Исследование методов контроля параметров слоев в процессе осаждения многослойных систем
Диссертация
Наиболее существенное влияние параметры металлических слоев t оказывают на характеристики металлодиэлектрических светофильтров, т. е. фильтров сформированных из тонких слоев металла (алюминий, серебро) и диэлектрика. Пропускание в максимуме, степень гашения в нерабочей области (фон) и полуширина этих фильтров определяются не только оптическими параметрами диэлектрика и металла, но и скачком фаз… Читать ещё >
Список литературы
- Н.Н. Прибыткова, Оптика и спектроскопия 11, 1957, с. 623.
- Male D., C.R. Acad. Sci., 230,1950, p. 1349.
- Umrath W., Z. Angew. Phys., 22, 1967, p. 406.
- Croce P., Gandais M., Marraud A., Rev. Opt. Theor. Instrum., 40, 1961, p 555.
- Croce P., Devant G., Gandais M., Marraud A., Acta Crystalogr., 15, 1962, p. 424.
- Dyson F., Physica, 24, 1958, p. 532.
- Крылова Т.Н., Интерференционные покрытия. Л.: Машиностроение, 1973,224с.
- Scott G.D., McLauchlan T.A., Sennett R.S., J. Appl. Phys., 21, 1950, p.843.
- Г. Хасс, Р. Э. Тун, Физика тонких пленок, т. 4, М, Мир, 1970, 440с.
- Б.М. Комраков, Б. А. Шапочкин, Измерение параметров оптических покрытий, М, Машиностроение, 1986, с. 132.
- Hass G., Waylonis J.E., Optical Constants and Reflectance and Transmittance of Evaporated Aluminum in the Visible and Ultraviolet. — J. Opt. Soc. Amer., 1961, v. 51, № 7, p. 719.
- Bennett J.M., Booty M.J., Appl Opt., 5, 1966, p. 41.
- Abeles F., Theye M.L., Surface Sci, 5, 1966, p. 325.
- Bazin С., C. R. Acad. Sci, 260, 1965, p. 83.
- Ward L., Nag A., Brit. J. Appl Phis., 18, 1967, p. 277.
- Nilsson P.O., Appl Opt., 7,1968, p. 435.
- Андреев C.B., Карасев H.H., Определение оптических постоянных тонких металлических покрытий по спектрофотометрическим измерениям, НТКППС, СПбИТМО (ТУ), тезисы докладов, часть 1, Санкт-Петербург, 2000, с. 41−42.
- Schopper Н., Z. Phys., 131, 1952, р. 215.
- Г. Хасс, Р. Э. Тун, Физика тонких пленок, т. 2, М, Мир, 1967, 396с.
- Bor J., Proc. Phys. Soc. (London), 65, 1952, p. 753.
- Archard J.F., Clegg P.L., Taylor A. M., Proc. Phys. Soc. (London), 65, 1952, p. 758.
- Hartman R.E., J. Opt. Soc. Amer., 41, 1951, p. 244.
- McCrackin F.L., Passaglia E., Stromberg R.R., Steinberg H.L., J. Res. Nail. Bur. Std, 76A, 1963, p. 363.
- Beattie J.R., Phil. Mag., 46, 1955, p. 235.
- Roberts S., в кн. «Ellipsometry in the Measurement of Surfaces and Thin Films», Passaglia E., Stromberg R.R., Kruger J., eds., Natl. But. Std. Misc. Publ. 256 U. S. Govt. Printing Office, Washington, D. C., 1964, p. 119.
- Lenham A.P., Treherne D.M., J. Opt. Soc. Amer., 56,1966, p. 752.
- Hass G., Waylonis J.E., J. Opt. Soc. Amer., 51, 1961, p. 619.
- Burge D.K., Bennett H.E., J. Opt. Soc. Amer., 54, 1964, p. 1428.
- McCrackin F.L., Colson J.P., в кн. «Ellipsometry in the Measurement of Surfaces and Thin Films», Passaglia E., Stromberg R.R., Kruger J., eds., Natl. But. Std. Misc. Publ. 256 U. S. Govt. Printing Office, Washington, D. C., 1964, p. 61.
