Помощь в написании студенческих работ
Антистрессовый сервис

Создание государственных стандартных образцов и методик измерения модуля упругости и коэффициента трения для контроля и сертификации наноструктурных покрытий

Диссертация: Создание государственных стандартных образцов и методик измерения модуля упругости и коэффициента трения для контроля и сертификации наноструктурных покрытий
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

В последние годы ведущими производителями научно-исследовательского оборудования были разработаны высокоточные приборы (средства измерений) для количественного измерения и комплексной интерпретации на микрои наноуровне механических и трибологических свойств наноструктурных материалов и покрытий на основе методов измерительного индентирования, царапания (адгезионные испытания) и скольжения… Читать ещё >

Создание государственных стандартных образцов и методик измерения модуля упругости и коэффициента трения для контроля и сертификации наноструктурных покрытий (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Содержание

  • Глава 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР
    • 1. 1. Структура, свойства и области применения многофункциональных ^ наноструктурных покрытий (МНП)
      • 1. 1. 1. Твердые износостойкие покрытия
      • 1. 1. 2. Самосмазывающиеся покрытия
      • 1. 1. 3. Жаростойкие покрытия
      • 1. 1. 4. Коррозионно-стойкие покрытия
      • 1. 1. 5. Биоактивные покрытия
      • 1. 1. 6. Многослойные тепловыделяющие наноструктурные покрытия
    • 1. 2. Получение МНП методом магнетронного распыления
      • 1. 2. 1. Магнетронное распыление однокомпонентных металлических мишеней
      • 1. 2. 2. Магнетронное распыление многокомпонентных СВС-мишеней
      • 1. 2. 3. Магнетронное распыление при одновременной ионной имплантации
      • 1. 2. 4. Магнетронное распыление в установках с импульсным питанием и сложной конфигурацией магнитных полей
    • 1. 3. Современные методы исследования структуры и состава наноструктурных покрытий
      • 1. 3. 1. Рентгеноструктурный фазовый анализ и электронная микроскопия
      • 1. 3. 2. Анализ спектров рассеяния электромагнитного излучения
      • 1. 3. 3. Оптическая интерференционная профилометрия и сканирующая зондовая микроскопия
    • 1. 4. Современные методы исследования механических и трибологических свойств наноструктурированных покрытий
      • 1. 4. 1. Контактная задача теории упругости и ее
  • приложения
    • 1. 4. 2. Измерительное индентирование (испытания вдавливанием)
    • 1. 4. 3. Измерительное царапание (адгезионные испытания)
    • 1. 4. 4. Измерительное скольжение (трибологические испытания)
      • 1. 4. 4. 1. Физическая модель фрикционного контактного взаимодействия
      • 1. 4. 4. 2. Износ. Основные термины
      • 1. 4. 4. 3. Виды износа
      • 1. 4. 5. Испытания при циклическом ударе
    • 1. 5. Обеспечение единства измерений механических и трибологических свойств наноструктурированных поверхностей
      • 1. 5. 1. Средства измерений
        • 1. 5. 1. 1. Классификация средств измерений
        • 1. 5. 1. 1. 1 Стандартные образцы
        • 1. 5. 1. 2. Метрологические характеристики средств измерений
        • 1. 5. 1. 3. Поверка и сертификация средств измерений
      • 1. 5. 2. Средства испытаний
      • 1. 5. 3. Нормативно-техническая документация (НТД) в метрологии
    • 1. 6. Постановка задачи
  • Глава 2. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
    • 2. 1. Обоснование выбора материалов для создания стандартных образцов и описание объектов исследования
    • 2. 2. Приготовление экспериментальных образцов
      • 2. 2. 1. Подготовка подложек
      • 2. 2. 2. Осаждение покрытий
        • 2. 2. 2. 1. Осаждение однослойных наноструктурных покрытий Ti-C-Ca-P-0-N и Ti-Cr-B-N различной толщины
