Кинетика атомных процессов и формирование сверхтонких пленок Cr, Co и их дисилицидов на Si (III)
Диссертация
Модернизировать экспериментальную сверхвысоковакуумную установку, позволяющую производить исследования по формированию границы раздела в широком диапазоне скоростей осаждения (влияние кинетики на формирование границы раздела). Сюда входят разработка и создание источников Сг и Со, позволяющих производить напыление не только с низкой, но и с высокой скоростью осаждения, разработка и создание… Читать ещё >
Список литературы
- Vantomme A., Nicolet M-A., Long R .G, Mahan J.E., and Pool F.S. Reactive deposition epitaxy ofCrSi2 H Appl.Surface.Science -1993, — V.73. — P. 146−152.
- Starke U., Schardt J., Weilss W., Rangelov G., Fauster Th., Heinz K. Structure of epitaxial CoSi? films on Si (lll) studied with low-energy electron diffract (LEED) // Surf. Rev. and Let. -1998.-V. 5,№ l.-P. 139−144.
- Le Lay G., Manneville M., Kern R. Cohesive energy of the two-dimensional Si (lll)-3xl Ag and Si (lll) V3-R30° Ag phases of the silver (deposit)-silicon (l 11) (substrate) system// Surface Science -1978.-V.72, № 2.- P. 405−422.
- G.Le Lay and J.P.Faurie. AES study of the very first stages of condensation of gold films on silicon (111) surfaces! Surface Sci. -1977.-V.69, № 1. P. 295−300.
- Del Giudice M., Joyce J.J., Ruckman M.W., Weaver J.H. Silicideformation at the Ti/Si (l 11) interface. Room-temperature reaction and Schottky-barrier formation //Phys. Rev. В -1987.-V.35, № 12, — P. 6213−6221.
- Van Loenen E.J., Fischer A.E., Van der Veen J.F. Ti-Si mixing at room temperature: a high resolution ion backscattering study! Surface Sci. -1985.- V.155.- P. 65−78.
- Franciosi A., Weaver J.H. Si-metal interface reaction and bulk electronic structure of silicides II Physica В 1983.-V.117−118, — P. 846−847.
- Iwami M., Hashimoto S., Hiraki A. ELS study of the initial stage ofTiSi formation on Si at room temperature! Sol. St. Commun. 1984, — V.49.- P. 459−462.
- Wallart X., Nys J.P., Zeng H.S., Dalmai G., Lefebore I., Lannoo M. Auger and electron-energy-loss spectroscopy study of interface formation in the Ti-Si systemII Phys. Rev. В —1990,-V.41.-P. 3087−3096.
- Colandra C., Bisi O., Ottaviani G. Electronic properties of silicon-transition metal interface compounds //Surf. Sci. Rep. -1985. -V.4. P.271- 364.
- Franciosi A., Peterman D.J., Weaver J.H. Silicon refractory metal interfaces: Evidence of room temperature intermixing for Si-Cr //J. Vac. Sci. Technol. -1981.-V.19, № 3 -P. 657−660.
- Wetzel P., Pirri C., Peruchetti J.C., Bolmont D., Gewinner G. J. Room-temperature formation and oxidation properties of the CrfSi (lll) interface! Vac. Sci. Technol. A.- 1987.-V. 5, № 6 P.3359 -3365.
- Vantomme A., Nicolet М-А., Long R .G, Mahan J.E., and Pool F.S. Reactive deposition epitaxy ofCrSi2 II Appl.Surface.Science -1993, — V.73. РЛ46−152.
- Starke U., Sehardt J., Weilss W., Rangelov G., Fauster Th., Heinz К. Structure of epitaxial CoSi2 films on Si (l 11) studied with low-energy electron diffract (LEED) II Surf. Rev. and Let. -1998.-V. 5,№ l.-P. 139−144.
- Le Lay G., Manneville M., Kern R. Cohesive energy of the two-dimensional Si (ll l)-3xl Ag and Si (l 11) л/3-R30° Ag phases of the silver (deposit)-silicon (l 11) (substrate) system!/ Surface Science -1978.-V.72, № 2, — P. 405−422.
- G.Le Lay and J.P.Faurie. AES study of the very first stages of condensation of gold films on silicon (111) surfaces! I Surface Sei. -1977.-V.69, № 1. P. 295−300.
- Del Giudice M., Joyce J.J., Ruckman M.W., Weaver J.H. Silicide formation at the Ti/Si (lll) interface. Room-temperature reaction and Schottky-barrier formation //Phys. Rev. В 1987.-V.35, № 12, — P. 6213−6221.
