Разработка информационного обеспечения вакуумных процессов создания пленочных композиций
Диссертация
Разработана структура и построена реляционная модель базы данных информационной системы. БД включает 16 таблиц справочной подсистемы, одну таблицу подсистемы администрирования ИС и 8 таблиц со значениями Emin (ot) для различных ориентации и вариантов роста необходимых для опре деления ориентационных соотношений.4. Впервые формализован процесс проектирования структуры много слойной ориентированной… Читать ещё >
Список литературы
- Слуцкая В.В. Тонкие пленки в технике сверхвысоких частот.- М.: Советское радио, 1967.- 456 с.
- Холлэнд Л. Нанесение тонких пленок в вакууме. — М.: Госэнергоиз- дат, 1962.- 608 с.
- Майссел Л., Глэнг Р. Технология тонких пленок: Справочник. -М.: Советское радио, 1977.- Т. 1.- 664 с.
- Точицкий Э.И. Кристаллизация и термообработка тонких пленок. — Минск: Наука и техника, 1976. — 376 с.
- Шварц П., Берри Р. У. Тонкопленочные элементы и схемы// Физика тонких пленок. Т. 2/ Под ред. Г. Хасса, Р. Э. Туна. — М.: Мир, 1967.- 320 -391.
- Палатник Л. С, Фз^с М.Я., Косевич В. М. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок. — М.: Наука, 1972. — 320с.
- Иевлев В.М., Трусов Л. И. Рост пленок: Учеб. пособие. — Воронеж: ВПИ, 1982. — 98 с.
- Дэшман Научные основы вакуумной техники. — М.: Мир, 1964. — 716 с.
- Соколов И. А. Расчеты процессов полупроводниковой технологии: Учеб. пособие для вузов. — М.: Металлургия, 1994. -176 с.
- Несмеянов А.Н. Давление пара химических элементов. — М.: Изд-во АН СССР, 1961.-396 с.
- Хирс Дж. П., Моазед К. Л. Образование зародышей при кристаллизации тонких пленок// Физика тонких пленок. Т. 4 / Под ред. Г. Хасса, Р. Э. Туна. — М.: Мир, 1970.- 123 — 166.
- Метфессель Тонкие пленки, их изготовление и измерение. -М.: Мир, 1963.-272 с.
- Данилов B.C. Вакуумное нанесение тонких пленок.- М.: Энергия, 1967.-312 с. по
- Касуэлл Х. Л. Оборудование для испарения материалов в сверхвысоком вакууме и анализ остаточных газов// Физика тонких пленок. Т. 1/ Под ред. Г. Хасса. — М.: Мир, 1967.- 13 — 90.
- Майссел Л., Глэнг Р. Технология тонких пленок: Справочник. -М.: Советское радио, 1977.- Т. 2.- 768 с.
- Тун Р. Э. Структура тонких пленок.// Физика тонких пленок. Т. 1/ Под ред. Г. Хасса — М.: Мир, 1967.- 224 — 274.
- Чопра К. Д. Электрические явления в тонких пленках. — М.: Мир, 1972.-436 с.
- Палатник Л. С, Папиров И. И. Ориентированная кристаллизация. — М.: Металлургия, 1964. -408 с.
- Нейгебауэр К. А. Явления структурного разупорядочения в тонких металлических пленках// Физика тонких пленок. Т. 2/ Под ред. Г. Хасса, Р. Э. Туна. — М.: Мир, 1967.- 13 — 82.
- Иевлев В.М. Структура пленок: Учеб. пособие. — Воронеж: ВПИ, 1983. — 87 с.
- Палатник Л.С., Папиров И. И. Эпитаксиальные пленки. — М.: Наука, 1971.-480с.
- Косевич В.М., Палатник Л. С. Механизм роста и дефекты кристаллического строения вакуумных конденсатов// Физика металлов и металловедение. — 1968. — Т. 25. — Вып. 1. — 63 -79.
- Мэтьюз Дж. У. Монокристаллические пленки, полученные испарением в вакууме // Физика тонких пленок. Т. 4/ Под ред. Г. Хасса, Р. Э. Туна. -М.: Мир, 1970.-С. 167−227.
- Северденко В.П., Точицкий Э. И., Чапланов A.M. Эпитаксиальный рост металлических пленок на галогенидах // Пластичность и обработка металлов давлением: Сб. тр. — Минск: Наука и техника, 1964.- 249−254
- Евстюхин А.И., Гаврилов И. И. Влияние параметров процесса осаждения на скорость роста и морфологию крупных осадков монокристалли-I l l ческого кремния // Металлургия и металловедение чистых металлов. — 1980. -№ 14.-0.21−28.
