Технологии получения защитных покрытий на деталях ГТД на основе интеграции вакуумных ионно-плазменных методов обработки
Диссертация
Анализ разработанных технологий и оборудования в области вакуумной ионно-плазменной обработки показал, что наиболее высокие результаты (повышение ресурса и надежности деталей, снижение трудоемкости изготовления изделий и т. д.) достигаются на основе комбинированного воздействия на поверхность различными вакуумными ионно-плазменными методами. В настоящее время каждый из методов обработки ионными… Читать ещё >
Список литературы
- Абрамов И.С., Быстров Ю. А., Вильдгрубе В. Г. Плазменные ускорители и их применение в технологии. // Обзоры по электронной технике. Серия 4. Электровакуумные и газоразрядные приборы.-135 с. Выпуск 3(1204), 1986.
- Аброян И.А., Андропов А. И., Титов А. И. Физические основы электронной и ионной технологии. М.: Высшая школа, 1984, — 254 с.
- Арифов У.А. Взаимодействие атомных частиц с поверхностью твердого тела. М.: Наука, 1968, — 180 с.
- Арцимович Л.А. Элементарная физика плазмы. М.: Атомиздат, 1971
- Бабад-Захряпин A.A., Кузнецов Г. Д. Радиационно-стимулируемая химико-термическая обработка, -М.: Энергоиздат, 1982. — 182 с.
- Барвинок В.А. Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий. -М.: Машиностроение, 1990. 385 с.
- Бериш Р. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. -М.: Мир, 1986. -501с.
- Боровский С.М., Гриценко Г. В., Маслов Н. Б. и др. Особенности использования ионно-плазменных покрытий для защиты поверхности деталей // Сб. научн. трудов Оптимизация процессов обработки конструкционных материалов. -Уфа: УАИ, 1990. -С. 22 -30.
- Боровский С.М., Мухин B.C. Пластификация покрытий и подложки как метод повышения эксплуатационных свойств деталей. // Проблемы машиностроения и автоматизации. Международный журнал. -1993. -№ 6. -С.23 -28.
- Боченин В.И., Бурнаков К. К. Неразрушающий контроль покрытий лопаток газовых турбин // Защита металлов. -1996. -Т. 32, № 6. -С. 670 672.
- Бугаев С.П., Крейндель Ю. Е., Щанин П. М. Электронные пучки большого сечения. -М.: Энергоатомйздат. 220 с.
- Будилов В.В. «Технологическая наследственность и эксплуатационные свойства конструкционных сталей и сплавов с вакуумными ионно-плазменными покрытиями». // Авиационная промышленность. 1995 г.,№ 5−6, -С. 271−272.
- Будилов В.В., Сырескин В. А., Тулупов В. П. Проблемы и перспективы технологии вакуумной ионно-плазменной обработки деталей ГТД,-Авиационная промышленность, 1994. № 9−10, -С. 19−24.
- Будилов ВВ. Технология вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий. -Уфа: УГАТУ, 1993. -77 с.
- Будилов В.В. Обеспечение эксплуатационных свойств деталей ГТД вакуумными ионно-плазменными методами обработки с учетом технологической наследственности. Автореф. дис. док. техн. наук. -Уфа, 1994. 372 с.
- Будилов В.В. Физические основы вакуумно-плазменной технологии нанесения покрытий. -Уфа: УГАТУ, 1993. -74 С.
- Быковский Ю.А., Неволин В. Н., Фоминский В. Ю. Ионная и лазерная имплантация металлических материалов. М.: Энергоатомйздат, 1991, — 253 с.
- Великанов K.M. Расчеты экономической эффективности новой техники. /Лен. Машиностроение, 1989 445с.
- Велихов Е.П., Ковалев A.C., Рахимов A.C. Физические явления в газоразрядной плазме. М.: Атомиздат, 1987. -312 с.
- Вендик О.Г., Горин Ю. Н., Попов В. Ф. Корпускулярно-фотонная технология -М.: Высшая школа, 1984.-340с.
- Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. -М.: Атомиздат, 1972. -356 с.
