Системы на основе несамостоятельных газовых разрядов низкого давления для генерации потоков ионов и плазмы
Диссертация
Результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались более чем на 20 международных и отечественных научных конференциях, в том числе на 8, 12, 13 Международных конференциях по ионным источникам (ICIS) (Киото, Япония, 1999; Де Джу, Корея, 2007; Гатлинбург, США, 2009) — 11 Международной конференции по физике плазмы (ICPP) (Австралия, Сидней, 2002) — 31, 32, 34 Международных конференциях… Читать ещё >
Список литературы
- Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. М.: Атомиздат, 1972, 304 с.
- Форрестер А.Т. Интенсивные ионные пучки. М.: Мир, 1992, 358 с.
- The physics and technology of ion sources / Edit. By Brown I.G. //New York.: Wiley, 1989, 464 p.
- Handbook of ion sources / Edited by Wolf B.H. // Boca Raton, FL.: CRS Press, 1995, 544 p.
- Семенов А.П. Пучки распыляющих ионов: получение и применение. Улан-Удэ: Издательство БНЦ СО РАН, 1999, 170 с.
- Handbook of plasma immersion implantation and deposition / Edited by A. Anders. // New York, Wiley, 2000, 736 p.
- Габович М.Д., Плешивцев H.B., Семашко H.H. Пучки ионов и атомов для управляемого термоядерного синтеза и технологических целей. М.: Энергоатомиздат, 1986, 248 с.
- Lawrence Е.О. Methods of and apparatus for separating materials // Patent US 2 709 222, 1955.
- Физические величины: справочник / Под ред. Григорьева И. С., МейлиховаЕ. 3. //М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с.
- Коленчиц О.А. Тепловая аккомодация систем газ твердое тело. Минск: Наука и техника, 1977, 126 с.
- Yamamura Y., Itoh N. Chapter 4, Sputtering Yield, p.59, in Ion Beam Assisted Film Growth. Edited by Itoh T. Amsterdam: Elsevier, 1989.
- Rapp D., Englander-Golden P. Total cross sections for ionization and attachment in gases by electron impact. I. Positive Ionization // J. Chem. Phys. 1965, Vol. 43. p. 1464−1479.
- Scharm B. L., De Heer F. J., Van der Wiel M.J., Kistemaker J. Ionization cross sections for electrons (0.6−20 keV) in noble and diatomic gases // Physica. 1965, Vol. 31. P. 94−112.
- Жаринов A.B. Амплитуда колебаний потенциала квазинейтрального ионного пучка // Письма в ЖЭТФ, Т. 17, вып. 9, 1973, с.508−511.
- Попов Ю.С. Электростатическая неустойчивость ограниченного ионного пучка // Письма в ЖЭТФ, 1966, т. 4, с. 352−355.
- Knechtli R.C. Hollow cathode gas discharge device // Pat. USA, № 3 831 052, 1974.
- Knechtli R.C., Mercer G.N. Plasma cathode electron gun // IEEE J. Quantum Electronics, 1973, V. 9, № 6, p.684−686.
- Bayless J.B.,. Knechtli R.C., Mercer G.N. Plasma cathode electron gun // IEEE J. Quantum Electronics, 1974, V.10, № 2, p. 213−218.
- Bayless J.R. Plasma cathode electron gun // Rev. Sci. Instrum., 1975, V. 46, № 9, p. 1158.
- Метель A.C. Плазменный источник электронов с секционированным холодным полым катодом // ПТЭ, 1987, № 1, с. 164−167.
- D.M. Goebel, R.W. Schumacher, and R.L. Eisenhart Performance and pulse shortening effects in a 200-kV PASOTRON™ HPM source // IEEE Trans. Plasma Sci., 1998, V. 26, p. 354−365.
- Goebel D.M., Schumacher R.W., Watkins R.M. Long-pulse plasma cathode gun // Proceedings 9th International Conference on High Power Particle Beams, 1992, V. 2, p. 1093−1098.
- Глазунов B.H., Гречаный В. Г., Метель A.C. Разрядная камера сильноточного ионного источника с холодным полым катодом // ПТЭ, 1988, № 1, с. 145−147.
- Глазунов В.Н., Метель А. С., Юрин В. А. Технологический ионный источник на основе тлеющего разряда с холодным полым катодом // Тез. докл. I Всес. Конф. по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц, 1988, с. 76 78.
- Mourier G. Ion source using a hollow cathode discharge arrangement and in particular a particle accelerator comprising such a source // Pat. USA 4 087 721,1978.
- Метель A.C. Генератор плазмы // A.C. № 1 589 898 Al, МКИ H 01 J 27/00. Заявлено 15.09.88.
- Метель A.C. Генератор ионного пучка //A.C. № 1 552 923 Al, МКИ H 01 J 27/00. Заявлено 28.03.88.
- Anders A., MacGill R.A., Brown I.G., Vizir A. A filamentless ion source for materials processing // Rev. Sci. Instrum., 1998, 69(2), p.880−882.
