Гетероструктуры InSb1-x Bi x /InSb и GaSb1-x Bi x /GaSb с квантовыми ямами: технология получения и свойства
Диссертация
Способ получения многослойных упругонапряженных гетероструктур InSbi.?iJInSb и GaSbi. xBiy/GaSb основывается на идее уменьшения времени контакта переохлажденного раствора-расплава с подложкой за счет увеличения скорости перемещения подложки относительно растворов-расплавов в ячейках уменьшенных размеров. Данная методика позволяет получать слои заданной толщины за счет изменения размеров ячеек… Читать ещё >
Список литературы
- Р.Х. Акчурин, Д. В. Комаров. — ЖТФ, 1997, т. 67, № 7, с. 42.
- Лозовский В.Н., Лунин Л. С., Благин A.B. Градиентная жидкофазная кристаллизация многокомпонентных полупроводниковых материалов. Изд-во РГУ, 2003. 286 с.
- В.Г. Дейбук, Я. И. Виклюк, И. М. Раренко. ФТП, 33, 289 (1998).
- Силин А.П. Полупроводниковые сверхрешетки. Успехи физических наук, т. 147, вып.З., ноябрь, 1985.
- Ж.И. Алферов. ФТП, 32, 3 (1997).
- H.H. Леденцов, В. М. Устинов, В. А. Щукин, П. С. Копьев, Ж. И. Алферов, Д. Бимберг. ФТП, 32, 385 (1998).
- С. Weisbuch, В. Vinter. Quantum semiconductor structures. Fundamentals and Applications. Academic Press. 1991.
- Келдыш Л.В. ФТТ, 1962, т.4, c.2265.
- Chang L.L., Esaki L., Howard W.E., Ludeke R., Schul G. J. Vac. Sei. and Technol., 1973, v. 10, p. 665.
- Cho A.Y., Arthur J.R. Progr. Sol. State Chem., 1975, v. 10, p. 157.
- Esaki L. Lect. Not. Phys., 1980, v. 133, p. 302.
- Esaki L., Tsu R. IBM J. Res. and Develop., 1970, v. 14, p. 61.
- Voisin R. Springer Ser. Sol. State Sei., 1984, v. 53, p. 192.
- Camras M.D., Brown J.M., Holonyak N. Jr., Nixon M.A., Kalinsky R.W., Ludowise M.J., Dietze W.T., Lewis C.R. J. Appl. Phus., 1983, v. 54, p. 6183.
- Dohler G.H. Adv. Phus., 1983, v. 32, p.258.
- Ploog K. Springer Ser. Sol. State Sei., 1984, v. 53, p. 220.
- Dohler G.H. Phus. Scripta, 1981, v. 24, p. 230.
- Esaki L. In: Proc. of Intern. Conference on Phusics of of Herojunctions. — Budapest, 1971, v. 1, p. 383.
- Алферов Ж.И., Жиляев Ю. В., Шмарцев Ю. В. Ф.Т.П., 1971, т.5, с.
- Ploog К., Dohler G.H. Adv. Phys., 1983, v. 32, p. 285.
- Haal G.G., Phil. Mag., 43, 338 (1952).
- Coulson C.A., Redei L.R., Stocker D., Proc. Soc., A270, 357 (1962).
- Leman G., Friedel J., J. Appl. Phys., 33, 281 (1962).
- Harrison W.A., Ciraci S., Phys. Rev., BIO, 1516 (1974).
- Lannoo M., Decarpigny J.N., Phys. Rev., B8, 5704 (1973).
- Harrison W.A., Phys. Rev., B8, 4487 (1973).
- Mott N.F., Jones H., Theory of the Properties of Metals and Alloys, Clarendon Press, Oxford, 1936.
- Phillips J.C., Bonds and Bands in Semiconductors, Academic Press, New York, 1973.
- Harrison W.A., Phys., Rev., B14, 702 (1976).
- Herring C., Phys. Rev., 57, 1169 (1940).