- Голант В.Е., Жилинский А. П., Сахаров С. А. Основы физики плазмы. -М.: 1977.-460 с.
- Грановский В.Л. Электрический ток в газах. Установившийся ток. М.: Наука, 1971. -544 с.
- Грановский В.А. Электрический ток в газе. М.: Наука, 1971.
- Гришин С.Д., Лесков Л. В., Козлов Н. П. Плазменные ускорители. -М.: Машиностроение, 1983. -196 с.
- Данилин Б.С., Киреев В. Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. М.: Энергоатомиздат, 1987. -264 с.
- Данилин Б.С. Получение тонкопленочных элементов микросхем. -М.: Энергия, 1977. 136 с.
- Диденко А.Н., Лигачев А. Е., Куракин И. Б. Воздействие пучков заряженных частиц на поверхность металлов и сплавов. М.: Энергоатомиздат, 1987, — 283 с.
- Достанко А.Г., Грушевский B.C. Плазменная металлизация в вакууме. -Минск: Наука и техника, 1983.-279 с.
- Евстигнеев М.И., Подзей A.B., Сулима A.M. Технология производства двигателей летательных аппаратов. -М.: Машиностроение, 1982. -260 с.
- Жаропрочные сплавы для газовых турбин / Под ред. P.E. Шалина -М.: Металлургия, 1981. 480 с.
- Жаропрочные покрытия для защиты конструкционных материалов / Труды VII Всесоюзного совещания по жаростойким покрытиям. Ленинград: Наука, 1977.-310 с.
- Жерздев C.B., Тамарин Ю. А. Керамические конденсированные покрытия рабочих охлаждаемых лопаток газотурбинных двигателей // Тезисы докладов международной научно-технической конференции «Напыление и покрытия -95», Санкт-Петербург, 1995. -С. 35 37.
- Жоу Кесонг, Жанг Ронгуо Исследования и разработка технологии поверхностной обработки металлов в Китае // Физика и химия обработки материалов, 1997. -№ 5. -С. 64 -73.
- Згуровский М.З. Интегрированные системы оптимального управле-ния и проектирования./Киев Высш.Ш.Д990 -350 с.
- Ионная имплантация: Сб. статей: Пер. с англ. / Под ред. Д. Хирвонена. М.: Металлургия, 1985.-283 с.
- Ионная имплантация и лучевая технология: Пер. с англ. / Под ред. Дж. С. Вильямса, Дж. М. Поута. Киев: Наукова думка, 1988.-193 с.
- Иванов М.И., Мубояджян С. А. Исследование процесса очистки поверхности бомбардировкой ионами аргона // Тезисы докладов российского научно-технического семинара «Поверхностный слой и эксплуатационные свойства деталей машин" — М.: МГАТУ, 1995.-С. 34 38.
- Источники заряженных частиц с плазменным эмиттером. Екатеринбург: УИФ Наука, 1993.-144 с.
- Каблов E.H., Мубояджян С. А., Сулима A.M., Ягодкин Ю. Д. и др. Перспективы применения ионной обработки в авиадвигателестроении,-Авиационная промышленность, — 1992, № 9. С.9−12.
- Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла. -М.: Мир, 1967. 506 с.
- Клубникин B.C. Напыление и покрытия: особенности развития и достижения // Тезисы докладов международной научно-технической конференции «Напыление и покрытия 95», Санкт-Петербург, 1995. -С. 3−6.
- Ковшов А.И. Технология машиностроения. -М.: Машиностроение, 1987. -320 с.
- Коломыцев П.Т. Высокотемпературные защитные покрытия для никелевых сплавов. -М.: Металлургия, 1991. -237 с.
- Коломыцев П.Т. Жаростойкие диффузионные покрытия -М.: Металлургия, 1979.-271с.
- Костиков В.И. Плазменные покрытия. М.: Металлургия, 1978. — 160 с.
- Косточкин В.В. Надежность авиационных двигателей и силовых установок. -М.: Машиностроение, 1988. -272 с.
- Костржицкий А.И., Лебединский О. В. Многокомпонентные вакуумные покрытия. М.: Машиностроение, 1987. — 208 с.