- Hull A.W. The effect of a uniform magnetic field on the motion of electrons between coaxial cylinders // Phys. Rev., 1921. Vol. 18. No. 1. p. 31−57.
- Данилин B.C., Сырчин B.K. Магнетронные распылительные системы. M.: Радио и связь, 1982, 72 с.
- Кузьмичев А.И. Магнетронные распылительные системы. Киев: Аверс, 2008, 244 с.
- Zharinov А. V., Popov Y. S. Acceleration of plasma by a closed Hall current // Sov. Phys. Tech. Phys., 1967, V. 12, p. 208−211.
- Kaufman H.R., Robinson R. S. End-Hall Ion Source. // U.S. Patent 4 862 032, Aug. 29, 1989.
- Kaufman H. R., Kahn J. R., Robinson R. S., Zhurin V. V. Hall-current ion source. // US Patent № 6 750 600. June 15, 2004.
- Zhurin V. V., Kaufman H. R., Robinson R. S. Physics of closed drift thrusters // Plasma Sources Sci. Technol., 1999, V. 8, p. Rl.
- Морозов А.И. Физические основы космических электрореактивных двигателей. М.: Атомиздат, 1978, 328 с.
- Choueiri E. Fundamental difference between the two hall thruster variants // Phys. Plasmas, 2001, V. 8, p. 5025−5033.
- Завьялов M.A., Крейндель Ю. Е., Новиков A.A., Шантурин Л. П. Плазменные процессы в технологических электронных пушках. М.: Энергоатомиздат, 1989. 256 с.
- Крейндель М.Ю., Осипов И. В., Ремпе Н. Г. Параметры плазмы в отражательном разряде с полым катодом // ЖТФ, 1992, Т. 62, № 10, с. 165−169.
- Гаврилов Н.В., Никулин С. П., Радковский Г. В. Источник интенсивных широких пучков ионов газов на основе разряда с полым катодом в магнитном поле // ПТЭ, 1996, № 1, с. 93−98.
- Донец Е Д. Авт. свид. СССР № 248 860. 1969, Бюлл. Изобр. № 23,с.65.
- Donets E.D. Review of the JINR Electron Beam Ion Sources // IEEE Trans. Nucl. Sei. 1976, NS-23, p. 897−903.
- Kaufman H.R., Robinson R.S. Ion Source Design for Industrial Applications // Am. Inst. Aeronaut. Astronaut. J. 1982, V. 20, p. 745−750.
- Penning F.M. Ein neues manometer fur niedrige gasdrucke, insbesondere zwischen 10~3 und 10~5 mm // Physica, 1937, V. 4, p. 71−75.
- Стогний А.И., Серов A.A., Корякин C.B., Паньков B.B. Газоразрядный источник ионов низкого давления с полым катодом и диаметром выходной апертуры 420 мм // ПТЭ, 2008, № 2, с. 162−165.
- Борисов Д.П., Коваль H.H., Щанин П. М. Генерация объемной плазмы дуговым разрядом с накаленным катодом // Известия вузов. Физика, 1994, Т.37, № 3, с. 115−120.
- Винтизенко Л.Г., Коваль H.H., Щанин П. М., Толкачев B.C. Дуговой генератор для создания плазменного потока большого сечения // ПТЭ, 2000, № 3, с. 89−97.
- Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1992, 536 с.
- Болдасов B.C., Денбновецкий С. В., Кузьмичев А. И. Моделирование газоразрядных коммутирующих приборов низкого давления.
- Электрическая прочность приборов в предразрядный период. Кшв: Ф1рма «Вшол», 1996, 140 с.
- Каминский М. Атомарные и ионные столкновения на поверхности металла. М.: Мир, 1967, 506 с.
- Svensson R., Holmlid L. Very low work function surfaces from condensed excited states: Rydber matter of cesium // Surface Science, 1992, V. 269/270, p. 695−699.
- Семенов А.П. Газоразрядное устройство // A.C. № 1 375 024 А, МКИ H 01 J 17/04, 3/02.
- Кагадей B.A., Козырев A.B., Осипов И. В., Проскуровский Д. И. Вольт-амперные характеристики отражательного разряда с полым катодом и самокалящимся элементом // ЖТФ, 2001, т. 71, в. 3, с. 22−28.
- Vizir А.V., Tyunkov A.V., Shandrikov M.V., Oks E.M. Two-stage plasma gun based on a gas discharge with a self-heating hollow emitter // Rev. Sci. Instrum., 2010, V. 81, p. 02B903.
- Визирь A.B., Оке E.M., Щанин П. М., Юшков Г. Ю. Несамостоятельный тлеющий разряд с полым катодом для широкоапертурных ионных источников // ЖТФ, 1997, Т. 67, № 6, с. 27−31.
- Oks Е.М., Vizir A.V., Yushkov G.Yu. Low pressure hollow-cathode glow discharge for broad beam gaseous ion source // Rev. Sci. Instrum., 1998, 69(2)., pp.853−855.
- Визирь A.B., Оке E.M., Юшков Г. Ю. Ионно-эмиссионные свойства несамостоятельного тлеющего разряда с полым катодом // Известия вузов, Физика, 2000, № 2, с. 14−20.
