Методы и средства неразрушающего контроля параметров твердофазной диффузии
Диссертация
Актуальность проблемы: Диффузионные процессы в твердом теле играют важную роль в создании материалов с заданными структурами и свойствами. При помощи диффузии в микроэлектронике формируются области с определенным типом проводимости и градиентом концентрации примеси, создаются диодные и транзисторные структуры, резисторы и другие элементы интегральных схем. Процессы массопереноса в тонкопленочных… Читать ещё >
Список литературы
- Маннинг Дж. Кинетика диффузии атомов в кристаллах / Маннинг Дж,-М.:Мир, 1971.-278 с.
- Карташов Э.М. Аналитические методы в теории теплопроводности твердых тел / Карташов Э.М.- М.: Высшая школа, 1985, — 480 с.
- Беляев Н.М. Методы теории теплопроводности, ч. I, II / Беляев Н. М., Рядно А. А. М.: Высшая школа, 1982. — 320 с.
- Алифанов О.М. Обратные задачи теплообмена / Алифанов О.М.-М. Машиностроение, 1988. -280 с.
- Solmi S. Diffusion of boron in silicon during post implantation anneling / Solmi S., Barruffaldi F. //J. Appl. Phys.- 69 (4), 1991.- pp.2135−2143.
- Tsui M.J. Defects and Radiation Effects in semiconductors / Tsui M.J., Morehead F.F., Beglin E.E.//J. Appl. Phys.- v. 51, 1980.- pp.3230−3238.
- A. Miliou. Fiber Compatible K+ Na+ Ion-Exchanged Weveguides: Fabrication and Characterization / A. Miliou, H. Zhenguang // J. Quantum electronics.- v.25, 1989.-pp.1889- 1894.
- Киттель Ч. Введение в физику твердого тела. / Киттель Ч. М.: «Наука», 1978.- 792 с.
- Жуковский В.Н. Влияние условий ионной имплантации на дефектообразование в кремнии / Жуковский В. Н. // Физика и техника полупроводников.- № 1,1992 г.- С. 150−158.
- Б.С. Бокштейн. Диффузия в металлах / Б. С. Бокштейн. М.: «Металлургия», 1978 г.-250 с.
- Но С.Р. VLSI Process Modeling Suprem III / Но C.P., Plummer J.D., Hansen S. E. // IEEE Trans. — Vol. ED-30, 41,1983. — pp. 1438 — 1453.
- Mulvaney B. J. Model for defect impurity pair diffusion in silicon / Mulvaney B. J., Richardson W. B. // Appl. Phys. Lett.- 51 (18), 1987.- pp.14 391 441.
- Бубенников А.Н. Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем / Бубенников А.Н.- М.: Высшая школа, 1989 г. 280 с.
- Джафаров Т.Д. Арсенид галлия / Джафаров Т. Д., Малкович Р. Ш. Томск, издание Томского университета, 1968. — 223 с.
- Chang L. L., Cama A. Appl. Phys. Lett., 51 (18), 1976, pp. 1439−1441.
- Абдуллаев Г. Б. Атомная диффузия в полупроводниковых материалах / Абдуллаев Г. Б., Джафаров Т. Д. М.: Атомиздат, 1980.- 321 с.
- Субашиев В.К. Физика твердого тела / Субашиев В. К., Полтинников С. А. М.: Высшая школа, 1960. т.2.- 769 с.
- Van der Pauw L. G. Philips Repts, 1958, v. 13, pi.
- Mazur R.G., Dickley D.H. J. Electrochem. Soc., 1966 v. l 13, p. 255.
- Peaker A.R., Smit B.L. Sol. State Electron, 1970, v.13, p.1407.
- Yamashita A., Aoki Т., Yamagechi M. Japan J., Appl. Phys. 1973, v.12 p. 1267.
- Yamashita A., Aoki Т., Yamagechi M. Japan J., Appl. Phys. 1975, v.14 p. 991.
- Jones C.E., Hilton A.R. J. Electrochem., Soc, 1965, v. l 12, p. 908.
- Батавин B.B. Контроль параметров полупроводниковых материалов и эпитаксиальных слоев / Батавин B.B. М.: Сов. Радио, 1976. — 250 с.
