Помощь в написании студенческих работ
Антистрессовый сервис

Исследование динамических характеристик чувствительного элемента микромеханического гироскопа

Диссертация: Исследование динамических характеристик чувствительного элемента микромеханического гироскопа
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Как и в других областях, разработка новых образцов микромеханических датчиков сопровождается многоаспектными теоретическими и экспериментальными исследованиями. Микромеханический вибрационный гироскоп представляет собой сложную мехатрон-ную систему, в которой чувствительному элементу задаются угловые или линейные колебания постоянной амплитуды в некоторой плоскости. При вращении основания… Читать ещё >

Исследование динамических характеристик чувствительного элемента микромеханического гироскопа (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Содержание

  • 1. Уравнения движения ротора микромеханического гироскопа
    • 1. 1. Обзор конструктивных схем
    • 1. 2. Принцип действия
    • 1. 3. Вывод уравнений ротора микромеханического гироскопа
    • 1. 4. Влияние отдельных слагаемых в уравнениях ММГ
  • 2. Первичные колебания ротора ММГ
    • 2. 1. Требования к первичным колебаниям
    • 2. 2. Расчет момента электростатического привода
    • 2. 3. Способы возбуждения первичных колебаний в режиме х автогенерации
    • 2. 4. Результаты моделирования системы стабилизации амплитуды в режиме автогенерации
    • 2. 5. Сравнение схем автогенерации с интегрированием и дифференцированием
    • 2. 6. Влияние нелинейности жесткости на характеристики ММГ
  • 3. Выходные колебания ротора ММГ
    • 3. 1. Оценка полосы пропускания ММГ при работе в разомкнутом контуре
    • 3. 2. Расчет датчика угла по оси выходных колебаний
    • 3. 3. Исследование передаточных функций по ошибке
    • 3. 4. Аналитическая модель микромеханического гироскопа
  • 4. Методика и результаты экспериментальных исследований
    • 4. 1. Определение перечня исследуемых параметров
    • 4. 2. Блок-схема контрольно-проверочной аппаратуры для проведения испытании
    • 4. 3. Методики испытаний
    • 4. 4. Методики обработки информации
    • 4. 5. Экспериментальная оценка резонансных частот
    • 4. 6. Оценка влияния угловой скорости на амплитуду первичных
  • — «116 колебании
    • 4. 7. Определение изменения величины масштабного коэффициента при изменении амплитуды первичных колебаний в условиях нелинейной жесткости

Актуальность работы. Развитие техники бесплатформенных инерци-альных навигационных систем, предназначенных для определения местоположения, параметров угловой ориентации и параметров движения подвижных объектов в пространстве в течение относительно малых интервалов времени автономной работы при жестких ограничениях на массо-габаритные характеристики, потребовало создания нового класса специализированных прецизионных устройств — микромеханических инерциальных датчиков. Эти датчики (гироскопы и акселерометры) характеризуются: малыми размерами (единицы кубических сантиметров), устойчивостью к ударным воздействиям, совершенно новой в данной области, полностью автоматизированной технологией изготовления [1, 2, 3, 49, 50, 51, 53, 59, 62, 73, 79], отработанной в производстве изделий микроэлектроники [75, 81, 82, 83]. Групповая технология позволяет изготавливать одновременно партии датчиков из одной заготовки в виде пластины кремния. Предполагается, что при массовом производстве такие датчики, конечно, имеющие точностные показатели, на порядки более низкие, чем используемые в относительно крупногабаритных корабельных и самолетных инерциальных навигационных системах, будут иметь низкую стоимость (десятки долларов).

Все перечисленное выше позволило открыть для бесплатформенных инерциальных навигационных систем с микромеханическими датчиками новые области применения, недоступные ранее для крупногабаритных и дорогих приборов. Одним из основных потребителей микромеханических инерциальных датчиков (ММИД) на сегодняшний день является автомобильная промышленность, использующая их в качестве источников первичной информации о параметрах движения автомобиля для построения систем контроля и безопасности [54, 57]. Широкое применение находят ММИД в современных видеокамерах, биноклях, мобильных телефонах и игрушках. Инерциальные навигационные системы с ММИД перспективны также для различных отраслей военной техники [55, 56, 60, 61].

