тСхнологичСской Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π΄ΠΎ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ осаТдСния: врСмя изготовлСния Π”ΠŸΠŸ срСднСй слоТности (S = 2 Π΄ΠΌ3, число отвСрстий — 200) сниТаСтся с 1,2 Ρ‡ Π΄ΠΎ 30 ΠΌΠΈΠ½;

ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ качСство ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠ΅ Π²Ρ‹Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ палладия Π½Π° Π½Π΅Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… участках ΠΏΠ»Π°Ρ‚.

НСдостатки:

Ρ€Π°Π·Ρ€Ρ‹Π² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π² ΠΌΠ΅ΡΡ‚Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π° ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ отвСрстия ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ;

Π½Π΅ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ отвСрстий;

Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ удалСния ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΠ² Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ·Π° ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΠ· ΠΎΡ‚вСрстий, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ.

Π“Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ мСталлизация.

Π“Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²Π΅ ΠŸΠŸ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚:

— Π΄Π»Ρ образования проводящСго рисунка схСмы с Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π² ΠΎΡ‚вСрстиях Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 25 ΠΌΠΊΠΌ;

— Π΄Π»Ρ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ увСличСния Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ³ΠΎ слоя химичСской ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π΄ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ 5—8 ΠΌΠΊΠΌ с Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ формирования рисунка схСмы;

— Π΄Π»Ρ нанСсСния мСталличСского рСзиста, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ—свинСц, Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 10—20 ΠΌΠΊΠΌ Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎΠΌ, сСрСбром Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 2—5 ΠΌΠΊΠΌ.

Π“Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ нанСсСния мСталличСских ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ Π±Ρ‹Π» ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π΅Ρ‚Π΅Π½ Π² 1837 Π³. Π² России элСктротСхником Π‘. Π‘. Π―ΠΊΠΎΠ±ΠΈ ΠΈ Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ся Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΡŒ, подлСТащая ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΡŽ, помСщаСтся Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ‚Π½ΠΎ-Π²ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ раствор солСй ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π°, Π° Π°Π½ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ являСтся осаТдаСмый ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π». НСобходимыС для восстановлСния элСктроны ΠΏΠΎΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‚ ΠΎΡ‚ Π²Π½Π΅ΡˆΠ½Π΅Π³ΠΎ источника постоянного Ρ‚ΠΎΠΊΠ°. Под дСйствиСм напряТСния ΠΈΠΎΠ½Ρ‹ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° двиТутся ΠΊ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Ρƒ, ΠΏΡ€ΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡŽΡ‚ элСктроны ΠΈ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°ΡŽΡ‚ся Π½Π° Π½Π΅ΠΌ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ΠΉΡ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΡ‹ (рис. 6). ΠŸΠΎΠ½ΡΡ‚ΠΈΡ «Π°Π½ΠΎΠ΄» (ΠΎΡ‚ Π³Ρ€Π΅Ρ‡. anodos — Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Π²Π΅Ρ€Ρ…, восхоТдСниС) ΠΈ «ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄» (ΠΎΡ‚ Π³Ρ€Π΅Ρ‡. kathodos — Ρ…ΠΎΠ΄ Π²Π½ΠΈΠ·, Π²ΠΎΠ·Π²Ρ€Π°Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅) Π±Ρ‹Π»ΠΈ Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ М. Π€Π°Ρ€Π°Π΄Π΅Π΅ΠΌ для обозначСния Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ двиТСния частиц, Π²Ρ‹Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄Π°Ρ….

рис. 6. CΡ…Π΅ΠΌΠ° Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ.

Для ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ (затяТки) отраслСвыми стандартами Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ борфтористоводородныС ΠΈ ΡΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Ρ‹Π΅ элСктролиты мСднСния. ΠŸΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ состоит ΠΈΠ·: 230—250 Π³/Π» борфтористой ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Cu (BF4)2 источника ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ²; 5—15 Π³/Π» борфтористоводородной кислоты HBF4, Π²Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ для ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ злСктропроводности элСктролита; 15—40 Π³/Π» Π±ΠΎΡ€Π½ΠΎΠΉ кислоты H3BO3, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ для стабилизации элСктролита. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ Π²Π΅Π΄ΡƒΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ (205) Π‘, ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ плотности Ρ‚ΠΎΠΊΠ° 3—4 А/Π΄ΠΌ2, скорости осаТдСния 20—30 ΠΌΠΊΠΌ/Ρ‡.

Достоинства элСктролита — большая концСнтрация ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, высокая ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΅Π΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ получаСтся Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ мСлкокристалличСскоС, Ρ‡Π΅ΠΌ ΠΈΠ· ΡΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΠ³ΠΎ элСктролита. НСдостаток — высокая Π°Π³Ρ€Π΅ΡΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ элСктролита.

