ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚

ΠšΡƒΡ€ΡΠΎΠ²Π°ΡΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ способа изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ фотохимичСским способом, ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ: Π½Π° Π΄Π²ΡƒΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ½Π½ΡŽΡŽ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡƒΡŽ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΡƒ наносится слой фоторСзиста. Π§Π΅Ρ€Π΅Π· Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ экспонированиС, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ фоторСзист удаляСтся с ΡƒΡ‡Π°ΡΡ‚ΠΊΠΎΠ², Π³Π΄Π΅ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ располоТСны ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ. ΠŸΠΎΡ‚ΠΎΠΌ свСрлятся отвСрстия. Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ этапом являСтся… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

1. Π Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° тСхничСского задания

1.1 НаимСнованиС ΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ примСнСния

1.2 ОснованиС для Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ

1.3 ЦСль ΠΈ Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ

1.4 Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ

1.5 ВрСбования ΠΊ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΌΡƒ издСлию

2. ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ условий эксплуатации ΠΈ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΡ‹ ТСсткости

3. ОбоснованиС конструкторских Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΉ

3.1 Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹

3.2 Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° конструкции ΠΈ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠ° точности ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹

3.3 Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ класса точности ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹

3.4 Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ способа изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹

3.5 Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹

3.6 ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ допустимых ΠΏΠ°Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ максимальной Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ‹ рядом ΠΈΠ΄ΡƒΡ‰ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² с ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Бписок Π»ΠΈΡ‚Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠŸΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ

Π’Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅

Π’ ΠΊΡƒΡ€ΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚Π΅ описано устройство рСгистрации Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ росы Π² Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… мСталлостСклянных, мСталлокСрамичСских корпусах ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π°Ρ…. Π’ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… условиях ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ опрСдСлСния ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠ² ΠΏΠΎ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π°ΠΌ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° атмосфСры Ρ€Π°Π· Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ корпуса ΠΈ.с. с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ масс-спСктроскопии. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Π² Π½Π΅Π³ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ издСлия, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСским ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌ ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ тСхничСским условиям. Π’ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π΅ контроля Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ росы эта ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° Ρ€Π΅ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ локального охлаТдСния ΠΈ.с. Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ элСктричСский Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄. Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ ΠΎΡ…Π»Π°ΠΆΠ΄Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ повСрхности Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ корпуса Π΄ΠΎ 1−1.5 ΠΌΠΌ? ΠΈ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρƒ локального кондСнсированного слоя Π΄ΠΎ 6 ΠΌΠΊΠΌ. ΠšΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°Ρ†ΠΈΡ Π²Π»Π°Π³ΠΈ Π½Π° ΠΎΡ…Π»Π°ΠΆΠ΄Π°Π΅ΠΌΠΎΠΌ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π΅ сопровоТдаСтся ΠΏΡ€ΠΈΡ€Π°Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ёмкости Π”Π‘ — 0.10−0.25 ΠΏΠ€ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ этими Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΊΠΎΡ€ΠΏΡƒΡΠΎΠΌ ΠΈ.с., Ρ‡Ρ‚ΠΎ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€. Для микросхСмы К140 составляСт Π΄ΠΎ 25% ΠΎΡ‚ Π΅Ρ‘ Π½ΠΎΠΌΠΈΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ значСния.

Π”Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ питаСтся Ρ‚ΠΎ ΠΈΡΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊΠ° Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π½Π° Ρ‚ранзисторС VT6, I=0.5мА. Π‘ΠΈΠ³Π½Π°Π» подаСтся Π½Π° Π²Ρ…ΠΎΠ΄ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎ-Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ прСобразоватСля. Π’ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ измСрСния Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ росы зависит ΠΎΡ‚ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ° охлаТдСния исслСдуСмого ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°. Богласно Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ, врСмя кондСнсации Π²Π»Π°Π³ΠΈ Π½Π° ΠΎΡ…Π»Π°ΠΆΠ΄Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ повСрхности Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΈ Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡŽΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ уровня Π²Π»Π°Π³ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π½Π°Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… 0.5−3с. ΠžΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ капСль Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ Π½Π° Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ… кондСнсации Π² Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚ происходит ΠΏΡ€ΠΈ упругости водяного ΠΏΠ°Ρ€Π°, Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΉ упругости насыщСния. ΠΠ±ΡΠΎΠ»ΡŽΡ‚Π½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ измСрСния Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, обусловлСнная конструктивными особСнностями Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹, располоТСниСм Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ° Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΡ…Π»Π°ΠΆΠ΄Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π° ΠΈ.с. ΠΈ ΡƒΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π³Ρ€Π°Π΄ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°ΠΌΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€, Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ½Ρ‹ значСния младшСго разряда Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΡ€Π° ΠΈ ΡΠΎΡΡ‚авляСт- 0.05 Β°Π‘. ΠžΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ измСрСния Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ Π² ΡΡ‚ΠΎΠΌ случаС Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ 5%.

