Исследование и применение методов идентификации и оптимизации в задаче управляемого вакуумного напыления
Диссертация
Построение любой системы автоматического управления невозможно без построения математической модели. Вопрос нахождения модели некоторых режимов широко исследовался и продолжает исследоваться в современных работах. В данной работе для построения математической модели предлагается использовать алгоритм структурной оптимизации — метод группового учета аргумента (МГУА). Применение методов… Читать ещё >
Список литературы
- Авдеев О.Н. Метод варьирования свободных функционалов и его применение в задачах оптимального синтеза систем автоматического управления СПб.: Изд-во СПбГТУ, 1996.- 157 с.
- Авдеев О.Н., Авдеев И. О., Мотайленко JI.B. Моделирование оптимальных систем управления с KB-регуляторами // Тр. 111Ш СПбГТУ Электрон. Машиностроение. 1999. — № 3. — С. 165−169.
- Авдеев О.Н., Вертешев С. М., Мотайленко JI.B. Новый вариационный прикладной метод интеллектуальных технологий моделирования // Интеллектуальные и информ. технологии управления.: Тр. междунар. науч. конф.-Псков, 2000. С. 283−285.
- Арутюнов С.К., Жильцов А. И. Адаптивное моделирование как метод автоматизированного проектирования систем автоматического управления движущимися объектами // Труды МВТУ. 1986. — № 456. — С. 36−45.
- Арутюнов С.К., Жильцов А. И. Информационные аспекты задачи приближения // Труды МВТУ. 1977. — № 265 — С. 37−44.
- Атанс М., Фалб П. Л. Оптимальное управление / Пер. с англ. Г. Н. Алек-сакова- Под ред. Ю. И. Топчеева. М.: Машиностроение, 1968. — 764 с.
- Барвинок В.А., Богданович В. И. Физические основы и математическое моделирование процессов вакуумного ионно-плазменного напыления— М.: Машиностроение, 1999. 309 с.
- Беликов А.И., Булыгина Е. В., Колесник Л. Л. Нанесение тонких пленок в вакууме: Метод, указание к лабораторным работам. М.: Издво МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001. — 84 с.
- Беллман Р. Динамическое программирование / Пер. с англ. И.М. Андреевой- Под. ред. H.H. Воробьева М.: Изд-во иностр. лит., 1960. — 400 с.
- Бесекерский В.А., Попов Е. П. Теория систем автоматического регулирования — М.: Наука, 1975. 767 с.
- Бокс Дж., Дженкинс Г. Анализ временных рядов. Прогноз и управление. М.: Мир, 1974. — 274 с.
- Васильев В.И., Коноваленко В. В., Горелов Ю. И. Имитационное управление неопределенными объектами — Киев: Наукова думка, 1989. — 216 с.
- Воронов Е.М. Методы оптимизации управления многообъектными многокритериальными системами на основе стабильноэффективных игровых решений: Учебник / Под ред. К. А. Пупкова, Н.Д. Егупова- М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001.-576 с.
- Механические свойства тонких пленок на резиновой подложке / Е. Ю. Гамлицкий, В. В. Слепцов, Ю. А. Гамлицкий и др. // Тонкие пленки в оптике и электронике.: Сборник докладов 14-го Международного симпозиума. Харьков, 2002.-С. 147−151.
- Горбатов В.А. Фундаментальные основы дискретной математики. Информационная математика: Учебник для втузов. М.: Наука. Физматлит, 2000. — 544 с.
- Гроп Д. Методы идентификации систем / Пер. с англ. В. А. Васильева, В.И. Лопатина- Под ред. Е. И. Кринецкого М.: Мир, 1976. — 302 с.
- Дейч А.М. Методы идентификации динамических объектов— М.: Энергия, 1979.- 240 с.
- Демиденко Е.З. Оптимизация и регрессия М.: Наука, 1989. — 296 с.
- Евсеев О.В., Кравченко В. А. Применение ЭВМ в управлении технологическими процессами: автоматизация и интеллектуализация производств: Учеб. пособие. М.: Изд-во МГОУ А/О Росвузнаука, 1992. — 246 с.
- Зилова О.С., Кеменов В. Н., Нестеров С. Б. Подходы к изучению и описанию поверхности материалов применяемые в вакуумной технике // Вакуумная наука и техника.: Сборник трудов X науч. техн. конф. -М., 2003.-С. 152−156.
