ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

Π­Π»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Ρ‹ элСктроники Π½Π° ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ°Ρ…

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

Основная идСя этого ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° состоит Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ НВ, пропуская элСктричСский Ρ‚ΠΎΠΊ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ элСктродами, находящимися Π² Ρ€Π°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ соли. Π“Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄ расходуСтся Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ»ΡƒΠΆΠΈΡ‚ источником Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π°. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ формируСтся ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΉ спСктр Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Анод прСдставляСт собой Π»ΠΎΠ΄ΠΎΡ‡ΠΊΡƒ, ΡΠ΄Π΅Π»Π°Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΈΠ· Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎ чистого Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π° ΠΈ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

Π­Π»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Ρ‹ элСктроники Π½Π° ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ°Ρ… (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

Π£Π³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ (НВ) — своСобразныС цилиндричСскиС ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»Ρ‹ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ½Ρ‹ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° ΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ². Π­Ρ‚ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ систСмы Π²ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Π΅ ΠΎΠ±Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 10 Π»Π΅Ρ‚ Π½Π°Π·Π°Π΄ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠ±ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Ρ‹ синтСза Ρ„ΡƒΠ»Π»Π΅Ρ€Π΅Π½Π° Π‘60. Π’Π΅ΠΌ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ ΡƒΠΆΠ΅ сСйчас Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ элСктронныС устройства Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ (молСкулярного) Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°. ΠžΠΆΠΈΠ΄Π°Π΅Ρ‚ΡΡ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΠΎΠ±ΠΎΠ·Ρ€ΠΈΠΌΠΎΠΌ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰Π΅ΠΌ ΠΎΠ½ΠΈ замСнят элСмСнты Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ назначСния Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… схСмах Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ², Π² Ρ‚ΠΎΠΌ числС соврСмСнных ΠΊΠΎΠΌΠΏΡŒΡŽΡ‚Π΅Ρ€ΠΎΠ². Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ достигнут тСорСтичСский ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π» плотности записи ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ (порядка ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π±ΠΈΡ‚Π° Π½Π° ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»Ρƒ) ΠΈ Π²Ρ‹Ρ‡ΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°ΡˆΠΈΠ½Ρ‹ ΠΎΠ±Ρ€Π΅Ρ‚ΡƒΡ‚ практичСски Π½Π΅ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ°ΠΌΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Π±Ρ‹ΡΡ‚родСйствиС, Π»ΠΈΠΌΠΈΡ‚ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ прохоТдСния сигнала Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€.

БущСствуСт 2 основных Ρ‚ΠΈΠΏΠ° Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ: одностСнныС Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ ОБНВ (single-walled nanotubes — SWNT), Ρƒ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡ‡ΠΊΠ° ΠΈΠ· Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π°, ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΡ‚Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ МБНВ (multi-walled nanotubes — MWNT), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ состоят ΠΈΠ· ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡ‚Π²Π° сгруппированных ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ. Нанотрубки склонны ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠΊΠΎ ΡΠ»ΠΈΠΏΠ°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ собой, формируя Π½Π°Π±ΠΎΡ€Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ «ΠΊΠ°Π½Π°Ρ‚», состоящий ΠΈΠ· ΠΌΠ΅Ρ‚алличСских ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ.

ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ проводящиС Ρ‚ΠΎΠΊ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ плотности Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π² 102−103 Ρ€Π°Π·Π° Π²Ρ‹ΡˆΠ΅, Ρ‡Π΅ΠΌ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Ρ‹, Π° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ элСктричСски Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈ Π²Ρ‹ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ посрСдством поля, Π³Π΅Π½Π΅Ρ€ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ элСктродом, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²Ρ‹Π΅ транзисторы.

Π‘Π²Π΅Ρ€Π½ΡƒΡ‚Ρ‹ΠΉ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ слой.

НС ΡΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‰Π°Ρ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² одностСнная углСродная Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ° прСдставляСт собой ΡΠ²Π΅Ρ€Π½ΡƒΡ‚ΡƒΡŽ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€Π° Π»Π΅Π½Ρ‚Ρƒ с ΡƒΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΏΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΡƒ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π° (рис. 1). Π§Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ пространствСнноС располоТСниС Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² Π² Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ΅, ΠΎΡ‚Π»ΠΎΠΆΠΈΠΌ Π½Π° Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΌ слоС Π²Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ C = (na1, ma2), Π³Π΄Π΅ a1 ΠΈ a2 — базисныС Π²Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹, Π° n ΠΈ m — Ρ†Π΅Π»Ρ‹Π΅ числа. Π§Π΅Ρ€Π΅Π· Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π° ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π° этого Π²Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅ΠΌ пСрпСндикулярно Π΅ΠΌΡƒ Π΄Π²Π΅ прямыС — L ΠΈ L «ΠΈ Π²Ρ‹Ρ€Π΅ΠΆΠ΅ΠΌ ΠΈΠ· ΡΠ»ΠΎΡ Π±Π΅ΡΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΡƒΡŽ Π»Π΅Π½Ρ‚Ρƒ вдоль этих Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ. Π‘Π²Π΅Ρ€Π½Π΅ΠΌ Π»Π΅Π½Ρ‚Ρƒ Π² Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€ Ρ‚Π°ΠΊ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ прямыС L ΠΈ L «ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡ‚ΠΈΠ»ΠΈΡΡŒ. Π£ Π½Π°ΡˆΠ΅Π³ΠΎ Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€Π° L Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ, Π° Π΄Π»ΠΈΠ½Π° окруТности Ρ€Π°Π²Π½Π° ΠΌΠΎΠ΄ΡƒΠ»ΡŽ Π²Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π° C. Π’Π°ΠΊ ΠΌΡ‹ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠΌ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΡƒ (n, m). Π’ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅ΠΌ случаС Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ Π²ΠΈΠ½Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ осью симмСтрии (Ρ‚ΠΎΠ³Π΄Π° говорят, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ Ρ…ΠΈΡ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹). ΠΠ΅Ρ…ΠΈΡ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ (n, 0) ΠΈ (n, n), Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ ΡˆΠ΅ΡΡ‚ΠΈΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€ΠΏΠ΅Π½Π΄ΠΈΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎ оси Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€Π° соотвСтствСнно.

ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Ρ‹ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ.

Для создания элСктронных устройств ΠΈ ΠΈΡ… ΠΎΠ±ΡŠΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ с Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ. Нанотрубки с Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹ΠΌΠΈ значСниями индСксов (n, m) — это ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ строСния, Π° ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΎΠ½ΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹ΠΌΠΈ элСктричСскими свойствами. Зависимости элСктричСских свойств Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ ΠΎΡ‚ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚ричСских ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² Π±Ρ‹Π»ΠΈ прСдсказаны Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎ-химичСских расчСтов ΠΈΡ… Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ структуры. Они ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ мСталличСским Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠΌ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ структуры ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Π΅ ΠΠ’, для ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ n — m ΠΊΡ€Π°Ρ‚Π½Π° Ρ‚Ρ€Π΅ΠΌ, — Ρ‚. Π΅. Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ. ΠžΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ с ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹ ΠΎΡ‚ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… дСсятых Π΄ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ Π΄Π²ΡƒΡ… эВ, Π²ΠΎΠ·Ρ€Π°ΡΡ‚Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ с ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ получСния ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ.

Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄ΡƒΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄.

НаиболСС ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ распространСн ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ получСния Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ тСрмичСскоС распылСниС Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ элСктрода Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅ Π΄ΡƒΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ разряда, горящСй Π² Π°Ρ‚мосфСрС He.

