Помощь в написании студенческих работ
Антистрессовый сервис

Электрохимическое маркирование с использованием фотоактивных и фотоуправляемых электрод-инструментов

Диссертация: Электрохимическое маркирование с использованием фотоактивных и фотоуправляемых электрод-инструментов
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Проанализированы основные причины, сдерживающие более широкое применение методов ЭХРО для изготовления плат печатного монтажа (возникновение невытравленных токоизолированных островковнеобходимость изготовления ЭИ или трафарета для каждого рисунка платыжёсткие требования по плотности рисунка и ширине проводящих полосокпроцессы тепло-и газовыделения в МЭП). Разработаны основы конструкторского… Читать ещё >

Электрохимическое маркирование с использованием фотоактивных и фотоуправляемых электрод-инструментов (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Содержание

  • Глава 1. Анализ состояния вопроса
    • 1. 1. Общие закономерности процесса ЭХРО
    • 1. 2. Электродные процессы. М
    • 1. 3. Особенности анодного растворения металла. ^
    • 1. 4. Электролиты для ЭХРО
    • 1. 5. Станки и приспособления для ЭХМ. Типовые операции ЭХМ *
    • 1. 6. Мелкое (цветное) маркирование. ^
    • 1. 7. Глубокое маркирование. ^
    • 1. 8. Изготовление плат печатного монтажа
    • 1. 9. Электрохимические методы получения фотографий
    • 1. 10. Выводы
  • Глава 2. Методика измерений и экспериментальное оборудование
    • 2. 1. Схема электрохимической установки для фотоуправляемого ЭХМ
    • 2. 2. Система фотоуправления растровым ЭИ
    • 2. 3. Влияние длины гидродинамического тракта на точность и качество электрохимической обработки
    • 2. 4. Расширение технологических возможностей электрохимического фрезерования растровым ЭИ
    • 2. 5. Основы технологии для реализации способа ЭХРО с использованием сканирования фотоуправляемого растрового Эй
    • 2. 6. Методика изготовления и исследований фотоактивных монокристаллических кремниевых ЭИ. ^
    • 2. 7. Технология изготовления и конструкция фотоактивного ЭИ на основе структуры БпОг/Сс^. ^
  • Глава 3. Исследования технологических возможностей и применение фотоуправляемых растровых ЭИ
    • 3. 1. ЭХМ и изготовление фирменных табличек и бирок
    • 3. 2. Фотоэлектрохимическая обработка гальванокопий
    • 3. 3. О возможности стабилизации скорости анодного съёма металла вдоль длины гидродинамического тракта
    • 3. 4. Сканирующий фотоуправляемый растровый ЭИ
    • 3. 5. Способ изготовления плат печатного монтажа
    • 3. 6. Методика определения скорости сканирования ЭИ
  • Глава 4. Изготовление и исследования технологических возможностей фотоактивных ЭИ
    • 4. 1. Выбор полупроводникового материала для изготовления фотоактивного ЭИ
    • 4. 2. Методика определения толщины светопроводящего покрытия
    • 4. 3. Исследования технологических возможностей фотоактивных монокристаллических кремниевых ЭИ для целей ЭХРО
    • 4. 4. Способ электрохимической обработки с использованием фотоактивного ЭИ
    • 4. 5. Определение разрешающей способности фотоактивного ЭИ
    • 4. 6. Метод получения фотографического изображения с использованием фотоактивного ЭИ
    • 4. 7. Изучение структуры БпОг/СёБ/ электролит для целей фотоэлектрохимической размерной обработки

Одним из методов электрохимической размерной обработки (ЭХРО) деталей является электрохимическое маркирование (ЭХМ), при котором на обрабатываемую поверхность наносятся различные знаки и изображения [1,2]. Электрохимическое нанесение информации применяется в машиностроительной, электротехнической, радиоэлектронной, полиграфической и в других отраслях промышленности при изготовлении изделий основного производства и товаров народного потребления.