- Ивахненко А. Г, Сарычев А. П., Непараметрические прогнозирующие модели метода группового учета аргументов. Модели для прогнозирования процессов в экономических макросистемах //Автоматика (Киев).- 1989.-№ 3. С. 3−16.
- Ивахненко А.Г. Индуктивный метод самоорганизации моделей сложных систем Киев: Наукова Думка, 1982. — 296 с.
- Ивахненко А.Г. Самообучающиеся системы распознавания и автоматического управления Киев: Наукова Думка, 1969. — 392 с.
- Ивахненко А.Г., Зайченко Ю. П., Дмитров В. Д. Принятие решений на основе самоорганизации М.: Сов. Радио, 1976. — 275 с.
- Ивахненко А.Г., Ивахненко Г. А. Пороговый алгоритм МГУА Полиномиальной сложности // Штучний 1нтелект. 1999. — № 1. — С. 24−29.
- Ивахненко А.Г., Костенко Ю. В. Системный анализ и долгосрочный количественный прогноз квазистатических систем на основе самоорганизации моделей. 4.1 Системный анализ на уровне трендов //Автоматика.- 1982. — № 3. С. 11−19.
- Ивахненко А.Г., Степашко B.C. Помехоустойчивость моделирования -Киев: Наукова Думка, 1985. 216 с.
- Ивахненко А.Г., Юрачковский Ю. П. Моделирование сложных систем по экспериментальным данным М.: Сов. Радио, 1987. — 120 с.
- Прикладные нечеткие системы / К. Асаи, Д. Ватада, С. Иван и др. М.: Мир, 1993.-368 с.
- Колесник JI.JI.. Математическое моделирование распределения давления в технологических вакуумных системах // Вакуумные технологии и оборудование.: Сборник докладов 4-й Международной конференции. Харьков, 2002. — С. 60−61.
- Колтин Е. А. Кораблев Ю.А., Ухов A.A. Контроль и управление глубиной ионного травления с использованием ПЭС- спектрофотометра //Опыт внедрения прогрессивных методов и средств размерного контроля.: Сборник материалов семинара. -Л., 1990. С. 75−77.
- Костиков В.И., Шестерин Ю. А. Плазменные покрытия — М.: Металлургия, 1978. 160 с.
- Льюнг Л. Идентификация систем. Теория для пользователя. Пер. с англ. / Под ред. Я. З. Цыпкина. М.: Наука. Гл. ред. физ. — мат. лит., 1991.432 с.
- Технология тонких пленок: Справочник / Под ред. Л. Майсела, Р. Глэнга Пер с англ. Под ред. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко. М.: Сов. радио, 1977.-Т. 1.-664 с.
- Максимей И.В. Имитационное моделирование на ЭВМ. — М.: Радио и связь, 1988.-230 с.
- Математические модели динамики и синтез устройств управления источников ионов: Учеб. Пособие / В. Д. Ломакин, В. П. Малайчук, А. Н. Петренко, А. Ф. Скрипник Днепропетровск: ДГУ, 1989. — 88 с.
- Мотайленко Л.В. Моделирование и идентификация оптимальных линейных систем управления: Дис. канд. техн. наук Псков, 2001. — 155 с.
- Овсяников Д.А., Егоров Н. В. Математическое моделирование систем формирования электронных и ионных пучков. — СПб. Издательство С.-Петербургского университета, 1998. —276 с.
- Панфилов Ю.В., Иванчинков И. В. Выбор режимов нанесения пленок алмазоподобного углерода с помощью базы данных // Справочник. Инженерный журнал. Приложение. Электронный, ионные и плазменные технологии 2000. — № 7. — С. 21−23.
- Перельман И.И. Оперативная идентификация объектов управления. — М.: Энергоиздат, 1982. 272 с.
- Петров Ю.П. Вариационные методы теории оптимального управления 2-е изд., перераб. и доп. — JI.: Энергия, 1977. — 280 с.
- Пилишкин В.Н., Иванов JI.JI. Управления движением многокомпонентных систем на основе интеллектуальных алгоритмов // Вторая научно тех. конференция, навигация и управление движущимися объектов.: Сборник докладов. СПб., 2000. — С. 23−26.
- Пирс Дж. Символы, сигналы, шумы М.: Мир, 1967. — 334 с.
- Плотников В.Н., Зверев В. Ю. Принятие решений в системах управления. 4.2 Теория и проектирование принятия проектных решений для многообъектных распределенных систем управления. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 1994. — 146с.