- Vizir A.V., Yushkov G.Yu., Oks E.M. Further Development of a Gaseous Ion Source Based on Low-pressure Hollow Cathode Glow // Rev. Sci. Instrum., 2000, 71(2), pt.1−2 p.728−730.
- Shandrikov M.V., Vizir A.V., Yushkov G.Yu., Oks E.M., Anders A., Baldwin D.A. Generation of a High-Current, Very-Low-Energy Ion Beam with Unconventional Space Charge Neutralization // Известия вузов. Физика. Приложение. 2006, № 8, с. 80−83.
- Vizir А.V., Oks Е.М., Shandrikov M.V. Generation of Space Charge Compensated Low Energy Ion Flux // Rev. Sci. Instrum., 2008, Vol.79 (2) p. 02B719
- Визирь A.B., Оке E.M., Шандриков M.B., Юшков Г. Ю. Генератор объёмной плазмы на основе разряда с плазменным катодом // ПТЭ, 2003, № 3, с. 108−111.
- Визирь A.B., Оке E.M., Шандриков M.B., Юшков Г. Ю. Генерация объемной плазмы на основе сильноточного газового разряда с внешней инжекцией электронов // Прикладная физика. № 6, 2004, с. 115−119.
- Vizir A.V., Oks Е.М., Salvadori М.С., Teixeira F.S., Brown I.G. Small plasma source for materials application // Rev. Sci. Instrum., 2007, V. 78, (1−2), p. 86 103.
- Vizir A.V., Tyunkov A.V., Shandrikov M.V. Energy spectra of electrons in non-selfsustained low pressure gaseous discharge plasma // Изв. Вузов. Физика, 2007, № 9. Приложение. С. 218−221.
- Shandrikov M.V., Vizir A.V. Formation of hard amorphous hydrogenated carbon films on metal by CVD method in acetylene plasma // Изв. Вузов. Физика, 2007, № 9. Приложение. С. 460−463.
- Vizir A.V., Tyunkov A.V., Shandrikov M.V. Improved plasma uniformity in a discharge system with electron injection // Rev. Sci. Instrum., 2009, Vol.80 (2), p. 23 301
- Vizir A.V., Oks E.M., Shandrikov M.V., Yushkov G.Yu. Effective Source of High Purity Gaseous Plasma // Proc. of 7th International Conference on modification of materials with particle beams and plasma flows, Tomsk, Russia, 2004, p.81−84.
- Oks E.M., Vizir A.V., Shandrikov M.V., Yushkov G.Yu., Grishin D.M., Anders A., Baldwin D.A. Inverted End-Hall Type Low-Energy High-Current Gaseous Ion Source // Rev. Sci. Instrum., 2008, V. 79(1) p. 7 891 (1−3).
- Vizir A.V., Shandrikov M.V., Yushkov G.Yu., E.M. Oks. Gridless, very low energy, high-current, gaseous ion source // Rev. Sci. Instrum., 2010, V. 81, p. 02B307.
- Москалев Б. И. Разряд с полым катодом. М.: Энергия, 1969. 184 с.
- Метель А.С. Расширение рабочего диапазона давлений тлеющего разряда с полым катодом // ЖТФ, 1984, т.54, № 2, с. 241−247.
- Глазунов В. Н., Метель А. С. Инверсия катодной полости тлеющего разряда в магнитном поле // ЖТФ, 1981, Т.51, № 5, с.932−939.
- Гречаный В.Г., Метель А. С. Влияние граничных условий на характеристики тлеющего разряда с полым катодом // ЖТФ, 1982, Т. 52, № 3, с. 442−445.
- Глазунов В.Н., Метель А. С. О механизме потерь быстрых электронов в тлеющем разряде с осциллирующими электронами // Физика плазмы, 1982, Т. 8, № 5, с.1099−1104.
- Метель А.С., Григорьев С. Н., Мельник Ю. А., Панин В. В. Заполнение рабочей камеры технологической установки однородной плазмойс помощью стационарного тлеющего разряда // Физика плазмы, 2009, Т.35, № 12, с. 1140−1149.
- Метель А.С., Григорьев С. Н. Тлеющий разряд с электростатическим удержанием электронов. М.: «Янус-К», ИЦ ГОУ МГТУ «Станкин», 2005. 296 с.
- Andersson J., Anders A. Self-sputtering far above the runaway threshold: an extraordinary metal-ion generator // Physical Review Letters, 2009, 102, p. 45 003.
- Oks E., Anders A. A self-sputtering ion source: A new approach to quiescent metal beams // Rev. Sci. Instrum., 2010, V. 81, p. 02B306.
- Yushkov G. Yu., Anders A. Origin of the delayed current onset in highpower impulse magnetron sputtering // IEEE Trans. Plasma Science, 2009, V. 38(11−1), p. 3028−3034.
- Hershcovitch A. Observation of a very high electron current extraction mode in a hollow cathode discharge // Applied physics, 1993, V.74, № 1, p. 728 729.