Способы ЭХМ позволяют наносить информацию на детали любой формы и толщины, независимо от химического состава токопроводящей поверхности и её механических свойств. В отличии от механических, ударных способов маркирования, ЭХМ не вызывает деформации деталей и появления заусенцев. Наносимая информация сохраняется и не стирается длительное время при эксплуатации деталей в неблагоприятных условиях, при различных механических и химических воздействиях. Маркирование деталей необходимо проводить при ремонтно-восстановительных работах, на этапах обработки и сборки, где необходимо опознавание каждой детали. Отсутствие такой информации в процессе сборки, а также в процессе эксплуатации приводит к необходимости повторного установления отличительных признаков и свойств.

Существующие методы ЭХМ по разным причинам не всегда полностью удовлетворяют требованиям производства и обеспечивают необходимое качество обработки. Одним из сдерживающих факторов более широкого применения ЭХМ является необходимость изготовления электрод-инструментов (ЭИ) или трафаретов для каждого вида наносимой информации. Это условие является неприемлемым при нанесении обширной и часто меняющейся информации, например при изготовлении плат печатного монтажа (НИМ), нанесении сложных рисунков [3]. Для этих целей обычно применяют растровые (матричные) ЭИ [4].

Однако для расширения технологических возможностей, увеличения объёма и сложности наносимой информации требуется уменьшать размеры и увеличивать количество элементов (секций) растровых ЭИ. Это существенно усложняет проблемы изготовления ЭИ, коммутации и управления секциями ЭИ, что приводит к увеличению технологических затрат в стоимости продукции.

Ещё одной проблемой ЭХМ, характерной для всех процессов ЭХРО, является проблема повышения точности и качества формообразования. Точность ЭХРО в большинстве случаев лимитируется не точностью используемого оборудования, а точностью, обеспечиваемой собственно процессом анодного растворения [5]. Основные электрохимические погрешности обусловлены процессами шламои газонаполнения, а также выделением джоулевой теплоты в межэлектродном промежутке (МЭП). Для ЭХМ это накладывает жёсткие ограничения на возможность увеличения объёма наносимой информации и площади обрабатываемой поверхности.

При электрохимических методах изготовления ППМ возникает специфическая проблема, связанная с тем, что происходит полное, до диэлектрического основания, травление фольги, что может привести к образованию необработанных, изолированных от токоподвода островков. Существующие способы решения этой проблемы не позволяют в полной степени реализовать возможности изготовления ППМ электрохимическими методами с точностью, соизмеримой и превышающей точность, получаемую при традиционных фотохимических методах, хотя такая возможность имеется [3].

Электрохимические методы получения фотографического изображения с использованием полупроводниковых электродов представляют особый интерес, так как позволяют расширить чувствительность в широком спектральном диапазоне и создают возможность управления чувствительностью [6,7]. В существующих методах полупроводниковый материал либо сам подвергается травлению, либо является подложкой для осаждения металла из электролита. Для улучшения качества и стойкости изображения, снижения стоимости технологического процесса необходимо выдвигать новые идеи и решить ряд научно-технических и инженерных проблем, некоторые из которых присущи всем методам ЭХМ.

Для решения перечисленных проблем, как показали наши поисковые исследования, представляется перспективным использование фотоактивных и фо-тоуправляемых ЭИ. Такие ЭИ имеют плоскую рабочую поверхность, что существенно упрощает гидродинамический режим протекания электролитаони могут применяться длительное время для нанесения любого вида информации. Однако до настоящего времени данных о технологии изготовления и применении таких ЭИ явно недостаточно.

Представляется также возможным применение фотоактивных ЭИ для электролитического способа получения фотографий непосредственно на обрабатываемой поверхности. В результате патентных поисков мы не обнаружили сведений о таких методах получения фотографий.

Фотоактивные и фотоуправляемые ЭИ могут применяться для нумерации серийной продукции, изготовления фирменных табличек, товарных знаков, плат печатного монтажа, печатных форм, клише, плоских фигурных деталей, фурнитуры, декоративной и другой продукции, где требуется неглубокая электрохимическая обработка.