- Кудинов В.В., Бобров Г. В. Нанесение покрытий, напыление теория, технология и оборудование. -М.: Металлургия, 1992. 432 с.
- Кудинов В.В. Нанесение покрытий плазмой. -М.: Наука, 1990. 170 с.
- Кудинов В.В., Иванов В. М. Нанесение плазмой тугоплавких покрытий. -М.: Машиностроение, 1981.-126 с.
- Кузнецов Н.Д. Перспективные газотурбинные двигатели и проблема коррозии // Проблемы прочности, 1993. № 8. -С. 78 — 86.
- Кузьмичев B.C., Солодченко О. В. Средства интеграции математических и логико-лингвистических моделей. Сб. трудов «Проблемы и перспективы развития авиадвигателестроения в Поволжском регионе"/ Самара 1997- С. 117 188.
- Куляпин В.М., Старцева О. А. Взаимосвязанные процессы в электрическом разряде.-Уфа: УАИ, 1989.-51 с.
- Капцов Ю.Н. Электроника. М.: Атомиздат, 1952, — 176 с.
- Курнат Р. Н. Хаусова С.Г. Структурные изменения и механизмы зарождения термоусталостных трещин в жаропрочных сплавах с покрытиями // Проблемы прочности, 1993. № 12. -С. 33 — 38.
- Кучеренко Е.Т. Справочник по физическим основам вакуумной техники. -Киев: Вища школа, 1981. -358 с.
- Лазерная и электронно-лучевая обработка материалов / H.H. Рыкалин, A.A. Углов, Н. В. Зуев и др. М.: Машиностроение, 1985, — 283 с.
- Легирование полупроводников ионным внедрением: Сб статей. / Под ред.
- B.C. Вавилова и В. М. Гусева. М.: Мир, 1971, — 213 с.
- Лазерное и электро-эрозионное упрочнение материалов / B.C. Коваленко, А. Д. Верхотуров, Л. Ф. Головко и др. М.: Наука, 1986.-304 с.
- Лю 3., Мейер Дж. // Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы: Сб статей: Пер. с англ. / Под ред. B.C. Вавилова. М.: Мир, 1980.-98с
- Лесников В.П., Кузнецов В. П., Репина О. В. Защитные свойства покрытий Co-Cr-Al-Y // Защита металлов, 1996, -Т. 32, № 5. -С. 473 477.
- Максимович Г. Г., Шатинский В. Ф. Физико-химические процессы при плазменном напылении и разрушении материалов с покрытиями. -Киев: Наукова думка, 1983.-264 с.
- Месси Г., Бархоп Е. Электронные и ионные столкновения / Под ред.
- C.М. Осовец -М.: Мир, 1958. -604 с.
- Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками: Сб. статей: Пер. с англ. / Под ред. Дж. М. Поута, Г.
- Месяц Г. А. Проскуровский Д.И. Импульсный электрический разряд в вакууме. -М.: 1984. -203 с.
- Мовчан Б.А., Малашенко И. С. Жаростойкие покрытия осаждаемые в вакууме. -Киев: Наукова думка, 1983. -232 с.
- Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками / Под ред. Дж.М. Паута. М.: Машиностроение, 1987. -424 с.
- Моряков О.С. Элионная обработка. М.: Высшая школа, 1990. — 128 с.
- Мубояджян С.А., Будиновский С. А. Конденсированные и конденсационно-диффузионные покрытия для лопаток турбин из жаропрочных сплавов с направленной кристаллической структурой //МиТОМ, 1996. -№ 4. -С. 15 18.
- Мубояджян С.А., Будиновский С. А. Промышленная установка МАП-1 для нанесения защитных покрытий различного назначения // Авиационная промышленность, 1995. № 7 — 8, -С. 44 — 48.
- Мубояджян С.А. Ионно-плазменные защитные покрытия для лопаток авиационных ГТД: Автореф. дис. док. техн. наук. -М.- 1997. 49 с.
- Мубояджян С.А., Терехов В. В., Шалин М. Р. Новый метод получения жаростойких алюминидных диффузионных покрытий. // В сб.: Вопросы авиационной науки и техники. Серия «Авиационные материалы» 1988. -№ 4. -С. 48−55.