Работы по созданию ММИД берут свое начало с 80-х гг. в рамках так называемой «Программы Звездных Войн» с целью создания высокоточного оружия (Smart Munition). Позднее, в связи с закрытием этой программы и снижением объема финансирования, дальнейшее развитие работ было в значительной мере поддержано частными инвесторами для коммерческого применения ММИД. В дальнейшем оказалось, что гражданский рынок ММИД значительно превышает емкость рынка военного применения и измеряется многими миллиардами долларов. В результате США, Германия и Япония уже имеют законченные разработки, на базе которых организовано крупносерийное производство [55, 56, 65, 66]. В последние годы в процесс создания ММИД включились Россия и Китай [86, 87, 88, 89, 90, 102]. Российские разработчики отстают от перечисленных выше стран, что объясняется низким уровнем в области технологии микроэлектроники. Тем не менее, уже сегодня созданы образцы микромеханических акселерометров, а появление микромеханических гироскопов (ММГ) является делом ближайшего будущего.

Как и в других областях, разработка новых образцов микромеханических датчиков сопровождается многоаспектными теоретическими и экспериментальными исследованиями [9, 49, 74, 77, 78, 84, 85, 91, 93]. Микромеханический вибрационный гироскоп представляет собой сложную мехатрон-ную систему, в которой чувствительному элементу задаются угловые или линейные колебания постоянной амплитуды в некоторой плоскости. При вращении основания кориолисовы силы вызывают колебания вокруг оси,-перпендикулярной к оси первичных колебаний, с амплитудой, пропорциональной угловой скорости. Математическое моделирование такой системы является необходимым этапом разработки. Важным и актуальным на начальном этапе разработки микромеханических гироскопов является исследование динамики движения чувствительного элемента при упрощенном его представлении в математической модели в виде системы с сосредоточенными параметрами, что необходимо для создания инженерных методов расчета. По результатам подобных исследований устанавливаются соотношения различных конструктивных, кинематических и динамических параметров, а затем и метрологических характеристик (масштабного коэффициента, коэффициентов динамических ошибок, показателей длительности переходных процессов, частотных характеристик, параметров ряда влияющих факторов и т. д.). После получения экспериментальных данных возможна корректировка и дополнение модели для использования на следующих этапах разработки. При этом важными и весьма актуальными являются обоснованный выбор методов испытаний, разработка методик и программ испытаний, проведение испытаний и интерпретация их результатов. По результатам испытаний оцениваются те свойства и характеристики, которые или не Moiyr быть получены рас-четно (например, разброс параметров по экземплярам, уровни шумов, смещения нулей, показатели чувствительности), а также определяются или уточняются параметры модели ММГ. Такой подход использован при разработке ММГ в ЦНИИ «Электроприбор» .

Цель работы.

Целью настоящей диссертационной работы является разработка на базе построенной математической модели научно обоснованных методик расчета ряда важных характеристик точности и стабильности дискового микромеханического гироскопа, а также разработка и опробование на серии изготовленных образцов методик испытаний чувствительного элемента.

Основные задачи исследования.

Поставленная цель достигается решением совокупности задач, из которых основными являются перечисленные ниже.

1. Исследование современного состояния и основных тенденций развития в области разработки теории ММГ.

2. Построение математических моделей, описывающих динамику чувствительного элемента, разработка программного обеспечения для автоматизированного исследования ММГ на математических моделях.

3. Проведение математического моделирования и исследование автоколебательного контура возбуждения и стабилизации амплитуд первичных колебаний с учетом особенностей структуры электронных цепей и нелинейности механической системы.

4. Проведение математического моделирования и исследование выходных колебаний чувствительного элемента ММГ, расчет таких технических характеристик, как переходные процессы при скачкообразном законе изменения измеряемой угловой скорости, частотные характеристики по измеряемой угловой скорости, оценки влияния на эти характеристики доброт-ностей контуров и расстройки по частотам.

5. Разработка методик стендовых натурных и полу натурных испытаний экспериментальных образцов ММГ и обработки данных измерений с целью повышения точности и достоверности результатов.

6. Испытания экспериментальных образцов ММГ, экспериментальное определение их основных характеристик и уточнение математических моделей по результатам экспериментов.

7. Формулирование научно обоснованных предложений по изменению конструктивных параметров механических частей ММГ, по выбору структур и режимов работы электронных схем и по расширению программ исследовательских испытаний.