- Плотников В.Н., Зверев В. Ю. Принятие решений в системах управления. 4.1 Теория и проектирование алгоритмов принятия оперативных решений. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 1993.-172 с.
- Понтрягин JI.C. Математическая теория оптимальных процессов. М.: Наука, 1969. — 384 с.
- Попов Е.П., Тимофеев A.B. Управляемость на подпространстве и адаптивные модальные регуляторы // Доклады АН СССР. 1983. — Т. 273, № 5. -С.1070−1073.
- Попов О.С., Леонтьев O.A., Брусиловский Б. В. О едином принципе построения субоптимальных систем управления // Изв. вузов. СССР Приборостроение. 1977. — № 3 — С. 42—44.
- Пупков К. А., Авдеев О. Н., Иванов JI. JI. Рекуррентный алгоритм перебора моделей технологического процесса ионно-плазменного напыления //Интеллектуальные системы.: Труды пятого международного симпозиума. -М., 2002.-С. 352−354.
- Пупков К. А., Иванов JI. JI. Пороговый алгоритм МГУА К сложности // Труды МГТУ им. Н. Э. Баумана. — 2002. — № 583. — С. 127−135.
- Пупков К.А. Интеллектуальные системы проблемы теории и практики // Изв. Вузов. Приборостроение. 1994. — Т. 37, № 9. — С. 5−7.
- Методы классической и современной теории автоматического управления: Учебник в Зт.: Методы современной теории управления / Под ред. К. А. Пупкова, Н. Д. Егупова. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2000. — Т.З. -748 с.
- Методы робастного, нейро-нечеткого и адаптивного управления: Учебник / Под ред. К. А. Пупкова, Н. Д. Егупова М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001.-744 с.
- Основы кибернетики / Под ред. К. А. Пупкова. М.: Высшая школа, 1976.-263 с.
- Растригин JI.A., Маджаров Н. Е. Введение в идентификацию объектов управления. М.: Энергия, 1977. — 216 с.
- Ройтенберг Я.Н. Автоматическое управление: Учеб. пособие, изд. 2-е перераб. и дополн. М.: Изд-во Наука, 1978. — 552 с.
- Рыков В.А. Статистическое моделирование эксперимента по изменению неравновесных ионных разрядов осколков деления ФЭИ Обнинск, 1996. 13 с. (Препринт Физико-энерг. ин-т, ФЭИ-2533)
- Свешников В.К., Молин В. Н., Дарьюшкин.Д. В. Компьютерное моделирование диффузии натрия в оксидный катод // Тонкие пленки в оптике и электронике.: Сборник докладов 15-го Международного симпозиума — Харьков, 2003. С.159−161.
- Солодовников В.В., Плотников В. Н., Яковлев A.B., Основы теории и элементы систем автоматического регулирования. Учебное пособие для вузов.- М.: Машиностроение, 1985 536 с.
- Степашко В. С., Коппа Ю. В. Опыт применения системы АСТРИД для моделирования экономических процессов по статистическим данным // Кибернетика и выч. техника. 1999. — № 117. — С. 23−29.
- Степашко B.C. Конечная селекционная процедура получения результата полного перебора // Автоматика. — 1981. № 3 — С.45−53.
- Стрейц В. Метод пространства состояний в теории дискретных линейных систем управления / Пер. с англ. Э.Д. Аведьяна- Под ред. Я. З. Цыпкина. — М.: Наука, 1985.-296 с.
- Фельдман И.Н. Итерационный метод решения задач оптимального управления. Учет краевых условий // Сб. тр. Моделирование и оптимизация управляемых динамических систем. — М., 1989. -96 с.
- Филимонов. Н.Б. Системы многорежимного регулирования: Концепция, принципы построения, проблемы синтеза// Приборостроение. 1988. -Т. XXXI, № 2. — С. 18−33.
- Хомовненко М.Г., Коломиец Н. Г. Самоорганизация простых моделей, прогнозирующих урожай пшеницы // Автоматика. 1980. — № 1. — С. 2837.
- Цыпкин Я.З. Информационная теория идентификации.- М.: Наука Физматлит, 1995. 336 с.
- Цыпкин Я.З. Теоретические и прикладные задачи оптимизации // Сб. ст. / АН СССР. Ин-т пробл. управления. М.: Наука, 1985. — С. 171−173
- Состав, структура и свойства Ti-Al-B-N покрытий, полученных вакуумным реактивным распылением СВС-мишеней / Д. В. Штанский, Е. А. Левашов, А. Н. Шевейко, Дж. Мур //Цветные Металлы. — 2000.- №. 4. С. 116 123.