- Mouzd K.L., Anderson J.C.(ed.). The Use of Thin Films in Physical Investigation. — New York: Academic Press Inc, 1966. — 203 p.
- Иевлев B.M., Бугаков A.B., Трофимов В. И. Рост и субструктура конденсированных пленок: Учеб. пособие. — Воронеж: ВГТУ, 2000. -386 с.
- Иевлев В.М., Бугаков А. В., Иевлев В. П. Многослойные пленочные металлические композиции: структурный аспект проблемы // Вестник ВГТУ. Сер. Материаловедение. — Вып. 1.1. — Воронеж: ВГТУ, 1996. — 7 — 22.
- Иевлев В.М., Бугаков А. В. Структурная и субструктурная самоорганизация при росте многослойных пленочных композиций //Вестник ВГТУ. Сер. Материаловедение. — Вып. 1.5. — Воронеж: ВГТУ, 1999. — 61 — 68.
- Royer M.L. Recherches experimentales sur I’epitaxie on orientation mutuelle des cristaux d’especes differentes // Bull. Soc. Franc. Mineral. -1928. -Vol.51.-№l-2.-P. 7−157.
- Warrington D.H., Bufalini P. The Coincidence Site Lattice And Grain Boundaries // Scr. Met. — 1971. — Vol. 5 — P.771−776.
- Исследование структуры границ зерен / B.C. Постников, В. М. Иевлев, К. С. Соловьев, И. В. Золотухин //ФММ. -1974. — Т.37. -С. 124−132.
- Tan T.Y., Sass S.L., Balluffi R.W. The Detection Of The Periodic Structure Of High-Angle Twist Boundaries.II. High Resolution Electron Microscopy Study // Phil. Mag. -1975.- Vol. 31.-P. 575−585.
- Bollmaim W. On The Geometry Of Grain And Phase Boundaries. I. General Theory. 11. Apphcations Of General Theory //Phil.Mag.- 1967.-Vol. 16.-P.363−381.-P.383−399.
- Структура межкристаллитных и межфазных границ / В. М. Косевич, В. М. Иевлев, Л. С. Палатник, А. И. Федоренко. -М.Металлургия, 1980.- 250 с.
- Иевлев В.М., Бугаков А. В., Бармина Н. В. Применение теории 0- решетки к анализу ориентационных соотношений на межфазной границе // Поверхность. Физика, химия, механика. — 1984.-№ 5.-С. 21−28.
- Bauer Е. Phanomenologische Theorie der Kristallabscheidung an Ober- flachen//Z. Kristallogr. -1958. -Bd. 110. -H.4. — S. 372−431.
- Bauer E. Epitaxy Of Metals On Metals // Appl.Surf.Sci. — 1982. — Vol. 11/12.-P. 479−494.
- Иевлев B.M., Трусов Л. И., Холмянский В.А. Структурные превращения в тонких пленках. — 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Металлургия, 1988. -326 с.
- Ван дер Мерве Дж. X. Несоответствие кристаллических решеток и силы связи на поверхности раздела между ориентированными пленками и подложками // Монокристаллические пленки — М.: Мир, 1966. — 172−201.
- Bauer Е., Van der Merwe J.H. Structure And Growth Of Crystalline Su- perlattices: From Monolayer To Superlattice // Phys.Rev.B: Condens. Mater. -1986.- Vol. 33.- № 6. — 3657 — 3671.
- Бугаков A.B., Иевлев B.M., Ирхин Б. П. Энергия и релаксированная атомная структура межфазных границ в металлических системах с ГЦК решеткой 1. Энергия границ различных ориентации // Поверхность. Физика, химия, механика.-1993. — № 2. — 97−105.
- Бугаков А.В., Иевлев В. М. Энергия и релаксированная атомная структура межфазных границ в металлических системах с ГЦК решеткой: границы (lll)-(OOl) и (lll)-(llO)// Поверхность. Физика, химия, механика. -1994.-№ 12.-С. 112−122. ИЗ
- Горнев В.Ф. Проблемы и технология комплексной автоматизации// Автоматизация проектирования. — 1998.- № 4.- 40−44. -1999.- № 1.- 28−36.
