Фазовая коррекция излучения технологических лазеров
Диссертация
В последнее десятилетие, в связи со значительным усовершенствованием элементной базы твердотельных, в частности, АИЛЫс!-лазеров (к = 1,06 мкм), область их применения для обработки материалов существенно расширяется. Так как для формирования излучения таких лазеров могут быть использованы элементы, изготовленные из обычных оптических стекол, то все более актуальным становится вопрос разработки… Читать ещё >
Список литературы
- Абильсиитов Г. Р., Велихов Е. П., Голубев B.C., Григорьянц А. Г., Лебедев Ф. В., Николаев Г. А. Мощные газоразрядные СОг-лазеры и их применение в технологии. — М.: Наука, 1984. — 106 с.
- Крылов К.И., Прокопенко В. Т., Митрофанов А. С. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении. М.'.Машиностроение, 1978. — 336с.
- Лазеры в технологии / Под ред. М. Ф. Стельмаха. М.?Энергия, 1975. -216 с.
- Промышленное применение лазеров /Под ред. Г. Кебенера. Пер. с англ. под ред. И. В. Зуева. М.: Машиностроение, 1988. — 280 с.
- Реди Дж. Промышленные применения лазеров. М.: Мир, 1981. — 636 с.
- Le laser, outil de production pour l’an 2000// La revue polytechnique. 1995. -№ 6−7.-P.357−358.
- Андрияхин В.M. Процессы лазерной сварки и термообработки металлов. -М.: Наука, 1988. 220 с.
- Григорьянц А.Г., Шиганов И. Н. Лазерная сварка металлов. М.: Высшая школа, 1988. — 207 с.
- Soudage par rayon laser// La revue polytechnique. 1997. — № 5. — P.257.
- Григорьянц А.Г., Соколов A.A. Лазерная обработка неметаллических материалов. M.: Высшая школа, 1987. — 191 с.
- Григорьянц А.Г., Соколов А. А. Лазерная резка металлов. М.: Высшая школа, 1988. — 127 с.
- Крупа Н.Н. Формирование субмикронной фазовой структуры методом лазерного скрайбирования пленок карбида кремния// Оптический журнал. -1998.-т. 65. № 3. — с. 80−82.
- Cossavella M., Kaplan D., Milosevic Z. Comportement en emboutissage de pieces decoupees par laser// Opto electronique. 1989. — № 51. — P.31−36.
- Faisceau laser guide dans un jet d’eau// La revue polytechnique. 1997. — № 8.- P.450−451.
- Заявка 3−48 485 Япония, МКИ G02B27/00, B23K26/06. Лазерное устройство для пробивки отверстий/ К. К. Тосиба (Япония) № 56−124 714- Заявл. 11.08.81- Опубл. 24.07.91- НКИ 8106−2Н, 7920−4Е.
- Международная заявка 90/1 392 РСТ, МКИ В23К26/06. Способ образования глубокого паза в алмазе высокоэнергетическим лазерным лучом/ V. Cooper et al. (Великобритания). № 942- Заявл. 15.08.89- Опубл. 22.02.90.
- Григорьянц А.Г., Сафонов А. Н. Методы поверхностной лазерной обработки. М.: Высшая школа, 1987. — 191 с.
- Marcus P., Moulin G., Siffre J-M. Fusion superficielle et revetement par laser C02// Opto electronique. 1989. — № 50. — P.38−44.
- Rechargement dur par laser de puissance// La revue polytechnique. 1993. -№ 11. — P.804.
- Виттеман В. СОг-лазеры /Пер. с англ. под ред. Н. Н. Соболева. М.: Мир, 1990.- 360 с.
- Голубев B.C., Лебедев Ф. В. Физические основы технологических лазеров.- М.: Высшая школа, 1987. 191 с.
- Голубев B.C., Лебедев Ф.В Инженерные основы технологических лазеров.- М.: Высшая школа, 1987. 176 с.
- Мак А.А., Соме Л. Н., Фромзель В. А., Яшин В. Е. .Лазеры на неодимовом стекле. М.: Наука, 1990. — 287 с.
- Микаэлян А.Л., Тер-Микаэлян М.Л., Турков Ю. Г. Оптические генераторы на твердом теле. М.: Советское радио, 1968. — 262 с.
- Блинков В.В., Вакуленко В. М., Ковш И. Б., Усанов Ю. Я. Мощные лазеры для технологических применений и лазерные технологические установкидля машиностроения / Итоги науки и техники, сер. Электроника. М.: ВИНИТИ, 1991.-т. 28.