- Van Loenen E.J., Fischer A.E., Van der Veen J.F. Ti-Si mixing at room temperature: a high resolution ion backscattering study! Surface Sei. -1985, — V.155.- P. 65−78.
- Franciosi A., Weaver J.H. Si-metal interface reaction and bulk electronic structure of silicides II Physica В 1983.-V.117−118, — P. 846−847.
- Iwami M., Hashimoto S., Hiraki A. ELS study of the initial stage of TiSi formation on Si at room temperature! Sol. St. Commun. 1984, — V.49.- P. 459−462.
- Wallart X., Nys J.P., Zeng H.S., Dalmai G., Lefebore I., Lannoo M. Auger and electron-energy-loss spectroscopy study of interface formation in the Ti-Si system! I Phys. Rev. В -1990.-V.4L- P. 3087−3096.
- Colandra C., Bisi O., Ottaviani G. Electronic properties of silicon-transition metal interface compounds //Surf. Sei. Rep. -1985. -V.4. P.271- 364.
- Franciosi A., Peterman D.J., Weaver J.H. Silicon refractory metal interfaces: Evidence of room temperature intermixing for Si-Cr //J. Vac. Sei. Technol. -1981.-V.19, № 3 -P. 657−660.
- Wetzel P., Pirri C., Peruchetti J.C., Bolmont D., Gewinner G. J. Room-temperature formation and oxidation properties of the Cr/Si (l 11) interface! I Vac. Sei. Technol. A.- 1987.-V. 5, № 6 P.3359 -3365.
- Ufuktepe Y., Onellion M. Electronic structure of Fe overlay ers on Si (lll) //Solid State Commun. -1990.-V.76, № 2, — P.191−194.
- Zeng H.S., Wallart X., Nys J.P., Dalmi G., Friedel P. Probing the local atomic environment at the interfaces in the Fe-Si system by the surface-extended energy-loss fine-structure technique //Phys. Rev. B. 1991.-V.44, № 24, — P. 13 811- 13 814.
- Butera R.A., Del Giudice M., and Weaver J.H. Quantitative model of reactive metal-semiconductor interface growth using high resolution photoemission results И Phys. Rev. -1986.-V.33.-P. 5435.
- Clabes J.G., Rubloff G.W., Tan T.Y. Chemical reaction and Schottky-barrier formation at V/Si interface //Phys. Rev. В -1984.-V.29, № 4. P. 1540- 1550.
- Vahakangas J., Idzerda Y.U., Williams E.D., Park R.L. Initial growth of Ti on Si //Phys. Rev. В. -1986, — V.33, № 12.- P. 8716- 8723.
- Rutz R., Rubloff G.W., Tan T.Y., Ho P. S. Chemical and structural aspects of reaction at the Ti/Si interface //Phys. Rev. B. 1984, — V.30, № 10.- P. 5421- 5429.
- Saleh A.A., Peterson L.D. Growth of thin Ti films on Si (l 1 l)-(7×7) surfaces //J. Vac. Sci Technol. A. -1996, — V.14, № 1, — P. 30−33.
- Plusnin N.I., Galkin N.G., Lifshits V.G., Lobachev S.A. Formation of interfaces and templates in the Si (lll)-Cr system IISurf. Rev. Lett. -1995.-V.2, № 4. P.439−449.
- Brillson L.J. Metal-semiconductor interfaces II Surf. Sci. -1990, — V.299−300, № 1,2.- P. 909−927.
- Rossi G. d- and f- metal interface formation on silicon // Surf. Sci. Rep. -1987, — V.7. P. 1101.
- Shivaprasad S.M., Anandan C., Azatyan S.G., Gavriljuk Y.L., Lifshits V.G. The formation of Mn/Si (111) interface at room and high temperatures 11 /Surf. Sci. -1997- V.382.- P.258−265.
- Кур носов А. И. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных схем // М., «Высш. Школа».-1975, — 342 с.
- Lifshits V.G., Saranin А.А., and Zotov A.V. Surface Phases on Silicon: Preparation, Structures and Properties 11 Chichester-New York-Brisbane-Toronto-Singapore, John Wiley & Sons.-1994, — 448 P.
- Плюснин Н.И., Галкин Н. Г., Каменев А. Н., Лифшиц В. Г. и Лобачев С.А. Атомное перемешивание на границе раздела Si-Cr и начальные стадии эпитаксии CrSi'2 // Поверхность. Физика, химия и механика. -1989.- № 9. С. 55- 61.