- Herman F., Phys. Rev., 93, 1214 (1954).
- Chelikovsky J.R., Cohen M.L., Phys. Rev., B14, 556 (1976).
- Китель Ч. Квантовая теория твердых тел. М.: Наука, 1967.
- Харрисон У. Теория твердого тела. М.: Мир, 1972.
- Cardona M.J. Phys. Chem. Solids, 24, 1543 (1963).
- Lawaetz P., Phys., Rev., B4, 3460 (1971).
- Харрисон У. Электронная структура и свойства твердых тел. М.: Мир, 1982.
- R. Dingle, H.L. Stormer, H.L. Gossard, W. Wiegmann. Appl. Phus. Lett., 33, 665 (1978).
- Шик А.Я. ФТП, 1974, т. 8, с. 1841.
- Meiman N.N. J. Math. Phys., 1983, v. 24, p. 539.
- Bimberg D., Christen J., Steckenborn A. Springer Ser. Sol. State Sci., 1984, v. 53, p. 136.
- Weisbuch C., Miller R.C., Dingle R., Glossard A.C., Wiegmann W. -Sol. State Commun., 1981, v. 37, p. 219.
- Lambert B., Deveand B., Regreny A., Talalaeff G. Phusika. Ser. B, v. 117−118, p. 717.
- Bastard G. Phus. Rev. Ser. B, 1981, v. 24, p. 4714.
- Jarosik N.C., McCombe B.D., Shanabrook B.V., Comas J., Wicks G. -In, p. 507.
- Mailhot C., Chang Y.C., McGill T.C. Phus. Rev. Ser. B, 1982, v. 26, p.4449.
- Tsang W.T. Appl. Phus. Lett., 1981, v. 39, p.786.
- Chiu R., Holonjak N. Jr., Vojak B.A., Hess K., Dupuis R.D., Dapkus P.D.-Ibidem, 1980, v. 36, p. l9.
- Datta N.K. J. Appl. Phus., 1983, v. 54, p. 1236.
- Voisin P. Springer Ser. Sol. State Sei., 1984, v. 53, p. 192.
- Ludovise M.J., Dietze W.T., Lewis C.R., Holonyak N.Jr., Hess K., Camras M.D., Nixon M.A. Appl. Phus. Lett., 1983, v. 42, p. 257.
- Chin L.S., Smith J.C., Magralit S., Yariv A. Appl. Phus., Lett., 1983, v. 43, p. 331.
- Iafrate G. I., Ferry D.K., Reich R.K. Surf. Sei., 1982, v. 113, p. 458.
- Esaki L., Chang L.L. Phus. Rev. Lett., 1974, v. 33, p. 495.
- Tsu R., Chang L.L., Sai Halasz G.A., Esaki L., Ibidem, 1975, v. 34, p.1509.
- Kakalios J., Frietzsche H. Ibidem, p. 503.
- Bastard G. Phys. Rev. Ser. B. 1981, v. 24, p. 5693.
- Takaoka H., Chang C.A., Mendez E.E., Chang L.L., Esaki L. Physika, Ser. B, 1983, v. 117−118, p. 741.
- Mukherji D., Nag B.R. Phus. Rev. Ser. B, 1975, v. 30, p. 651.
- Kane E.O. J. Phys. Chem. Sol., 1957, v. 1, p. 249.
- Ploog K., Kunzel H. Microelectron. J., 1982, v. 13, p. 111.
- Dohler G.N. Phus. Scripta, 1981, v. 24, p. 230.
- Келдыш Л.В. ЖЭТФ, 1958, т. 34, с. 1138.
- A. Y. Cho. J. Vac. Sci. Technol., 8, 31 (1971) — A.Y. Cho. Appl. Phus. Lett., 19., 467 (1971).
- H.M. Manasevit., Appl. Phus. Lett., 12, 156 (1968).
- R.D. Dupuis, R.D. Dapkus. Appl. Phus. Lett., 31, 466 (1977).