- Дриц М.Е. Авторадиография. / Дриц М. Е., Свидерская З. А., Канадер Э. С. -М.: Металлургия, 1961.- 234 с.
- Коротков В.И. Микроавторадиография / Короткое В. И. М.: Высшая школа, 1967.-345 с.
- Балтакс Б.И. Физика твердого тела / Балтакс Б. И., Соколов В. И. М.: Атомиздат, 1963.- т.5.- 1077с.
- Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности / Вудраф Д., Делчар Т. М.: Мир, 1989 г. — 586 с.
- Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции / Под ред. Поута Дж., Ту К., Мейера Дж.- М.: Мир, 1981.-486 с.
- Электронная и ионная спектроскопия твердых тел / Под ред. Фирменса JL, Венника Дж., Декейсера.- М.: Мир, 1981. 486 с.
- Rubin S. В. Treatise on analytical Chemistry. Ed. Kolthoff I.M., Elving P.J. Juterscience. New Yore, 1959, p. 2075.
- Sippel R. F. Phys. Rev., 115, 1411, 1959.
- Carter G., Collidon J. D. Ion Bombardment of Solid.
- Wehner G.K. Methods of Sarface analisis. / Ed. A.W. Gzanderna, Elsevier, Amsterdam, 1975.
- Павлов Л.П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов / Павлов Л. П. М.: «Высшая школа», 1987. — 240 с.
- Лахтин Ю.М., Арзамасов Б. Н. Химико-термическая обработка металлов. / Лахтин Ю. М., Арзамасов Б. Н. М.: Металлургия, 1985 г.- 200 с.
- Бутковский А.Г. Характеристики систем с распределенными параметрами/ Бутковский А. Г. М.: Наука, 1979.-224 с.
- Боднарь О.Б. Некоторые задачи моделирования технологических процессов изготовления приборов микроэлектроники / Боднарь О. Б., Замалин ЕЛО. // Микроэлектроника. -1995. № 4.- С. 309−314.
- Боднарь О.Б. Неразрушающие’методы определения параметров диффузии примеси в твердом теле/ Боднарь О. Б. //. Диагностика и контроль. -2005 г. -№ 2.- С. 45−47.
- О.В. Bodnar'. Diffusion Parameter Determination by a Non-destructive Technique with the Assumption of Mass Exchange on the Surface/ O.B. Bodnar', I.M.
- Aristova, A.A. Mazilkin, A.N. Chaika and P.Yu. Popov // Defect and Diffusion Forum.- 2006.- 249.- pp. 189−192.
- Полянин А.Д. Справочник по точным решениям уравнений тепло- и массопереноса/ А. Д. Полянин, А. В. Вязьмин, А. И. Журов, Д. А. Казенин -М.: Факториал, 1998. -229 с.
- Несис Е.И. Методы математической физики/ Несис Е. И. М.: «Просвещение», 1977 199 с.
- Райченко А.И. Математическая теория диффузии в приложениях/ Райченко А. И. К.: «Наукова думка», 1981. — 396 с.
- Кошляков Н.С. Уравнения в частных производных математической физики/ Кошляков Н. С., Глинер Э. Б., Смирнов М. М. М.:Высшая школа, 1970 — 710 с.
- Жуховицкий А.А. Физическая химия/ Жуховицкий А. А., Шварцман J1.A. -М.: «Металлургия», 1968. 520 с.
- Dao Khac An. Computer Calculation of Enhanced Diffusiviti and Effective Activation Energy from Measured profiles of Impurities Silicon/ Dao Khac An.// Defect and Diffusion Forum Vols., 194 -199 (2001) pp. 653−658.
- Боднарь О.Б. Неразрушающие методы определения параметров диффузии/ Боднарь О. Б. // X Межд. конф. «Моделирование электронных приборов и аппаратуры».- 2003.- 6- 10 сентября, г. Севастополь.- С.49−61.
- Калиткин Н.Н. Численные методы/ Калиткин Н. Н. М.: Наука, 1978. -512 с.
- Технология СБИС/ Под ред. С. Зи. М.: Мир, 1986., т.1. — 330 с.
- Боднарь О.Б. Управление диффузионным профилем концентрации/ .Боднарь О. Б., Попов П. Ю. // Межд. конф. «Информационные технологии в науке технике и образовании».- Севастополь, 2004. С. 96−98.