- Емельянов В.В. Модели в задачах анализа и управления сложными системами и процессами // Компьютерная хроника. — 1999. — № 3.-С.51−69.
- Норенков И.П., Маничев В. Б. Основы теории и проектирования САПР. — М.: Высш. шк., 1990. — 335 с.
- Системы автоматизированного проектирования: В 9 кн. Норенков И. П. Кн. 1. Принципы построения и структура. — М.: Высш. шк., 1986.- 127 с.
- Системы автоматизированного проектирования: В 9 кн. Трудоно- шин В.А., Пивоварова Н. В. Кн. 4. Математические модели технических объектов. — М.: Высш. шк., 1986. — 160 с.
- Зуев Н.Н., Данилин А. Н. Комплексный инженерный анализ — прочность, динамика, акустика // Автоматизация проектирования. — 1998. — № 2 -С.31 -35.
- Но. Р., Plummer J.D., Hansen S.E. VLSI Process Modeling — SUPREM3 // ШЕЕ Trans. Electron Dev. — 1983. — Vol. ED-30. — № 10. — P. 1438 -1453.
- Горнев В.Ф. Информационная интеграция производств// Компьютерная хроника. — 1999. — № 3.- 5−24.
- Громов Г. Р. Очерки информационной технологии. — М.: ИнфоАрт, 1993.-336 с.
- LT 97 — альтернатива AutoCAD // Автоматизация проектирования.- 1998.-№ 2.-С. 42−44.
- Коротко о SCAN // Автоматизация проектирования. — 1998. — № 2 — 39−41.
- Мороз В.А. Физический анализ кремниевой технологии (ФАКТ) // Компьютерные силы быстрого реагирования. — 1992. — Вып. 1. — 4−11.
- Scovell P.D., Duckworth C.N., Rosser P.G. Modeling of VLSI Semiconductor Manufacturing Processes // Rep. Prog. Phys. — 1989. — Vol. 52. — P. 349−388.
- Артамонов Е.И. Комплекс программных средств CAD/CAM — систем ГРАФИКА-81 // Автоматизация проектирования. -1997. — № 1 — 42−45.
- Кузнецов Д. Введение в системы управления базами данных: Часть 1. // СУБД. -1995.-№ 1.- 117−127.
- Кузнецов Д. Введение в информационные системы: Часть 2.11 СУБД. — 1997. — № 2. — 83−96.
- Артемьев В.И. Обзор способов и средств построения информационных приложений // СУБД. -1996.- № 5−6. — 52−63.
- Ueno F., Капо S., Iwata S. Development of «Data-Free-Way» Distrbuted Database System For Advanced Nuclear Materials// Nucl. Sci. Tech-nol. -1994. — № 12.- Vol. 31. — P. 1314−1334.
- Nakajima H., Yokoyama N., Ueno F. Present Status and Prospect of «Data — Free — Way» (Distributed Database for Advanced Nuclear Materials) // Nucl. Mater. — 1994. — Vol. 212 -215, P. 1711 -1714.
- Fujita M., Yokokawa Т., Noda T. A Material Information System by Using the Internet // http://inaba.nrim.go.jp/. -1997. — 13 p.
- Fujita M., Kurihara Y, Shindo M. A Distributed Database System for Mutual Usage of Materials Information (Data — Free — Way)// STP 1331.-1997.- P. 260−276.
- C.A. Ильичёва, B.C. Майоров, H.M. Семёшин. База знаний в лазерных технологиях// Автоматизация проектирования. -1998. -№ 2. — 16−20.
- Бойко В.В., Савинков В. М. Проектирование баз данных информационных систем. — 2-е изд. перераб. и доп. — М: Финансы и статистика, 1989. — 350 с.
- Тиори Т., Фрай Дж. Проектирование структур баз данных: В 2 кн. Кн.1.-М:Мир, 1985.-287 с.
- Чикирякин А.А. Информационная система проектирования вакуумных технологических процессов формирования пленочных композиций // Конференция студентов и молодых ученых. Техническая физика: Сб. тр. -Москва, 1998.-Ч. П.-С. 17−22.
- Грабер М. Введение в SQL. — М.: Лори, 1996. — 375 с.
- Чикирякин А.А. Система проектирования вакуумных технологий тонкопленочных материалов// Второй Всерос. сем. «Нелинейные процессы и проблемы самоорганизации в современном материаловедении»: Тез. докл. -Воронеж, 1999. -С. 138 — 140.