- Справочник по лазерной технике/ Пер. с нем. М.: Энергоатомиздат, 1991. — 544 с.
- Технологические лазеры: Справочник в 2 т. Т.1: Расчет, проектирование и эксплуатация/ Под общ. ред. Г. А. Абельсиитова. М.-.Машиностроение, 1991.- 432 с.
- Технологические лазеры: Справочник в 2 т. Т.2: Системы автоматизации. Оптические системы. Системы измерения / Под общ. ред. Г. А. Абельсиитова. М.: Машиностроение, 1991. — 544 с.
- Лазеры в автомобильной промышленности// Лазерные новости. 1997. -№ 4.
- Плохих А.П. Мощные оптические квантовые генераторы: Учеб. издание. -М.: Изд-во МАИ, 1994. 96 с. .
- Заявка 63−215 390 Япония, МКИ В23К26/00, I01L31/04, H01S31/10. Способ лазерной обработки/ Semiconductor Energy Lab. Co. Ltd. (Япония). -№ 62−49 342- Заявл. 04.03.87- Опубл. 07.09.88.
- Патент 4 629 859 США, МКИ В23К26/00. Способ лазерного испарения материала мишени/ K.V. Reddy (США), Standard Oil Company. № 722 802- Заявл. 12.04.85- Опубл. 16.12.86- НКИ 219−121 LM.
- Diodes laser 300 W quasi continue// Opto electronique. 1992. — № 66. — P.55.
- Goedgebuer J. P., Porte H., Wacogne B. Diode laser accordable par saut de mode et de maniere continue par voie electro-optique// Nouvell revue d’optique 1994 — v.25 — № 2 — p. 51 — 57.
- Laser diode haut puissance fibre (3 a 60 W)// Opto electronique. 1994. — № 77.-P.44.
- Григорьянц А.Г., Гаврилюк B.C., Богданов A.B. Сравнение воздействия лазеров с длинами волн 10.6 и 1.06 мкм на металлы // Применение лазеровв науке и технике: Тез. докл. III Всесоюз. науч.-техн. сем. Иркутск, 1990.- с.65−66.
- Gatinel-Actilaser A. YAG et usinag// Opto electronique. 1989. — № 51. -P.20−24.
- L’energie lumineuse transmise par fibre optique// La revue polytechnique. -1994. № 2. — P.98.
- Лазерные новости. 1997. — № 3. — с.35.
- Коваленко B.C. Лазерная технология: Учебник. К.: Выща школа, 1989. -280 с. 43 .Григорьянц А. Г. Основы лазерной обработки материалов. М.: Машиностроение, 1989. — 300 с.
- Гаврилюк B.C., Измайлова Г. М., Иванов В. В. Исследование процесса плавления при лазерном воздействии // Изв. вузов, Машиностроение. -1988.-№ 1.
- Рыкалкин H.H., Углов A.A., Зуев И. В., Кокора А. Н. Лазерная и электронно-лучевая обработка материалов. М.: Машиностроение, 1985. — 496 с.
- Богданов A.B. Технологические возможности твердотельных лазеров и разработка рациональных режимов их использования: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук (05.03.07)/ МГТУ им. Н. Э. Баумана. -М., 1997, — 16 с.
- К вопросу оптимизации параметров излучения твердотельных технологических лазеров/ Григорьянц А. Г., Богданов A.B., Гаврилюк B.C. и др. // Сварочное производство. 1991. — № 11.-е. 19−21.
- Пахомов И.И. Расчет преобразования лазерного пучка в оптических системах. М.: Изд. МВТУ им. Н. Э. Баумана, 1984. — 54 с.
- Пахомов И.И., Цибуля А. Б. Расчет оптических систем лазерных приборов.- М.: Радио и связь, 1986. 152 с.
- Прокофьев А.Е., Сизов О. В., Чистяков С. О. Градиентно оптическая система для ввода излучения полупроводникового лазерного диода в волокно// Оптический журнал. 1997. — т. 64. — № 1. — с. 67−69.
- Патент 4 345 010 Германия, МКИ В23К26/00. Установка для сварки и пайки световыми лучами/ Опарин М. И. и др. (Россия) — НИИМаш. -Заявл. 30,12.93- Опубл. 06.07.95.
- Sheet metal welding using a pulsed Nd: YAG laser-robot // Optics and lasers in engineering. 1994. — v. 20. — № 1. — p. 3−24.