Методы исследования. В работе используются методы теоретической механики, теории автоматического управления, теории нелинейных колебаний, численные методы решения дифференциальных уравнений. Программное обеспечение разработано в среде MatLab.

Научная новизна результатов диссертационной работы заключается в том, что результаты математического моделирования и испытаний, проведенных по разработанной методике, позволяют сделать обоснованные выводы относительно влияния конструктивных параметров и параметров электронных схем на характеристики точности ММГ.

Достоверность результатов работы определяется правильным использованием законов механики и электротехники при построении математической модели, корректным использованием математических методов, положенных в основу исследований, а также успешной практической апробацией рекомендаций, полученных на основе теоретических разработок.

Практическая ценность диссертации заключается в том, что в ней:

— предложена упрощенная математическая модель чувствительного элемента дискового ММГ и получена система расчетных соотношений, используемых на начальном этапе проектирования ММГ;

— разработана методика испытаний кремниевых чувствительных элементов, позволяющая определять основные конструктивные параметры, а также производить отбор годных изделий;

— результаты исследования контура возбуждения и стабилизации первичных колебаний применяются при создании опытного образца цифровой системы управления микромеханического гироскопа.

Основные результаты работы сводятся к следующему.

1. Проведенное математическое моделирование контура возбуждения и стабилизации первичных колебаний показывает возможность обеспечения резонансных колебаний с заданной амплитудой, устойчивых к внешним возмущающим воздействиям. Создан специализированный программный пакет, позволяющий проводить синтез и исследование контура возбуждения первичных колебаний чувствительного элемента ММГ.

2. Путем математического моделирования рассчитаны переходные процессы при скачкообразном законе изменения измеряемой угловой скорости, частотные характеристики по измеряемой угловой скорости и по динамической ошибке, произведена оценка влияния на эти характеристики добротно-стей контуров и разности частот первичных и выходных колебаний.

3. Разработана совокупность методов испытаний экспериментальных образцов ММГ, включающая такие разделы как статические испытания, динамические испытания, испытания в режиме ДУС на прецизионном стенде фирмы Acutronic.

4. Проведенные испытания экспериментальных образцов ММГ позволили определить те параметры, которые теоретически не могут быть оценены, а также, по результатам экспериментов, была уточнена математическая модель.

5. Установлено, что добротность вакуумированной системы достигает по оси первичных колебаний 700 000, а по оси выходных колебаний — 50 000, причем эти показатели для различных экземпляров изменяются в несколько раз. Управление собственной частотой путем подачи постоянного напряжения на электроды датчиков момента на порядки снижает добротность.

6. Установлено, что для лучших образцов серии изготовленных ММГ масштабный коэффициент достигает значений 0,26 мВ/град/с при диапазоне ±1000 град/с, а уровень шума — 0,17 град/сА/Гц.

7. Сформулированы научно обоснованные предложения по изменению конструктивных параметров механических частей ММГ, по выбору структур и режимов работы электронных схем и по расширению программ исследовательских испытаний.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

.

