ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

ΠžΠ΄Π½ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Π°Ρ наноэлСктроника. 
НаноэлСктроника

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

АналогичноС Π²Ρ‹Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΏΠΈΡΠ°Ρ‚ΡŒ для Ρ‚Π΅ΠΌΠ½Π° туннСлирования Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ Π“2. Π’ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΈ туннСлирования зависит ΠΎΡ‚ R ΠΈ Π‘. Если значСния ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² R ΠΈ Π‘ Ρ€Π°Π²Π½Ρ‹, Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ напряТСния Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΉ рост Ρ‚ΠΎΠΊΠ°, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ количСство ΠΏΡ€ΠΈΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΡ… Π½Π° ΠΊΡƒΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΠΉ островок (ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΡƒΡŽ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΡƒ) элСктронов Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ Ρ€Π°Π²Π½ΠΎ количСству ΡƒΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΡ…. Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚ΠΎΠΊΠ°, обусловлСнноС… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ΠžΠ΄Π½ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Π°Ρ наноэлСктроника. НаноэлСктроника (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

Π­Ρ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ одноэлСктронного туннСлирования

К. К. Π›ΠΈΡ…Π°Ρ€Π΅Π², профСссор Московского государствСнного унивСрситСта (ΠœΠ“Π£) ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΈ М. Π’. Ломоносова, тСорСтичСски рассчитал ΠΈ ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠΈΠ» эффСкт одноэлСктронного туннСлирования. Π’ 1986 Π³. Πš. К. Π›ΠΈΡ…Π°Ρ€Π΅Π² ΠΈ Π”. Π’. АвСрин сообщили ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ создания одноэлСктронпых транзисторов Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ кулоновской Π±Π»ΠΎΠΊΠ°Π΄Ρ‹. Π’ 1987 Π³. Π›ΠΈΡ…Π°Ρ€Π΅Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠΈΠ» ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»Ρ‹ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΠΏΡ‹Ρ… систСмах, Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… составляСт ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1 Π½ΠΌ.

ΠŸΡ€ΠΈ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… элСктронных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΈ ΡƒΡΡ‚ройств Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° манипулирования ΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ состояния ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… носитСлСй заряда, ΠΏΡ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅ всСго элСктронов. Π­Ρ‚ΠΎ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ развития элСктроники ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»ΠΎ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ «Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ одиоэлСктроиика».

ΠžΠ΄ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΈΠ½Ρ‹Π΅ устройства ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ собой пСрспСктивныС наноэлСктроиныС ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹, основанныС ΠΏΠ° ΡΡ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π΅ дискрСтного туннСлирования ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… элСктронов ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½ΠΈ потрСбляСмой энСргии ΠΏΡ€ΠΈ ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ… Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΡ… напряТСниях.

Рассмотрим процСсс одноэлСктронпого туннСлирования Π² Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ²ΠΎΠΉ транзисторной структурС с ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ (рис. 5.22).

Π’ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ формируСтся Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π΄Π²ΡƒΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ сСчСния, ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌΠΈ располагаСтся Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ слой диэлСктрика. Π‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ конструкции — Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π° — ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… элСктронов. Богласно основным ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠ°ΠΌ ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΠΊΠΈ микрочастицы (Π² Ρ‡Π°ΡΡ‚ности, элСктроны) ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚.

Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° одноэлСктронного транзистора с ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΎΠΉ.

Рис. 5.22. Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° одноэлСктронного транзистора с ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΎΠΉ:

V3 — Π½Π°ΠΏΡ€ΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€Π΅; Гис — напряТСниС Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄Π°Ρ… «ΠΈΡΡ‚ΠΎΠΊ — сток»

ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· изолятор (диэлСктрик) с ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° Π½Π° Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ — «Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ». Π’ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ двиТСния элСктронов Π² ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ΅, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ зависит лишь ΠΎΡ‚ ΠΈΡ… ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… свойств, ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ характСристики ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ частицы. Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Ρ‹ проходят Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· слой диэлСктрика ΠΏΠΎ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ, ΠΈ ΡΡ‚ΠΎ позволяСт Π·Π°Ρ€Π΅Π³ΠΈΡΡ‚Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ с ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° Π½Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ….