Π’ Π΄ΡƒΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠΌ разрядС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π°Π½ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ напряТСнии 20−25 Π’ стабилизированном постоянном Ρ‚ΠΎΠΊΠ΅ Π΄ΡƒΠ³ΠΈ 50−100А, мСТэлСктродном расстоянии 0.5−2 ΠΌΠΌ ΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ НС 100−500 Π’ΠΎΡ€Ρ€, происходит интСнсивноС распылСниС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° Π°Π½ΠΎΠ΄Π°. Π§Π°ΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΠ² распылСния, содСрТащая Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚, саТу, ΠΈ Ρ„ΡƒΠ»Π»Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ‹ осаТдаСтся Π½Π° ΠΎΡ…Π»Π°ΠΆΠ΄Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… стСнках ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹, Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ, содСрТащая Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Π΅ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ (МБНВ), осаТдаСтся Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π°. На Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ влияСт мноТСство Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ².

НаиболСС Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ являСтся Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ НС Π² Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π΅, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ Π² ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ…, с Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ зрСния производства НВ, условиях составляСт 500 Π’ΠΎΡ€Ρ€, Π° Π½Π΅ 100−150 Π’ΠΎΡ€Ρ€, ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΡΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ Ρ„ΡƒΠ»Π»Π΅Ρ€Π΅Π½ΠΎΠ². Π”Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ являСтся Ρ‚ΠΎΠΊ Π΄ΡƒΠ³ΠΈ: ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ ΠΠ’ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Π΅Ρ‚ΡΡ ΠΏΡ€ΠΈ минимально Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΌ Ρ‚ΠΎΠΊΠ΅ Π΄ΡƒΠ³ΠΈ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ΠΌ для Π΅Π΅ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ горСния. Π­Ρ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΡ…Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ стСнок ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ для избСТания растрСскивания Π°Π½ΠΎΠ΄Π° ΠΈ Π΅Π³ΠΎ Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ испарСния, Ρ‡Ρ‚ΠΎ влияСт Π½Π° ΡΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΠ’ Π² ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ Π΄Π΅ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π΅.

ИспользованиС автоматичСского устройства поддСрТания мСТэлСктродного расстояния Π½Π° Ρ„иксированном ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ способствуСт ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² Π΄ΡƒΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ разряда ΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΠ³Π°Ρ‰Π΅Π½ΠΈΡŽ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π°.

Π›Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ΅ распылСниС.

Π’ 1995 Π³ΠΎΠ΄Ρƒ появилось сообщСниС ΠΎ ΡΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΠ’ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ распылСния Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ мишСни ΠΏΠΎΠ΄ воздСйствиСм ΠΈΠΌΠΏΡƒΠ»ΡŒΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ излучСния Π² Π°Ρ‚мосфСрС ΠΈΠ½Π΅Ρ€Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ (He ΠΈΠ»ΠΈ Ar) Π³Π°Π·Π°. Графитовая мишСнь находится Π² ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²ΠΎΠΉ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 12 000Π‘, ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Ρ‚ Π±ΡƒΡ„Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ Π³Π°Π·.

Π€ΠΎΠΊΡƒΡΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉΡΡ систСмой Π»ΠΈΠ½Π· Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ сканируСт ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ мишСни для обСспСчСния Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ испарСния ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° мишСни. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉΡΡ, Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ испарСния, ΠΏΠ°Ρ€ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π² ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ ΠΈΠ½Π΅Ρ€Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Π°Π·Π° ΠΈ Π²Ρ‹Π½ΠΎΡΠΈΡ‚ся ΠΈΠ· Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ области Π² Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΡƒΡŽ, Π³Π΄Π΅ осаТдаСтся Π½Π° ΠΎΡ…Π»Π°ΠΆΠ΄Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅. Π‘Π°ΠΆΠ°, содСрТащая НВ, собираСтся с ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, стСнок ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²ΠΎΠΉ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ стороны мишСни. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ Π² Π΄ΡƒΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ получаСтся нСсколько Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°:

(1) Π² ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ…, Π³Π΄Π΅ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ мишСни использовался чистый Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π»ΠΈΡΡŒ МБНВ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π»ΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρƒ Π΄ΠΎ 300 Π½ΠΌ ΠΈ ΡΠΎΡΡ‚ояли ΠΈΠ· 4−24 Π³Ρ€Π°Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€ΠΎΠ². Π‘Ρ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π° ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚рация Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΠ’ Π² ΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π΅ Π³Π»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΠ»ΠΈΡΡŒ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ΠΎΠΉ. ΠŸΡ€ΠΈ 12 000Π‘ всС Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ ΠΠ’ Π½Π΅ ΡΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π»ΠΈ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π»ΠΈ ΡˆΠ°ΠΏΠΎΡ‡ΠΊΠΈ Π½Π° ΠΎΠΊΠΎΠ½Ρ‡Π°Π½ΠΈΡΡ…. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ синтСза Π΄ΠΎ 9000Π‘ Π² ΠΠ’ появлялись Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹, число ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Π»ΠΎΡΡŒ с Π΄Π°Π»ΡŒΠ½Π΅ΠΉΡˆΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ 2000Π‘ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΠ’ Π½Π΅ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡŒ.

(2) ΠΏΡ€ΠΈ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π² ΠΌΠΈΡˆΠ΅Π½ΡŒ нСбольшого количСства ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ², Π² ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Π°Ρ… кондСнсации наблюдались ОБНВ. Однако Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ испарСния мишСнь ΠΎΠ±ΠΎΠ³Π°Ρ‰Π°Π»Π°ΡΡŒ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠΌ, ΠΈ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ ОБНВ сниТался.

Для Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ этой ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ‹ стали ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π΄Π²Π΅ ΠΎΠ±Π»ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ мишСни, ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… являСтся чистым Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ΠΎΠΌ, Π° Π΄Ρ€ΡƒΠ³Π°Ρ состоит ΠΈΠ· ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ².

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ ΠΠ’ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΎ мСняСтся Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°. Π’Π°ΠΊ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, высокий Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ ΠΠ’ получаСтся Π½Π° ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°Ρ… Ni, Co, смСси Ni ΠΈ Co с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ элСмСнтами. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ ОБНВ ΠΈΠΌΠ΅Π»ΠΈ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ ΠΈ Π±Ρ‹Π»ΠΈ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½Ρ‹ Π² ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΈ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ 5−20 Π½ΠΌ. БмСси Ni/Pt ΠΈ Co/Pt Π΄Π°ΡŽΡ‚ высокий Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ НВ, Ρ‚ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ°ΠΊ использованиС чистой ΠΏΠ»Π°Ρ‚ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΌΡƒ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Ρƒ ОБНВ. БмСсь Co/Cu Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ ОБНВ, Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ чистой ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π²ΠΎΠΎΠ±Ρ‰Π΅ Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ ОБНВ. На ΠΎΠΊΠΎΠ½Ρ‡Π°Π½ΠΈΡΡ… ОБНВ, свободных ΠΎΡ‚ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΠΈΡ† ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°, наблюдались сфСричСскиС ΡˆΠ°ΠΏΠΎΡ‡ΠΊΠΈ.

Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ разновидности ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ» распространСниС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄, Π³Π΄Π΅ вмСсто ΠΈΠΌΠΏΡƒΠ»ΡŒΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ излучСния использовалось сфокусированноС солнСчноС ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅. Π”Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ использовался для получСния Ρ„ΡƒΠ»Π»Π΅Ρ€Π΅Π½ΠΎΠ², Π° ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ Π΄ΠΎΡ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ для получСния ΠΠ’. Π‘ΠΎΠ»Π½Π΅Ρ‡Π½Ρ‹ΠΉ свСт, попадая Π½Π° ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠ΅ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΠΎ ΠΈ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°ΡΡΡŒ, Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ, ΠΏΠ°Π΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Π½Π° ΠΏΠ°Ρ€Π°Π±ΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΠΎ. Π’ Ρ„окусС Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° располоТСна графитовая Π»ΠΎΠ΄ΠΎΡ‡ΠΊΠ°, заполнСнная смСсью Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚алличСского ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΎΠ². ΠŸΡ€ΠΈ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ΅ΠΉ ΡŽΡΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° Π½Π° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ мишСни достигаСт 3000K. Π›ΠΎΠ΄ΠΎΡ‡ΠΊΠ° находится Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ, которая ΠΈΠ³Ρ€Π°Π΅Ρ‚ Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ экрана. Вся систСма ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½Π° Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρƒ, Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΈΠ½Π΅Ρ€Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ Π³Π°Π·ΠΎΠΌ.

Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² Π±Ρ‹Π»ΠΈ взяты Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Ρ‹ ΠΈ ΠΈΡ… ΡΠΌΠ΅ΡΠΈ. Π’ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π° ΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½Π΅Ρ€Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Π°Π·Π° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π»ΠΈΡΡŒ Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Π΅ структуры. Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡ никСль-ΠΊΠΎΠ±Π°Π»ΡŒΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€ ΠΏΡ€ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΌ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π±ΡƒΡ„Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Π°Π·Π° синтСзированный ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† состоял Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ ΠΈΠ· Π±Π°ΠΌΠ±ΡƒΠΊΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… МБНВ. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΈ давлСния появлялись ΠΈ Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°Π»ΠΈ Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ОБНВ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ 1−2 Π½ΠΌ, ОБНВ Π±Ρ‹Π»ΠΈ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½Ρ‹ Π² ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΈ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ Π΄ΠΎ 20 Π½ΠΌ Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ свободной ΠΎΡ‚ Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π°.

ΠšΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Ρ€Π°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡƒΠ³Π»Π΅Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ².

Π¨ΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹ΠΉ способ получСния ΠΠ’ основан Π½Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ процСсса разлоТСния Π°Ρ†Π΅Ρ‚ΠΈΠ»Π΅Π½Π° Π² ΠΏΡ€ΠΈΡΡƒΡ‚ствии ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ². Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² использовались частицы ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² Ni, Co, Cu ΠΈ Fe Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ нСсколько Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ². Π’ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²ΡƒΡŽ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΡƒ Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 60 ΡΠΌ, Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ 4 ΠΌΠΌ, помСщаСтся кСрамичСская Π»ΠΎΠ΄ΠΎΡ‡ΠΊΠ° с 20−50 ΠΌΠ³ ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°. БмСсь Π°Ρ†Π΅Ρ‚ΠΈΠ»Π΅Π½Π° C2H2 (2,5−10%) ΠΈ Π°Π·ΠΎΡ‚Π° прокачиваСтся Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΡƒ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… часов ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 500−11 000Π‘. ПослС Ρ‡Π΅Π³ΠΎ систСма охлаТдаСтся Π΄ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹. На ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π΅ с ΠΊΠΎΠ±Π°Π»ΡŒΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ наблюдались Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° структур:

(1) Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Π΅ слои ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π° Π½Π° Ρ‡Π°ΡΡ‚ΠΈΡ†Π°Ρ… ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°;

(2) закапсулированныС Π³Ρ€Π°Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ слоями частицы мСталличСского ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°;

(3) Π½ΠΈΡ‚ΠΈ, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹ΠΌ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ;

(4) МБНВ.

НаимСньшСС Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Π΅Π³ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° этих МБНВ составляло 10 Π½ΠΌ. НаруТный Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ свободных ΠΎΡ‚ Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π° ΠΠ’ находился Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… 25−30 Π½ΠΌ, Π° Π΄Π»Ρ НВ, ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Ρ… Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹ΠΌ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ — Π΄ΠΎ 130 Π½ΠΌ. Π”Π»ΠΈΠ½Π° НВ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΠ»Π°ΡΡŒ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ протСкания Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΠ»Π°ΡΡŒ ΠΎΡ‚ 100 Π½ΠΌ Π΄ΠΎ 10 ΠΌΠΊΠΌ.

Π’Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ ΠΈ ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π° ΠΠ’ зависит ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π° — Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Π° Co Π½Π° Fe Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΠ’ ΠΈ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ Π±Π΅Π·Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΠ’ сокращаСтся. ΠŸΡ€ΠΈ использовании Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π° Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²ΠΎ Π½ΠΈΡ‚Π΅ΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π»ΠΎ Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½ΡƒΡŽ структуру, ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° Π²ΡΡ‚Ρ€Π΅Ρ‡Π°Π»ΠΈΡΡŒ ΠΠ’ с Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π±Π΅Π·Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ структурой. На ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΌ ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π΅ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π½ΠΈΡ‚ΠΈ с Π½Π΅Ρ€Π΅Π³ΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΎΠΉ ΠΈ Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½ΠΎΠΉ структурой. Π’ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π΅ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ закапсулированныС Π² Π³Ρ€Π°Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ слои частицы ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ НВ ΠΈ Π½ΠΈΡ‚ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ — прямыС; ΠΈΠ·ΠΎΠ³Π½ΡƒΡ‚Ρ‹Π΅, состоящиС ΠΈΠ· ΠΏΡ€ΡΠΌΡ‹Ρ… участков; Π·ΠΈΠ³Π·Π°Π³ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Π΅; ΡΠΏΠΈΡ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅. Π’ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… случаях шаг спирали ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΏΡΠ΅Π²Π΄ΠΎΠΏΠΎΡΡ‚ΠΎΡΠ½Π½ΡƒΡŽ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρƒ.

Π’ Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ»Π° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ массив ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… НВ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΡ‚ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ использованиСм Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… структур Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ эмиттСров. БущСствуСт Π΄Π²Π° ΠΏΡƒΡ‚ΠΈ получСния массивов ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΠ’: ориСнтация ΡƒΠΆΠ΅ Π²Ρ‹Ρ€ΠΎΡΡˆΠΈΡ… ΠΠ’ ΠΈ Ρ€ΠΎΡΡ‚ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… НВ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡ каталитичСскиС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹.

Π‘Ρ‹Π»ΠΎ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ для роста ΠΠ’ пористый ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ [2], ΠΏΠΎΡ€Ρ‹ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Ρ‹ наночастицами ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π°. ПодлоТка ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π°Π»Π°ΡΡŒ Π² ΡΡ€Π΅Π΄Ρƒ Π±ΡƒΡ„Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Π°Π·Π° ΠΈ Π°Ρ†Π΅Ρ‚ΠΈΠ»Π΅Π½Π°, находящихся ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 7000Π‘, Π³Π΄Π΅ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎ ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π»ΠΎ процСсс тСрмичСского распада Π°Ρ†Π΅Ρ‚ΠΈΠ»Π΅Π½Π°. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅, Π½Π° ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡΡ… Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΌΠΌ2, пСрпСндикулярно ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅, Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡŒ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ многослойныС ΠΠ’.