- G. Osborn. J. Appl. Phus., 53, 1586 (1982).
- M. Ludowise, W.T. Dietze, C.R. Lewis, M.D. Camras, N. Holonyak, B.K. Fuller, M.A. Nixon. Appl. Phus. Lett., 42, 487 (1983).
- E. Rezek, H. Shichijo, B.A. Vojak, N. Holonyak Jr. Appl. Phus. Lett., 31,534(1977).
- Ж.И. Алферов, Д. З. Гарбузов, И. Н. Арсентьев, Б. Я. Бер, JI.C. Вавилова, В. В. Красовский, А. В. Чудинов. ФТП, 19, 1108 (1985).
- Ж.И. Алферов, В. М. Андреев, А. А. Воднев, С. Г. Конников, В. Р. Ларионов, К. Ю. Погребицкий, В. Д. Румянцев, В. Д. Хвостиков. Письма ЖТФ, 12, 1089(1986).
- Ж.И. Алферов, Д. З. Гарбузов, К. Ю. Кижаев, А. Б. Нивин, С. А. Никишин, А. В. Овчинников, З. П. Соколова, И. С. Тарасов, А. В. Чудинов. Письма ЖТФ, 12, 210 (1986).
- Ж.И. Алферов, Н. Ю. Антонишкис, И. Н. Арсентьев, Д. З. Гарбузов, В. И. Колышкин, Т. Н. Налет, Н. А. Стругов, А. С. Тикунов. ФТП, 22, 1031 (1988).
- Ж.И. Алферов. ФТП, 1, 436 (1967).
- Лозовский В.Н., Лунин Л. С. Пятикомпонентные твердые растворы соединений АЗВ5 //РРГУ.- 1992.- С. 192.
- Андреев В.М., Долгинов Л. М., Третьяков Д. Н. Жидкостная эпитаксия в технологии полупроводниковых приборов. М., 1975. 320 с.
- Уфимцев В.Б., Акчурин Р. Х. Физико-химические основы жидкофазной эпитаксии. М., 1983. 221 с.
- Deith R.N. Liguid phase epitaxial grow of gallium arsenide under transient thermal conditions // J. Cryst. Grow- 1970−7.1.69−73.
- Мильвидский М.Г., Пелевин О. В., Сахаров В. Б. Физико-химические основы получения разлагающихся полупроводниковых соединений. М., 1968. 392 с.
- Грачев В.М., Сабанова Л. Д. Методы и аппаратура жидкостной эпитаксии. М., 1974. 41 с.
- Woodall J.M. Isothermal solution mixing grow of thin GalnAs layers // J. Electrichem. Soc. 1981. — 118.1.150. — 152.
- Rode D.L. Isothermal diffusion theory of LPE: GaAs, GaP bubble// J.Cryst. Growth. 1983. — 20.1.13−23.
- Hsieh J.J. Thickness and surface morphology of GaAs LPE Lazer growth by supercolling, equilibring-cooling and twophase solution technigues// Ibid.-1977.-№ l.-P. 49−55.
- Kusunaku Т., Nakajima К. The effect of growth temperatures and impurity doping on composition of LPE InGaAsP on InP// Ibid 59.387.-392.
- Иоффе А.Ф. Два новых применения явления Пельтье // ЖТФ. 1956. Т. 26. С. 478−482.
- Геворкян В.А., Голубев Л. В., Петросян С. Г., Шик А.Я., Шмарцев Ю. В. Электрожидкостная эпитаксия -1, II // Там же, 1977. Т. 47. Вып. 6.- С. Z306-I3I3,13I4-I3I8.
- Демин В.Н., Румянцев Ю. М., Кузнецов Ф. А., Буждан ЯМ. // Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок. Новосибирск, 1981. С. 67−73.
- Хачатурян O.A., Авакян М. С., Аракелян В. Б. Влияние постоянного тока на процессы жидкофазной эпитаксии. Ереван, 1987. С. 57.