Таким образом, разработка фотоуправляемых методов коммутации секций растровых ЭИ и разработка ЭИ с фотоактивной полупроводниковой поверхностью, а также изучение технологических возможностей таких ЭИ является актуальной задачей при создании и внедрении прогрессивных электрохимических технологий.

Исходя из этого нами была определена цель настоящей работы — обоснование, разработка технологических основ изготовления и изучение возможностей фотоактивных и фотоуправляемых ЭИ для ЭХМ и других задач ЭХРО.

В соответствии с целью были определены задачи исследования:

1. Разработать способ электрохимической обработки, в котором ЭИ выполнен из фотоактивного полупроводникового материала, с токоподводом на его нерабочей поверхности, на которую воздействуют световым потоком, в соответствии с которым происходит ЭХРО.

2. Изучить возможность электролитического метода получения фотографий с использованием фотоактивных ЭИ.

3. Разработать способ фотоуправления секциями растрового ЭИ и исследовать технологические возможности метода ЭХМ с использованием такого ЭИ.

4. Исследовать возможность изготовления плат печатного монтажа подвижным фотоуправляемым секционным ЭИ. Установить закономерности растворения металлической фольги с основания печатной платы для определения необходимой скорости движения ЭИ.

5. Проанализировать влияние основных электрохимических факторов на точность и качество ЭХМ и определить возможные способы уменьшения погрешностей обработки.

6. Разработать конкретный технологический процесс для ЭХМ и передать его предприятию-заказчику для внедрения.

1. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ВОПРОСА.

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ.

1. Проведён анализ существующих методов электрохимического маркирования деталей, проанализированы возможности этих методов и выявлены основные факторы, сдерживающие и ограничивающие более широкое их применение (низкая производительность, многооперационность, большое использование ручного труда, низкая управляемость качеством).

2. Разработаны и испытаны в лабораторных условиях различные конструкции фотоуправляемых растровых ЭИ, позволяющие оперативно менять рисунок наносимой информации, снижающие трудоёмкость изготовления изделий и использование ручного труда, улучшающие качество и износостойкость наносимой рельефной информации.

3. Разработан комбинированный ЭИ для изготовления различных фирменных табличек. Рабочая поверхность с рисунком неменяющейся информации изготовлена из медной пластины, в которую вставлены растровые ЭИ для нанесения на таблички сменной информации (нумерация, параметры изделия, дата изготовления). Выявлены наиболее рациональные условия и режимы ЭХРО по изготовлению таких табличек и составлено технико-экономическое обоснование для применения таких ЭИ в условиях серийного производства.

4. Установлено, что основными факторами, влияющими на точность и качество ЭХМ, являются процессы теплои газовыделения в МЭП. Эти факторы накладывают ограничения на возможность увеличения площади маркируемой поверхности. Для увеличения площади маркируемой поверхности, улучшения качества обработки и возможности оперативной замены информации предложен способ обработки, в котором эти проблемы решаются за счёт сканирования фотоуправляемого линейного секционного ЭИ по обрабатываемой поверхности (способ защищён патентом РФ), что позволяет обрабатывать поверхности больших площадей и наносить различную меняющуюся информацию.

5. Для электрохимического фрезерования рельефного профиля, в том числе изготовления неглубоких пресс-форм, предложен способ электрохимической обработки (защищен авторским приоритетом), в котором ЭИ выполнен из кремниевой монокристаллической пластины. Для получения необходимого рельефного рисунка ЭИ освещают соответствующим образом распределённым световым потоком, при этом рисунок и глубина обработки пропорциональна освещённости. Такой ЭИ имеет низкую рабочую плотность тока (20 мА/см) и, следовательно, процесс обработки идёт длительное время (около 5 минут для мелкого маркирования). Для увеличения плотности тока разработаны основы технологии по изготовлению фотоактивных ЭИ с использованием сульфида кадмия (СёЭ). Плотность тока увеличилась более чем в 100 раз, по сравнению с кремниевыми ЭИ.