Показать весь текст

Список литературы

  1. М.И. Состояние разработок и перспективы развития ч микромеханических гироскопов // Навигация и управление движением. —
  2. СПб.: ГНЦ РФ-ЦНИИ «Электроприбор», 2000.-С.54−71.
  3. Yazdi N. et al. Micromachined Inertial Sensors // Proceedings of the IEEE, vol. 86, no. 8, AUGUST 1998.-P.1640−1658.
  4. Barbour N. et al. Micro-Electromechanical Instrument and Systems Development at Draper Laboratory // 3rd Saint Peterburg International Conference of Integrated Navigation Systems. -SPb.: CSRI «Electropribor», 1996.-Part 1.-P.3−10.
  5. Geiger W. et al. Improved Rate Gyroscope Designs Designated for Fabrication by Modern Silicon Etching // Symposium Gyro Technology, Germany. -1997.-p. 2.0−2.8.
  6. Ayasi F. Nayafi K. High Aspect-Ratio Dry-Release Poly-Silicon MEMS4
  7. Technology for Inertial-Grade Microgyroscopes // Position Location and Navigation Symposium, San Diego, California.-2000.-p.304−308.
  8. Fell C. Hopkin I. Townsend K. Sturland I. A Second Generation Silicon Ring Gyroscope // Symposium Gyro Technology, Germany.-1999.-P. 1.0−1.14.
  9. Gao Z. Dong Y. A Vibratory Wheel Micromashined Gyroscope // Symposium Gyro Technology, Germany.-1998.
  10. Funk K. et al. Surface micromashined silicon gyroscope using a thick polisilicon layer // MEMS-99,-P.57−60.
  11. М.И., Унтилов A.A. Конечно-элементный анализ конструкции микромеханического гироскопа // Сб.докл.Ш конф. молодых ученых «Навигация и управление движением»,-2001.t
  12. J.D.Zook, D.W.Burns, H. Guckel et al. Characteristics of polisilicon resonant microbeams // Sensors and Actuators A, 35 (1992), 51ч-59.
  13. K.Tanaka, Y. Mochida, M. Sugimoto et al. A micromachined vibrating gyroscope // Sensors and Actuators A, 50 (1995), 111-f-l 15.
  14. М.И., Ковалев A.C., Унтилов A.A., Шадрин Ю. В. Исследование влияния нелинейной жесткости на характеристики вибрационного микромеханического гироскопа. Материалы научной молодежной школы МСТ-2004, ТРТУ, 2004, стр. 85−94.
  15. A.Duwel, J. Gorman et al. Quality factors of MEMS gyros and the role of thermoelastic damping // Proceedings of the 15th IEEE International Conference on Micromechanical Systems (MEMS), Las Vegas, NV, 2002, pp.214−219.
  16. Ch.Jeong, S. Seok et al. A study on resonant frequency and Q factor tunings for MEMS vibratory gyroscopes // Journal of Mechanics and Microengineering, 14 (2004), pp.1530−1536.
  17. JI.A. «Механика гироскопических систем» Москва, МАИ, 1996.
  18. Бидерман В Л. Прикладная теория механических колебаний. — М.: Высшая школа. 1972.- 416 с.
  19. Working Draft P1431/D27 (April 2002) Standard Specification Format Guide and Test Procedure for Coriolis Vibratory Gyros // Gyro and Accelerometer Panel of the IEEE Aerospace and Electronic Systems Society, 2002.
  20. Отчет о НИР по теме Разработка дискового микромеханического гироскопа // ЦНИИ «Электроприбор». С-Пб.: 2002.
  21. Отчет о НИР «Микроскоп» этап 3 Исследование путей создания микромеханических датчиков угловой скорости для управляемых снарядов корабельной артиллерии // ЦНИИ «Электроприбор». С-Пб.: 2003.
  22. Geiger W., Folkmer В, Sandmaier Н., Lang W. New Designs, Readout Concept and Simulation Approach of Micromachined Rate Gyroscopes. Symposium Gyro Technology, Stuttgart, 1997.
  23. Hugh J. Murphy Micromachined rate sensor comb drive device and method. United States Patent № 5,530,342, Jun.25, 1996.
  24. А.Б. Цифровая обработка сигналов // СПб.: Питер, 2003.
  25. Отчет о НИР по теме Выбор конструктивной схемы и основных параметров макетного образца микромеханического вибрационного гироскопа кольцевого типа // ЦНИИ «Электроприбор». — С-Пб.: 2001.
  26. В.А., Попов Е. П. «Теория систем автоматического регулирования», М. 1966 г.