Аналогичный ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄-использованиС Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ Π°Π½ΠΎΠ΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ алюминия. ΠŸΠΎΡ€Ρ‹ Π°Π½ΠΎΠ΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ алюминия Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΊΠΎΠ±Π°Π»ΡŒΡ‚ΠΎΠΌ. ПодлоТка помСщаСтся Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΡƒΡŽ смСсь Π°Ρ†Π΅Ρ‚ΠΈΠ»Π΅Π½Π° ΠΈ Π°Π·ΠΎΡ‚Π° ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 8000Π‘. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΠ’ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ срСдний Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ 50.0±0.7 Π½ΠΌ Ρ Ρ€Π°ΡΡΡ‚ояниСм ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ°ΠΌΠΈ 104.2±2.3 Π½ΠΌ. БрСдняя ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π±Ρ‹Π»Π° ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π° Π½Π° ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ 1.1×1010 НВ/см2. ПЭМ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ выявила Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡƒΡŽ структуру с Ρ€Π°ΡΡΡ‚ояниСм ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π³Ρ€Π°Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ слоями 0.34 Π½ΠΌ. БообщаСтся, Ρ‡Ρ‚ΠΎ, измСняя ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ ΠΈ Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ алюминиСвой ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ НВ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ Ρ€Π°ΡΡΡ‚ояниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½ΠΈΠΌΠΈ.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄, ΠΏΡ€ΠΎΡ‚Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ… Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… (Π½ΠΈΠΆΠ΅ 6660Π‘) Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ описан Π² ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒΡΡ…. НизкиС Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ синтСза ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ стСкло с Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΎΠΉ никСля. НикСлСвая ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° слуТила ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ для роста ΠΠ’ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ осаТдСния ΠΈΠ· Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ„Π°Π·Ρ‹ Π² Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅ с Π³ΠΎΡ€ΡΡ‡Π΅ΠΉ Π½ΠΈΡ‚ΡŒΡŽ. Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ источника ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π° использовался Π°Ρ†Π΅Ρ‚ΠΈΠ»Π΅Π½. МСняя условия экспСримСнта ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ ΠΎΡ‚ 20 Π΄ΠΎ 400 Π½ΠΌ ΠΈ ΠΈΡ… Π΄Π»ΠΈΠ½Ρƒ Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… 0.1−50 ΠΌΠΊΠΌ. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ МБНВ большого Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° (>100 Π½ΠΌ) прямыС ΠΈ ΠΈΡ… ΠΎΡΠΈ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½Ρ‹ строго пСрпСндикулярно ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅. НаблюдаСмая ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΠ’ ΠΏΠΎ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ растровой элСктронной микроскопии составляСт 107 НВ/ΠΌΠΌ2. Когда Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ ΠΠ’ становится мСньшС 100 Π½ΠΌ ΠΏΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚вСнная ориСнтация, пСрпСндикулярная плоскости ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, исчСзаСт. ΠžΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ массивы МБНВ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π½Π° ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡΡ… Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ см2.

ЭлСктролитичСский синтСз.

Основная идСя этого ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° состоит Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ НВ, пропуская элСктричСский Ρ‚ΠΎΠΊ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ элСктродами, находящимися Π² Ρ€Π°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ соли. Π“Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄ расходуСтся Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ»ΡƒΠΆΠΈΡ‚ источником Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π°. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ формируСтся ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΉ спСктр Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Анод прСдставляСт собой Π»ΠΎΠ΄ΠΎΡ‡ΠΊΡƒ, ΡΠ΄Π΅Π»Π°Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΈΠ· Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎ чистого Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π° ΠΈ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ Ρ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΠ΄ΠΎΠΌ лития. Π›ΠΎΠ΄ΠΎΡ‡ΠΊΠ° нагрСваСтся Π΄ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ плавлСния Ρ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΠ΄Π° лития (6040Π‘) Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ Π² Π°Ρ‚мосфСрС ΠΈΠ½Π΅Ρ€Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Π°Π·Π° (Π°Ρ€Π³ΠΎΠ½Π°). Π’ Ρ€Π°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Ρ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΠ΄ лития погруТаСтся ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΈ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠ½ΡƒΡ‚Ρ‹ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ элСктродами пропускаСтся Ρ‚ΠΎΠΊ 1−30 А. Π—Π° Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ пропускания Ρ‚ΠΎΠΊΠ° погруТСнная Π² Ρ€Π°ΡΠΏΠ»Π°Π² Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π° эродируСт. Π”Π°Π»Π΅Π΅ расплав элСктролита, содСрТащий частицы ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π°, охлаТдался Π΄ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹.

Для Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π²Ρ‹Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ частицы ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π°, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ²ΡˆΠΈΠ΅ΡΡ вслСдствиС эрозии ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π°, соль Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ΡΠ»Π°ΡΡŒ Π² Π²ΠΎΠ΄Π΅. Осадок выдСлялся, растворялся Π² Ρ‚ΠΎΠ»ΡƒΠΎΠ»Π΅ ΠΈ Π΄ΠΈΡΠΏΠ΅Ρ€Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π»ΡΡ Π² ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Π·Π²ΡƒΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π²Π°Π½Π½Π΅. ΠŸΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Ρ‹ элСктролитичСского синтСза исслСдовались с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ПЭМ. ВыявлСно, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ состоят ΠΈΠ· Π·Π°ΠΊΠ°ΠΏΡΡƒΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… частиц ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°, Π»ΡƒΠΊΠΎΠ²ΠΈΡ† ΠΈ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΠ’ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΡ€Ρ„ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ ΡΠΏΠΈΡ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΈ ΡΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ³Π½ΡƒΡ‚Ρ‹Π΅. Π’ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ экспСримСнта Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… цилиндричСскими Π³Ρ€Π°Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ слоями колСбался ΠΎΡ‚ 2 Π΄ΠΎ 20 Π½ΠΌ. Π”Π»ΠΈΠ½Π° МБНВ достигала 5 ΠΌΠΊΠΌ. НайдСны ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ условия ΠΏΠΎ Ρ‚ΠΎΠΊΡƒ — 3−5 А. ΠŸΡ€ΠΈ высоком Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° (10−30 А) ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ закапсулированныС частицы ΠΈ Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹ΠΉ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄. ΠŸΡ€ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ… значСниях Ρ‚ΠΎΠΊΠ° (.

ΠšΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄.

Π’ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ квазисвободной кондСнсации ΠΏΠ°Ρ€Π°, ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ°Ρ€ образуСтся Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ рСзистивного Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π»Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ся Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ ΠΈΠ· Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΡƒΠΏΠΎΡ€ΡΠ΄ΠΎΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ пиролитичСского Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π°, ΠΎΡ…Π»Π°ΠΆΠ΄Π°Π΅ΠΌΡƒΡŽ Π΄ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ 300Π‘ Π² Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ΅ 10−8 Π’ΠΎΡ€Ρ€. ПЭМ исслСдования, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 2−6 Π½ΠΌ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ содСрТат ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΠ’ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ 1−7 Π½ΠΌ, Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ 200 Π½ΠΌ, Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²ΠΎ ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… заканчиваСтся сфСричСскими окончаниями. Π‘ΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ НВ Π² ΠΎΡΠ°Π΄ΠΊΠ΅ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ 50%. Для многослойных ΠΠ’ расстояниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ ΠΈΡ… Π³Ρ€Π°Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ слоями составляСт 0.34 Π½ΠΌ. Π’Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ практичСски Π³ΠΎΡ€ΠΈΠ·ΠΎΠ½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ конструктивного Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ.

Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π±Ρ‹Π» Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½ исслСдоватСлями Π»Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΠΈ IBM. Как Π±Ρ‹Π»ΠΎ сказано Ρ€Π°Π½Π΅Π΅, Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ ΠΊΠ°ΠΊ мСталличСскими, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ свойствами. Однако для производства ряда устройств Π½Π° ΠΈΡ… ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅, Π² Ρ‡Π°ΡΡ‚ности — транзисторов ΠΈ, Π΄Π°Π»Π΅Π΅, процСссоров с ΠΈΡ… ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, Π½ΡƒΠΆΠ½Ρ‹ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ. Π£Ρ‡Π΅Π½Ρ‹Π΅ ΠΈΠ· IBM Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π»ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ «ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ», ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ» ΠΈΠΌ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ всС мСталличСскиС Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ этом ΠΎΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π΅ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅. Π’ΠΎ Π΅ΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ½ΠΈ Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ°ΡŽΡ‚ ΠΏΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡ‡ΠΊΠ΅ Π² ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΡ‚Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ΅, Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ°ΡŽΡ‚ мСталличСскиС одностСнныС Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ.

Π’ΠΎΡ‚ ΠΊΠ°ΠΊ Π²ΠΊΡ€Π°Ρ‚Ρ†Π΅ описываСтся этот процСсс (рис. 2):

1. БлипшиСся «ΠΊΠ°Π½Π°Ρ‚Ρ‹» ΠΈΠ· ΠΌΠ΅Ρ‚алличСских ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ ΠΈΠ· ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π° крСмния.

2. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ проСктируСтся литографичСская маска для формирования элСктродов (мСталличСских ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΎΠΊ) ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ. Π­Ρ‚ΠΈ элСктроды Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‚ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ для Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ/Π²Ρ‹ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ.

3. Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡ саму ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΊ элСктрод, ΡƒΡ‡Π΅Π½Ρ‹Π΅ «Π²Ρ‹ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‚» ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ просто Π±Π»ΠΎΠΊΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ любого Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· сСбя.

4. ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ ΠΎΡΡ‚Π°Π»ΠΈΡΡŒ Π½Π΅Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ. ПослС Ρ‡Π΅Π³ΠΎ ΠΊ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ прикладываСтся подходящСС напряТСниС, Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π΅Π΅ мСталличСскиС Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ, Π² Ρ‚ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ ΠΎΡΡ‚Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ остаСтся ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½Ρ‹ΠΉ массив Π½Π΅ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… работоспособных ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ — транзисторов, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ для создания логичСских Ρ†Π΅ΠΏΠ΅ΠΉ — Ρ‚. Π΅. процСссоров.

Π’Π΅ΠΏΠ΅Ρ€ΡŒ рассмотрим эти процСссы ΠΏΠΎΠ΄Ρ€ΠΎΠ±Π½Π΅Π΅. Π Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ МБНВ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ элСктричСскиС свойства. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ элСктронная структура ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΡ‹ пСрСноса элСктронов Π² ΠœΠ‘НВ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹. Π­Ρ‚Π° ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ структуры позволяСт Π²Ρ‹Π±ΠΈΡ€Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΎΠ΄Π½Ρƒ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡ‡ΠΊΡƒ МБНВ: Ρ‚Ρƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΆΠ΅Π»Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ свойства.

Π Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ многостСнных Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ происходит Π² Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π΅ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ мощности, посрСдством быстрого окислСния Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π΅ΠΊ. Π’ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ‚ΠΎΠΊ, Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰ΠΈΠΉ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· МБНВ, измСняСтся пошагово, ΠΏΡ€ΠΈΡ‡Π΅ΠΌ эти шаги с ΡƒΠ΄ΠΈΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΡ‚ΠΎΡΠ½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΡΠΎΠ²ΠΏΠ°Π΄Π°ΡŽΡ‚ с Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ. ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡ процСсс удалСния ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π΅ΠΊ ΠΎΠ΄Π½Ρƒ Π·Π° Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ с ΠΆΠ΅Π»Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΌΠΈ характСристиками внСшнСй ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ, мСталличСской ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ. Выбирая Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ внСшнСй ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΆΠ΅Π»Π°Π΅ΠΌΡƒΡŽ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρƒ Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹.

Если для создания ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ транзистора ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ «ΠΊΠ°Π½Π°Ρ‚Ρ‹» с ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ°ΠΌΠΈ, Ρ‚ΠΎ Π² Π½ΠΈΡ… нСльзя ΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ мСталличСскиС Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ, Ρ‚. ΠΊ. ΠΎΠ½ΠΈ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ Π΄ΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡ‚ΡŒ транспортныС свойства устройства, Ρ‚. Π΅. Π½Π΅ Π΄Π°Π΄ΡƒΡ‚ ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΠΎΠΉ эффСкт. Π­Ρ‚Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Ρ€Π΅ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ.

Π’ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ ΠœΠ‘НВ, Π² Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΌ «ΠΊΠ°Π½Π°Ρ‚Π΅» каТдая ОБНВ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΠΏΠΎ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΊ Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΠΌ элСктродам. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, «ΠΊΠ°Π½Π°Ρ‚» с ΠœΠ‘НВ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ нСзависимыС ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ с ΠΎΠ±Ρ‰Π΅ΠΉ суммарной ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, подсчитываСмой ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅:

G (Vg) = Gm + Gs (Vg),.

Π³Π΄Π΅ Gm ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π΅Ρ‚ся мСталличСскими Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΠΈ Gs ΡΠ²Π»ΡΠ΅Ρ‚ся зависимой ΠΎΡ‚ Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, мноТСство ОБНВ Π² «ΠΊΠ°Π½Π°Ρ‚Π΅» ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ с Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…ΠΎΠΌ, ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΡΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСдой, поэтому мноТСство Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ, Π² ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ ΡΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ с ΠœΠ‘НВ. И, Π½Π°ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ†, одностСнныС Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ Π² ΠΌΠ°Π»Π΅Π½ΡŒΠΊΠΎΠΌ «ΠΊΠ°Π½Π°Ρ‚Π΅» Π½Π΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π°ΡŽΡ‚ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ Π΄Ρ€ΡƒΠ³Π° элСктростатичСски ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒ ΠΆΠ΅ эффСктивно, ΠΊΠ°ΠΊ концСнтричСскиС ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ МБНВ.

Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅, ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΉ элСктрод ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ для эффСктивного ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ пСрСносчиков элСктричСского Ρ‚ΠΎΠΊΠ° (элСктронов ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΠΊ) Π² ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ОБНВ Π² «ΠΊΠ°Π½Π°Ρ‚Π΅». Π­Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ Π² ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹. Π’ ΡΡ‚ΠΎΠΌ случаС окислСниС, Π²Ρ‹Π·Π²Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ Ρ‚ΠΎΠΊΠΎΠΌ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ‚алличСскиС ОБНВ Π² «ΠΊΠ°Π½Π°Ρ‚Π΅».

ΠŸΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²ΠΎ массивов ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ осущСствляСтся просто: ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ помСщСния «ΠΊΠ°Π½Π°Ρ‚ΠΎΠ²» ОБНВ Π½Π° ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ крСмния, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Π½Π°Π±ΠΎΡ€ ΠΈΠ· ΠΈΡΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊΠ° Ρ‚ΠΎΠΊΠ°, зазСмлСния ΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… элСктродов размСщаСтся литографичСским способом Π½Π° Π²Π΅Ρ€ΡˆΠΈΠ½Π΅ «ΠΊΠ°Π½Π°Ρ‚ΠΎΠ²». ΠšΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π½Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΡΡ€Π΅Π΄Π½Π΅ΠΌ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ «ΠΊΠ°Π½Π°Ρ‚» Π·Π°ΠΌΡ‹ΠΊΠ°Π΅Ρ‚ источник ΠΈ Π·Π΅ΠΌΠ»ΡŽ. ΠŸΡ€ΠΈ этом ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ Π½Π΅ Ρ‚рСбуСтся. НиТний Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€ (сама крСмниСвая ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°) ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для запирания ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ прикладываСтся ΠΈΠ·Π±Ρ‹Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ΅ напряТСниС для Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ мСталличСских Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ Π² «ΠΊΠ°Π½Π°Ρ‚Π΅», Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΠΎΠΉ транзистор.