6. Показана возможность получения фотографии электрохимическим методом с использованием фотоактивного ЭИ (способ защищён авторским приоритетом), в котором изображение формируется в процессе анодного растворения проводящей подложки, на которую нанесён проводящий слой, имеющий цвет, контрастный по отношению к цвету подложки. Полученные фотографии имеют разрешение 0.2 мм.

7. Проанализированы основные причины, сдерживающие более широкое применение методов ЭХРО для изготовления плат печатного монтажа (возникновение невытравленных токоизолированных островковнеобходимость изготовления ЭИ или трафарета для каждого рисунка платыжёсткие требования по плотности рисунка и ширине проводящих полосокпроцессы тепло-и газовыделения в МЭП). Разработаны основы конструкторского решения оборудования для изготовления печатных плат с использованием линейного секционного фотоуправляемого ЭИ. Во время обработки происходит поступательное движение пластины вдоль ЭИ, что исключает образование невытравленных островков, а управление секциями осуществляется от фотоэлементов, которые двигаются в плоскости светового изображения рисунка плат печатного монтажа (способ защищен патентом РФ). Скорость обработки составляет 5 мм/мин. Показана принципиальная возможность изготовления печатных плат любого класса по плотности проводящего рисунка (для 5-го класса ширина дорожки 0.10мм).

8. Проведённые исследования методов ЭХРО с использованием фотоактивных и фотоуправляемых ЭИ показывают на возможность их применения в различных отраслях промышленного производства для ЭХМ, изготовления печатных плат, печатных форм и клише, различной декоративной продукции и плоских тонких деталей, что позволит создать экологически более приемлемую, малооперационную, менее трудоёмкую, ресурсосберегающую технологию по сравнению с используемой фотохимической и электромеханической технологией.

9. Испытаны в производственных условиях и внедрены в проектные работы ОАО ШРМЗ ОАО «Ростовуголь» фотоэлектрохимический метод маркирования деталей и обработки гальванокопий с предполагаемым экономическим эффектом 30 миллионов рублей (в ценах 1997 г.).

10. Отдельные результаты работы внедрены в учебный процесс и используются студентами ДГАС на лабораторных и практических занятиях.