Π›ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ΠΉ Ρ€Π°ΡΡΠ΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ характСризуСтся сСрнокислый элСктролит с ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ состава: 60—70 Π³/Π» сСрнокислой ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ; 150—180 Π³/Π» сСрной кислоты; 0,03—0,06 Π³/Π» хлористого натрия; 1—3 ΠΌΠ»/Π» комплСксной Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠΈ (Ρ‚Ρ€ΠΈΠ»ΠΎΠ½ Π‘).

ОсаТдСниС покрытия ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ—свинСц Π²Π΅Π΄ΡƒΡ‚ Π² Π±ΠΎΡ€Ρ„тористоводородном элСктролитС ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ состава: 13—15 Π³/Π» Sn2+, 8—10 Π³/Π» Pb2+, 250—300 Π³/Π» HBF4, 20—30 Π³/Π» H3BO3, 3—5 Π³/Π» комплСксных Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΎΠΊ. Аноды ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΠ· ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°, содСрТащСго 61% ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° ΠΈ 39% свинца. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ осаТдСния Π²Π΅Π΄ΡƒΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ (205) Π‘, плотности Ρ‚ΠΎΠΊΠ° 1—2 А/Π΄ΠΌ2, ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ осаТдСния ΠΏΡ€ΠΈ этом составляСт 1 ΠΌΠΊΠΌ/ΠΌΠΈΠ½.

ЭлСктролитичСский сплав ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ—свинСц Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ состав, ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉΡΡ ΠΊ ΡΠ²Ρ‚СктичСскому, Ρ‡Ρ‚ΠΎ обСспСчиваСт Π² Π΄Π°Π»ΡŒΠ½Π΅ΠΉΡˆΠ΅ΠΌ Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ минимальной Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ ΠΈ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΡƒΡŽ ΠΏΠ°ΡΠ΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠŸΠŸ. Π­Ρ‚ΠΎ достигаСтся ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ содСрТаниСм ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° ΠΈ ΡΠ²ΠΈΠ½Ρ†Π° Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ‚Π΅, строгим ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ° осаТдСния.

Для ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ паяСмости Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ сплавом ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ—свинСц ΠΎΠΏΠ»Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡ установки с Π˜Πš-Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²ΠΎΠΌ. Установка состоит ΠΈΠ· Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅Π³ΠΎ Π±Π»ΠΎΠΊΠΎΠ² ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ, ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅Ρ€. ИК-Π»Π°ΠΌΠΏΡ‹, установлСнныС Π² Ρ„окусС эллиптичСского отраТатСля, Ρ„ΠΎΠΊΡƒΡΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ свСтовой ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚, Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ сплав ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ—свинСц оплавляСтся ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΎΠ±Ρ€Π΅Ρ‚Π°Π΅Ρ‚ структуру мСталлургичСского сплава. Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° Π·ΠΎΠ½Ρ‹ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° составляСт 200 Π‘, Π° Π·ΠΎΠ½Ρ‹ оплавлСния — 500 Π‘ 5%.

многослойная пСчатная ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° элСктрохимичСская мСталлизация.

1. Π›Π΅Π²ΠΈΠ½ А. П., Π‘Π²Π°Ρ‚ΠΈΠΊΠΎΠ²Π° Н. Π­. РасчСт вибропрочности конструкции РЭА. — Πœ.: МИРЭА, 2003.

2. МСвис А. Π€., НСсвиТский Π’. Π‘., Π€Π΅Ρ„Π΅Ρ€ А. И. Допуски ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ°Π΄ΠΊΠΈ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ радиоэлСктронной Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹: Π‘ΠΏΡ€Π°Π²ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊ/ Под Ρ€Π΅Π΄. О. А. Π›ΡƒΠΏΠΏΠΎΠ²Π°. — Πœ.: Π Π°Π΄ΠΈΠΎ ΠΈ ΡΠ²ΡΠ·ΡŒ, 2004. — 152 с.

3. НСнашСв А. П. ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ радиоэлСктронных срСдств: Π£Ρ‡Π΅Π±. для Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΡ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΡ‡. спСц. Π²ΡƒΠ·ΠΎΠ² — Мн.: Π’Ρ‹ΡΡˆ.шк., 2002. — 432 с.

4. Иванов-Есипович Н.К. Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСскиС основы производства радиоэлСктронной Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹: Π£Ρ‡Π΅Π±Π½ΠΎΠ΅ пособиС для Π²ΡƒΠ·ΠΎΠ².

5. Ильин Π’. А. ΠšΡ€Π°Ρ‚ΠΊΠΈΠΉ справочник Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΎΡ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ°.

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