1. Π Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° тСхничСского задания

1.1 НаимСнованиС ΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ примСнСния Π Π°Π·Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ΅ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠ΅ — «ΡƒΡΡ‚ройство рСгистрации Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ росы». ΠžΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ примСнСния — ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ систСмы. Устройство примСняСтся рСгистрации Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ росы Π² Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… мСталлостСклянных, мСталлокСрамичСских корпусах ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π°Ρ….

1.2 ОснованиС для Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Π£Ρ‡Π΅Π±Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ»Π°Π½ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ 200 800.

1.3 ЦСль ΠΈ Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ЦСлью являСтся ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ конструкций ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ 1-ΠΎΠ³ΠΎ уровня; освоСниС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠΈ конструирования ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚, ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈΡ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ.

1.4 Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Π–ΡƒΡ€Π½Π°Π» «ΠŸΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹ ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ° экспСримСнта» .-2001. № 2.-с.146−148 схСма элСктричСская ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ устройства рСгистрации.

1.5. ВрСбования ΠΊ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΌΡƒ издСлию Π Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ ΡƒΠ·Π΅Π» Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΈ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ простым Π² ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ, Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒ свои Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΈ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ, Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‡Π°Ρ‚ΡŒ условиям ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ…озащищСнности ΠΈ ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ…ΠΈ ΠΈ Π½Π°Π²ΠΎΠ΄ΠΊΠΈ Π½Π° Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹, особСнно ΠΏΡ€ΠΈ использовании Π² ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ комплСксС.

2. ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ условий эксплуатации ΠΈ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΡ‹ ТСсткости ИздСлиС относится ΠΊ 2-ΠΎΠΉ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠ΅ 1-ΠΎΠ³ΠΎ класса. Π’. Π΅. ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡƒΠ°Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π² Π·Π°ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Ρ… ΠΎΡ‚Π°ΠΏΠ»ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… ΠΈ Π½Π΅ ΠΎΡ‚Π°ΠΏΠ»ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… помСщСниях. Π”ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΡ…Ρ€Π°Π½ΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΎΡ‚ ΠΌΠΈΠ½ΡƒΡ 60 Π΄ΠΎ ΠΏΠ»ΡŽΡ 85 0Π‘ ΠΏΡ€ΠΈ отсутствии агрСссивных срСд. Π˜ΡΡ…ΠΎΠ΄Ρ ΠΈΠ· ΡΡ‚ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎ Π“ΠžΠ‘Π’ 23 752–78 Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ ΡƒΠ·Π΅Π» Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ 2-ΠΎΠΉ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠ΅ ТСсткости эксплуатации.

3. ОбоснованиС конструкторских Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΉ

3.1 Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π±Ρ‹Π» использован стСклотСкстолит Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π‘Π€ — 2Н — 50 — 1,5 Π“ΠžΠ‘Π’ 10 316– — 78. Π”ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΡ… Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ стСклотСкстолита позволяСт Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ Π² Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 2-ΠΎΠΉ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΡ‹ ТСсткости эксплуатации. Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° стСклотСкстолита (1,5 ΠΌΠΌ) Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π½Π° Π² ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌΡƒ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρƒ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ отвСрстия ΠΈ ΠΏΠΎ ΠΊΠ»Π°ΡΡΡƒ точности ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ исходя ΠΈΠ· Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ обСспСчСния мСханичСской прочности ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡƒΠ·Π»Π°.

3.2 Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° конструкции ΠΈ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠ° точности ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ двустороннСй. ДвусторонниС ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ мСньшими Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ½Π½ΠΈΠΌΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ с ΠΈΡ… ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡƒΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΊΠΈ.

Рисунок 1

L — расстояниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ,

D — Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ,

dΠΌΠΎ — Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ отвСрстия,

b — ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° пояска ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ.