Показать весь текст

Список литературы

  1. Справочник по электрохимическим и электрофизическим методам обработки // Г. JI. Амитан, И. А. Байсупов, Ю. М. Барон и др.- Под общ. ред. В. А. Волосатова. -Л.: Машиностроение, 1988. -719 с.
  2. В. П., Смоленцев Г. П., Садыков 3. Б. Электрохимическое маркирование деталей. -М.: Машиностроение, 1983. -72 с.
  3. Электрохимическая обработка в технологии производства радиоэлектронной аппаратуры / Ф. В. Седыкин, Л. Б. Дмитриев, В. В. Любимов, В. Д. Струков. -М.: Энергия, 1980. -136 с.
  4. А.с., 418 299 СССР, МКИЗ В 23 Р1/04. Устройство для электрохимического маркирования / Е. А. Коржавин, В. Ф. Ваганов. Опубл. в БИ, 1974, № 9.
  5. Несеребряные фотографические процессы / Под ред. Картужанского А. Л. -Л.: Химия, 1984.-376 с.
  6. Fujiwara М., Kawajiri К. A new approach in electrolytic photography // Journal of Electroanalytical Chemistry and Interfacial Electrochemistry. 1990.V.292. No 1+2. P.273−275.
  7. В.Ф., Чугунов Б. И. Электрохимическое формообразование. -М.: Машиностроение, 1990. -240 с.
  8. Размерная электрохимическая обработка металлов / Б. А. Артамонов, А. Л. Вишницкий, Ю. С. Волков, А. В. Глазков. М.: Высшая школа, 1978.-336 с.
  9. Л. И. Теоретическая электрохимия. -М.: Высшая школа, 1984. -518 с.
  10. . Б., Петрий О. А. Основы теоретической электрохимии. -М.:
  11. Высшая школа, 1978. 239 с.
  12. Proceedings of the 3-rd Workshop International «Electrodifiusion diagnostics of flows» / Eds Deslouis C., Tribollet B. Dourdan, 1993. -450p.
  13. Краткий справочник физико-химических величин. Изд. 8-е, перераб./ Под ред. А. А. Равделя и А. М. Пономарёвой. Л.: Химия, 1983. -232 с.
  14. Е. Е. Справочник по анодированию. -М.: Машиностроение, 1988.- 224 с.
  15. Анодные оксидные покрытия на металлах и анодная защита / Под ред. И. Н. Францевича. Киев: Наукова думка, 1985. -278 с.
  16. Ф. В. Размерная электрохимическая обработка деталей машин. -М.: Машиностроение, 1976. 302 с.
  17. Ю. Н. Электрохимическая размерная обработка: Учебное пособие.- Новочеркасск: НПИ, 1977. 80 с.
  18. В. В., Береза В. В. Электрохимическая размерная обработка спечённых сплавов. Кишинёв: Штиинца, 1987. -230 с.
  19. И. Д., Матвеев Н. И., Сергеева Н. Г. Электрохимические покрытия изделий радиоэлектронной аппаратуры: Справочник. -М.: Радио и связь, 1988. -304 с.
  20. Д. Я. Электрофизическая и электрохимическая обработка материалов: Справочник. -М.: Машиностроение, 1982. -400 с.
  21. Оборудование для размерной электрохимической обработки деталей машин / Под ред. Ф. В. Седыкина. -М.: Машиностроение, 1980. -279 с.
  22. В. В. Изготовление сетчатых структур сложной топологии электрохимическим методом: Автореф. дисс.канд. техн. наук. Новочеркасск, 1994. -17 с.
  23. Приспособления для электрофизической и электрохимической обработки / Под общ. ред. В. В. Любимова. -М.: Машиностроение, 1988. 176 с.
  24. В. Б., Меркус Л. Н. Электрохимическая трафаретная маркировка подшипниковых колец // Вестник машиностроения, 1975. № 12. С.72−74.
  25. Электрофизические и электрохимические методы обработки материалов. Т.1 и 2 / Артамонов Б. А., Волков Ю. С., Дрожалова В. И. и др. -М.: Высшая школа, 1983. 247 и 208 с.
  26. И. А., Волосатов В. А. Справочник молодого рабочего по электро-химобработке. М.: Высшая школа, 1983. — 175 с.
  27. Электроэрозионная и электрохимическая обработка. 4.2 Электрохимическая обработка / Под ред. А. Л. Лифшица и А. Роша. М.: НИИМАШ, 1980.-164с.