- Чикирякин А.А., Иевлев В. М., Бугаков А. В. База данных информационной системы проектирования вакуумных технологических процессов нанесения пленочных покрытий// V Междунар. конф. «Пленки и покрытия'98»: Сб. тр.- Санкт-Петербург, 1998. — 377−379.
- Шульце Г. Металлофизика. — М.: Мир, 1971.-504 с.
- Ладыженский Г. М. Системы управления базами данных — коротко о главном // СУБД. — 1995.- № 1.- 128−138.
- Кодд Е.Ф. Реляционная модель данных для больших совместно используемых банков данных.// СУБД. -1995. — № 1 — 100−116.
- Кузнецов Д- Введение в СУБД: Часть АЛ СУБД. — 1995. — № 4 — 114−122.
- Джексон Г. Проектирование реляционных баз данных для использования с микроэвм. — М.: Мир, 1991. -247 с.
- Бугаков А.В., Иевлев В. М. Энергия межфазных границ в металлических пленочных системах при сопряжении плоскостями разных индексов // Тонкие пленки и нитевидные кристаллы: Межвуз. сб. научн. тр. -Воронеж, 1993.-С. 4−11.
- Б)таков А. В. Энергия, релаксированная атомная структура и субструктура межфазных грани в пленочных металлических системах// Дис. д-ра физ.-мат. наук. — Воронеж, 1996. — 295 с.
- Бугаков А.В., Чикирякин А.А. Компьютерное прогнозирование структуры многослойных тонкопленочных композиций // Симпозиум «Математическое моделирование в естественных и гуманитарных науках»: Тез. докл.- Воронеж, 2000.-С. 36.
- Palmberg P.W., Rhoin T.N., Todd Т. Ion-energy Electron Diffraction Studies Of Epitaxial Growth Of Silver And Gold In Ultrohight Vacuum// Appl. Phys. Lett. -1967. — Vol.10. — P.122 -124.
- Stirland D.J. Epitaxy Modifications To Evaporated Fee Metals Induced By Electron Bombardment Of Alkali Halide Substrates // Appl. Phys. Lett. — 1969. -Vol. 15.-P. 86−88.
- Stirland D.J. Etectron-Bombardment-Induced Changes In The Growth And Epitaxy Of Evaporated Gold Films // Appl. Phys. Lett. — 1966. — Vol. 8. — P. 326−327.
- Palmberg P.W., Todd C.J., Rhodin T.N. Role Of Surface Defects In The Epitaxial Of Some Fee Metals On Potassum In UHV // J. Appl. Phys. — 1968. -Vol. 39.- 4650−4662.
- Cho A.Y., Arthur J.R. Molecular Beam Epitaxy // J. Cryst. Growth. — 1978.-Vol. 45.-P.-325.
- Berger H. Molekularstrahlepitaxial// J.Tag. Phys. Und Electron. — Berlin. -1977.-P. 107−136
- Влияние ионизации молекулярного пучка на ориентированный рост металлических пленок / B.C. Постников, В. М. Иевлев, В. Н. Моргунов, И. В. Золотухин // Нитевидные кристаллы и неферромагнитные пленки. Ч. 2: Тонкие пленки. — Воронеж. -1970. — 87 — 93.
- Моргунов В.Н. Особенности зарождения и структура пленок некоторых металлов при конденсации из ионизированного потока: Автореферат дис… канд. физ. — мат. наук. — Воронеж. — 1971. — 16 с.
- Влияние ионизированных атомов в конденсируемом потоке на кинетику зарождения пленок / В. М. Иевлев, В. А. Аммер, Е. В. Шведов, В. И. Иванов // ФТТ. — 1976. — Т. 18. — 1138 — 1140.
- Takagi Т., Yamada I., Sosaki А. Film Formation By Ionized — Claster Beam Deposition // Inst. Phys. Conf Ser. — 1978. — № 38. — P. 142 -150.
- Takagi T. Yamada I. Ionized — Cluster Beam Epitaxy // J. Cryst. Growth. -1978.-Vol. 45.-P. 318−325.
- Yamada I. Characteristics Of Thin Films Formed By The lonized- Cluster Beam Technique // J. Cryst. Growth. — 1978. — Vol. 45.- P. 318 — 325.
- Tokutaka N., Putton M., Higgenbotham J.G. The (100) Surfaces Of Alkali Halides. II Electron Stimulated Dissociation // Surf Sci. — 1970. — Vol. 21. — P. 233 — 240.