Π”ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ Ρ€Π°Π²Π΅Π½ [1]:

D = dΠΌΠΎ + 2b.

Π¨ΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° полосы tn Π½Π°Ρ…одится ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅ [2]:

tn =(L-D)/(2n+1) ,

Π³Π΄Π΅ n — количСство ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ².

Π‘Ρ€Π°Π²Π½ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌ tn Ρ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ класса точности

tn = (2.5-(1+2*0.1))/(2+1) = 0.433 ΠΌΠΌ.

t3ΠΊΠ»= 0.25 ΠΌΠΌ — ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° 3-Π΅Π³ΠΎ класса точности.

Π’.Π΅. tn > t3ΠΊΠ», Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚ Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ класс точности ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚.

3.3 Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ класса точности ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΠΌ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρƒ Π·Π°Π·ΠΎΡ€Π° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ:

Sp=tp=(L-DΠΊΠΏ)/2n+1, (1)

Π³Π΄Π΅ Sp — ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° Π·Π°Π·ΠΎΡ€Π°, ΠΌΠΌ

tp — ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, ΠΌΠΌ

L — расстояниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… отвСрстий, ΠΌΠΌ

DΠΊΠΏ — Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ, ΠΌΠΌ

n — количСство ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ 2-мя ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π—Π°Π΄Π°Π΄ΠΈΠΌ класс точности 3 (tp min=0.25, Sp min=0.25):

Sp=tp=(2.5−2.24)/1=0.26

Sp > tp min, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½Π°ΡˆΡƒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π² 3-Π΅ΠΌ классС точности

3.4 Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ способа изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ фотохимичСским способом, ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ: Π½Π° Π΄Π²ΡƒΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ½Π½ΡŽΡŽ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡƒΡŽ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΡƒ наносится слой фоторСзиста. Π§Π΅Ρ€Π΅Π· Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ экспонированиС, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ фоторСзист удаляСтся с ΡƒΡ‡Π°ΡΡ‚ΠΊΠΎΠ², Π³Π΄Π΅ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ располоТСны ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ. ΠŸΠΎΡ‚ΠΎΠΌ свСрлятся отвСрстия. Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ этапом являСтся осаТдСниС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя оловянно — свинцового припоя (ПОБ) Π½Π° Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ. ΠŸΠΎΡ‚ΠΎΠΌ слСдуСт ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π΄ΡƒΠ±Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с Π½Π΅Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… мСст (субтрактивная опСрация). Π”Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ способ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ» наибольшСС ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚.ΠΊ. ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚ΡƒΡŽ ΠΈ ΠΎΡ‚Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½ΡƒΡŽ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡŽ для всСх Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ² производств, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ высокой Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка.

3.5 Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Для нахоТдСния Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ сначала ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. Π’ΠΎΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡΡ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Ρ‹ 1.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 1 Π”Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ для опрСдСлСния ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹:

Π’ΠΈΠΏ Π­Π Π­

Установочная ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ Si, ΠΌΠΌ

ΠšΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ, n

Si n, ΠΌΠΌ2

ΠœΠ›Π’-0,25

37,5

БП5−2

КВ315

21,6

43,2

КП303

КП306

КР572ΠŸΠ’2

К140Π£Π”6

283,4

566,8

ΠšΠ›Π‘-1(47,68ΠΏΠ€)

56,25

168,75

ΠšΠ›Π‘-1(100ΠΏΠ€)

67,5

ΠšΠ›Π‘-1(0,01ΠΌΠΊΠ€)

70,5

ΠšΠ›Π‘-1(0,1ΠΌΠΊΠ€)

67,5

К10−23(20ΠΏΠ€)

58,5

58,5

К53−10(0,47ΠΌΠΊΠ€)

К53−10(0,22ΠΌΠΊΠ€)

К53−10(1ΠΌΠΊΠ€)

Π”9Π”

52,5

Π“Π ΠŸΠœ31

1585,5

1585,5

ΠŸΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, SΠΏΠΏ опрСдСляСтся ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅ [2]:

SΠΏΠΏ= n, (1)

Π³Π΄Π΅ ΠΊ =0,5 — коэффициСнт, Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ;

Si — ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ, трСбуСмая для установки i-Π³ΠΎ этого элСмСнта;

n — количСство элСмСнтов;