  28. Электродные процессы и процессы переноса при электрохимической размерной обработке металлов // А. И. Дикусар, Г. Р. Энгельгардт, В. И. Петренко, Ю. Н. Петров. Кишинёв: Штиинца, 1983. — 207 с.
  29. Е. М., ДавыдовА. Д. Технология электрохимической обработки металлов: Учеб. пособие. М.: Высшая школа, 1984. -159 с.
  30. В. М., Животовский Э. А. Электрохимическая обработка металлопродукции: Справочник. М.: Металлургия, 1986. -336 с.
  31. В. И., Дикусар А. И. Факторы, определяющие рассеивающую способность электролитов при электрохимической обработке металлов //Теория и практика электрохимической обработки металлов. Кишинёв: Штиинца, 1976. -С.43−64.
  32. H. Б. Влияние вибрации электрода-инструмента на основные технологические показания процесса мелкого электрохимического маркирования //Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов. Тула, 1988. -С 43−44.
  33. А. И., Орлов А. Б., Панин В. В. Некоторые особенности проектирования и изготовления секционных катодов //Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов. Тула, 1982. -С. 59−63.
  34. Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов: Сборник научных трудов. Тула: Тул. ПИ, 1988. -158 с.
  35. A.c., 1 315 182 СССР, МКИЗ В 23Н 3/04. Устройство для электрохимического маркирования / В. В. Бородин и др. Опубл. в БИ, 1987, № 21.
  36. A.c., 1 454 594 СССР, МКИЗ В 23Н 9/06. Устройство для электрохимического маркирования /Н. Б. Балашев и др. Опубл. в БИ, 1989, № 4.
  37. Бонч-Бруевич В. Л., Калашников С. Г. Физика полупроводников. М.: Наука, 1990. -688 с.
  38. Готра 3. Ю. Технология микроэлектронных устройств: Справочник. -М.: Радио и связь, 1991. -528 с.
  39. А. Н., Свечников С. В., Смовж А. К. Полупроводниковые сенсорные потенциометрические элементы. -М.: Радио и связь, 1988. -192 с.
  40. М. А. Фотоприёмные устройства и ПЗС. Обнаружение слабых оптических сигналов. -М.: Радио и связь, 1992. -400 с.
  41. А. Т. и др. Конструирование и технология печатных плат. -М.: Высшая школа, 1973. -216 с.
  42. Технология и автоматизация производства радиоэлектронной аппаратуры / Под ред. А. П. Достанко, Ш. М. Чабдарова. -М.: Радио и связь, 1989. -624 с.
  43. Микроэлектроника: Учеб. пособие для втузов. В 9 кн. /Под ред. Л. А. Коле-дова. Кн. 7. Микроэлектронные СВЧ-устройства / И. Н. Филатов, О. А. Бакрунов, П. В. Панасенко. -М.: Высшая школа, 1987. -94 с.
  44. В. Д., Мякишев А. Ю. Анализ процессов, ограничивающих производительность электрохимической обработки рулонных гибких фольгиро-ванных диэлектриков / Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов. -Тула: Тул. ПИ, 1988. -С.66.
  45. Пат. 1 225 676 Великобритания. МКП С7 В. Improvements in or relating to circuit components and to methods and apparatus for manufacture thereof /Paul Guinn. 1970.
  46. A.c. 270 851 СССР. МКИЗ H 05k 3/06. Способ изготовления плат печатного монтажа / Б. С. Апирин. Опубл. в БИ, 1970, № 17.
  47. А.с. 309 481 СССР. МКИЗ H 05к 3/06. Устройство для электрохимического локального травления фольгированных материалов /А. М. Котляр, В. Ф. Мамонтов, JI. И. Каданер и др. Опубл. в БИ, 1971, № 22.
  48. Пат. 3 239 441 США. Method and apparatus for electrolytic production of printed circuits /Marasi Stephen L.
  49. Перспективы и возможности несеребряной фотографии / Под ред. Карту-жанского А. Л. -Л.: Химия, 1988. -283 с.
  50. Ю. Р. Дебют оптоэлектроники. -М.: Наука, 1992. -240 с.
  51. М. В. О современном состоянии и путях развития бессеребряной фотографии: Препринт / Отделение Института хим. физики АН СССР. -Черноголовка, 1981. -38 с.