- Плюснин Н.И., Миленин А. П. Кинетический механизм формирования границы раздела металл-полупроводник II Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, — 1997.-№ 3.- С.36−44.
- Chainet Е., De Crescenzi М., Derrien J., Nguyen T.T.A., Cinti R.C. Local structure determination of the Co-Si (lll) interface by surface electron energy-loss fine-structure technique // Surf. Sci. -1986, — V. 168, № 1−3. P. 801−809.
- Chambliss D.D., Rhodin T.N. Study of interface formation on Co/Si (lll)-7×7 using angle-resolved photoemission // J. Vac. Sci. Technol. A. -1989, — V. 7, № 3. P. 2449 -2453.
- De Crescenzi M., Derrien J., Chainet E., Orumchian K. Core-level electron-energy-loss spectroscopy as a local probe for the electronic structure of the Co/Si (lll) interface II Phys. Rev. B. -1989, — V.39, № 8. -P. 5520- 5523.
- Rossi G., Santaniello A., and De Padova P. From the chemisorption of Co on Si (l 11)7×7 to the formation of epitaxial A and B-type C0S12II Sol. St. Commun. -1990.-V. 73, № 12. P. 807 812.
- Rossi G., Santaniello A., De Padova P., Jin X., Chandesris D. Structural chemisorption of Co onto Si (J 11)7×7 II Europhys. Lett. 1990, — V. 11, № 3, — P. 235−241.
- Bennet P.A., Cahili D.G., and Copel M. Interstitial precursor to silicide formation on Si (lll)-(7×7) //Phys. Rev. Lett. -1994, — V. 73, № 3, — P. 452−455.
- Pirri C., Peruchetti J.C., and Gewinner G. Nucleation of a two-dimensional compound during epitaxial growth of Co Si 2 on Si (lll) II Phys. Rev. В. -1984, — V. 30, № 10. -P. 62 276 229.
- Pirri C., Peruchetti J.C., Gewinner G., Derrien J. Early stages of epitaxial CoSi2 formation on Si (111) surface as investigated by ARUPS, XPS, LEED and work function variation II Surf. Sci. -1985.- V. 152−153. P. 1106−1112.
- Derrien J. Structural and electronic properties of CoSi2 epitaxially grown on Si (lll) II Surf. Sci. -1986, — V. 168, № 1−3. P. 171- 183.
- Bensaoula A., Veuillen J.Y., Nguen Tan T.A. Study of the Co/Si (lll) interface formation using electron energу loss spectroscopy II Surf. Sci. -1991.- V.241, № 3. P. 425- 430.
- Chambers S.A., Boscherini F., Anderson S.B., Joyce J.J., Chen H.W., Ruckman M.W., Weaver J.H. Reaction and epitaxy at the Co/Si (lll) interface // J. Vac. Sci. Technol. A. -1987.-V. 5,№ 4.-P. 2142−2143.
- Gibson J.M. Surface and Interface Characterization by Electron Optical Methods //Plenum Publishing Corporation. -1988, — P. 55.
- Giudice M. Del., Joyce J.J., Ruckman M.W., Weawer J.H. Claster formation and atomic intermixing at V/Ge (l 11) interface II Phys. Rev. B. -1985.- V. 32, — P. 5145.
- Butera R.A., Giudice M. Del., Weawer J.H. Temperature- dependent interface evolution. Modeling of core-level photoemission results for V/Ge (lll) II Phys. Rev. B. -1987.- V. 36. P. 4754−4760.
- Giudice M. Del., Butera R. A ., Ruckman M.W., Joyce J.J., Weawer J.H. V/Ge (lll): Temperature dependent intermixing studied with high resolution photoemission and quantitative modeling HI. Vac. Sci. Tech. A. -1986, — V.4(3). P. 879−881.
- Buteia R.A., Hollingscorth C.A. Mechanism for reactive chemistry at metal semiconductor interfaces II Phys. Rev. B. -1987, — V. 37, — P. 10 487−10 495.
- Лифшиц.В. Г. Электронная спектроскопия //М.:Наука -1985.- 200 С.
- Czanderna A.W. Методы анализа поверхности //Под ред. А.Зандерна., М.:Мир 1987. — 582 С.
- Пайнс Д. Электронные возбуждения в твердых телах II Пер с англ. М.: Мир. —1965.387 С.
- Seah М.Р. A review of the analysis of surfaces and thin films by AES and XPS //Vacuum, -1984- V.34, № 3−4. P. 463−478.