SΠΏΠΏ = 15 843,5 ΠΌΠΌ2

Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π²Ρ‹Π±ΠΈΡ€Π°Π΅ΠΌ ΠΈΠ· ΡΡ‚Π°Π½Π΄Π°Ρ€Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ряда Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² Π“ΠžΠ‘Π’ 10 317. ΠšΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹: 120 120 ΠΌΠΌ 2

3.6 ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ допустимых ΠΏΠ°Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ максимальной Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ‹ рядом ΠΈΠ΄ΡƒΡ‰ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² с ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² Π”Π°Π½ΠΎ:

Π”Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ„Ρ€ΠΎΠ½Ρ‚Π° Ρ„Ρ„ = 20 нс;

ДопустимоС напряТСниС ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ…ΠΈ UΠΏΠΎΠΌ_Π΄ΠΎΠΏ =0.5 Π’;

Π’Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ напряТСниС микросхСмы UΠ²Ρ‹Ρ… = 5 Π’;

Π’Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ сопротивлСниС микросхСмы RΠ²Ρ‹Ρ… = 1 кОм ;

ΠŸΠ΅Ρ€Π΅ΠΏΠ°Π΄ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π² Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Ρ†Π΅ΠΏΠΈ микросхСмы Π”I = 0.1 А;

Π”Π»ΠΈΠ½Π° рядом ΠΈΠ΄ΡƒΡ‰ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² L = 7.5 ΠΌΠΌ;

РасстояниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² S = 1.25 ΠΌΠΌ;

Π¨ΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² t =0.25 ΠΌΠΌ.

Допустимая Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ…ΠΈ рассчитываСтся ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅ [2]:

.

Максимальная Π΄Π»ΠΈΠ½Π° рядом ΠΈΠ΄ΡƒΡ‰ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² с ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ Смкости [2]:

lΠ΄ΠΎΠΏ=Π‘ΠΏΠΎΠΌ_Π΄ΠΎΠΏ Β· S Β· 36Ρ€ Β· 2/t Β· 10-9 (Π΅ΠΏΠΎΠ΄+1) = 0.32 ΠΌ, Π³Π΄Π΅ Бопогонная Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ [Π€/ΠΌ] .

Допустимая ΠΈΠ½Π΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ…ΠΈ [2]:

Π“Π΄Π΅ К=1 -коэффициСнт запаса.

Максимальная Π΄Π»ΠΈΠ½Π° рядом ΠΈΠ΄ΡƒΡ‰ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² с ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ индуктивности находится ΠΈΠ· ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ уравнСния [2]:

l Π΄ΠΎΠΏ_ΠΌ = 0.7 962 ΠΌ.

Π’ΠΎΠ³Π΄Π° максимальная Π΄Π»ΠΈΠ½Π° рядом ΠΈΠ΄ΡƒΡ‰ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² с ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ индуктивности ΠΈ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ Смкости:

l Π΄ΠΎΠΏ = (l Π΄ΠΎΠΏ_ΠΌ * l Π΄ΠΎΠΏ_c)/ (l Π΄ΠΎΠΏ_ΠΌ + l Π΄ΠΎΠΏ_c) = 0.11 495 ΠΌ = 63.35 ΠΌΠΌ .

Π’Ρ‹Π²ΠΎΠ΄: рассчитанная максимальная допустимая Π΄Π»ΠΈΠ½Π½Π° рядом ΠΈΠ΄ΡƒΡ‰ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² с ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ индуктивности ΠΈ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ Смкости большС Ρ‡Π΅ΠΌ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½Π° данная Π² Π·Π°Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ, Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚, Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΠΎΠ΅ располоТСниС этих ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² удовлСтворяСт условиям элСктромагнитной совмСстимости.

Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅

Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ курсовом ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚Π΅ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π° конструкция издСлия 1-ΠΎΠ³ΠΎ уровня (ΡƒΠ·Π΅Π» ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ). ΠžΡ„ΠΎΡ€ΠΌΠ»Π΅Π½Π° конструкторская докумСнтация, ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π΅Π½Ρ‹ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈ Ρ‚Схнология изготовлСния для Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ.