- Hershcovitch A., Prelec K. Hollow cathode discharge as a plasma source for H" production // Rev. Sci. Instrum. 1981, 52(10), p. 1459−1462.
- Семенов А.П. Газоразрядное устройство. // A.C. № 1 375 024 А, МКИ H 01 J 17/04, 3/02.
- Семенов А.П. Генерирование сильноточных ионных пучков в источниках ионов на основе разрядов с холодным полым катодом // ПТЭ, 1993, Т.5, с. 128−133.
- Zhurin V.V., Kaufman H.R., Robinson R.S. Physics of Closed Drift Thrusters (Review article) // Plasma Sources Sci. Technol., 1999, V. 8, p. R1-R20.
- Keller R. A reliable noble gas duoplasmatron for the 10 mA range // Radiation Effects and Defects in Solids: Incorporating Plasma Science and Plasma Technology, 1979, V. 44,1. 1 & 4, p. 201−206.
- Davis R.C., Jernigan T.C., Morgan O.B., Stewart L.D., Stirling W.L. DuoPIGatron ion source // Rev. Sci. Instrum., 1975, V. 46, No.5, p. 576−581.
- Stirling W.L., Tsai C.C., Ryan P.M. 15 cm duoPIGatron ion source // Rev. Sci. Instrum., 1997, V. 48(5), p. 533−536.
- Gushenets V.I., Oks E.M., Hershcovitch A., Johnson B.M. Side extraction duoPIGatron-type ion source // Rev. Sci. Instrum., 2008, V. 79, p. 02B307.
- Чесноков C.M. Широкоапертурный источник ионов // A.C. № 1 598 757 Al, МКИ H 01 J 27/04. Заявлено 15.02.89.
- Баликоев И.С., Барченко B.T., Заграничный С. Н., Никифоров В. Н. Плазменный источник заряженных частиц // А.С.№ 1 523 033 А1, МКИ Н 05 Н 1/00, Н 01 J 27/00. Заявлено 06.04.88.
- Sacudo N. Microwave ion source for industrial applications // Rev. Sci. Instrum., 2000, V.71, № 2, p. 1016.
- Boonyawan D., Chirapatpimol N., Sanguansak N., Vilaithong Т. A 13,56 MHz multicusp ion source for high intensity Ar beam // Rev. Sci. Instrum., 2000, V.71, №.2, p. l 181−1183.
- Siegfried D., Buchholtz В., Burtner D., Foster W. Radio frequency linear ion beam source with 6cmx66cm beam // Rev. Sci. Instrum., 2000 V.73, №.2, p.1029−1031.
- Asmussen J. Electron cyclotron resonance microwave discharges for etching and thin film deposition // J.Vac.Sci.Technol., 1989, V. A7, № 3, p. 883.
- Абдулин И.Ш., Шаехов М. Ф. Активация высокодесперсионного силикагеля в высокочастотном разряде пониженного давления // Материалы 16^Звенигородской конференции по физике плазмы и УТС, Звенигород, 2004, с. 200.
- Shapoval S., Bulkin P., Chumakov A., et al. Compact ECR-source of ions and radicals for semiconductor surface treatment // Vacuum, 1992, V.43, № 3, p.195.
- Vodopyanov A.V., Golubev S.V., Zorin V.G., Razin S.V., Vizir A.V., Nikolaev A.G., Oks E.M., Yushkov G.Yu. Multiple ionization of metal ions by ECR heating of electrons in vacuum arc plasmas // Rev. Sei. Instrum., 2004, vol.75, no.5, p.1888 1890.
- Андреев Ю.А., Захаров A.H., Климов А. И., Кошелев В.И., Петкун
- A.A., Сочугов Н. С., Сухушин К. Н. Плазменный источник на основе С.В.Ч. -разряда с электронно-циклотронным резонансом // ПТЭ, 1997, № 1, с. 108.
- Залеский Ю.Г., Еремка В. Д., Кушнир В. А., Назаров Н.И., Потапенко
- B.А., Стрельницкий В. Е., Шулаев В. М. Сверхвысокочастотный источник кислородной плазмы // ПТЭ, 1996, № 1, с. 99.
- Chen J.-L., Chen L. Apparatus for decelerating ion beams with minimal energy contamination // Patent US 6,489,622, December 3, 2002.
- Keller J.H. Extraction and deceleration of low energy beam with low beam divergence // Patent US 6,838,677, January 4, 2005.
- Sullivan P., Gammel G.M., Brennan D.F. Method and apparatus for low energy ion implantation // Patent US 6,528,804, March 4, 2003.
- Popova I., Muha R., Chen Z., Yates J.T., Jr. Construction and performance of a low energy ion gun // J. Vac. Sei. Technol. A, 2003, 21(2), p.401−403.
- Ishii Y., Tanaka R., Isoya A. Low-energy ion source characteristics for producing an ultra-fine microbeam // Nucl. Instrum. & Meth. Phys. Research, 1996, v. 113(1), p. 75−77.