- Лозовский В.Н., Лунин Л. С., Попов B.II. Зонная перекристаллизация градиентом температуры полупроводниковых материалов. М., 1987. 232 с.
- Ое К., Sugiyama К. «Appl. Phys. Lett.», 1978, v.33, p. 449.
- Болховитянов Ю. Б., В. И. Юдаев Начальные стадии формированиял сновой фазы при жидкофазной гетероэпитаксии соединений AB// Новосибирск: ИФП. 1986. 113 с.
- Лозовский В.Н., Лунин Л. С., Николаева Е. А. Получение твердьк растворов методом зонной перекристаллизации AlxGaixAs градиентом температуры // АН СССР. Неорганические материалы. 1975. Т. II. № 7.- С. Д65-П68.
- Лозовский В.Н., Лунин Л. С., Попов В. П. Зонная перекристаллизация Лею AlxGa!.xAs градиентом температуры // Кристаллизация и свойства кристаллов. Новочеркасск, 1975. Вып. 2. С. 90−92.
- Лунин Л.С., Попов В. П., Салелкин С. И., Сушков В. П. Выращивание эпитаксиальных слоев AlxGai.xAs из жидкой фазы в поле температурного градиента // Там же. 1976. Вып. 3. С. 55−61.
- Буддо В.И., Лозовский В. Н., Лунин Л. С. и др. Получение толстых эпитаксиальных слоев AlxGaixAs методом зонной перекристаллизации градиентом температуры // Микроэлектроника АН СССР. 1978. Т. 7. Вып. I. С. 70−73.
- Ратушный В. И., Мышкин А. Л., Сысоев И. А., Разумовский П. И. // Кристаллическое совершенство пятикомпонентных гетероструктур AlInGaPAs/GaAs. Оптика полупроводников: Тр. междунар. конф.-Ульяновск: Изд-во УлГУ, 2000. С. 164.
- Лозовский В.Н., Лунин Л. С., Кучерук В. П., Кеда А. И. Распределение Те и Ge в слоях AlxGai.xAs // Изв. АН СССР. Неорган, материалы. 1977. Т. 13. № 6. С. 952−955.
- Лозовский В.Н., Лунина О. Д. Эпитаксия варизонных слоев AlxGai xAs в температурного градиента // Там же. 1980. Т. 16. № 2. С. 213−215.
- Благин A.B. Зонная перекристаллизация градиентом температуры в многокомпонентных гетеросистемах на основе антимонида индия: Дис. к. т. наук. Новочеркасск, 1996.
- Лунин Л.С., Благин A.B., Драка O.E. Исследования энергетического спектра в системе квантовых ям для гетеросистемы InSbj. xBix/InSb. // Изв. вузов. Сев.- Кавк. регион. Ест. науки. 2002, № 1. С. 84−87.
- Алфимова Д.Л., Благин A.B., Лунин Л. С. Лавинные фотодиоды на основе сверхрешетки InSb-InSbBi. // Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники: Тр. седьмой междунар. науч.-техн. конф. -Таганрог: ТРТУ, 2000. 4.1. С. 172−174.
- Благин A.B. О механизме формирования сверхрешеточных структур в ходе кристаллизации многокомпонентных висмутидов. // Изв. вузов. Сев.-Кавк. регион. Техн. науки. 2000. № 2. С. 78−80.
- Уфимцев В.Б., Зиновьев В. Г., Раухман Н. Р. Гетерогенные равновесия в системе In-Sb-Bi и ЖФЭ твердых растворов на основе InSb // Изв. АН СССР. Неорган, материалы. 1979. Т. 15. № 10. С. 1740 1743.
- Марончук И.Е., Шутов C.B., Кумоткина Т. Ф. Выращивание эпитаксиальных слоев арсенида галлия из раствора в расплаве висмута // Изв. РАН. Неорганические материалы. 1995. т.31. № 12. С.1520−1522.
- Anthony T.R., Cline Н.Е. The kinetics of droplet migration in solids in an acceleration field // Phil. Mag. 1970. V.22. № 178. P. 893 901.