- Агалаков Ю.Г., Зинченко М. И., Литова A.M., Рытина E.H., Сафулина С. С., Соснов E.H. Поликристаллические волокна на основе галогенидов серебра для передачи излучения С02-лазеров высокой мощности// Оптический журнал. 1994. — № 7. — с. 11−13.
- Dagenais D., Woodroffe J., Itzkan I. Optical Beam Shaping of a High Power Laser for Uniform Target Illumination// Applied Optics. 1985. — vol. 24. — № 5.-p. 671−675.
- Bruno R.J., Liu K.C. Laserbeam Shaping for Maximum Uniformity and Minimum Loss// Lasers and Applications. 1987. — vol. 6. — № 4. — p. 91−94.
- Li J-C. Etude theorique d’un dispositif optique et de ses variantes pour uniformiser Peclairemenr d’un faisceau gaussien TEMoo// Nouvell revue d’optique. -1987.-v.18.-№ 2.-p. 73 80.
- Оптические элементы, фокусирующие когерентное излучение в произвольную фокальную линию/ В. А. Данилов, В. В. Попов, А. М. Прохоров и др.-М.: 1983.-48 с.
- А. с. 1 730 606 СССР, МКИ G02B27/42. Устройство для фокусировки излучения в кольцо/ Волостников В. Г. и др.- Куйбышевский филиал Физического института им. П: Н. Лебедева. № 4 828 548/10- Заявл. 22.05.90- Опубл. 15.07.92.
- Бородин В.Г., Красов C.B., Шацев А. П., Чарухчев А. В. Оптимизация пространственной структуры лазерных пучков// Оптический журнал. 1996. -№ 12.-с. 33−38.
- А. с. 1 748 127 СССР, МКИ G02B27/44, 27/48. Устройство для фазового преобразования структуры лазерного пучка/ Бородин В. Г. и др.- ГОИ им. С. И. Вавилова. № 4 789 013- Заявл. 08.02.90- Опубл. 15.07.92.
- Заявка 3 532 416 Германия, МКИ G02B27/00- H01S3/08, 3/10- В23К26/06. Способ и устройство для повышения плотности мощности в сфокусированном лазерном пучке высокой энергии/ Diehi GmbH & Со (Германия). -Заявл. 11.09.85- Опубл. 12.03.87.
- Патент 5 206 763 США, МКИ G02B5/10, 17/06. Корректирующая оптика для прямоугольных лазерных пучков.
- Международная заявка 90/1 392 РСТ, МКИ В23К26/06. Способ образования глубокого паза в алмазе высокоэнергетическим лазерным лучом/ V. Cooper et al. (Великобритания). № 942- Заявл. 15.08.89- Опубл. 22.02.90.
- Заявка 262 363 ЕПВ, МКИ В23К26/00. Способ и приспособление для непрерывного изготовления трубчатого корпуса при помощи лазерной продольной роликовой сварки/ R. Krebs et al. (Германия). № 3 632 952- Заявл. 27.09.86- Опубл. 06.04.88.
- А. с. 2 068 328 Россия, МКИ В23К26/00. Установка для лазерной обработки кольцевым пучком/ Малащенко А. Т. и др. (Беларусь) — Гомельский государственный университет им. Франциска Скорины. № 4 884 890/08- Заявл. 26.11.90- Опубл. 27−10.96. — Бюл. № 30.
- Заявка 4−39 647 Япония, МКИ G02B27/00. Оптическая система построения изображения лазерным лучом/Кянон К. К. (Япония). № 59−146 180. Заявл. 14.07.84- Опубл. 04.06.86.
- Документация на СОК-1. ТДЗ.854.000.
- Козлов Г. И., Кузнецов В. А. Многолучевой непрерывный газоразрядный С02-лазер «Иглан-3» // Квантовая электроника. 1986. — Т. 12. — № 3. -с.553−558.
- Патент 4 953 950 США, МКИ G02B27/14, 17/00. Устройство для получения сверхмощного лазерного луча со сверхвысокой плотностью/ Yoshiaki А. et al. (Япония) — Toyon akashi, Osaka. № 271 270- Заявл. 30.04.87- Опубл. 15.11.88- НКИ 350−174.
- А. с. 1 612 783 СССР, МКИ G02B27/48. Устройство для сложения пучков излучения нескольких импульсных излучателей.
- А. с. 1 612 784 СССР, МКИ G02B27/48. Устройство для сложения пучков излучения нескольких импульсных излучателей.