        • 2. 2. 2. 2. Осаждение многослойных наноструктурных покрытий Ti-Al с толщиной слоя менее 100 нм
    • 2. 3. Методы исследования
      • 2. 3. 1. Оптическая профилометрия
      • 2. 3. 2. Измерительное индентирование
      • 2. 3. 3. Измерительное царапание
      • 2. 3. 4. Измерительное скольжение
      • 2. 3. 5. Вторично-ионная масс-спектрометрия (ВИМС) и оптическая эмиссионная спектроскопия тлеющего разряда (ОЭСТР)
  • Глава 3. РАЗРАБОТКА МЕТОДИК ИЗМЕРЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИХ И
  • ТРИБОЛОГИЧЕСКИХ СВОЙСТВ НАНОМАТЕРИАЛОВ
    • 3. 1. Разработка методик измерения твердости, модуля упругости и коэффициента трения и износа наноматериалов
  • ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТ
  • Глава 4. ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЧЕСКИХ И ТРИБОЛОГИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ОДНОСЛОЙНЫХ НАНОСТРУКТУРНЫХ ПОКРЫТИЙ
  • Ti-C-Ca-P-0-N И Ti-Cr-B-N
    • 4. 1. Контроль толщины получаемых наноструктурных покрытий
    • 4. 2. Шероховатость поверхности исходных подложек и получаемых наноструктурных покрытий. ^
    • 4. 3. Влияние толщины получаемых наноструктурных покрытий на твердость и модуль упругости. ^
    • 4. 4. Влияние материала подложки на твердость и модуль упругости получаемых наноструктурных покрытий. ^
    • 4. 5. Влияние материала подложки на адгезионную/когезионную прочность получаемых наноструктурных покрытий
    • 4. 6. Трибологические свойства исходных подложек
    • 4. 7. Влияние материала подложки и условий испытаний на коэффициент трения и износ получаемых наноструктурных покрытий. ^
  • Глава 5. ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЧЕСКИХ И ТРИБ О ЛОГИЧЕСКИХ СВОЙСТВ МНОГОСЛОЙНЫХ НАНОСТРУКТУРНЫХ ПОКРЫТИЙ ТьА
    • 5. 1. Механических свойства многослойных наноструктурных покрытий Т1-А
    • 5. 2. Трибологические свойства многослойных наноструктурных покрытий «» ТьА
  • Глава 6. РАЗРАБОТКА И АТТЕСТАЦИЯ ГОСУДАРСТВЕННЫХ СТАНДАРТНЫХ ОБРАЗЦОВ МЕХАНИЧЕСКИХ И ТРИБОЛОГИЧЕСКИХ СВОЙСТВ
    • 6. 1. Методика аттестации Государственных стандартных образцов модуля упругости и коэффициента трения скольжения наноматериалов. ^
      • 6. 1. 1. Установление аттестованного значения
      • 6. 1. 2. Исследование однородности
      • 6. 1. 3. Исследование стабильности
      • 6. 1. 4. Стандартная суммарная неопределенность аттестованного значения
      • 6. 1. 5. Расширенная неопределенность аттестованного значения
    • 6. 2. Разработка и аттестация Государственного стандартного образца модуля упругости наноматериала. ^
    • 6. 3. Разработка и аттестация Государственных стандартных образцов коэффициента трения скольжения нанокристаллического материала. ^
  • ВЫВОДЫ

Научно-технологическая революция в XXI веке, в первую очередь, связана с разработкой и внедрением нанотехнологий и наноматериалов, которые изменят все сегменты промышленности и приведут к качественному скачку в уровне жизни общества. Характеристики поверхности наноматериалов во многом определяют их химические, механические, оптические и трибологические свойства, так как именно поверхность или тонкий приповерхностный слой испытывают основные внешние воздействия. Поэтому аттестация поверхностных слоев с использованием современных методов исследования приобретает особое значение в связи с активизацией работ в области наноструктурных материалов и покрытий. Исследование и контроль свойств, в том числе механических (твердость, модуль упругости, адгезионная/когезионная прочность) и трибологических (коэффициент трения, износ), играет первоочередную роль для конструирования новых наноматериалов и наноструктурных покрытий, а также позволяет прогнозировать возможные механизмы их деформации и разрушения.