  27. Отчет о НИР по теме «Гирон» «Анализ и оптимизация конструктивных параметров ММГ кольцевого типа», ГУАП, 2000 г.
  28. Geiger W. et al «New designs, readout concept and simulation approach of micromachined rate gyroscopes», Симпозиум по гиротехнологии, Штутгарт, 1997 г.
  29. D.D. «Coriolis Vibratory Gyros», Симпозиум no гиротехнологии, Штутгарт, 1998г.
  30. С.Г. «Определение необходимой степени вакуумирования рабочей полости осциллятора микромеханического гироскопа», Гироскопия и навигация, № 1, 2002.
  31. С.Э., Тиморева А. В. «Курс общей физики», М., 1953.
  32. Отчет об испытаниях образцов ВКМ от 20.10.2004, ЦНИИ «Электроприбор», 2004.
  33. А.Б. «Цифровая обработка сигналов» СПб.: Питер, 2003.
  34. Отчет о динамических испытаниях образцов ММГ с внешним вакуумированием, ЦНИИ «Электроприбор», 2004.
  35. Протокол измерений рабочих емкостей и сопротивлений 5 образцов ВКМ, ЦНИИ «Электроприбор», 2003.
  36. Протокол статических испытаний экспериментальных образцов ВКМ, ЦНИИ «Электроприбор», 2003.
  37. Huikai Xie, Gary К. Fedder «Integrated Microelectromechanical Gyroscopes», Journal of aerospace engineering © ASCE / APRIL 2003 / 65−75.
  38. Challoner A., Gutierrez R., Tang T. Cloverleaf microgyroscope with electrostatic alignment and tuning. World Intellectual Property Organization, WO 03/14 669 A2, 20.02.2003.
  39. Challoner A., Gutierrez R. Microgyroscope with electrostatic alignment and tuning. World Intellectual Property Organization, WO 03/25 500 A2, 27.03.2003.
  40. Challoner A. et al. Microgyroscope with closed loop output. United States Patent, US 6,360,601 Bl, 26.03.2002.
  41. A.A., Глыбин И. Г., Капустин A.B., Неаполитанский А. С., Хромов Б. В. Микромеханический вибрационный гироскоп. Патент РФ, RU 2 178 548 С1, 20.01.2002.
  42. Geen J. Feedback mechanism for rate gyroscopes. World Intellectual Property Organization, WO 01/27 559 A2, 19.04.2001.
  43. Murphy H. J. Micromachined rate sensor comb drive device and method. European Patent Office, EP 0 704 674 A2, 03.04.1996.
  44. С.Г., Шадрин Ю. В. К вопросу о выборе конструктивных параметров микромеханического кольцевого вибрационного гироскопа// Навигация и управление движением. Сб. докл. III науч.-техн. конф. молодых ученых. СПб., 2001.-С. 94−101.
  45. Отчет о НИР База-ЭП-04 «Разработка методик и схем испытаний основных параметров дискового микромеханического гироскопа», ЦНИИ «Электроприбор». С-Пб.: 2004.
  46. А.С., Хромов Б. В., Александров Ю. С., Подзолко В. А. Микромеханический вибрационный гироскоп (его варанты). Патент РФ, RU 2 085 849 С 1,27.07.97.
  47. В., Geiger W., Lang W., Sobe С. «Датчик угловой скорости с разобщенными ортогональными первичными и вторичными колебаниями», DE 196 41 284 С1, 20.05.1998.
  48. Ash М.Е. et al. «Micromechanical Inertial Sensor Development at Draper Laboratory with Recent Test Results» Symposium Gyro Technology, 1999, Stuttgart.
  49. А.И., Кучерков С. Г., Шадрин Ю. В., Ковалев А.С.
  50. Микродрайвер", Свидетельство об официальной регистрации программы для ЭВМ № 2 004 611 525, 21.06.2004.
  51. В.Я. Микромеханические приборы. Учебное пособие. 2-е изд., перераб. и доп. Тул. Гос. Университет, Московский гос. Технологический университет им. К. Э. Циолковского. — Тула: Гриф и К., 2004. 476 с.
  52. А.С., Хромов Б. В. Микромеханические вибрационные гироскопы. М.: «Когито-центр», 2002. — 122 с.
  53. В.Г. Гироскопы начала XXI века Гироскопия и навигация, 2003. — № 4. — с.5−18.
  54. JI.A., Пономарев В. К., Панферов А. И. Несенюк Л.П., Кучерков С. Г., Шадрин Ю. В. Информационные характеристики вибрационного микромеханического вибрационного микромеханического гироскопа. Гироскопия и навигация. 2003. № 1. — с.76−82.