- Акчурин Р.Х., Акимов О. В. Тонкослойные упругонапряженные гетероструктуры InAsi.x.ySbxBiy/InSb: расчет некоторых физических параметров. // Физика и техника полупроводников. 1995. Т.29. Вып.2. С.362−369.
- Clusters of atoms and molecules. // Springer Series in Chemical Physics, Berlin, Heidelberg, Springer Verlag, 1994. V.52.
- Jean-Louis A.M., Ayrault В., Vargas J. // Phys. St. Sol. 1969. V.34. P.341.
- G.C. Osborn .// J.Vac. Sei. Technol. 1984. V.2. № 2. P. 176.
- А.И. Ансельм. Введение в теорию полупроводников. Москва, Наука, 1978, 276с.
- G. Bastard, J.A. Brum, R. Ferreira. Electronic states in semiconductor heterostruetures in Solid State Physics, Vol. 44, p.279, New-York, Academic Press, 1991.
- JI.Д. Ландау, Е. М. Лифшиц, Квантовая механика. Москва, Наука, 1974.
- Jordan A .S., Ilegems М. Solid Liquid Equilibria for Quaternary Solid Solution Involving Compound Semiconductors // J. Phys. and Cem Solids .1975. V. 36. № 4. P. 329−342.
- P.X. Акчурин, Д. В. Комаров. ЖТФ, 1997, т. 67, № 7, с. 50.
- Gordon R.G., Kim Y.S., J.Chem.Phys., 56, 292 (1972).
- Madelung J., Gott. Nach., 100 (1909).
- Brown F.C., Physics of Solids, Bengamin, New York, 1967.
- Lenard-Jones J.E., Proc. Roy Soc., A 106,441 (1924).
- Lenard-Jones J.E., Proc. Roy Soc., A 109,441 (1925).
- BernardersN., Phys., Rev., 112, 1534 (1958).
- Kittel C. Introduction to Solid State Physics, 5th ed., John Wiley and Sons, New York, 1976.
- Kellerman E.W., Phil. Roy. Soc. (London), A238, 513 (1940).
- Born M., Huang K., Dynamical Theory of Crystal Lattice, Clarendon Press, Oxford, 1954.
- Wallace D.C., Thermodynamics of Crystals, John Willey and Sons, New York, 1972.
- P.X. Акчурин, В. Г. Зиновьев. Кристаллография, 27,3 (1982).
- Yokouchi N., Yamanaka N., Iwai N., Kasukawa A. // Electron. Lett. 1995. V. 31. N2. P. 104−105.
- Иванов M.A., Ильин Ю. В., Ильинская Н. Д., Корсакова Ю. А., Лешко А. Ю., Лунев А. В., Лютецкий А. В., Мурашова А. В., Пихтин Н. А., Тарасов И. С. // Письма в ЖТФ. 1995. Г. 21. В. 5. С. 70−75.
- Акчурин Р.Х. // Физико-химические процессы в микроэлектронике. М.: МИХТ, 1990. С. 318−342.
- Акчурин Р.Х., Сахарова Т. В., Жегалин В. А. // Изв. вузов. Сер. Цветные металлы. 1994. Вып. 7. С. 23−27.
- Айтиева Г. Т., Бессолов В. Н., Клименко С. Е. и др. // Письма в ЖТФ. 1985. Т. 11. Вып. 8. С. 465−469. • 136. М. Борн, Э. Вольф, Основы оптики, (М., Наука, 1970).
- Intersubband transitions in qantum wells / Ed. E. Rosencher, B. Levine // NATO ASI Series. Ser. B. Phusics. V. 288. Plenum Press. N.-Y. and London, 1992.
- Faist J, Capasso F., Sivico D.L. et al. 1994. V. 264. P. 553−556.
- Gauthier O.-Lafaye, Sauvage S. Boucaund P. et. al. // Appl. Phus. Lett. 1997. V.