- Бонч-Бруевич В.Л., Калашников С. Г. Физика полупроводников //М.: Наука —1990.-688С.
- Химическая Энциклопедия //Под ред. Кнунянц И. Л., М.: Сов. Энциклопедия —1988.-Т.1.- 623 С.
- Маисеел Л., Глэнг Р. Технология тонких пленок //пер. с англ. под ред М. И. Еликсона, Г. Г. Смолко. М.: Сов.радио. -1977. Т.1.-662С.
- Кошкин Н.И., Шикаревич М. Г. Справочник по элементарной физике II М.:Наука -1988, — 256 С.
- L.J. van der Pauw A method of measuring specific resistivity and Hall effect of disks of arbitrary shape //Philips Research Reports, -1958.- V.13, № 3. P.1−9.
- Кучис Е.В. Методика исследования эффекта Холла // М.: Сов. радио 1974. — 328С.
- Галкин Н.Г., Лифшиц В. Г., Плюснин Н. И. Упорядоченные поверхностные фазы в системе Si(l 11)-Сг // Поверхность. -1987, — № 12, — С. 50 -58.
- Новиков В.В. Теоретические основы микроэлектроники //М.:Выс.Школа-1972.- 352С.
- Shiraki Y., Kobayashi K.L.I., Daim Н., Ishizuka A., Sugaki S., Murata Y. Systematic study of 3d-transition metal-silicon interfaces by photoemission II Physica В.- 1983.-V. 117−118, № 2.- P. 843- 845.
- Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции II Под ред. Поута Дж., Ту К., Мейера Дж. М.: Мир,-1982.- 361 С.
- Bisi О., Tu K.N. Atomic intermixing and electronic interaction at the Pd-Si (. 11) interfaceII Phys.Rev.Lett., -1984.- V.52, № 18. -P. 1633−1636.
- Лифшиц В.Г., Плюснин Н. И. Электронное взаимодействие и силигщидообразование в системе Cr-(lll)Si на начальной стадии роста // Поверхность. -1984, — № 9. -С.78−85.
- Болтакс Б.И. Диффузия в полупроводниках //М.:Физматгиз -1961.- 360 С.
- Колмогоров А.Н. К статистической теории кристаллизации металлов II Изв. АН СССР. Серия матем. -1937, — Т. 3. С. 355−359.
- Weaver С. Diffusion in metallic films 11 Physics of Thin Films. V. 6. N.Y.: Academic Press, -1971, — P. 335.
- Зи С. Физика полупроводниковых приборов // М.: Мир.-1984, — Т.2.-350 С.
- Martinez A., Esteve D., Guivare’h A., et al. Metallurgical and electrical properties of chromium silicon interfaces II Sol State Electron.-1980.-V.23.-P.55−64.
- Zsheng L.R., Zingu E., Mayer J.W. Tateral silicide growth // Mat. Res. Soc. Symp. Proc.-1984.-V.25. -P.75−85.
- Плюснин Н.И., Миленин А. П. Механизм атомного перемешивания при формировании границы раздела переходного металла с кремнием //Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования -1996, — № 2.- С.64−74.
- Veuillen J.Y., Bensaoula A., De Crescenzi М., Derrien J. Short-range local order of the Co-Si (lll) interface studied by extended Auger fine-structure technique //Phys.Rev.B. —1989.-V.39, № 14, — P.10 398−10 401. /
- Plusnin N.I., Milenin A.P., Soldatov V.J., and Lifshits V.G. Formation of CrSi2(0001)-aSi Interface И Phys. Low-Dim. Struct., -1997, — V.5/6.- P.63−74.
- Ibach H., Mills D.L. Electron energy loss spectroscopy and surface vibrations IINew York:
- Academic press -1982, — 365 P.
- Pirri C., Peruchetti J.C., Gewinner G., Bolmont D. Annealing studies of the Co/Si (lll) interface II Solid State Commun.-1986.- V. 57, № 5, — P. 361−364.
- Shiau F.V., Cheng H.C., Chen L.J. Epitaxial growth of CrSi2 on (lll)Si II Appl. Phys. Lett.- 1984, — V. 45, № 5. -P.524−526.
- Coldan E.G., Tsaur B.Y., Mayer J.W. Phase formation in Cr-Si-film interfactions 11 Appl.Phys.Lett.-1980.-V.37, № 10, — P.938−940.
- Iienz J., Hugi J., Ospelt M. Fabrication and electrical properties of ultrathin CoSi2/Si heterostructures //Surf.Sci. -1990, — V. 228, — P. 9−12.