- Archer R.J., J. Electrochem. Soc., 104,1957, p. 619.
- Barrett M.A., в кн. «Ellipsometry in the Measurement of Surfaces and Thin Films», Passaglia E., Stromberg R.R., Kruger J., eds., Natl. But. Std. Misc. Publ. 256 U. S. Govt. Printing Office, Washington, D. C., 1964, p. 213.
- Kruger J., Yolken H.T., Corrosion, 20,1964, p. 29.
- Roberts R.W., Vanderslice T.A., Ultrahigh Vacuum and Its Applications, Prentice-Hall, Engewood Cliffs, Nev Jersey, 1963, p. 4.
- Пшеницын В.И., Абаев М. И., Лызлов Н. Ю., Эллипсометрия в физико-химических исследованиях, Л., Химия, 1986.
- Schulz L. G., Tangherlini F. R., Optical Constants of Silver, Copper, and Aliminium. II. The Index of Refraction n. —J. Opt. Soc. Amer., 1954, v. 44, p.362.
- Schulz L. G., Tangherlini F. R., Optical Constants of Silver, Copper, and Aliminium. I. The Absorption Coefficient k. —J. Opt. Soc. Amer., 1954, v. 44, p.357.
- Hass G., Waylonis J. E., Optical Constants of Evaporated Aluminum in the Visible and Ultraviolet — J. Opt. Soc. Amer., 1960, v. 50, p. 1133.
- Шкляревский И. H., Яровая Р. Г., Квантовое поглощение в алюминии и индии. — Опт. и спектр., 1964, т. 16, с. 85.
- Irani G. В., Huen Т., Wooten F., Optical Constants of Silver and Gold in the Visible and Vacuum Ultraviolet. — J. Opt. Soc. Amer., 1971, v. 61, № 1, p.128.
- TaftE. A., Phillip H. P. — Phys. Rev., 1961, v. 121, p. 1100.
- Золотарев В. M., Морозов В. Н., Смирнова Е. В., Оптические постоянные природных и технических сред, Справочник, JI., Химия, 1984.
- Dold В., Merke R. — Optik, 1965, Bd. 22, p. 435.
- Beattie J. R. — Physica, 1957, v. 23, p. 898.
- Weiss К. — Z Naturforsch., 1948, Bd. 3a, p. 143.
- Ingersoll L. R. — Astrophys. J., 1910, v. 32, p. 282.
- Bennett H. E., Bennett J. M., Optical Propeties and Electronics Structure of Metals and Alloys / Ed. F. Abeles, Amsterdam: Nort—Holland, 1966.
- Hagemann H. J., Gudat W., Kunz C., Optical constans from the far infrared to the x-ray region: Mg, Al, Cu, Ag, Au, Bi, and AI2O3. — J. Opt. Soc. Amer., 1975, v. 65, p. 742.
- Beattie J. R., Canu G. К. Т.—Phil. Mag., 1955, v. 46, p. 989.
- Canfield L. R., Hass G., Reflectance and Optical Constants of Evaporated Copper and Silver in the Vacuum Ultraviolet from 1000 to 2000 A. — J. Opt. Soc. Amer., 1965, v. 55, № 1, p. 61.
- Шкляревский И. H., ПадалкаВ. Г. — Опт. и спектр., 1959, т. 6, с. 78.
- Otter М. — Z. Physik, 1961, Bd. 161, p. 163.
- Robusto P. F., Braunstein R. — Phys. Stat. Sol (B), 1981, v. 107, p. 443.
- Roberts S.—Phys. Rev., 1960, v. 118, p. 1509.
- Canfield L. R., Hass G., Hunter W. R. — J. Phys., 1964, v. 25, p. 124.
- Мотулевич Г. П., Шубин А. А ,—ЖЭТФ, 1964, т. 47, вып. 9, с. 840.
- Падалка В. Г., Шкляревский И. Н. — Опт. и спектр., 1961, т. 11, с. 285.