Π‘ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ зрСния радиоэлСктроники Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ — это ΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚Π΅ΠΉΡˆΠΈΠΉ кондСнсатор, Π° ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ туннСлирования элСктронов ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΎΠΉ пСрСзарядкС Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ кондСнсатора ΠΈ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, ΠΊ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ напряТСния Π½Π° Π½Π΅ΠΌ. Если ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ ΠΈ ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствСнно Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π° достаточно ΠΌΠ°Π»Ρ‹, Ρ‚ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π·Π°Ρ€ΡΠ΄ΠΊΠ° Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π½Π° ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ элСмСнтарный заряд ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ ΠΊ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½ΠΎΠΌΡƒ скачку напряТСния.

ВСория одноэлСктронного туннСлирования Π²ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Π΅ Π±Ρ‹Π»Π° ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π° Π² 1980;Ρ… Π³Π³. К. К. Π›ΠΈΡ…Π°Ρ€Π΅Π²Ρ‹ΠΌ. Π‘Ρ‹Π»ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°Ρ… ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π²Ρ‹Ρ€ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Π΅Ρ‚ΡΡ эффСкт дискрСтного туннСлирования ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… носитСлСй Ρ‚ΠΎΠΊΠ° сквозь Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€Ρ‹.

Π­Ρ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ дискрСтного одноэлСктронного туннСлирования состоит Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°Ρ… с ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ собствСнной Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π‘ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ явлСния туннСлирования ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ элСктрона q измСняСтся напряТСниС Π½Π° Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ Π½Π° Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρƒ AV = q/C.

Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΠ΅Ρ‚ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с Ρ‚Π΅ΠΎΡ€ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ энСргия элСктрона A V Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ большС тСрмодинамичСских Ρ„Π»ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΠ°Ρ†ΠΈΠΉ ΠΊΠ’, ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ³Π΄Π° A = Π• Π—> kT, Π³Π΄Π΅ ΠΊ — постоянная Π‘ΠΎΠ»ΡŒΡ†ΠΌΠ°Π½Π°; Π“ — Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°.

Рассмотрим Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя мСталличСскими ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π°ΠΌΠΈ ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌ слоСм диэлСктрика ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½ΠΈΠΌΠΈ. По ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Ρƒ это плоский кондСнсатор Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π‘, Π½Π° ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠ°Ρ… ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ находится заряд Q. ИзмСнСниС Смкости Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ нанокондСнсатора происходит дискрСтно, Π° ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ измСнСния энСргии опрСдСляСтся элСмСнтарным зарядом АЕ = q2/2C. Π’Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Ρ€ΠΎΠ±Π½ΠΎΠ³ΠΎ заряда нСсколько ΠΏΠ°Ρ€Π°Π΄ΠΎΠΊΡΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ парадокс ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΡΡΠ½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ссли напряТСниС Π½Π° ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠ°Ρ… кондСнсатора ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎ, Ρ‚ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ элСктрона ΠΈ ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствСнно заряд Смкости происходят скачком.

НСкоторая аналогия с ΠΊΠ°ΠΏΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΈΠ· ΠΊΡ€Π°Π½Π° Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π° профСссором К. К. Π›ΠΈΡ…Π°Ρ€Π΅Π²Ρ‹ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ описании процСсса одноэлСктронного туннСлирования. Π’ΠΎΠ΄Π° ΠΏΠΎΠ΄Ρ‚Π΅ΠΊΠ°Π΅Ρ‚ Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎ, Π° ΡΡ€Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ся сформированной для Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… условий ΠΊΠ°ΠΏΠ»Π΅ΠΉ. Аналогично Π² ΠΎΠΏΠΈΡΡ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ситуации: смСщСниС элСктрона происходит Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎ, Π° Ρ‚ΡƒΠ½Π΅Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ элСктрона — дискрСтно.