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ эту Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡŽ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт ΡΡ‚Ρ€ΠΎΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ с Π·Π°Ρ€Π°Π½Π΅Π΅ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ элСктричСскими свойствами, ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‡Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹ΠΌ характСристикам элСктронных устройств. Нанотрубки ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π° с Π½Π°Π½ΠΎΡ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… устройствах: Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²Ρ‹Π΅ транзисторы. ΠŸΠΎΠ½ΡΡ‚Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ крСмния, Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… создания ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ алюминия ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ для соСдинСния ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… элСмСнтов Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ кристалла, Π² ΡΡ‚ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΠΉΡ‚ΠΈΡΡŒ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ.

БСгодня ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ процСссоров для увСличСния частоты ΠΏΡ‹Ρ‚Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρƒ ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΠΎΠ² Π² Ρ‚ранзисторах. ВСхнология, прСдлоТСнная IBM, позволяСт ΡƒΡΠΏΠ΅ΡˆΠ½ΠΎ Ρ€Π΅ΡˆΠΈΡ‚ΡŒ эту ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡƒ ΠΏΡ€ΠΈ использовании ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΠΎΠ² Π² Ρ‚ранзисторах.

Устройства Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ.

Π”ΠΈΠΎΠ΄.

ЦилиндричСскиС Π½Π΅ΠΈΠ·ΠΎΠ³Π½ΡƒΡ‚Ρ‹Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ²Ρ‚ΠΎΡ€ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΡˆΠ΅ΡΡ‚ΠΈΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ². Если ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ ΡˆΠ΅ΡΡ‚ΠΈΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΈΠΊ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Π½Π° ΠΏΡΡ‚ΠΈΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΈΠΊ, ΡΠ΅ΠΌΠΈΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΈΠΊ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π° Π΄Π²Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π°, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 3, Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ° изогнСтся. Π‘ Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… сторон ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΈΠ±Π° ориСнтация ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΡˆΠ΅ΡΡ‚ΠΈΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ² оказываСтся Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΉ. Но Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΡˆΠ΅ΡΡ‚ΠΈΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ ΠΊ ΠΎΡΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ мСняСтся Π΅Π΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ спСктр, ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ уровня Π€Π΅Ρ€ΠΌΠΈ, ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° оптичСской Ρ‰Π΅Π»ΠΈ ΠΈ Ρ‚. ΠΏ. Π’ Ρ‡Π°ΡΡ‚ности, для ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 3 случая, слСва ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΈΠ±Π° Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ мСталличСской, Π° ΡΠΏΡ€Π°Π²Π° — ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, эта изогнутая Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ собой молСкулярный Π³Π΅Ρ‚Π΅Ρ€ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»-ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ.

Если Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ куски Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎ, с Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… сторон ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΈΠ±Π° элСктроны Π½Π° ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ Π€Π΅Ρ€ΠΌΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΉ энСргиСй. Π’ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΎΠΉ систСмС Π²Ρ‹ΠΈΠ³Ρ€Ρ‹Ρˆ Π² ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‚Π΅ΠΊΠ°Π½ΠΈΡŽ заряда ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€Π°. ЭлСктричСский Ρ‚ΠΎΠΊ Π² Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΌ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Ρ‚ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π² Ρ‚ΠΎΠΌ случаС, Ссли элСктроны ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈΠ· ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ с Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠ΅ΠΉ энСргиСй Π€Π΅Ρ€ΠΌΠΈ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ с ΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅ΠΉ. Π˜Π½Π°Ρ‡Π΅ говоря, Ρ‚ΠΎΠΊ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Ρ‚Π΅Ρ‡ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ. «ΠžΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ½Π½Π΅Π΅» ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΡƒ с ΠΈΠ·Π³ΠΈΠ±ΠΎΠΌ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для создания Π²Ρ‹ΠΏΡ€ΡΠΌΠ»ΡΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π΄ΠΈΠΎΠ΄Π° — ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ· ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов элСктронных схСм (рис. 4).

ПолСвой транзистор

На ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ мСталличСской Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡŒ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²Ρ‹Π΅ транзисторы [4, 5], Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ (Π² ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΌ случаС) ΠΈ ΡΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ (Π²ΠΎ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ) Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅. ΠŸΠΎΠ»Π΅Π²Ρ‹Π΅ транзисторы (Ρ‚Ρ€ΠΈΠΎΠ΄Ρ‹) — элСктронныС устройства, Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΎΡ заряда Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ сильноС влияниС внСшнСС (ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π΅Π΅) элСктричСскоС ΠΏΠΎΠ»Π΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² ΡƒΡΠΈΠ»ΠΈΡ‚Слях элСктричСского сигнала, ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ‚Π΅Π»ΡΡ… ΠΈ Ρ‚. ΠΏ.

Π’ Ρ‚ранзисторС Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ΅ элСктричСскоС ΠΏΠΎΠ»Π΅ управляСт ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ носитСлСй Π² Π·ΠΎΠ½Π°Ρ… Π΄Π΅Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… состояний (рис. 5). Π’ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ΅ состояния Π²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»Π΅Π½Ρ‹ ΠΎΡ‚ ΡΠΎΡΡ‚ояний Π·ΠΎΠ½Ρ‹ проводимости энСргСтичСской Ρ‰Π΅Π»ΡŒΡŽ — Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½ΠΎΠΉ. Из-Π·Π° наличия этой Ρ‰Π΅Π»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹Ρ… условиях концСнтрация носитСлСй Π² Π·ΠΎΠ½Π°Ρ… ΠΌΠ°Π»Π° ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ° ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ высоким сопротивлСниСм. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡Π΅ Π½Π° Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΠΈΠΉ элСктрод (Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€) элСктричСского ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»Π° U Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ элСктричСскоС ΠΏΠΎΠ»Π΅ ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΈΠ± энСргСтичСских Π·ΠΎΠ½ измСняСтся. ΠŸΡ€ΠΈ этом концСнтрация Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΠΊ Π² Π²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π΅ (ΠΈ ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствСнно ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ) возрастаСт ΠΏΠΎ ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌΡƒ Π·Π°ΠΊΠΎΠ½Ρƒ со ΡΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ края Π·ΠΎΠ½Ρ‹ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ уровня Π€Π΅Ρ€ΠΌΠΈ. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»Π΅ Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€Π° ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ -6 Π’ концСнтрация Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΠΊ достигаСт максимального значСния, сопротивлСниС — минимального, Π° Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ° становится мСталличСской.

ΠŸΡ€ΠΈ создании ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ транзистора Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ‚алличСской Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ эффСкты Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ пСрСноса элСктронов Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΡƒ ΠΏΠΎ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ молСкулярным орбиталям. Из-Π·Π° ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠΉ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ‹ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ Π΅Π΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ спСктр, строго говоря, Π½Π΅ Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π΅Π½, Π° Π΄ΠΈΡΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π΅Π½, с Ρ€Π°ΡΡΡ‚ояниСм ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ уровнями ~1 мэВ ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ ~1 ΠΌΠΊΠΌ (рис. 6). Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ расщСплСния ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ, ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎ, Π½Π΅ ΡΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ся Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ропроводности Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ (0.025 эВ), Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ опрСдСляСт Π΅Π΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСскиС свойства ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ Π½ΠΈΠΆΠ΅ 1 К.

ΠŸΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ мСталличСской Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ Π² Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… условиях обусловлСна Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ элСктроны ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΡΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ (Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚) с Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½Π΅Π³ΠΎ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ уровня ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π° Π½Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ‰ΠΈΠΉ дискрСтный ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π΅Π½ΡŒ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ с Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ Π½Π° Π½ΠΈΠΆΠ½ΠΈΠΉ Π½Π΅Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π΅Π½ΡŒ Π°Π½ΠΎΠ΄Π°. Π’ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ элСктрона происходит ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ (практичСски Π±Π΅Π· рассСяния ΠΈ Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΡŒ энСргии) Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ p-элСктронных состояний, Π΄Π΅Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… Π½Π° Π²ΡΡŽ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρƒ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ. Высокая мСталличСская ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСской Ρ†Π΅ΠΏΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Π° Π² ΡΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅, Ссли Ρ‚Π°ΠΊ ΠΆΠ΅ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ осущСствляСтся пСрСнос элСктронов ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΎΠΉ ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ. Π’ ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π΅ это достигаСтся Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ Π€Π΅Ρ€ΠΌΠΈ элСктродов ΠΊ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΠΈ проводящСго уровня Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ. Π’ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ внСшнСго элСктричСского поля ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡Π΅ элСктричСского ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»Π° Π½Π° Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΠΈΠΉ элСктрод смСщаСт элСктронный ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π΅Π½ΡŒ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ, ΠΈ Π΅Π΅ ΡΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ возрастаСт.

ДисплСй.

ДисплСй — это ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΡ‹ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌ ΠΊ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡŒΡŽΡ‚Π΅Ρ€Ρƒ. Оказалось, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½Ρ‹ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈ Π΄Π»Ρ создания дисплССв Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ поколСния [2, 6].

Рассмотрим ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½ΡƒΡŽ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΡƒ, Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ Π½Π° ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ ΠΈ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡƒΡŽ Π² Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π°Π½ΠΎΠ΄Π° (рис. 7). Если Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‚ΡŒ напряТСниС ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ полярности, Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ° заряТаСтся ΠΎΡ‚Ρ€ΠΈΡ†Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ элСктричСского поля Π²Π±Π»ΠΈΠ·ΠΈ заряТСнной Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ ΠΈΡΠΊΡ€ΠΈΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈ Π² ΠΎΠΊΡ€Π΅ΡΡ‚ности острия Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ Π½Π°ΠΏΡ€ΡΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ поля становится ΠΎΠ³Ρ€ΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ, ΠΏΡ€ΠΈΡ‡Π΅ΠΌ Ρ‚Π΅ΠΌ большС, Ρ‡Π΅ΠΌ Ρ‚ΠΎΠ½ΡŒΡˆΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ°. Π’Π°ΠΊΠΎΠ΅ локальноС ΠΏΠΎΠ»Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²Ρ‹Ρ€Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ элСктроны ΠΈΠ· Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ. Под дСйствиСм внСшнСго поля лСтящиС элСктроны Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ эффСкт, Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΉ автоэлСктронной эмиссиСй, ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠ΅ дисплССв, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для создания выпрямитСлСй.

Π’ ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ… случаях Π±Π΅Ρ€ΡƒΡ‚ Π΄Π²Π° плоских элСктрода, ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ слоСм ΠΈΠ· ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ, ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… пСрпСндикулярно ΠΊΠΎ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌΡƒ. Если Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄Ρ‹ подаСтся Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ напряТСниС, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ° заряТаСтся ΠΎΡ‚Ρ€ΠΈΡ†Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, ΠΈΠ· Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ Π½Π° Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ элСктрод излучаСтся ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ элСктронов: Ρ‚ΠΎΠΊ Π² ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ΅ ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚. ΠŸΡ€ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ полярности Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ° заряТаСтся ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, элСктронная эмиссия ΠΈΠ· Π½Π΅Π΅ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Π° ΠΈ Ρ‚ΠΎΠΊ Π² ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ΅ Π½Π΅ ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚.

Π§Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ автоэлСктронной эмиссии ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, Π½Π° Π°Π½ΠΎΠ΄Π΅ Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»ΡΡŽΡ‚ Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΎΡ„ΠΎΡ€. Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ ΡƒΠ΄Π°Ρ€ Π²ΠΎΠ·Π±ΡƒΠΆΠ΄Π°Π΅Ρ‚ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»Ρ‹ Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΎΡ„ΠΎΡ€Π°, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ пСрСходят Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ΅ состояниС, излучая Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½Ρ‹. НапримСр, ΠΏΡ€ΠΈ использовании Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΎΡ„ΠΎΡ€Π° ΡΡƒΠ»ΡŒΡ„ΠΈΠ΄Π° Ρ†ΠΈΠ½ΠΊΠ° с Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈ Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π·Π΅Π»Π΅Π½ΠΎΠ΅ свСчСниС, Π° ΠΏΡ€ΠΈ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ сСрСбра — синСС. ΠšΡ€Π°ΡΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ†Π²Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π΅Π²Ρ€ΠΎΠΏΠΈΠ΅ΠΌ оксида иттрия.

ЭлСктромСханичСский рСзонанс.

ΠŸΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ элСктричСских ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ Π² ΠΌΠ΅Ρ…аничСскиС трСбуСтся для создания Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… устройств, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ элСктроакустичСских Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΊ. Для возбуТдСния ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ дСйствиСм элСктричСского поля Π΅Π΅ Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»ΡΡŽΡ‚ Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΠΈΠ· Π΄Π²ΡƒΡ… элСктродов, Π½Π° ΡΡ‚ΠΎΡ‚ Ρ€Π°Π· ΠΏΠΎΠ΄ ΡƒΠ³Π»ΠΎΠΌ ΠΊΠΎ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌΡƒ элСктроду. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡Π΅ Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄Ρ‹ элСктричСского напряТСния Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ° заряТаСтся ΠΈ Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ элСктростатичСского притяТСния отклоняСтся ΠΊΠΎ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌΡƒ элСктроду. Если Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ напряТСниС, частота ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ совпадаСт с Ρ‡Π°ΡΡ‚ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ собствСнных ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ, зависящих ΠΎΡ‚ Π΅Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ‹, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΡƒΡ‚ мСханичСскиС колСбания Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ.

ΠšΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π°.

ВСорСтичСскиС ΠΈ ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ исслСдования элСктричСских ΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… свойств Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ ΠΎΠ±Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠΈΠ»ΠΈ ряд эффСктов, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΡƒΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π½Π° ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Ρƒ пСрСноса заряда Π² ΡΡ‚ΠΈΡ… молСкулярных ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π°Ρ… ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… устройствах.

ΠŸΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Π° Π΅Π³ΠΎ Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ ΠΈ ΠΏΡ€ΡΠΌΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Π° ΠΏΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠΌΡƒ ΡΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ, Π° Π² ΡΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ ΠΎΠ½Π° Π½Π΅ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ‚ Π½ΠΈ ΠΎΡ‚ Π΅Π΅ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ‹, Π½ΠΈ ΠΎΡ‚ Π΅Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΈ Ρ€Π°Π²Π½Π° ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚Ρƒ проводимости 2e2/h (12.9 кОм-1) — ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌΡƒ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ проводимости, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ свободному пСрСносу Π΄Π΅Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… элСктронов ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΉ Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ наблюдаСмоС Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ плотности Ρ‚ΠΎΠΊΠ° (107 А? см-2) Π½Π° Π΄Π²Π° порядка прСвосходит Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΠ³Π½ΡƒΡ‚ΡƒΡŽ сСйчас ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π² ΡΠ²Π΅Ρ€Ρ…ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ….

Нанотрубка, которая находится ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1 К Π² ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π΅ с Π΄Π²ΡƒΠΌΡ свСрхпроводящими элСктродами, сама становится свСрхпроводником. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ эффСкт связан с Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ купСровскиС элСктронныС ΠΏΠ°Ρ€Ρ‹, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ΡΡ Π² ΡΠ²Π΅Ρ€Ρ…проводящих элСктродах, Π½Π΅ Ρ€Π°ΡΠΏΠ°Π΄Π°ΡŽΡ‚ся ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΡƒ.

ΠŸΡ€ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ… Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ‚алличСских Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ°Ρ… наблюдали ступСнчатоС возрастаниС Ρ‚ΠΎΠΊΠ° (ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ проводимости) ΠΏΡ€ΠΈ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ напряТСния смСщСния V, ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ΅: ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ скачок ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ появлСнию ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ уровня Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡƒΡ‚ΠΊΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ уровнями Π€Π΅Ρ€ΠΌΠΈ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠΈ Π°Π½ΠΎΠ΄Π° (рис. 6, Π°).

Нанотрубки ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ ярко Π²Ρ‹Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ магнитосопротивлСниСм: ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ сильно зависит ΠΎΡ‚ ΠΈΠ½Π΄ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ поля. Если ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠΈΡ‚ΡŒ внСшнСС ΠΏΠΎΠ»Π΅ Π² Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ оси Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ, Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ осцилляции элСктропроводности; Ссли ΠΏΠΎΠ»Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΎ пСрпСндикулярно оси НВ, Ρ‚ΠΎ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Π΅Ρ‚ся Π΅Π΅ Π²ΠΎΠ·Ρ€Π°ΡΡ‚Π°Π½ΠΈΠ΅.

Π₯имичСская модификация.

ВозмоТности использования Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ Π² ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎΠΉ элСктроникС Π½Π΅ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠΎ Π²ΠΎΠ·Ρ€Π°ΡΡ‚Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ ΠΎΡ‚ Ρ‡ΠΈΡΡ‚ΠΎ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΊ Ρ…имичСски ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ°ΠΌ. НапримСр, благодаря Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡŽ цилиндричСской полости Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΡŒ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΎΠΊ удаСтся Π²Π½Π΅Π΄Ρ€ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ элСмСнты, Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ тяТСлыС ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Ρ‹. Π’ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π΄Π΄Π΅Π½Π΄ΠΎΠ² (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² Ρ„Ρ‚ΠΎΡ€Π°) Π½Π° Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΡŽΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ…, сСйчас ΡƒΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈ Π±ΠΎΡ€-Π°Π·ΠΎΡ‚Π½Ρ‹Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ. Π’ΠΎ Π²ΡΠ΅Ρ… этих случаях Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ с Π½ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠΊΠ° Π΅Ρ‰Π΅ ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½Π΅ ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ свойствами.

Π‘Π²Π΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ‹.

Π•Ρ‰Π΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ МБНВ — ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ свСтодиодов Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ органичСских ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² [3]. Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ случаС для ΠΈΡ… ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚овлСния использовался ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄: ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎΠΊ ΠΈΠ· ΠΠ’ смСшивали с ΠΎΡ€Π³Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ элСмСнтами Π² Ρ‚ΠΎΠ»ΡƒΠΎΠ»Π΅ ΠΈ ΠΎΠ±Π»ΡƒΡ‡Π°Π»ΠΈ ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Π·Π²ΡƒΠΊΠΎΠΌ, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ раствору Π΄Π°Π²Π°Π»ΠΈ отстоятся Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 48 часов. Π’ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ количСства ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π»ΠΈΡΡŒ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ массовыС Π΄ΠΎΠ»ΠΈ ΠΠ’. Для изготовлСния свСтодиодов снимали Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΡŽΡŽ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ раствора ΠΈ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ цСнтрифугирования наносили Π½Π° ΡΡ‚Π΅ΠΊΠ»ΡΠ½Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ, послС Ρ‡Π΅Π³ΠΎ напыляли Π°Π»Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Π΅ элСктроды Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ слои. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ устройства исслСдовались ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΡΡ†Π΅Π½Ρ†ΠΈΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ выявил ΠΏΠΈΠΊ ΠΈΡ… ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΈΠ½Ρ„ракрасной области спСктра (600−700 Π½ΠΌ).

Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅

.

Π’ Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π»Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‚ ΠΊ ΡΠ΅Π±Π΅ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ внимания благодаря возмоТности изготовлСния Π½Π° ΠΈΡ… ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ устройств Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ². НСсмотря Π½Π° ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡ‡ΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ исслСдования Π² ΡΡ‚ΠΎΠΉ области, вопрос ΠΎ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ производствС Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… устройств остаСтся ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ связано с Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ контроля получСния ΠΠ’ с Π·Π°Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡ‚Π²Π°ΠΌΠΈ. Однако Π² Π±Π»ΠΈΠΆΠ°ΠΉΡˆΠ΅ΠΌ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰Π΅ΠΌ слСдуСт ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Ρ‚ΡŒ Π±ΡƒΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ развития Π² ΡΡ‚ΠΎΠΉ области ΠΈΠ·-Π·Π° возмоТности производства микропроцСссоров ΠΈ Ρ‡ΠΈΠΏΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ нанотранзисторов ΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ слСдствиС, инвСстирования Π² ΡΡ‚Ρƒ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ корпорациями, ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌΡΡ Π½Π° ΠΊΠΎΠΌΠΏΡŒΡŽΡ‚Π΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ΅.

1. Π£Π³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ. ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ для ΠΊΠΎΠΌΠΏΡŒΡŽΡ‚Π΅Ρ€ΠΎΠ² XXI Π²Π΅ΠΊΠ°, П. Н. Π”ΡŒΡΡ‡ΠΊΠΎΠ² // ΠŸΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Π° № 11, 2000 Π³.

2. Carbon nanotube arrays on silicon substrates and their possible application, Shoushan Fan et al. // Physica E 8 (2000) 179−183.

3. A carbon nanotube composite as an electron transport layer for M3EH-PPV based light-emitting diods, P. Fournet et al. // Synthetic Metals 121 (2001) 1683−1684.

4. Manipulation of Carbon Nanotubes and Properties of Nanotube Field-Effect Transistors and Rings, H. R. Shea et al. // Microelectronic Engineering 46 (1999) 101−104.

5. Single-wall carbon nanotube based devices, J. Lefebvre et al. // Carbon 38 (2000) 1745−1749.

6. An under-gate triode structure field emission display with carbon nanotube emitters, Y.S. Choi et al. // Diamond and Related Materials 10 (2001) 1705−1708.

7. ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ Π˜Π½Ρ‚Π΅Ρ€Π½Π΅Ρ‚Π°.

8.

Π’Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒΡΠΊΠΎΠ² П. А. Π­Π»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Ρ‹ элСктроники Π½Π° ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ°Ρ….

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