- Weaver J. Н., Krafka С., Lynch D. W. et al. Physics Data, Optical Properties of Metals. Karlsruhe: Fach-Information Zentrum, 1981.
- Головашкин Ф. И., Мотулевич П. П., Шубин А. А. — ЖЭТФ, 1960, 38, с. 51.
- Шкляревский И. Н., Яровая Р. Г. — Опт. и спектр., 1963, т. 14, с. 252.
- Shiles Е., Sasaki Т., Inokuti М., Smith D. Y. —Phys. Rev. (В), 1980, v. 22, p. 1612.
- Г. Хасс, Физика тонких пленок, т. 1, М, мир, 1967, с. 343.
- К. Шефер, Теоретическая физика, т. III и II, ГОНТИ, 1938.
- А. I. Mahan, J. Opt. Soc. Amer., 46,1956, p 913.
- А. В. Соколов, Оптические свойства металлов, 1961.
- Данилин B.C. Вакуумное нанесение тонких пленок. Изд-во «Энергия», 1967.
- Андреев С.В., Карасев Н. Н., Определение оптических постоянных тонких металлических покрытий по спектрофотометрическим измерениям // НТКППС Тез. док. (Санкт-Петербург, 2000) 2000. -Ч. 1.- С. 41−42.
- Андреев С.В., Исследование оптических постоянных металлических покрытий, Сборник научных трудов молодых ученых и специалистов, вып. 1, часть 1, СПбИТМО (ТУ), 2000, с. 14−15.
- Андреев С.В., Губанова JI.A., Исследование оптических постоянных металлов, Оптические и лазерные технологии, сборник статей, Санкт-Петербург, 2001, с. 74−83.
- Андреев С.В., Губанова JI.A., Определение оптических постоянных металлических слоев, Оптические и лазерные технологии, сборник статей, Санкт-Петербург, 2001, с. 198−205.
- Андреев С.В., Антистатические покрытия из смесей металла с диэлектриком на оптических деталях из полимерных материалов, Сборник научных трудов молодых ученых и специалистов, вып. 1, часть 1, СПбИТМО (ТУ), 2000, с. 15−17.
- Хасс Г., Франкомб М., Гофман Р., Физика тонких пленок, т. 8, Москва, Мир, 1978, 359 с.
- Баринов Ю.А., Простое устройство ввода аналогового сигнала в компьютер, Приборы и техника эксперимента, 2003, № 5, с. 64−67.
- Архипкин А.Н., Бровченко В. Г., Кириченко А.М, Петров Н. А., Толпекин И. Г., Федоренко В. В., Спектрометрический усилитель. Гибридный микроузел., Приборы и техника эксперимента, 2003, № 3, с. 84−87.
- Андреев С.В., Карасев Н. Н., Путилин Э. С., Шакин А. О., Автоматизация фотометрического контроля толщины осаждаемых слоев, Известия вузов. ЭЛЕКТРОНИКА, № 6, 2003.
- Майссел Л., Гленг Р., Технология тонких пленок, спр., М., Советское радио, 1977.
- Карасев А.С., Основы оценки погрешности измерений, уч. пособие, СПб, ИПЦ, С-Пб ГТУ, 1995, с. 4.
- Зайдель А.Н., Погрешности измерений физических величин, Ленинград, Наука, 1985, с. 67.
- Федотов Г. И., Ильина Р. С., Новицкий Л. А., Гоменюк А. С., Лабораторные оптические приборы, Уч-ное пособие для приборостроительных и машиностроительных вузов, 2-ое изд., Москва, Машиностроение, 1979.
- ГОСТ 8.207−76 Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений.
- Паспорт, Установка вакуумная модели ВУ-1А, 1984−84, 00.00.000.ПС.
- Александров Г. А., Халлиулина Н. З., Шаяхметова Р. Х., Мансурова Л. И., Чистка оптических деталей из полимерных материалов, ОМП, № 7, 1981, с. 26−28.
- Путилин Э.С., Старовойтов С. Ф., Способ определения лучевой прочности оптических покрытий, авт. свид. СССР № 1 370 531 от 01.10.87.