Π Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π² ΠΊΡƒΡ€ΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚Π΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ ΡƒΠ·Π΅Π» удовлСтворяСт трСбованиям ΠΏΠΎ ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΠΌ эксплуатации, условиям элСктромагнитной совмСстимости, ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΈΠ΅ массогабаритныС характСристики, ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ трСбованиям ΠΏΠΎ Ρ‚очности, трСбованиям Π“ΠžΠ‘Π’ΠΎΠ² ΠΈ ΠžΠ‘Π’ΠΎΠ². ΠžΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ простая конструкция ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΈΡ… ΠΈ Ρ€Π°ΡΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€Π°Π½Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚ΠΎΠ², Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ изготовлСния Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌ для массового производства.

1. ΠŸΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ². ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ указания ΠΊ Π»Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π½ΠΎΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ для студСнтов ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚Π΅ΠΉ 190 900, 200 800, 71 900/НГВУ; Бост. М. А. ИвлСв, НиТний Новгород, 2000.-29с.

2. ΠšΡƒΡ€Ρ Π»Π΅ΠΊΡ†ΠΈΠΉ ΠΏΠΎ Π΄ΠΈΡΡ†ΠΈΠΏΠ»ΠΈΠ½Π΅ «ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Ρ‹ проСктирования Π Π­Π‘» для студСнтов ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ 200 800 .

3. Π‘ΠΏΡ€Π°Π²ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊ ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ радиоэлСктронной Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ (ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΡƒΠ·Π»Ρ‹) / А. И. Π“ΠΎΡ€ΠΎΠ±Π΅Ρ†, А. И. Π‘Ρ‚Π΅ΠΏΠ°Π½Π΅Π½ΠΊΠΎ, Π’. М. ΠšΠΎΡ€ΠΎΠ½ΠΊΠ΅Π²ΠΈΡ‡. -К.: Π’Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ°, 1985. -312 с.: ΠΈΠ».

4. Π‘ΠΏΡ€Π°Π²ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊ ΠΏΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ ΠΈ ΠΎΡ„ΠΎΡ€ΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡŽ конструкторской Π΄ΠΎΠΊΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ РЭА / Под Ρ€Π΅Π΄. Π­. Π’. Π ΠΎΠΌΠ°Π½Ρ‹Ρ‡Π΅Π²ΠΎΠΉ. — Πœ.: Π Π°Π΄ΠΈΠΎ ΠΈ ΡΠ²ΡΠ·ΡŒ, 1989.-448с.

5. ОБВ 4Π“Πž.010.030−81. Установка навСсных элСмСнтов Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅.

6. Π“ΠžΠ‘Π’ 23 751– —86. ΠŸΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ конструкции

7. Π“ΠžΠ‘Π’ 23 752–79. ΠŸΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅. ΠžΠ±Ρ‰ΠΈΠ΅ тСхничСскиС условия.

8. Π“ΠžΠ‘Π’ 2.417−91 Π•Π‘ΠšΠ”. ΠŸΡ€Π°Π²ΠΈΠ»Π° выполнСния Ρ‡Π΅Ρ€Ρ‚Π΅ΠΆΠ΅ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚.

9. Π Π” 50−708−91. Π˜Π½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΡ: ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅. ВрСбования ΠΊ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ

10. Π“ΠžΠ‘Π’ 2.108−68 Π•Π‘ΠšΠ”. БпСцификация.

11. ОБВ 4Π“Πž.000.030−85. ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΡΠΊΠ°Ρ докумСнтация. Π’Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ спСцификаций

12. Π“ΠžΠ‘Π’ 2.702−75 Π•Π‘ΠšΠ”. ΠŸΡ€Π°Π²ΠΈΠ»Π° выполнСния элСктричСских схСм.

13. Π“ΠžΠ‘Π’ 10 317–79. ΠŸΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹.

14. Π“ΠžΠ‘Π’ 10 316–78. ГСтинакс ΠΈ ΡΡ‚СклотСкстолит Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅. ΠžΠ±Ρ‰ΠΈΠ΅ тСхничСскиС условия.

15. ОБВ 107.9.3001−87. ΠŸΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΡ мСталличСскиС ΠΈ Π½Π΅ΠΌΠ΅Ρ‚алличСскиС нСорганичСскиС. ΠžΠ±Ρ‰ΠΈΠ΅ трСбования ΠΊ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Ρƒ.

16. Π Π” 107.9.4002−88. ΠŸΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΡ лакокрасочныС. НомСнклатура, свойства ΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ примСнСния.

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