В последние годы ведущими производителями научно-исследовательского оборудования были разработаны высокоточные приборы (средства измерений) для количественного измерения и комплексной интерпретации на микрои наноуровне механических и трибологических свойств наноструктурных материалов и покрытий на основе методов измерительного индентирования, царапания (адгезионные испытания) и скольжения (трибологические испытания). Для метрологически корректных измерений и коммерциализации изделий наноиндустрии требуются поверенные и калиброванные средства измерений, в том числе стандартные образцы, предназначенные для применения в системе обеспечения единства измерений для поверки, калибровки, контроля метрологических характеристик средств измерений при проведении их испытаний, метрологической аттестации методик измерений, контроля стабильности результатов измерений, а также аттестованные методики измерений.

Поэтому одной из актуальных проблем является создание государственных стандартных образцов и методик измерения механических и трибологических свойств для контроля и сертификации наноструктурных материалов и покрытий.

В данной работе разработаны и аттестованы методики измерения механических (твердость, модуль упругости) и трибологических (коэффициент трения и износ) свойств наноматериалов при измерительном индентировании и скольженииисследованы механические и трибологические свойства полученных методом ионно-плазменного осаждения однослойных наноструктурных покрытий ТьС-Са-Р-О-М (для биомедицинских применений), ТьСг-В-К (твердых износостойких) и многослойных тепловыделяющих Т1/А1 на различных подложкахопределено влияние материала подложки, условий испытаний и толщины наноструктурных покрытий Т1-С-Са-Р-0-Ы, Тл-Сг-В-Ы и ИА1 на их механические и трибологические свойства. Показано преимущество наноструктурных материалов и покрытий при создании стандартных образцов механических и трибологических свойств. По результатам проведенных исследований разработаны, аттестованы и внесены в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений три методики измерения механических (твердость, модуль упругости) и трибологических (коэффициент трения, износ) свойств наноматериалов и три Государственных стандартных образца (ГСО) модуля упругости и коэффициента трения наноматериалов, предназначенные для применения в системе обеспечения единства измерений для поверки, калибровки, контроля метрологических характеристик средств измерений при проведении их испытаний, в том числе с целью утверждения типаметрологической аттестации методик измеренийконтроля стабильности результатов измерений в соответствии с установленными в методиках измерений алгоритмами.

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Экспериментально установлено, что для наноструктурных покрытий ТьС-Са-Р-0-]М, осажденных на различные подложки, существует интервал глубин вдавливания индентора, в котором модуль упругости имеет постоянные значения и не зависит от материала подложки и приповерхностных дефектов, что является необходимым условием для создания стандартного образца модуля упругости.

2. Выявлена зависимость адгезионной, когезионной прочности и характера разрушения наноструктурных покрытий от материала подложки, проявляющаяся в том, что адгезионная прочность покрытий ТьСг-В-Ы и И-С-Са-Р-О-Ы толщиной 1,8 мкм на подложках из плавленого кварца в 1,5 и 2,5 раза выше, чем на подложках из сапфира, что обусловлено влиянием напряжений, возникающих на границе «покрытие-подложка» вследствие 10-кратной разницы в средних значениях линейных коэффициентов теплового о # расширения этих подложек в интервале температур 25.200 С. Разрушение покрытия Т1-Сг-В-1Ч на подложке из сапфира происходит путем образования шевронных трещин, а на подложке из плавленого кварца — путем образования замкнутых (герцевских) трещин.

3. Установлена зависимость твердости многослойных наноструктурных покрытий 11-А1 толщиной 1,8 мкм от толщины отдельного слоя в диапазоне от 7 до 130 нм, выражающаяся в резком росте твердости покрытий с толщиной отдельного слоя менее 35 нм за счет увеличения числа межслойных границ, что делает нецелесообразным использование таких многослойных покрытий для создания стандартных образцов из-за сильной зависимости толщины отдельного слоя (а следовательно, и твердости) от технологических параметров осаждения.