  55. Л.А., Пономарев В. К., Панферов А. И. Обзор и перспективы совершенствования микромеханических гироскопов. -Аэрокосмические приборные технологии. Второй международный симпозиум. Сборник материалов, 2002. с. 127.
  56. К., Barbour N., Elwell J., «Emerging low(er) cost inertial sensors» 2-nd Saint Petersburg International Conference on Gyroscopic Technology and Navigation, 1995, Part II, p.p.l 1−24.
  57. Systron Donner Inertial Division, http://www.systron.com.
  58. Inertial Science, Inc., http://www.inertialscience.com.
  59. Отчет о НИР «Исследование точностных характеристик микромеханического гироскопа компенсационного типа с учетом взаимодействия каналов возбуждения и измерения», СПб ГУАП, 2003.
  60. Ayazi F., Najafi. К. High Aspect-ratio Dry-Release Poly-Silicon MEMS Technology for Inertial-Grade Microgyroscopes. Position and Navigation Symposium, San Diego, California. — 2000. — pp.304−308.
  61. BAE SYSTEMS, http://www.baesystems.com.
  62. Militarily Critical Technologies, part III: Developing Critical Technologies, section 16: Positioning, navigation and time technology, Defense Threat Reduction Agency Dulles, VA, October 1999 (updated May 2000).
  63. Barbour N. et al. Inertial Instruments: Where to Now? 1st Saint Petersburg International Conference on Gyroscopic Technology and Navigation. -1994.-pp. 11−22.
  64. Pons-Nin J., Rodriguez A., Castaner L.M. «Voltage and pull-in time in current drive of electrostatic actuators», Microelectromechanical Systems, Journal of Volume: 11 Issue: 3, Jun. 2002.
  65. Bosch GmbH, ДАТЧИК СКОРОСТИ ВРАЩЕНИЯ RU., Патент США, US 5 728 936 17.03.98.
  66. Analog Devices, Inc., http://www.analog.com.
  67. Murata Manufacturing Co., Ltd., http://www.murata.com.
  68. A.C. Опыт использования Coventor для проектирования ММГ. VI научно-техническая конференция молодых учёных «Навигация и управление движением». — СПб.: ГНЦ РФ — ЦНИИ «Электроприбор», 2005. -с.107−175.
  69. М.И. Классификационные признаки конструкций микромеханических гироскопов. Гироскопия и навигация. — 2004. — № 3(46).-С. 30−37.
  70. М.И., Кучерков С. Г., Унтилов А. А., Шадрин Ю. В., Шалобаев Е. В. Анализ компьютерных средств проектирования ММГ с позиций мехатроники. Мехатроника, автоматизация, управление. № 2, 2004 с. 31−37
  71. М.И. Проблемы расчета и проектирования конструкций микромеханических гироскопов. Гироскопия и навигация, 2004. — № 1. — с. 27−39.
  72. В.Г., Несенюк Л. П., Кучерков С. Г., Евстифеев М. И., Некрасов Я. А. Результаты разработки микромеханического гироскопа//Гироскопия и навигация № 4(47). СПб., 2004, с 65.
  73. Н., Шмидт Дж. Направления развития инерциальных датчиков. Гироскопия и навигация, 2000. — № 1. — с.3−15.
  74. И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии: Пер. с англ. М.: Мир, 1985. — 496 с.
  75. Будкин B. JL, Паршин В. А., Прозоров С. В., Саломатин А. К., Соловьев В. М. Разработка кремниевых датчиков первичной информациидля систем навигации и управления Гироскопия и навигация, 1998. -№ 3(22). — с.94−101.
  76. В.Э., Панкратов В. М., Лестев A.M., Попова И. В. Расчет температурных и технологических погрешностей микромеханических гироскопов Микросистемная техника. — 2001. -№ 3. — с.2−10.
  77. В.П., Новиков Л. З., Хромов Б. В., Харламов С. А. Основные проблемы создания миниатюрного инерциального измерительного прибора на базе микромеханических чувствительных элементов -Гироскопия и навигация, 1996. № 4(15). — с.55.
  78. A.M., Попова И. В. Современное состояние теории и практических разработок микромеханических гироскопов Гироскопия и навигация, 1998. — № 3(22). — с.81−94.
  79. A.M. Нелинейный параметрический резонанс в динамике микромеханического гироскопа. Известия ВУЗов, Приборостроение, т.47, № 2, 2004, с. 36−42.