- Мухин B.C., Смыслов A.M., Боровский С. М. Модификация поверхности деталей ГТД по условиям эксплуатации. М.: Машиностроение, 1995. -190 с.
- Мухин В С. Технологические аспекты прочности деталей ГТД // Оптимизация процессов обработки конструкционных материалов. -Уфа: УАИ, 1990.-75 с.
- Мухин B.C. Формирование специальных свойств поверхности деталей летательных аппаратов. -Уфа: УГАТУ, 1986 76 с.
- Мухин B.C., Шустер Л. Ш. Износ инструмента, качество и долговечность деталей из авиационных материалов. -Уфа: УАИ, 1987. 215 с.
- Насыров Ш. Г. Исследование и синтез компьютерной поддержки разработки технологии нанесения коррозионностойких ионно-плазменных покрытий: Автореф. дис. канд. техн. наук. Оренбург, 1997. — 23 с.
- Никитин В.И. Коррозия и защита лопаток газовых турбин. Ленинград: Машиностроение, 1987. — 272 с.
- Никитин М.М. Технология и оборудование вакуумного напыления. -М.: Металлургия, 1992. 265 с.
- Новиков И.И., Строганов Г. Б., Новиков А. И. Металловедение, термообработка и рентгенография. -М.: МИСИС, 1994. -480 с.
- Округин Ю.Б., Ханенко В. Н. Методические основы проектирования интегрированных производственных комплексов. /Л. ЛН НТП 1985−28 с.
- Попов В.Ф. Ионно-лучевые установки. Л.: Энергоиздат, 1981.-382с.
- Пол Туротт, Гарри Брент, Ричард Багдазиан, Стив Тендон. Delphi 3. Супербиблия. Киев: DiaSoft, 1997.-456с.
- Плещивцев М.В. Катодное распыление. -М.: Атомиздат, 1988. -343 с.
- Падалко В.Г., Толок В. Т. Методы плазменных технологий высоких энергий. // Атомная энергетика, 1978. -Т. 44. С. 476 — 478.
- Перспективы применения ионной обработки в авиадвигателестроении / Каблов E.H., Мубояджян С. А., Сулима A.M., Ягодкин Ю. Д. и др. // Авиационная промышленность, 1992, -№ 9. -С. 9−12.
- Пономарев В.М. Интегрированные производственные комплексы./ М. Машиностроение, 1987- 95с.
- Патент № 2 087 586 Способ ионной имплантации / Будилов В. В., Киреев P.M., Шехтман С. Р. (Россия) Опубл. 20.08.1997
- Патент № 2 075 538 Устройства для нанесения вакуумно-плазменных покрытий / Будилов В. В., Шехтман С. Р., Киреев Р. М (Россия). Опубл. 20.03.1997
- Патент № 2 095 462 Способ азотирования в тлеющем разряде
- В.В.Будилов, С. Р. Шехтман, Р. М. Киреев (Россия) Опубл. 10.11.1997
- Патент № 2 096 493 Способ обработки поверхности /В.В.Будилов, С. Р. Шехтман, Р. М. Киреев (Россия) Опубл. 20.11.1997
- Патент № 2 101 383 Способ катодного распыления / В. В. Будилов, С. Р. Шехтман, Р. М. Киреев (Россия) Опубл. 10.01.1998
- Поверхностный слой и эксплуатационные свойства деталей машин / Под ред. A.M. Сулима, В. А. Шулов, Ю. Д. Ягодкин. М.: Машиностроение, 1988. -240 с.
- Райзер Ю.П. Основы современной физики газоразрядных процессов. М.: Наука, 1980. — 416 с.
- Райзер Ю.П. Физика газового разряда. -М.: Высшая школа, 1987. -320 с.
- Рисеел X. JPyre И. Ионная имплантация: Пер. с нем. / Под ред. М. И. Гусевой. М.: Наука, 1983, — 56с.
- Ройх И.Л., Колтунова Л. Н., Лебединский О. В. Защитные покрытия, получаемые методом ионного осаждения в вакууме. -М.: Машиностроение, 1976. -350 с.