- Kim Y.-W., Petrov I., Ito H., Greene J.E. Low-energy (5
- Morozov A.I., Solov’ev L.S. Steady-state plasma flow in a magnetic field // Reviews of Plasma Physics, Vol. 8, M.A. Leontovich, Ed., New York: Consultants Bureau, 1980, p. 1−103.
- Kaufman H.R., Kahn J.R., Nethery R.E. Modular Linear Ion Source // 47th Annual Technical Conf. Soc. Vacuum Coaters, Dallas, TX, 2004, p. 477−482.
- Kaufman H.R., Robinson R.S., Seddon R.I. End-Hall ion source // J. Vac. Sci. Technol., 1987, A 5 (4), p. 2081−2084.
- Kaufmann H. R. Technology of closed-drift thrusters // AIAA Journal 1985, V. 23, p. 78−87.
- Dudnikov V., Westner A. Ion source with closed drift anode layer plasma acceleration // Rev. Sci. Instrum., 2002, V. 73(2) p. 729.
- Ide-Ektessabi A., Yasui N., Okuyama D. Ion source with closed drift anode layer plasma acceleration // Rev. Sci. Instrum., 2002, V. 73, p. 729−731.
- Keem J.E. High current density anode layer ion source // Proc. 44th Annual Techn. Conf. Soc. Vacuum Coaters, Orlando, FL, 2002, p. 202−205.
- Freeman J. H. A new ion source for electromagnetic isotope separators // Nucl. Instrum. Methods, 1963, V. 22, p. 306−316.
- Rosenblum S. S., Doniger K. J. Helmer J. C. Production of ions from solids using chemically assisted sputtering // Rev. Sci. Instrum., 1990, V. 61, p. 601−603.
- A. S. Perel, W. K. Loizides and W. E. Reynolds. A decaborane ion source for high current implantation // Rev. Sci. Instrum., 2002, V. 73, p. 877−879.
- Greiner E. S. and Gutowski J. A. Electrical Resistivity of Boron // J. Appl. Phys., 1957, V. 28, p. 1364−1365.
- Williams. J. M., Klepper С. C., Olivers D. J., Hazelton R. C., Moschella J. J. Boron cathodic arc as an ion source for shallow junction ion implantation of boron // J. Vac. Sci. Technol., 2008, В 26, p. 368−372.
- Gushenets V.I., Koval N.N., Schanin P.M., Tolkachev V.S. Nanosecond high current and high repetition rate electron source // IEEE Trans. Plasma Sci., 1999, V. 27, № 4, p. 1055−1059.
- Vizir A.V., Oks E.M., Brown I.G. Ion beam formation under unusual conditions // IEEE Trans. Plasma Sci., 1998, V. 26, № 4, p. 1353−1356.
- Гаврилов H.B., Емлин Д. Р. Повышение эффективности ионного эмиттера на основе тлеющего разряда с осциллирующими электронами // ЖТФ, 2003, Т. 73 (9), с. 107−112.
- Гаврилов Н.В., Каменецких А. С. Характеристики ионного источника с плазменным катодом и многополюсной магнитной системой удержания быстрых электронов // ЖТФ, 2004, Т. 74 (9), с. 97−102.
- Гаврилов Н.В., Каменецких А. С. Особенности функционирования плазменного катода с сеточной стабилизацией в двухступенчатом ионном источнике // ЖТФ, 2006, Т. 76 (2). с. 57−61.
- Гаврилов Н.В., Каменецких А. С. Расширение рабочего диапазона давлений газа и увеличение ресурса сетки плазменного катода в ионном источнике // ЖТФ, 2007, Т. 77 (3). с. 12−16.
- Gavrilov N.V. Sources of broad and ribbon ion beams with grid-bounded plasma cathode and magnetic trap // Proceedings 7th Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Tomsk, 2004, p.7.
- Гаврилов Н.В., Каменецких А. С. Ионно-эмиссионные свойства плазмы источника ионов газов с плазменным катодом // Доклады Академии наук, 2004, Т.394, № 2, с. 183.
- Гаврилов Н.В., Каменецких А. С. Характеристики ионного источника с плазменным катодом и многополюсной магнитной системой удержания быстрых электронов // ЖТФ, 2004, Т.74 (9), с. 97.
- Гаврилов Н.В., Емлин Д. Р., Каменецких А. С. Стабилизация сеточно-плазменного катода в широком диапазоне давлений газа // Известия Вузов. Физика. 2007. Т. 50, № 10/2. с. 154−160.
- Гаврилов Н.В., Емлин Д.Р, Каменецких А. С. Ионный источник крупноструктурным сеточно-плазменным катодом // Известия Вузов. Физика. 2007. Т. 50, № 10/2. с. 149−153.
- Gavrilov N.V., Emlin D.R., Kameneiskikh A.S. Research of the plasma cathode with a coarse-cellular grid // Изв. вузов. Физика. 2007. № 9. Приложение, с. 30−34.
- Гаврилов Н.В., Емлин Д. Р., Каменецких А. С. Высокоэффективная эмиссия плазменного катода с сеточной стабилизацией // ЖТФ. 2008. Т. 78 (10). с. 59−64.