Π—Π°ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ вслСдствиС Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² элСктричСский заряд Π² Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π° квантуСтся. Π’Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Ρ„Π»ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΠ°Ρ†ΠΈΠΉ оцСниваСтся ΠΈΠ· ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ нСопрСдСлСнностСй АЕт 2> h, Π³Π΄Π΅ Ρ‚ = RC; R — сопротивлСниС ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°. Π’Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π° R 3> RQ, Π³Π΄Π΅ = h/Aq1 = 6,45 кОм — ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ сопротивлСниС.

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… условиях ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±Π»ΠΎΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ процСсс туннСлирования элСктронов. ΠŸΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΠΌ, ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ-Ρ‚ΠΎ ΠΈΠ· ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π» сквозь изолятор нСзаряТСнного ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°. ΠŸΡ€ΠΈ этом Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ сразу ΠΆΠ΅ появится напряТСниС, ΠΏΡ€Π΅ΠΏΡΡ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π΅ двиТСнию ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… частиц, — ΠΏΡ€ΠΎΡΠΊΠΎΡ‡ΠΈΠ²ΡˆΠΈΠΉ элСктрон своим зарядом ΠΎΡ‚Ρ‚Π°Π»ΠΊΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ элСктроны. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ эффСкт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ» Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ кулоновской Π±Π»ΠΎΠΊΠ°Π΄Ρ‹ (Coulomb Blocade, Π‘Π’). ΠšΡƒΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΡΠΊΠ°Ρ Π±Π»ΠΎΠΊΠ°Π΄Π° прСдставляСт собой явлСниС отсутствия Ρ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΈΠ·-Π·Π° нСвозмоТности туннСлирования элСкронов вслСдствиС ΠΈΡ… ΠΊΡƒΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ отталкивания ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ напряТСния ΠΊ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρƒ.

Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, вслСдствиС кулоновской Π±Π»ΠΎΠΊΠ°Π΄Ρ‹ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄Π½ΠΎΠΉ элСктрон ΠΏΡ€ΠΎΠΉΠ΄Π΅Ρ‚ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· изолятор Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Ρ‚ΠΎΠ³Π΄Π°, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΏΡ€Π΅Π΄Ρ‹Π΄ΡƒΡ‰ΠΈΠΉ удалится ΠΎΡ‚ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ частицы станут ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΡΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ с ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° Π½Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡƒΡ‚ΠΊΠΈ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ, Π° Ρ‡Π°ΡΡ‚ΠΎΡ‚Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… пСрСскоков — одноэлСктронных ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ — Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ Ρ€Π°Π²Π½Π° Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π΅ Ρ‚ΠΎΠΊΠ°, Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π° Π·Π°Ρ€ΡΠ΄ элСктрона. Π­Ρ‚Π° частота повторСния опрСдСляСтся ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ /= I/q, Π³Π΄Π΅ / — Ρ‚ΠΎΠΊ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄. Π­Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ одноэлСктронныС Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ осцилляции (Single Electron Tunneling, SET).

Для обСспСчСния процСсса туннСлирования Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ΄ΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΡŒ силу кулоновского отталкивания элСктронов. Π­Ρ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ кулоновской Π±Π»ΠΎΠΊΠ°Π΄Ρ‹ позволяСт ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ процСссом туннСлирования элСктронов. Для прСодолСния кулоновской Π±Π»ΠΎΠΊΠ°Π΄Ρ‹ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρƒ напряТСниС (7ΠΊΠ± = q/2C.

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ протСкания Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ происходит Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ стадий (рис. 5.23, Π°). На ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΉ стадии Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠΌ ΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΠΊΠΎΠΌ являСтся элСктричСски Π½Π΅ΠΉΡ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ. Для поддСрТания элСктричСского Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ сторонС Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π° Π½Π°ΠΊΠΎΠΏΠΈΡ‚ΡŒ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ заряд. Π’ ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΏΡ€Π΅Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ К. К. Π›ΠΈΡ…Π°Ρ€Π΅Π²Π° процСсс образования ΠΊΠ°ΠΏΠ»ΠΈ Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ Π² Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±Π΅ Π½Π΅ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎ Π·Π°ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡ€Π°Π½Π° Π½Π°ΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°Π΅Ρ‚ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ элСктрона (рис. 5.23, Π±).

ΠœΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ процСсса одноэлсктронного туннСлирования (Π°) ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ образования водяной ΠΊΠ°ΠΏΠ»ΠΈ Π² капиллярС (Π±).

Рис. 5.23. ΠœΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ процСсса одноэлсктронного туннСлирования (Π°) ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ образования водяной ΠΊΠ°ΠΏΠ»ΠΈ Π² ΠΊΠ°ΠΏΠΈΠ»Π»ΡΡ€Π΅ (Π±).

На Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ стадии процСсса ΠΊ ΠΌΠ΅Ρ‚алличСским ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌ прикладываСтся элСктричСский ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π», ΠΈ Π½Π° Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π΅ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π° накапливаСтся заряд. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ этап соотвСтствуСт Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ ΠΊΠ°ΠΏΠ»ΠΈ.

На Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒΠ΅ΠΉ стадии происходит Π½Π°ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ заряда Π΄ΠΎ Ρ‚Π΅Ρ… ΠΏΠΎΡ€, ΠΏΠΎΠΊΠ° Π΅Π³ΠΎ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹ Π½Π΅ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ достаточно для прСодолСния Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π° Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· диэлСктрик. На Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠΉ схСмС этот этап соотвСтствуСт ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ ΠΈ ΠΎΡ‚Ρ€Ρ‹Π²Ρƒ ΠΊΠ°ΠΏΠ»ΠΈ.

На Ρ‡Π΅Ρ‚Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΎΠΌ этапС послС Π°ΠΊΡ‚Π° туннСлирования систСма возвращаСтся Π² ΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ состояниС. ΠŸΡ€ΠΈ сохранСнии ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ напряТСния Ρ†ΠΈΠΊΠ» повторяСтся, Π½ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΌΡƒ ΠΆΠ΅ ΡΡ†Π΅Π½Π°Ρ€ΠΈΡŽ.

Π—Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Смкости, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ΅ для наблюдСния кулоновской Π±Π»ΠΎΠΊΠ°Π΄Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ Π“, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ, подставив числовыС значСния q ΠΈ k для наблюдСния эффСкта Π‘ q2/2ΠΊΠ’. РасчСты ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ.

Π’ = 4,2 К Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠ° Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ Π‘ -16 Π€, Π° ΠΏΡ€ΠΈ Π’ =77 ΠΈ 300 К — соотвСтствСнно Π‘ 10 17 ΠΈΠ‘"3−10-18 Π€. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, для Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈ высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… (Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ 77 К) Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠ° Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ 10″18—10 19 Π€, ΠΈΠ»ΠΈ 0,1—1 Π°Π€.

Если Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ двиТСния частица ΠΏΡ€ΠΈΠΎΠ±Ρ€Π΅Π»Π° достаточно Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΡŽ, Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ½Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΡ€Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΡƒΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΡΠΊΡƒΡŽ Π±Π»ΠΎΠΊΠ°Π΄Ρƒ. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ для ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ одноэлСктронного устройства сущСствуСт своя критичСская Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°, Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ ΠΎΠ½ΠΎ пСрСстаСт Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ. Π­Ρ‚Π° Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Π° ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°: Ρ‡Π΅ΠΌ мСньшС Π΅Π³ΠΎ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ, Ρ‚Π΅ΠΌ большС скачок напряТСния ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€ кулоновской Π±Π»ΠΎΠΊΠ°Π΄Ρ‹.

На Ρ€ΠΈΡ. 5.24, Π° прСдставлСна эквивалСнтная схСма Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°. ΠŸΡ€ΡΠΌΠΎΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄. Π”Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ графичСскоС ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ для кулоновского Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π° являСтся общСпринятым. ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ характСризуСтся сопротивлСниСм R ΠΈ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π‘, Π‘ — Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ подводящих ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠ². К ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρƒ ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΎ напряТСниС V. Из ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ схСмы ΠΎΡ‡Π΅Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ссли паразитная Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ Π‘' большС Смкости ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°, Ρ‚ΠΎ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ систСмы Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΡˆΡƒΠ½Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π‘. Π’ Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π°Ρ… Π½Π΅ ΡƒΠ΄Π°Π΅Ρ‚ся ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΡˆΡƒΠ½Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΡƒΡŽ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 10 15 Π€, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡƒΠΌ Π½Π° Π΄Π²Π° порядка большС Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ для наблюдСния одноэлСктронного туннСлирования Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠ³ΠΎ гСлия.

Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, наблюдСниС одноэлСктронного туннСлирования Π² ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ΅ с ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ сСгодняшнСм Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠΈ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ являСтся ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ. Для Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ‹ Π±Ρ‹Π»Π° ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π° конструкция ΠΈΠ· Π΄Π²ΡƒΡ… Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ², Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ. ЭквивалСнтная схСма этой конструкции прСдставлСна Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 5.24, Π±. Π’ ΡΡ‚ΠΎΠΌ случаС Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠ² ΡƒΠΆΠ΅ Π½Π΅ ΡˆΡƒΠ½Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°. ΠžΠ±Ρ‰ΡƒΡŽ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΡŽ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ систСмы ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΏΠΈΡΠ°Ρ‚ΡŒ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π• = <212/2Π‘, + Q22/2C2, Π³Π΄Π΅ 1, 2 — индСксы ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ². ЀизичСски такая конструкция прСдставляСт собой ΠΌΠ°Π»ΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ‰ΡƒΡŽ частицу, ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ.

Π° 6.

Π° 6.

Рис. 5.24. ЭквивалСнтная схСма Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠ², поэтому Qx = Q2 = Q соотвСтствуСт заряду, находящСмуся Π½Π° Ρ‡Π°ΡΡ‚ΠΈΡ†Π΅.

Рассмотрим ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Ρ‚Π΅ΠΎΡ€ΠΈΡŽ транспорта носитСлСй, Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ наряду с ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ кулоновскими эффСктами ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ мСсто процСсс ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ туннСлирования. Π˜Π·ΡƒΡ‡ΠΈΠΌ Π΄Π²ΡƒΡ…Π½Π΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΡƒΡŽ систСму с Π½Π΅ΡΠΈΠΌΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ (см. Ρ€ΠΈΡ. 5.4, Π±). Π’Π΅ΠΌΠ½ туннСлирования Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΏΠΈΡΠ°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ = 8E{/q2Rv Π³Π΄Π΅ 8Π•Π₯ = qV{ — q2/2Cx — ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ энСргии Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΌ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ Π½Π° Π½Π΅ΠΌ напряТСния V > ^ΠΊΠ²* ΠŸΠΎΠ΄ΡΡ‚Π°Π²ΠΈΠ² ΠͺΠ•Π₯ Π² Π²Ρ‹Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ для Π“, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠΌ Π“Ρ… = Vx/qRx —)RiC{.

АналогичноС Π²Ρ‹Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΏΠΈΡΠ°Ρ‚ΡŒ для Ρ‚Π΅ΠΌΠ½Π° туннСлирования Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ Π“2. Π’ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΈ туннСлирования зависит ΠΎΡ‚ R ΠΈ Π‘. Если значСния ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² R ΠΈ Π‘ Ρ€Π°Π²Π½Ρ‹, Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ напряТСния Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΉ рост Ρ‚ΠΎΠΊΠ°, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ количСство ΠΏΡ€ΠΈΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΡ… Π½Π° ΠΊΡƒΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΠΉ островок (ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΡƒΡŽ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΡƒ) элСктронов Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ Ρ€Π°Π²Π½ΠΎ количСству ΡƒΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΡ…. Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚ΠΎΠΊΠ°, обусловлСнноС ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠΎΠΌ туннСлирования, Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ. Π’ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ Π½Π° ΠΎΡΡ‚Ρ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ количСство элСктронов, число ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… зависит ΠΎΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ напряТСния. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ Π²ΠΎΠ»ΡŒΡ‚Π°ΠΌΠΈΠ΅Ρ€Π½Π°Ρ характСристика Π΄Π²ΡƒΡ…ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ систСмы ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ступСнчатый Π²ΠΈΠ΄ (рис. 5.25). Вакая Π²ΠΎΠ»ΡŒΡ‚Π°ΠΌΠΈΠ΅Ρ€Π½Π°Ρ характСристика ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»Π° Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ «ΠΊΡƒΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠΉ лСстницы».