  52. А. А., Иванов В. Ф., Ванников А. В. Спектральные характеристики структуры Sn02 /CdSe/ электролит при различных направлениях освещения.//Электрохимия. 1991. Т.27. -С.240.
  53. В. Ф., Ванников А. А., Каганович Э. Б., Максименко Ю. Н., Свечников С. В. Исследования фотографических характеристик фотоэлектрохром-ного устройства // Журнал научной и прикладной фотографии и кинематографии. Т. 28, вып.2. 1983. -С. 101.
  54. Электролюминесцентные источники света /Под ред. И. К. Верещагина. -М.: Энергоатомиздат, 1990. -168 с.
  55. А. М., Раджабов М. Р., Рашидов И. X. Электрические и оптические свойства плёнок окиси кадмия // Известия СКНЦ ВШ. Естественные науки, № 1,1986. -С.49−50.
  56. С. В., Глебов В. В., Коноваленко В. В. Растровый фотоуправляе-мый способ электрохимического маркирования / Сб. научных трудов «Радиотехника». Вып. 12, -Шахты: ШТИБО, 1995. -С. 95−96.
  57. Исследование стойкости секционного катода при ЭХО с выборочной коммутацией / А. П. Шулепов, А. В. Капцов и др. // Электронная обработка материалов, № 4. 1983. -С.89−91.
  58. Г. С., Энгельгардт Г. Р., Зайдман Г. Н. Определение газосодержания при электрохимической обработке в плоскопараллельном канале с учётом изменения скорости течения электролита вдоль трассы /Электронная обработка материалов. 1981, № 5. -С. 13−16.
  59. Основы повышения точности электрохимического формообразования ДО. Н. Петров, Г. Н. Корчагин, Г. Н. Зайдман и др.: Под ред. И. И. Мороза. -Кишинёв: Штиинца, 1977. -152 с.
  60. В. В., Денисов Н. А. Влияние структуры газоэлектролитной смеси на локализацию электрохимической обработки // Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов. -Тула: ТПИ, 1986. -С. 24−27.
  61. . И. Точность и устойчивость электрохимического формообразования при обработке в газожидкостных смесях // Новые направления в развитии электротехнологии. -М.: 1986. -С. 96−99.
  62. Пат. 2 089 360 РФ. МКП В 23 Н 3/04, 9/06. Способ электрохимической обработки. / В. В. Глебов, С. В. Кирсанов, В. В. Коноваленко, Ю. В. Присяжнюк. Патент РФ от 10.09.1997.
  63. А. M., Кропоткин M. А., Тихонов В. В. Оптическая электроника. -Л.: Энергоатомиздат. Ленингр. отд-ние, 1990. -176 с.
  64. Р. Н. Репрография. -М.: Экономика, 1986.
  65. А.с. 1 771 897 СССР. МКИ В 23 НЗ/04. Способ электрохимической обработки. / С. В. Кирсанов, В. В. Коноваленко, Ю. В. Присяжнюк, В. В. Глебов. Опубл. в БИ, 1992, № 40.
  66. А.с. 1 824 623 СССР. МКИ G 03 F7/00. Полупроводниковый способ получения видимого изображения. / С. В. Кирсанов, В. В. Коноваленко, Н. 3. Алиева, И. Н. Даниленко, Ю. В. Присяжнюк, В. В. Глебов. Опубл. в БИ, 1993, № 24.
  67. В. Г., Гусев Ю. М. Электроника : Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов. -М.: Высшая школа. 1991. -622 с.
  68. Н. М., Глебов Б. А., Чарыков Н. А. Полупроводниковые приборы. -М.: Энергоатомиздат, 1990. -576 с.
  69. Никелевые матрицы для тиражирования рельефнографической информации / Л. М. Панасюк, Ю. С. Городецкий, В. И. Козлов, В. Я. Тирон // Гальванотехника и обработка поверхности. 1993, т. 2, № 4. -С. 23−25.
  70. В. В. Фотоуправляемый способ коммутации растровых электрод-инструментов. // Тез. докл. научно-техн. семинара. «Прогрессивная технология и вопросы экологии в гальванотехнике». Пенза, 1995. — С. 37−38.
  71. С. В., Коноваленко В. В., Глебов В. В. Фотоэлектрохимическое клеймение деталей.//Сборник научных трудов «Радиоэлектроника и физико-химические процессы». Вып.20, -Шахты: ДГАС, 1996. -С. 167.
  72. А. Й., Мустяце А. Н., Ющенко С. П. Термокинетическая неустойчивость поверхностных покрывающих слоёв при высокоскоростном анодном растворении, контролируемом ионным массопереносом // Электрохимия. 1997. Т.33. -С.163−172.