- Gavrilov N.V., Mamayev A.S. Kaigorodov A.S. Deposition of diamond-like a-C:H coatings by decomposition of acetylene in nonself-sustained plasma cathode discharge // Proc. 9th Inter. Conference on Modification of
- Materials with Panicle Beams and Plasma Flows, Tomsk, Russia, 2008, Publishing house IAO SB RAS, p. 551−554.
- Гаврилов H.B., Мамаев A.C., Кайгородов A.C. Осаждение алмазоподобных а-С:Н покрытий в несамостоятельном разряде с плазменным катодом // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35 (1). с.69−75.
- Гаврилов Н.В., Емлин Д. Р., Буреев O.A., Каменецких A.C., Меньшаков А. И. Источник ленточного пучка ионов газов // Труды III Между народною Крейнделевского семинара «Плазменная эмиссионная электроника», 2009, г. Улан-Удэ, Изд-во БНЦ СО РАН, с. 92−99.
- Гаврилов Н.В., Емлин Д. Р., Каменецких A.C., Меньшаков А. И. Формирование ленточного эмиттера ионов в импульсном разряде с плазменным катодом // Известия Вузов. Физика. 2009. Том 52. № 11/2. с. 8590.
- Щанин П.М., Коваль H.H., Ахмадеев Ю. Х., Григорьев C.B. Дуговой разряд с полым катодом в скрещенных электрическом и магнитном полях // ЖТФ, 2004, Т.74 (5). с. 24−29.
- Ахмадеев Ю.Х., Гончаренко И. М., Иванов Ю. Ф., Коваль H.H., Щанин П. М. Азотирование технически чистого титана в тлеющем разряде с полым катодом // Письма в ЖТФ, 2005, Т. 31 (13), с. 24−30.
- Akhmadeev Yu.H., Koshkin K.A., Shnaider A.V., Vershinin D.S. Nitriding of Titanium Alloy VT-16 in Plasma of Glow and Arc Discharges // Proc. 9th Int. Conf. on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Tomsk, 2008, p. 338−340.
- Лопатин И.В., Ахмадеев Ю. Х., Коваль H.H., Щанин П. М. / Несамостоятельный сильноточный тлеющий разряд низкого давления с полым катодом большого размера // Плазменная эмиссионная электроника. Улан-Удэ: Изд-во БНЦ СО РАН, 2009, с. 16−21.
- Григорьев С.В., Коваль Н. Н., Щанин П. М. Дуговой генератор газоразрядной плазмы с холодным полым катодом // Патент RU 2 227 962, 2004.
- Дороднов A.M., Петросов В. А. О физических принципах и типах вакуумных технологических плазменных устройств // ЖТФ, 1981, т. 51 (3), с. 504−524.
- Месяц Г. А. Эктоны в вакуумном разряде: пробой, искра, дуга. М.: Наука, 2000. 424 с.
- Маковский М., Эмерт Д. Новый метод измерения потенциала плазмы эмиссионным зондом // Приборы для научных исследований, 1983, вып. 7, с. 39.
- Визирь А.В., Оке Е.М., Тюньков А. В., Шандриков М. В., Юшков Г. Ю. Плазменный эмиттер электронов. // Патент RU 2 427 940, 2011.
- Anders A., Oks E.M., Yushkov G.Yu., Savkin K.P., Brown I.G., Nikolaev A.G. Measurement of total ion flux from vacuum arc cathode spot // IEEE Trans. Plasma Sci., 2005, Vol. 33, No 5, Part 1, p. 1532 1536.
- Кесаев И.Г. Катодные процессы электрической дуги. М.: Наука, 1968. 244 с.
- Daalder J.E. Components of cathode erosion in vacuum arcs // J.Phys. D: Appl. Phys, 1976, V. 9, p. 2379−2395.
- Davis W.D., Miller H.C. Integrated ion flux emitted from the cathode spot region of a diffuse vacuum arc // J.Phys. D.: Appl. Phys., 1992, V.25, p.686.
- Плютто А.А., Рыжков B.B., Капин A.T. Высокоскоростные потоки плазмы вакуумных дуг // ЖЭТФ, 1964, Т.47, с. 494.
- Daalder J.E. Erosion and the origin of charged and neutral species in vacuum arcs // J.Phys. D.: Appl. Phys., 1975, V.8, p.1647.
- Донин В.И. Дуговой катод непрерывного разряда при пониженном давлении рабочего газа // ПТЭ, 1971, № 3, с. 161−164.
- Донин В.И. Мощные ионные газовые лазеры. Новосибирск: Наука, Сиб. Отделение, 1991, 208 с.
- Vizir А. V., Tyunkov А. V., Shandrikov М. V. Oks Е. М. Two-stage plasma gun based on a gas discharge with a self-heating hollow emitter // Rev. Sci. Instrum., 2010, V. 81, p. 02B903.
- Bugaev A. S., Gushenets V. I., Oks E. M., and Schanin P. M. // Proceedings of the 14th Symposium on High Current Electronics, Tomsk, September 2006, p. 139.
- Camp R., Sellen D. Method of plasma potential measurement by emissive probes // Rev. Sci. Instrum., 1966, V.4, p. 68−75.