  80. П.И., Клочков В. П., Потыкевич И. В. Полупроводниковая электроника. Свойства материалов. Справочник. Киев, «Наукова думка», 1975 г. — 704 с.
  81. Li Z., Нао Y., Zhang D., Li Т., Wu G. An SOI-MEMS technology using substrate layer and bonded glass as wafer-level package. — Sensors and Actuators — 96 -2002-pp. 34−42.
  82. Ayazi F., Najafi. K. High Aspect-ratio Dry-Release Poly-Silicon MEMS Technology for Inertial-Grade Microgyroscopes. Position and Navigation Symposium, San Diego, California. — 2000. — pp.304−308.
  83. М.И. Оценка порога чувствительности микромеханических гироскопов. Гироскопия и навигация. — 2003. — № 1. — С. 27−33.
  84. Д. Использование ANSYS для расчета MEMS-устройств. -САПР и Графика № 5, 2000, с.54−55.
  85. В.Л., Паршин В. А., Прозоров С. В., Саломатин А. К., Соловьев В. М. Разработка кремниевых датчиков первичной информации для систем навигации и управления Гироскопия и навигация, 1998. -№ 3(22). — с.94−101.
  86. В.П., Новиков JI.3., Хромов Б. В., Харламов С. А. Основные проблемы создания миниатюрного инерциального измерительного прибора на базе микромеханических чувствительных элементов — Гироскопия и навигация, 1996. № 4(15). — с.55.
  87. Д.П., Ладычук И. Ю., Майзелес, А .Я., Филатов Ю. В., Шевелько М. И. Микроакселерометры и микрогироскопы на ПАВ. — Гироскопия и навигация. 2002. — № 4. — с.41.
  88. Li X., Bao М., Yang Н., Shen S., Lu D. A micromachined piezoresistive angular rate sensor with a composite beam structure. Sensor and Actuators 72 (1999)217−223.
  89. Song H., Oh Y.S., Song I.S., Kang S.O., Choi S.O., Kim H.C., Ha B.J., Baek S.S., Song C.M. Wafer level vacuum packaged de-coupled vertical gyroscope by a new fabrication process. Proc. IEEE, pp. 520−524, 2000.
  90. В.Я. Зависимость динамических характеристик гироскопов от стабильности режимов настройки. — Известия вузов. Приборостроение, 2005. № 8. — с.9−17.
  91. В.Я., Никулин А. В., Лихошерст В. В. Классификация конструкций микромеханических гироскопов. Известия вузов. Приборостроение, 2005. — № 8. — с.5−9.
  92. В.В., Никулин А. В., Распопов В. Я., Савинов А. Н. Типовые структуры и моделирование микромеханических гироскопов. — Известия вузов. Приборостроение, 2005. № 8. — с. 17−20.
  93. Н.В., Некрасов Я. А. К вопросу выбора преобразователя емкость-напряжение для микромеханического гироскопа. Материалы научной молодежной школы МСТ-2004, ТРТУ, 2004, стр. 94−102.
  94. Math Works, Inc., http://www.mathworks.com.
  95. MS3110 Universal capacitive readout 1С. MS3110 Datasheet2. pdf, Microsensor, Inc.
  96. М.И., Кучерков С. Г., Несенюк Л. П. и др.
  97. Микромеханический вибрационный гироскоп. Авторское свидетельство № 18 768, Россия, 2001.
  98. Davis W.O., Pisano А.Р. Nonlinear Mechanics of Suspension Beams for a Micromachined Gyroscopes. Modeling and Simulation of Microsystems, 2001, pp.270−273.
  99. Н.В. Исследование микромеханических датчиков угла наклона. Сборник докладов III конференции молодых ученых. — СПб.: ГНЦ РФ — ЦНИИ «Электроприбор», 2001.- с. 108−112.
  100. JI.A., Пономарев В. К., Панферов А. И. и др. Микромеханические гироскопы: конструкции, характеристики, технологии, пути развития. Известия вузов. Приборостроение. — 1998 —Т.41, № 1−2. -С.57−73.
  101. Алгоритм системы возбуждения и стабилизации первичных колебаний чувствительного элемента микромеханического гироскопа применен в макете цифрового контроллера ММГ.
  102. Совокупность методов и процедур стендовых исследовательских испытаний, обеспечивающая определение основных характеристик чувствительного элемента ММГ, использована при проведении испытаний опытных образцов ММГ.
  103. Начальник группы 815, д.т.н.
  104. Начальник отдела 081, д.т.н.
  105. Начальник сектора 303, к.т.н.
Заполнить форму текущей работой

Сессия? Спокойно!