- Эйкхофф. П. Основы идентификации систем управления: Пер. с англ. — М.: Мир, 1975.-683 с.
- Эндрю П. Сейдж, Джеймс Л. Мелса Идентификация систем управления М.: Наука, 1974. — 248 с.
- Юрачковский Ю.П. Применение разложения Карунена-Лоева для построения скалярной свертки векторного критерия (на примере оценки качества поверхностных вод суши) // Автоматика. — 1987. № 1. — С.17−25.
- Andreas Kroll, Thomas Bernd, Sandra Trott Fuzzy Network Model-Based Fuzzy State Controller Design // IEEE Trans, on fuzzy systems. -2000. Vol. 8, №. 5.-P. 632−644.
- Asriel U. Levin, Kumpati S. Narendra Control of nonlinear dynamic system using neural networks Part II: Observability, Identification, and Control // IEEE Trans, on neural network. — 1996. — Vol.7, №. 1. — P. 30−42.
- Baker M.D., Himmel C.D., May G.S. Time series modeling of reactive ion etching using neural networks //IEEE Trans. Semiconductor Manufacturing.-1995.-Vol. 8, № l.-P. 62−71.
- Byung Whan Kim, Gwi Tae Park Modeling Plasma Equipment Using Neural Networks // IEEE Transaction on Plasma Science. 2001. — Vol. 29, № l.-P. 8−12.
- Doosik Kim, Economou D.J. Plasma molding over surface topography: Simulation of ion flow, and energy and angular distributions over steps in RF high-density plasmas // IEEE Transaction on Plasma Science. 2002. — Vol. 29, № 5. -P. 2048−2058.
- Himmel C.D., May.G.S. Advantages of plasma etch modelling using neural networks over statistical techniques // IEEE Trans. Semiconductor Manufacturing. -1993. Vol. 6, № 2. — P. 103−111.
- Fuzzy Model Predictive Control / Y.L. Huang, H. Lou Helen, J.P. Gong, F. Edgar Thomas // IEEE Trans, on fuzzy systems. 2000. — Vol. 8, № 6. — P. 665 678.
- Jiangxin Wang, Spanos C.J. Real-time furnace modeling and diagnostics // IEEE Trans. Semiconductor Manufacturing -2002. Vol. 15, №. 4. — P. 393- 403.
- Jill P. Card, Debbie L. Sniderman and Casimir Klimasauskas. Dynamic Neural Control for a Plasma Etch Process //IEEE Trans! on Neural networks-1997. Vol. 8, № 4. — P. 883 — 901.
- Johan-Adolf Mueller, Frank Lemke, Self-organizing Data Mining An Intelligent Approach to Extract Knowledge From Data- Berlin Dresden, 1999.225 p.
- Krzysztof Ciesielski, Jaroslaw P. Sacha, Krzysztof J. Cios, Synthesis of Feedforward Networks in Supremum Error Bound // IEEE Trans, on neural network. 2000. — Vol. 11, № 6. — P. 1213−1227.
- Lee S.F., Spanos C.J. Prediction of wafer state after plasma processing using real-time tool data // IEEE Trans. Semiconductor Manufacturing. — 1995. Vol. 8, No 3.-P 252−261.
- M.M. Gupt, N.K. Cinch. Intelligent Control System- New York: IEEE Press, 1996.-258 p.
- Miodrag K. Ravic, Cedomir A. Maluckov Statistical Analysis of the Dynamic Voltage Electrical Breakdown in Nitrogen// IEEE Transaction on Plasma Science. 2001. — Vol. 29, № 5. — P. 832−836.
- Control of semiconductor manufacturing equipment: real-time feedback control of a reactive ion etcher / B.A. Rashap, M. E Elta, H Etemad and others // IEEE Trans. Semiconductor Manufacturing. 1995. -Vol. 8, № 3. — P. 286−297.
- Multivariate statistical methods for modeling and analysis of wafer probe test data / K.R. Skinner, D.C. Montgomery, G.C. Runger and others // IEEE Trans. Semiconductor Manufacturing. 2002. -Vol. 15, № 4. — P. 523- 530.
- Wei Li A Method for Design of a Hybrid Neuro-Fuzzy Control System Based on Behavior Modeling //IEEE Trans, on fuzzy systems. -1997.- Vol. 5, № 1. P.128−137.