- Патент 4 813 762 США, МКИ G02B27/44, 5/08. Дифракционная решетка из микролинз для объединения лазерных лучей/ J.R. Leger et al. (США) — Institute of Techology. № 154 898- Заявл. 11.02.88- Опубл. 21.03.89- НКИ 350−162.16.
- Заявка 342 836 ЕПВ, МКИ G02B27/12- H01S3/00. Устройство для суммирования лучей/ Lumonics Ltd. (Великобритания). № 8 811 523- Заявл. 08,05.89- Опубл. 23.11.89.
- Патент 4 024 299 Германия, МКИ G02B27/14, 26/08- В23К26/06. Устройство для фокусировки луча оптического излучения в двух точках/ К. Behler, Е. Beyer (Германия) — Н. Krupp. Заявл. 31.07.90- Опубл. 06.02.92.
- Патент 2 064 388 Россия, МКИ В23К26/00. Устройство для лазерной обработки/ Сафонов А. Н., Микулыдин Г. Ю.- НИЦТЛ РАН. № 50 037 852/08- Заявл. 14.08.91- Опубл. 26.07.96. — 2с. //Б. И. — 1996. — № 21.
- Тарасов JI.B. Лазеры: действительность и надежды. М.: Наука, 1985. -176 с.
- Байков В.В., Иванов В. В. Исследование динамических характеристик процесса проплавления лазерным лучом. В кн. Оптоэлектроника. Труды МВТУ им. Баумана, № 431. -1985. — с. 114−122.
- А. с. 1 299 025 СССР, МКИ В23К26/00, 26/02. Способ лазерной обработки/ Кравченко В. И. и др.- Институт физики АН УСССР. № 3 870 158/27- Заявл. 21.03.85- Опубл. 27.11.95.
- А. с. 1 514 130 СССР, МКИ G02B27/48, 27/00. Способ формирования лазерного излучения и устройство для его осуществления/ Климков Ю. М. -№ 4 271 550/24−10- Заявл. 29.06.87.
- А. с. 1 568 758 СССР, МКИ G02B27/48, 27/00. Устройство для формирования в лазерном пучке перетяжки постоянного размера на различных расстояниях от лазера/ Климков Ю. М. № 4 404 485/24−10- Заявл. 05.04.88.
- А. с. 1 738 559 СССР, МКИ В23К26/00. Устройство для лазерной обработки материалов/ В. В. Романенко, B.C. Коваленко, Ван Чук Нгуен (Вьетнам) — Киевский политехнический институт. № 4 866 651/08- Заявл. 08.06.90- Опубл. 07.06.92.
- Бельдюгин И.М., Галушкин М. Г., Земеков Е. М. О свойствах резонаторов с обращающими волновой фронт зеркалами// Квантовая электроника. -1979. Т. 6. — с. 38−44.
- Патент 4 217 705 Германия, МКИ В23К26/06. Способ и устройство для обработки материалов лазерным лучом высокой мощности, а также применение такого устройства/ Р. Hoffmann et al. Diel GmbH & Co. Заявл. 01.06.92- Опубл. 02.12.93.
- Парвулюсов Ю.Б., Солдатов В. В., Якушенков Ю. Г. Проектирование оптико-электронных приборов. М.: Машиностроение, 1990.
- Прикладная оптика: Учебное пособие для вузов / Под общей редакцией A.C. Дубовика. М. Машиностроение, 1992. — 486 с.
- Климков Ю.М. Прикладная лазерная оптика. М.'.Машиностроение, 1985. — 128 с.
- Peretz R. Weld cross-section profile prediction for deep penetration welding with laser beams // Optics and lasers in engineering. 1989. — № 11. — p. 27−48.
- Технология оптических деталей / Под ред М. Н. Семибратова. М.: Машиностроение, 1978. — 415 с.
- ЮО.Ефимов О. М. Изменение оптических характеристик и разрушение стекол под действием мощного лазерного излучения// Оптический журнал. 1994. -№ 11. — с. 67−73.
- Николаев В.Н. Размерный эффект и статистика лазерного разрушения оптических материалов на длине волны 1,06 мкм: Автореферат дис. на со-иск. учен. степ. канд. физ. мат. наук (01. 04. 04.). — М.: 1983. — 25 с.
- Ито М., Огура И. Разрушение оптических материалов под действием лазерного излучения// Сейсан кэнкю. 1984. — v. 36. — № 6. — р. 255−260.