- Bohm D. The characteristics of electrical discharges in magnetic fields / Ed by A. Guthrie, R. Wakerling, N.Y.: McGraw-Hill, 1949.
- Gavrilov N.V., Mesyats G.A., Radkovsky G.V., Bersenev V.V. Development of technological sources of gas ions on the basis of hollow-cathode glow discharges // Surface and coatings Technology, 1997, V. 96, p.81−88.
- Чен Ф. Электрические зонды. В кн. Диагностика плазмы. Под ред. Р. Хаддлстоуна и С. Леонарда. М: Мир, 1967, с.94−164.
- Тарантин Н. И. Магнитные статистические анализаторы заряженных частиц. Поля и линейная оптика. М.: Энергоатомиздат, 1986, 128 с.
- Brown I.G., Kelly J.C. A new method for ion charge state analysis // J. Appl. Phys. 1988, V.63, p.254−256.
- Бугаев A.C., Гушенец В. И., Николаев А. Г., Оке Е.М., Юшков Г. Ю. Исследование ионного пучка источника «Титан» времяпролетным масс-спектрометром // Известия вузов. Физика, 2000, Т. 43 (2), с. 21−28.
- Brown I.G., Feinberg В., Galvin J. Е. Multiply stripped ion generation in the metal vapor vacuum arc // J. Appl. Phys., 1988, V.63, p. 4889−4898.
- Bugaev A.S., Gushenets V.I., Nikolaev A.G., Oks E.M., Yushkov G.Y. Influence of a current jump on vacuum arc parameters // IEEE Trans. Plasma Sci., 1999, V.27, № 4, p. 882−887.
- Афанасьев В.П., Явор С. Я. Электростатические энергоанализаторы для пучков заряженных частиц. М.: Наука, 1978, 224 с.
- Hughes A.LI., McMillen J.H. Re-focussing of electron paths in a radial electrostatic field // Physical Review, 1929, p.291−295.
- Оке E.M. Условия образования и эмиссионные свойства объемной плазмы дугового разряда низкого давления: Дисс. канд. физ.-мат. наук. Томск, 1985, 158 с.
- Грановский В.Л. Электрический ток в газе. Установившийся ток. М: Наука, 1971, 543 с.
- Френсис Г. Ионизационные явления в газах. М: Атомиздат, 1964,304 с.
- Николаев А.Г., Оке Е.М., Щанин П. М., Юшков Г. Ю. Ионно-эмиссионные свойства плазмы контрагированного разряда и вакуумной дуги // 1— Всесоюзное совещание по плазменной эмиссионной электронике, Улан-Удэ. 1991, с. 30.
- Крейндель Ю.Е., Никитинский В. А. Дуговой контрагированный разряд с холодными катодами // ЖТФ, 1971, Т.41 (2), с. 323−326.
- Гаврилов Н.В., Крейндель Ю. Е., Оке Е.М., Щанин П. М. Условия существования и предельные параметры импульсной контрагированной дуги низкого давления // ЖТФ, 1984, Т.54 (1), с.66−70.
- Тимофеева Г. Г. Особенности прохождения большого тока через сужение газоразрядного прибора низкого давления // Электронная техника. Сер.З. Газоразрядные приборы, 1970, вып. З (19), с.41−45.
- Шандриков М.В., Визирь А. В., Юшков Г. Ю. Генератор плазмы на основе газового разряда с внешней инжекцией электронов // VI International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and plasma Flows, Tomsk, Russia, 2002, pp. 155−158.
- Файнберг Я.Б. Взаимодействие пучков заряженных частиц с плазмой // Атомная энергия, T. l 1, № 4, 1961, с.313−335.
- Визирь А.В., Оке Е.М., Шандриков М. В., Юшков Г. Ю. Генерация объемной плазмы на основе сильноточного газового разряда с внешней инжекцией электронов // Тез. докл. 16ой Звенигородской конференции по физике плазмы и УТС, г. Звенигород, 2004, с. 255.
- Блинов П.И., Закатов Л. П., Плахов А. Г. Влияние пробочного отношения на нагрев плазмы в пробкотроне // Письма в ЖЭТФ, Т.2 (9), 1965, с. 426−431.
- Закатов Л.П., Плахов А. Г., Рютов Д. Д. и др. Исследование высокотемпературной электронной компоненты плазмы, образующейся в системе плазма-пучок // ЖЭТФ, 1968, Т.54 (4), с. 1088−1098.
- Михайлов А.В., Гусева Г. И., Завьялов М. А., и др. Одномерное газодинамическое моделирование транспортировки электронного пучка в разреженном газе // ЖТФ, 1984, том 87, вып. 3(9), с. 840−845.
- Vizir А. V., Oks Е. М., Yushkov G. Yu. Broad-beam high-current dc ion source based on a two-stage glow discharge plasma // Rev. Sci. Instrum. 2010, v.81, p. 02B304.
- Shandrikov M.V., Vizir A.V., Yushkov G.Yu., Oks E.M. Bulk plasma production using gaseous discharge systems with external electron injection // AIP Conference Proceedings 2003, V. 669(1) p. 377−379, ICOPS 2002, Sydney, Australia.
