2 = 3 …5 ΠΊΠΠ°), ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ, ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΠ°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΎΡ Π»Π°Π΄ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ Π² ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°Ρ, Π° ΠΎΡΠ½ΡΡΠ°Ρ ΠΎΡ Π½Π΅Π³ΠΎ Π² ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΡΠ° ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΡΡ Ρ ΠΎΡ Π»Π°ΠΆΠ΄Π°ΡΡΠ΅ΠΉ…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°ΡΠ‘ΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΠΎ Π² ΡΠ°Π΄Π°ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ (ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΠΈ). Π£ΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΡ 5400 ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΊΡΡΠ³ΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ (Π²Π΅ΠΊΡΠΎΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π²ΡΠ°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ): ΠΏΡΠΈ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Ρ Ρ ΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΈΡΠ»ΠΎΠΌ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΡ ΠΎΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΠΎΠ²…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°ΡΠΠ°ΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½Π΅ΠΉ ΡΠ΅Π·ΡΠ±Ρ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΎΡ ΡΠΎΠΊΠ°ΡΡ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ. ΠΠΊΠΎΠ½ΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅Π³ΠΎ Ρ ΠΎΠ΄Π° 3 ΡΠΎΠΊΠ°ΡΡ Π½Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°ΡΡ Π²ΠΈΠ·ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π²Π΅ΡΡΠΈΠ½Π° ΡΠ΅Π·ΡΠ° Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠΈΠΈ Π²Π½Π΅ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ. ΠΠ°Π²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π·Π°Π½ΠΈΡ Π²ΠΎΡΠΏΡΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΡΡΡ Π½Π° ΡΠ»ΡΡ , ΡΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎ Π½ΠΎΠ½ΠΈΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π° ΡΡΠ°Π½ΠΈΠ½Π΅. ΠΡΠ»ΠΈ Π½Π΅ Π²ΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΡΠ²ΠΎΠ΅Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΡΠΈΠΊΡΠΈΠΎΠ½…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°ΡΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΡΠΎ ΡΡΠΎ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΎΠΉ, ΠΎΠ½Π° ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΎ ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠΎΠ². ΠΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½Π° ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΏΡΠΈΠ½ΡΡΡΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ² Π΅Π΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. Π Π‘Π¨Π Π΄Π»Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π° ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π΄ΡΡΠ° Π²ΡΡΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅Π³ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΎΡΠΊΠ°Π·Π°ΠΌΠΈ (Π‘ΠΠΠ), ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½Π½Π°Ρ Π² ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ΅…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°ΡΠ Π°Π·Π»ΠΈΡΠ°ΡΡ Π³ΠΎΠΌΠΎΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΡ — ΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΡΠΎΡΡ Π½Π° ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Si//Si) ΠΈ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΡ — Π½Π° ΠΈΠ½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, GaN//Al203). ΠΡΡΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠ΅ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π³ΠΎΠΌΠΎΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΈ — Π°Π²ΡΠΎΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΡ, Ρ ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ ΡΡΠΈΠΌ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ°ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ°Π·ΡΠΌΠ΅Π²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°, ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΠ΅Π³ΠΎΡΡ ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΎΠΌ (Ge + Ag// Ge). ΠΠ°ΡΡΠ΄Ρ Ρ Π½ΠΈΠΌΠΈ…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