- Карслоу Г., Егер Д. Теплопроводность твердых тел/ Карслоу Г., Егер Д. -М.: Наука, 1964.- 488 с.
- Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств/ Готра 3.10. -М.: Радио и связь, 1991.- 528 с.
- J. Appl. Phys., 1963, v.34. № 7, p. 4272.
- Jap. J. Appl. Phys., 1968, v.7. № 10, p. 1231.
- Solid State Electron., 1982, v.25. № 4, p. 253.
- Jap. J. Appl. Phys., 1964, v.3. № 5, p. 511.
- МОП-БИС. Моделирование элементов и технологических процессов/ Под. ред. П. Антонетти. М.: Радио и связь, 1988. — 327 с.
- Giles М. D. Ion implantation calculation in Two Dimensions using the Boltzman Transport Equation/ Giles M. D. // IEEE Trans., 1986, Vol/ CAD 5, 4. — pp. 679 -683.
- Бубенников A.H., Садовников А. Д. Физико технологическое проектирование биполярных элементов кремниевых БИС/ Бубенников А. Н., Садовников А. Д. — М.: Радио и связь, 1991.-278 с.
- Буренков А.Ф. Таблицы параметров пространственного распределения ионно имплантированных примесей/ Буренков А. Ф., Комаров Ф. Ф. и др,-Минск. Изд. БГУ, 1980 г. — 246 с.
- Боднарь О.Б. Многопоточная диффузия бора в приповерхностной области ионно-легированного кремния/ Замалин Е. Ю., Боднарь О. Б. // Поверхность.-1995.-№ 7−8.-С.65−69.
- Боднарь О.Б. Диффузия фосфора в приповерхностной области ионно-легированного кремния при 1000° С/ Боднарь О. Б., Замалин Е. Ю., Попова Т. В. // Поверхность, — 1995.- № 7−8. С. 69−72.
- Bodnar О.В. Multiflux impurity diffusion in the surface region of ion doped silicon/ Bodnar O.B., Zamalin E.Yu. // Third Russian Chinese Symposium «Advanced Materials and Processes». -1995.- October, Kaluga.- p. 309.
- Боднарь О.Б. Моделирование многопоточной диффузии в приповерхностной области ионно-легированного кремния/ Боднарь О. Б., Замалин Е. Ю., Ходакова Р. В. // В кн. математическое моделирование и управление в сложных системах. -МгМГАПИ.- 1997.- С. 100−101.
- Ryssel Н., Rugl I. Ioneimplantation/ Stutgart, Teubner. 1978.- p.p. 289.
- Цай Дж. Технология СБИС/ Цай Дж. М.: Мир, 1976. — 227 с.
- Сульбергер С. МОП СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов/ Сульбергер С., Шютц С., Петцль Г. — М.: Радио и связь, 1988. — 388 с.
- Колобов Н. А. Диффузия и окисление полупроводников/ Колобов Н. А., Самохвалов М. М. М.: Металлургия, 1975. — 456 с.
- Сейдел Т. Технология СБИС. / Сейдел Т. М.: Мир, 1976. — 292 с.
- Fan D. Transient boron diffusion ion implanted silicon/ Fan D., Huang J., Jaccodin R.J. // Appl. Phys. Lett., v.50, 24, 1987. — pp. 1745 — 1749.
- Боднарь О.Б. Контроль поверхностных электрофизических параметров полупроводников методом измерения разности поверхностных потенциалов/ Боднарь О. Б. // Диагностика и контроль.- № 5.- 2005 г.- С.32−33.
- Шалимова К.В. Физика полупроводников/ Шалимова К.В. М. Энергия, 1976 г.-416 с.
- Боднарь О.Б. Определение неразрушающими методами приповерхностных и объемных диффузионных параметров азота в монокристаллическом вольфраме/ Боднарь О. Б., Аристова И. М., Мазилкин А. А. //. Диагностика и контроль.- № 11.- 2004 г.- С. 46−51.
- Справочник по Оже-электронной спектроскопии. М.: Наука, 1964. -100 с.
- Machtcad 6.0. PLUS. Финансовые, инженерные и научные расчеты в среде
- Фромм E. Газы и углерод в металлах/ Фромм Е., Гебхард Е. М.: Металлургия, 1980. -712 с.