- Ройх И.Л., Колтунова Л. Н., Федосов С. Н. Нанесение защитных покрытий в вакууме. М.: Машиностроение, 1976. -369 с.
- Рябчиков А.И., Дектярев C.B. Установки для комбинированной ионно-плазменной обработки материалов. / Тезисы докладов IV конференции «Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц» Томск, ИСЭ СО РАН, 1996. -С. 93 — 95.
- Сулима A.M., Шулов В. А., Ягодкин Ю. Д. Поверхностный слой и эксплуатационные свойства деталей машин. М.: Машиностроение, 1988.-174с.
- Силин В.П. Введение в кинетическую теорию газов. М.: Атомиздат, 1971.
- Сенчило И.А. Теоретические и технологические основы направленного улучшения свойств поверхностных слоев изделий из инструментальныхматериалов посредством их иоино-вакуумной модификации: Автореф. дис. док. техн. наук. -Санкт-Петербург, 1995. 33 с.
- Симе Ч., Хатель В. Жаропрочные сплавы. -М: Металлургия, 1976. -568 С.
- Синкевич O.A., Стаханов И. П. Физика плазмы. Стационарные процессы в частично ионизованном газе- М.: Высшая школа, 1991. 191 с.
- Смыслов A.M. Комбинированные технологии на базе ионно-имплантационного модифицирования поверхности, обеспечивающие повышение ресурса и надежности лопаток компрессора и турбины ГТД, Автореф. дис. док. техн. наук. Уфа, 1993. — 40 с.
- Современные технологии в производстве газотурбинных двигателей / Под ред А. Г. Братухина, Г. К. Язова, Б. Е. Карасева. М.: Машиностроение, 1997. -416 с.
- Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме / Костржицкий А. И., Карпов В. Ф., Кабанченко М. П. и др. -М.: Машиностроение, 1991.-176 с.
- Тамарин Ю.А. Жаростойкие диффузионные покрытия лопаток ГТД. М.: Машиностроение, 1978.-132 с.
- Тамарин Ю.А., Качанов Е. Б., Жерздев C.B. Свойства керамических покрытий для турбинных лопаток // Проблемы машиностроения и надежности машин, 1994,-№ 1. -С. 74 80.
- Фоти, Д.К. Джекобсона. М.: Машиностроение, 1987.-58с.
- Черняев В.H. Технология производства интегральных микросхем / Под ред. A.A. Васенкова. М.: Энергия, 1977.-382с.
- Чен Ф. Введение в физику плазмы. / Пер. с англ. -М.: Мир, 1987. 210 с.
- Чернетский A.B. Введение в физику плазмы. -М.: Атомиздат, 1969. -303 с.
- Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров. М.: Радио и связь, 1987. -464 с.
- Чернетский A.B. Введение в физику плазмы. М.: Атомиздат, 1969.-274с.
- Ягодкин Ю.Д. Покрытия и способы их получения // Новости науки и техники. Сер.: Новые материалы, технология их производства и обработки. -М.: 1988.-№ 6.-С.1−41.
- Barthel G. Lichtbogenspritzen fur das Regenerieren von Kurbelwellienteilen // Schwei? technik, 1990. -№ 3. -S. 126 127.142
- Blume F., Rosert R., Kaziolek M., Weber F. Verschlei? feste Gestalting von Oberflachen durch Auftragsschwei? en // Schwei? technik, 1988. -№ 3. -S. 108 -110.
- Lowrie R., Boone D.H. Composite coatings of CoCrAlY plus platinum // Thin. Solid. Films. 1977, -№ 3. p. 491 — 498.
- Shanbar S. Vacuum Plasma Sprayed Metallic coating // Journal of Metals, 1981, -T. 33, -P. 13 20.
- D.R.Tompson, A. Ray, S. Kumara A Hierarchically Structured Knowledge-Based System for Welding Automation and control // Journal of Engineering for Industry, 1998, № 4 p.82.
- K.Iwata, M. Sugimura An Integrated CAD/CAPP System with «Know-hows» on Machining Accuracies of Parts // Journal of Engineering for Industry, 1998, № 1 p.97.