- Bennett Н. Е. et all. Laser-induced damage in optical materials fifteentn ASTM simposium// Applied Optics. 1986. — vol. 25. — № 2. — p. 258−274.
- Ю4.Слюсарев Г. Г. Расчет оптических систем.. JI.: Машиностроение, 1975. -672 с.
- Лазерные оптические элементы: Каталог / Сост.: И. А. Морозов. Минск, 1983. -48с.
- Юб.Лысов А. Б. Методы расчета оптических систем для формирования лазерных пучков: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук (05.11.07)/МИИГАиК. М., 1986. — 16 с.
- Короленко В.П. Оптика когерентного излучения: Учебное пособие. М.: Изд.-во МГУ, 1997.
- Вычислительная оптика: Справочник/ М. М. Русинов, А. П. Грамматин, П. Д. Иванов и др. Под общ. Ред. М. М. Русинова. Л.: Машиностроение, 1984.-423 с.
- Маркузе Д. Оптические волноводы/ Пер. с англ. под ред. В. В. Шевченко. М.: Мир, 1974. — 576 с.
- Ищенко Е.Ф., Климков Ю. М. Оптические квантовые генераторы. М.: Советское радио, 1968. — 472 с.
- Ш. Жилкин A.M., Климков Ю. М., Заболотный Н. С., Иванов Н. Л. Современные методы расчета оптических систем, обеспечивающих требуемые параметры излучения в технологической зоне // Известия вузов. Геодезия и аэрофотосъемка. 1999. — № 5. — с. 83−91.
- Дешан Ж., Мает П. Преобразование пучка при распространении в системе квадратичных линз. В кн.: Квазиоптика/ Пер. с англ. и нем. под ред. Б. З. Каценеленбаума и В. В. Шевченко. — М.: Мир, 1966. — с. 189−209.
- Климков Ю.М. Основы расчета оптико-электронных приборов с лазерами. М.: Советское радио, 1978. — 262 с.
- Белоногова Е.К., Дьякова Ю. Г., Калинина В. К., Мирошниченко Т. А., Шавкунов C.B. Лазерная технология трудные шаги к рынку // Лазерная техника и оптоэлектроника. — 1993. — № 1−2. — с. 3−24.
- Optic and optical instruments catalog 1998. — p.208.
- Климков Ю.М. Оптическая система для формирования лазерных пучков с постоянным размером перетяжки на различных расстояниях от лазера // Известия вузов. Геодезия и аэрофотосъемка. 1990. — № 6. — с.90−95.
- Хирд Г. Измерение лазерных параметров: Перевод с английского / Под редакцией Ф. С. Файзуллова. M .: Мир, 1970. — 540 с.
- Климков Ю.М. Сравнение коллимирующих и фокусирующих лазерных систем // Известия вузов. Геодезия и аэрофотосъемка. 1993. — № 1−2. -с.172−176.
- Нефедов Б.Л. Методы решения задач по вычислительной оптике. -М.-Л.: Машиностроение, 1966. 312 с.
- Пахомов И.И. Панкратические системы. М.: Машиностроение, 1976. -160 с.
- Русинов М.М. Композиция оптических систем. Л.: Машиностроение, 1989.- 383 с.
- Хваловский В.В. Общая теория геометрического расчета гомотопических систем // Оптический журнал. 1998. — т.65 — № 3. — с. 66−76.
- Журова С.А., Зверев В.А, Основы композиции принципиальных схем оптических систем переменного увеличения // Оптический журнал. 1999. -т.66-№ 10. — с. 68−86.
- Корн Г., Корн Т. Справочник по математике для научных работников и инженеров. М.: Наука, 1968. — 720 с.
- Кривовяз Л.М., Пуряев Д. Т., Знаменская М. А. Практика оптической измерительной лаборатории. М.: Машиностроение, 1974. — 332 с.
- Большаков В.Д. Теория ошибок наблюдений. М.: Недра, 1983. — 324 с.
- Эпштейн М.И. Измерения оптического излучения в электронике. М.:1. Энергия, 1975. 248 с.
- Ми Сук Чжун, Вон Дон Чжу, Родионов С. А. Определение размера пятна в лазерных сканирующих системах с бинарной регистрацией изображения //Оптический журнал. 2000. — т.67 — № 2.
- Лазерные новости. 1997. — № 3.
- Лазерные новости. 1998. — № 2.- с. 17.
- Laser 99: nouvelles dimensions pour la technique des lasers// La Revue Polytechnique. 1999. — № 5. — p. 322−323.