- Кипарисов С.С., Левинский Ю. В. Азотирование тугоплавких металлов/ Кипарисов С. С., Левинский Ю. В. М: «Металлургия», 1972.- 160 с.
- Иденбом В.Л. / «Письма в ЖЭТФ». т. 12., 1970.- С. 526−528.
- Боднарь О.Б. Диффузия азота в приповерхностной области ионно-легированного молибдена/ Боднарь О. Б., Замалин Е. Ю. // Письма в ЖТФ.-№ 6,2001.-С. 495−497.
- Пронина Л.Н., Аристова И. М., Мазилкин А. А. // Материаловедение.- № 4, 1999.-С. 7−9
- Боднарь О.Б. Диффузия азота и фазовые превращения в приповерхностной области ионно-легированного молибдена/ Боднарь О. Б. Бдикин И.К., Аристова И. М., Мазилкин А. А. Пронина Л.Н., Замалин Е. Ю. // Поверхность.- № 7−8,2003.- С.64−67.
- Вол А. Е. Структура и свойства двойных металлических систем/ Вол А. Е. т. 1.М. 1959. С. 118
- Хартер Дж. «Роль физики в моделировании процессов и приборов» / Хартер Дж., Вернер К., Мадер Л. В кн. Моделирование полупроводниковых приборов и технологических процессов. Под ред. Д. Миллера.- М.: Радио и связь. 1989.- С. 27−36.
- Antoniadis D. A., Hansen S. Е. " Suprem II-A program for IC-process modeling and simulation «/ //, Stanford Universiti, Techn. Report 5019−2 (1978).
- Ho C. P., Hansen S. E. «Supre III-A program for integrated circuit process modeling and simulation"/ //, Stanford Universiti, Techn. Report 83−001 (1983).
- Antoniadis D. A. «Models for computer simulation of complete IC-fabrication process «/ Antoniadis D. A., Dutton R. W. // IEEE J. of Solid State Circuit, SC 14.-№ 2, 1979.- pp. 412−418.
- Mei L. «Process simulation model for multiplayer structures involving polycrystalline silicon"/ Mei L., Dutton R. W. // IEEE Trans. ED29, 1982.-pp. 1726- 1729.
- Ho C. P. «VLSI process modeling Suprem III"/ Ho C. P., Plummer J. D., Hansen S. E., Dutton R. W. // IEEE Trans. ED30, 1983.- pp. 1438- 1442.
- Ryssel H., Haberger K., Hoffman K., Dumke R. » Simulation of doping process»/ // IEEE Trans. ED27, 1980, pp. 1484- 1487.
- Tielert R. «Two dimentional numerical simulation of impurity redistribution in VLSI process»///IEEE Trans. ED27,1980, pp. 1479- 1482.
- Tielert R. «Numerical simulation of impurity redistribution in near mask edges»/ //, Urbino, 1982.
- Tielert R. «Two dimentional numerical analysis of doping process» Proc. Ill Intern. / // Conf. on the Numerical Analysis of Semiconductor Devises and Integrated Circuit, NACE CODE III, 1983, p. 46−50.
- Renumalli B.R. » A comprehensive two dimentional VLSI process program BICERS «/// IEEE Trans. ED30, 1983, pp. 46- 49.
- Chin D., Krimp M.R., Lee H.G., Dutton R. W. «Process desing using two -dimentional process and device simulation"/ //, IEEE Trans. ED29, 1982, pp. 336 339.
- Chin D. «Two dimentional oxidation»/ Chin D., Oh S.Y., Hu S. M, Dutton R. W. //IEEE Trans. ED30,1983, pp. 744 — 749.
- Сиге H. » Программа трехмерного моделирования МОП прибора/ Сиге Н., Онга С., Дан Р. //. В книге моделирование полупроводниковых структур.-С.79−90.
- Мартин С. «Новая программа одномерного моделирования технологических процессов изготовления интегральных микросхем OLIMP.
- Модель диффузии» / Мартин С., Матью Д.- В кн. Моделирование полупроводниковых структур.- С.23−210.
- Боднарь О. Б. Моделирование диффузии Zn, имплантированного в GaAs/ Боднарь О. Б., Замалин ЕЛО., Мамбетов А. К. //"Поверхность», М., изд. РАН, № 2 1995, с.97−100.