Π‘Ρ‚ΡƒΠΏΠ΅Π½ΡŒΠΊΠΈ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ ВАΠ₯ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ Ρ‚Π΅ΠΌ ярчС Π²Ρ‹Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Ρ‹, Ρ‡Π΅ΠΌ нСсиммСтричнСС ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹. Π‘Ρ‚ΡƒΠΏΠ΅Π½ΡŒΠΊΠΈ ΠΈΡΡ‡Π΅Π·Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ симмСтрии ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ равСнствС Π―Π‘-констант. БСмСйство кулоновских лСстниц, рассчитанноС К. К. Π›ΠΈΡ…Π°Ρ€Π΅Π²Ρ‹ΠΌ для Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ Qo ΠΈ Π΄Π»Ρ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ внСшнСго заряда (G{ Π‘9, Π‘j = 2Π‘2), прСдставлСно Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 5.25. Π’Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° G называСтся кондактансом ΠΈ, Π½ΠΎ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Π° ΡΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ. Π—Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ заряда Q Π² ΡΡ‚ΠΎΠΌ ΡƒΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π²ΠΈΠ΄ Q = + nq, Π³Π΄Π΅ ΠΏ — Ρ†Π΅Π»ΠΎΠ΅ число элСктронов Π½Π° ΠΊΡƒΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠΌ островкС.

Заряд ^ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡΡ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Ρƒ. Π­Ρ‚ΠΈΠΌ зарядом ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ элСктрода, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚ рядом с ΠΊΡƒΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΠΌ островком. УсловиС кулоновской Π±Π»ΠΎΠΊΠ°Π΄Ρ‹ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ пСриодичСски Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎΠΌ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Q0. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ.

Π’ΠΎΠ»ΡŒΡ‚-ампСрная характСристика, ΠΈΠ»ΠΈ кулоновская лСстница.

Рис. 5.25. Π’ΠΎΠ»ΡŒΡ‚-ампСрная характСристика, ΠΈΠ»ΠΈ кулоновская лСстница.

Π—Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ напряТСния Π½Π° ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚ΠΎΠΊΠ΅, ΠΏΡ€ΠΎΡ‚Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΌ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Π½Π΅Π΅ (/= 300 нА), ΠΎΡ‚ напряТСния Π½Π° Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€Π΅.

Рис. 5.26. Π—Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ напряТСния Π½Π° ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚ΠΎΠΊΠ΅, ΠΏΡ€ΠΎΡ‚Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΌ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Π½Π΅Π΅ (/= 300 нА), ΠΎΡ‚ Π½Π°ΠΏΡ€ΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π° Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€Π΅.

напряТСния пСриодичСски Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΡŒ кулоновская Π±Π»ΠΎΠΊΠ°Π΄Π°. Π—Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠΊΠ°, ΠΏΡ€ΠΎΡ‚Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΡƒΡŽ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΡƒ (ΠΈΠ»ΠΈ напряТСния Π½Π° Π½Π΅ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ постоянном Ρ‚ΠΎΠΊΠ΅), Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ Π½ΠΎΡΠΈΡ‚ΡŒ осцилляционный Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€, прСдставлСнный Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 5.26.

Π’ ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ°Ρ… с Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ мСсто процСсс Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ сотуннСлирования, Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎΡΡ сохранСниСм энСргии ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌ состояниями всСго массива ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ². Π’ Ρ‚ΠΎ ΠΆΠ΅ врСмя ΠΏΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ элСктрона Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ Π½Π΅ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΎ.

Π‘Ρ‹Π»ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ использовании Π΄Π²ΡƒΡ… ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ элСктродами находятся ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ. Π­Ρ‚ΠΈ Π½ΡƒΠ»ΡŒΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Ρ‹ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ энСргСтичСский спСктр, ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΉ собой Π½Π°Π±ΠΎΡ€ дискрСтных ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ.

На Ρ‚ранспортныС свойства ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ Π²Π»ΠΈΡΡŽΡ‚ Ρ„Π»ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»Π°, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠΈΠΊΠΈ кулоновских осцилляций нСрСгулярными.

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