- Шандриков М.В., Визирь А. В., Оке Е.М. Генераторы объемной газоразрядной плазмы технологического назначения // Тез. докл. 9Ш Всероссийской научной конференции студентов-физиков и молодых ученых, Красноярск, 2003, Т.1, с.486−488.
- Bennett W. Н. Magnetically self-focussing streams // Phys. Rev., 1934, V. 45, p. 890−897.
- Казьмин Г. С., Коваль H.H., Крейндель Ю. Е. и др. Электронный диодный ускоритель с большим сечением пучка // ПТЭ, 1977, № 4, с. 19−20.
- Гушенец В.И., Крейндель М. Ю., Оке Е.М., Щанин П. М., Юшков Г. Ю. К вопросу о зарядовой компенсации широкоапертурных ионных пучков // Тез. докл. IX симп. по сильноточной электронике, 1992, с. 117−118.
- Юшков Г. Ю. Генерация широкоапертурных пучков газовых и металлических ионов в источнике на основе контрагированного разряда и вакуумной дуги. Дисс. канд. Физ.-мат. наук. Томск, 1993, 164 с.
- Vizir A.V. Influence of the beam plasma on current measurements of ion beam collector // Proc. Of 9th International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows, Tomsk, Russia, 21−26 September, 2008, p. 55−57.
- Anders A. A periodic table of ion charge-state distributions observed in the transition region between vacuum sparks and vacuum arcs // IEEE Transactions on Plasma Science, 2001, V. 29(2), p. 393−398.
- Qi N., Gensler S., Prasad R.R., Krishnan M., Vizir A., Brown I.G. A pulsed vacuum arc ion thruster for distributed small satellite systems // 34th AIAA/ASME/SAE/ASEE Joint Propulsion Conference, Cleveland, OH, July, 1998, paper AIAA-98−3663.
- Jahn R.G. Physics of electric propulsion, 1968, McGraw-Hill, New York, 220 p.
- Kaufman H.R., Robinson R.S. Broad-beam ion source technology and applications // Vacuum, 1989, V. 39, Issues 11−12, p. 1175−1180.
- Kaufman H.R., Robinson R.S., Seddon R.I. End-Hall ion source // J.Vac.Sci.Technol., 1987, A 5, p. 2081−2084.
- Арцимович JI.А., Сагдеев Р. З. Физика плазмы для физиков. М.:Атомиздат, 1979, 313 с.
- Плешивцев Н. В. Катодное распыление. М.: Атомиздат, 1968, 347с.
- Таблицы физических величин. Справочник. // под ред. И. К. Кикоина, М: Атомиздат, 1976, 1008 с.
- Gushenets V. I., Hershcovitch A., Kulevoy Т. V., Oks Е. М., Savkin К. P., Vizir А. V., and Yushkov G. Yu. Boron ion source based on planar magnetron discharge in self-sputtering mode // Rev. Sci. Instrum., 2010, V. 81 02B303.
- Yushkov G.Yu., Anders A. Origin of the Delayed Current Onset in High-Power Impulse Magnetron Sputtering // IEEE Transactions on Plasma Science, 2010, V.38, issue 11, p. 3028 3034.
- Sang-Hun Seo, Jung-Hwan In, and Hong-Young Chang. Effect of duty cycle on plasma parameters in the pulsed dc magnetron argon discharge // Applied Physics Letters, 2005, V. 86, p. 262 103.
- Nesterenko S.Yu., Oranskiy A.I. Complex mathematical model and calculation methode for high emission gas discharge hollow cathodes // Problems of Atomic Science and Technology. Series: Plasma Physics (II). Krakov, 2005, № 2, p.88−90.
- Oks E., Vizir A. and Yushkov G. High current ion source based on hollow cathode glow with e-beam injection // Proceedings 12th International Conference on High Power Particle Beams, Beams-98, Haifa, Israel, 1998. p.955−958.
- Vizir A.V., Yushkov G.Yu., Oks E.M. Development of gaseous ion and plasma sources based on hollow cathode discharge with electron injection // Proceed. 1st Intern. Congress on Radiation Physics, High Current Electronics, and
- Modification of Materials, Tomsk, Russia, 2000, V. 3 (Vth Conf. on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flow), p. 190−193.
- I.G. Brown. Metal vapor vacuum arc ion sources // Rev. Sci. Instrum., 1992, v. 63(4), p. 2351−2356.
- MacGill R.A., Vizir A. and Brown I.G. On the use of magnetic buckets for ion beam profile tailoring // Rev. Sci. Instrum., 2000, 71(2), p. 672 674.
- Oks E.M., Shandrikov M.V., Vizir A.V., Yushkov G.Yu. Large volume plasma gun for surface treatment technologies // The 4- Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE), Korea, 2003, p. 111.
- Monteiro O.R., Vizir A., Brown I.G. Multilayer thin-films with chevron-like microstructure // Applied Physics, 1998, 31(22), p. 3188−3196.