- Готра ЗЛО. Технология микроэлектронных устройств/ //. М.: Радио и связь, 1991.-527 с.
- Fair R. В. Enhanced diffusion boron in silicon/ //. IEEE Trans. Electron devices. 35,285,1988.
- R. Ghez, G. S. Oehlein, Sedwick. Exact description and data fitting of ion-implanted dopant profile evolution during anneling/ //. Appl. Phys. Lett., 45 (8), 1984, pp.881−883.
- Тихонов А.Н., Самарский А. А. Уравнения математической физики/ //. М.: Наука., 1977. с. 730.
- Боднарь О.Б. Неразрушающие методы определения параметров диффузии примеси в твердом теле/ Боднарь О. Б. Монография.- М.: «Машиностроение-1», 2004 г.- 90 с.
- Боднарь О.Б. Диффузионные параметры азота в ионно-имплантированных монокристаллах вольфрама/ Боднарь О. Б., Аристова И. М., Мазилкин А. А., Чайка А. Н., Пронина JI.H., Попов П.Ю.//. Физика твердого тела.- т.48, вып.1,2006.- С.12−16.
- Bodnar O.B., Zamalin E.Yu., Borodko V. N. Simulation of Near-Surface Diffusion of Boron in Ion-Doped Silicon/ //. Russian Microelectronics. Vol.26, N5,1997, pp.370−375
- A. Anttila, J. Keinonen //, Appl. Phys. Lett., 33 (1978), p. 394.
- T.C. Reuther, M.R. Achter //, Metall. Trans., 1, 1777, (1970).
- J. Gyulai: in Handbook of ion implantation and technology! //, Ed. J.F. Ziegler Elsiver Science Publishers (1992), p. 69
- M.W. Guinan, R.N. Stuart, R.J. Borg // Phys. Rev. B, Vol.15, 2, p. 699−710, (1977)
- D.H. Tsai / D.H. Tsai, R. Bullough, R.C. Perrin, J. Phys. // Solid St. Phys.- Vol. 3, 1970.-p.p. 2022−2036.
- Бокштейн Б.С. Термодинамика и кинетика диффузии в твердых телах, / Бокштейн Б. С., Бокштейн С. З., Жуховицкий А.А.- М., Металлургия, 1974.280 с.
- Bodnar О.В. «Identification of secondary radiation defects in Si means of diffusion data»/ Bodnar O.B., Zamalin E.Yu., Y.M. Mukovskii.// 17 General Conference of the CONDENSER MATTER DIVISION European Physical Society.- 25−29 August, 1998.- p. 189.
- Бару В.Г., Волькенштейн Ф. Ф. «Влияние облучения на поверхностные свойства полупроводников» / Бару В. Г., Волькенштейн Ф. Ф. М.: Наука, 1978.-288 с.
- Аброян И.А."Физические основы электронной и ионной технологии» / Аброян И. А., Адронов А. Н., Титов А. И. М.: Высшая школа, 1984.- 320 с.
- Кузнецов Н.В. «Радиационная стойкость кремния» / Кузнецов Н. В. Соловьев Г. Г. М.: Энергоатомиздат, 1989.- 96 с.
- Бургуен Ж. «Точечные дефекты в полупроводниках. Экспериментальные аспекты» / Бургуен Ж., Ланно М. М.: Мир, 1985.- 432 с.
- Kimeling L.C. «Defect studies in Electron-Bombarded Silicon: Capacitance transient analysis Radiation Effects in Semiconductors"/ Kimeling L.C. // Conf. 1976. London-Bristol: Institute of Physics, 1977.- pp. 221- 230.
- Боднарь О.Б. Идентификация радиационного дефекта по диффузионным данным/ Боднарь О. Б., Замалин Е. Ю. //- «Поверхность».- М. изд. РАН.- № 8 1999, — с.62−65.
- Боднарь О.Б. Методы определения параметров твердофазной диффузии/ Боднарь О. Б. // Электромагнитные волны. Электронные системы.-2006,-т.11.-№ 7−8.
- Кремер Н.Ш. Теория вероятностей и математическая статистика/ Кремер Н. Ш. М.: ЮНИТИ-ДАНА, 2001.-543 с.