  73. Ю. А., Сидоренко С. Н. Давыдов А. Д. Основы теории пассивности металлов. Модель неравновесной границы с раствором электролита // Электрохимия. 1997. Т.ЗЗ. С.557−563.
  74. Киш JI. Кинетика электрохимического растворения металлов. -М.: Мир, 1990. -272 с.
  75. Physical Electrochemistry Principles, Methods, and Applications / Ed. by Rubinstein I. N.Y.: Marcel Dekker, 1995. 595 p.
  76. В. Г. Эффективность электрохимической обработки деталей : Монография. Красноярск: Изд-во Краснояр. ун-та. 1991. -158 с.
  77. Э. Т. Фотохимическое формирование печатных форм. -Львов: Вища школа, 1984. -152 с.
  78. Э. М. Технология производства рельефных печатных плат и автоматизированная подготовка управляющих перфолент для операций их механообработки на станках с ЧПУ. -М: Изд-во МАИ, 1990. -156 с.
  79. Н. Е. Металлизация отверстий в толстых печатных платах // Сб. научных трудов «Радиотехника». Вып. 12. -Шахты: ШТИБО, 1995. -С.92−94.
  80. Патент на изобретение РФ № 2 109 417 от 20.04.1998. МКП 6 Н 05 К 3/06. Способ изготовления плат печатного монтажа. /Кукоз Ф. И., Кирсанов С В., Коноваленко В. В., Глебов В. В.
  81. В. В., Кирсанов С. В., Коноваленко В. В. Изготовление печатных плат сканирующим фотоуправляемым электрод-инструментом // Сб. научных трудов «Радиоэлектроника и физико-химические процессы». Вып. 20. -Шахты: ДГАС, 1996. -С.168−170.
  82. А. И., Степаненко А. И., Коронкевич В. М. Справочник по конструированию радиоэлектронной аппаратуры (печатные узлы). -Киев: Техника, 1985. -312 с.
  83. П. Прецизионные печатные платы: Конструирование и производство. Пер. с англ. -М.: Энергоатомиздат, 1983. -360 с.
  84. С., Сэко Д. Оптоэлектроника в вопросах и ответах: Пер. с япон. -Л.: Энергоатомиздат. Ленингр. отд-ние, 1989. -184 с.
  85. Г. С. Интегральная оптика. -Киев: Наук, думка, 1988. -166 с.
  86. Энергетические ресурсы сквозь призму фотохимии и катализ / Под ред. М. Гретцеля. -М.: Мир, 1986. -629 с.
  87. Ю. Я., Плесков Ю. В. Фотоэлектрохимия полупроводников. -М.: Наука, 1983.-312 с.
  88. Ю. В. Фотоэлектрохимическое преобразование солнечной энергии. -М.: Химия, 1990. -176 с.
  89. М. Д., Плесков Ю. В., Морозов А. М., Кошелев О. Г. Особенности фототока на «-кремниевом фотоаноде, покрытом защитным слоем проводящих оксидов // Электрохимия. 1996. Т.32. -С. 1489−1492.
  90. С. А. и др. Изменение механизма формирования слоев пористого кремния при анодной поляризации // Электрохимия. 1997. Т.ЗЗ. -С. 10 641 068.
  91. . И. и др. Методы получения прозрачных проводящих покрытийна основе оксида олова (IV) // Зарубежная радиоэлектроника. 1984, № 10. -С.69−86.
  92. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. В 10 кн.: Кн. 6. Нанесение плёнок в вакууме / В. Е. Минайчев. -М.: Высш. шк., 1989. -110 с.
  93. Ф. И., Глебов В. В., Кирсанов С. В., Коноваленко В. В. Способ электрохимического маркирования // Электронная обработка материалов. 1995. № 5−6. -С.102−103.
  94. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. В 10 кн.:Кн. 8. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базарова. -М.: Высш. шк., 1990. -128 с.
  95. Ф. И., Глебов В. В., Кирсанов С. В., Коноваленко В. В. Метод получения фотографического изображения с использованием полупроводникового электрода. // Электрохимия. 1996. Т.32. С.1144−1145.
  96. Ю.В. Третья международная конференция «Новые пути фотоэлектрохимии». (Аспен Лодж, США, 11−14 мая 1997 г.) // Электрохимия. 1997. Т.33. С.1391−1392.
Заполнить форму текущей работой

Сессия? Спокойно!