4. Предложены на основании проведенных исследований системы «подложка-покрытие» для создания Государственных стандартных образцов модуля упругости и коэффициента трения наноматериалов.

Практическая значимость работы.

1. Разработаны, аттестованы и внесены в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений (раздел «Сведения об аттестованных методиках (методах) измерений») три методики измерения механических (твердость, модуль упругости) и трибологических (коэффициент трения, износ) свойств наноматериалов, в том числе:

— «Методика выполнения измерений модуля упругости (модуля Юнга) Е и упругого восстановления R на нанотвердомере „Nano-Hardness Tester“ фирмы CSM (Швейцария). МВИ УПР/09» (ФР.1.28.2010.7 502);

— «Методика выполнения измерений твердости на нанотвердомере „Nano-Hardness Tester“ фирмы CSM (Швейцария). МВИ Тв/09» (ФР.1.28.2010.7 810);

— «Методика выполнения измерений коэффициента трения f и износа I на трибометре „Tribometer“ фирмы CSM (Швейцария). МВИ КТИ/10» (ФР.1.28.2010.7 504).

2. Разработаны, аттестованы и внесены в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений (раздел «Сведения об утвержденных типах стандартных образцов») три Государственных стандартных образца (ГСО), в том числе:

— ГСО модуля упругости наноматериала (МУ НМ) с аттестованным значением 202 ГПа и относительной расширенной неопределенностью аттестованного значения 9,8% (№ 9451−2009 в Госреестре);

— ГСО коэффициента трения скольжения нанокристаллического материала (КТ-НКМ-0,25) с аттестованным значением 0,194 и относительной расширенной неопределенностью аттестованного значения 8% (№ 9651−2010 в Госреестре);

— ГСО коэффициента трения скольжения нанокристаллического материала (КТ-НКМ-0,65) с аттестованным значением 0,685 и относительной расширенной неопределенностью аттестованного значения 6% (№ 9652−2010 в Госреестре).

Разработанный Государственный стандартный образец (ГСО) модуля упругости (МУ НМ-1), № 9451−2009 в Госреестре, был приобретен компанией ЗАО «Ниеншанц», являющейся эксклюзивным дистрибьютором измерительного оборудования фирмы CSM Instruments (Швейцария) в России, и вошел в комплектацию серийно выпускаемого нанотвердомера «Nano-Hardness Tester» .

Апробация работы.

Материалы, изложенные в диссертационной работе, были доложены на II Всероссийской конференции «Многомасштабное моделирование процессов и структур в нанотехнологиях», 28−30 мая 2009 г., Москва, МИФИВтором международном форуме по нанотехнологиям «Rusnanotech'09», 6−8 октября 2009 г., МоскваXXI Всероссийском совещании по температуроустойчивым функциональным покрытиям, 26−28 апреля 2010 г., Санкт-ПетербургXIV Национальной конференции по росту кристаллов и IV Международной конференции «Кристаллофизика XXI века», посвященной памяти М. П. Шаскольской, 6−10 декабря 2010 г., Москва, ИК РАНIII Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «Стандартные образцы в измерениях и технологиях», 12−17 сентября 2011 г., Екатеринбург, ФГУП «УНИИМ» ,.

Публикации.

По материалам диссертации опубликованы 3 статьи в рецензируемых журналах, рекомендованных ВАК:

1. Левашов Е. А., Штанский Д. В., Кирюханцев-Корнеев Ф.В., Петржик М. И., Тюрина М. Я., Шевейко А. Н. Многофункциональные наноструктурные покрытия: получение, структура и обеспечение единства измерений механических и трибологических свойств // Деформация и разрушение материалов. -М., 2009.-№ 11.-С.19−36.

2. Левашов Е. А., Петржик М. И., Тюрина М. Я., Кирюханцев-Корнеев Ф.В., Цыганков П. А., Рогачев A.C. Многослойные наноструктурные тепловыделяющие покрытия. Получение и аттестация их механических и трибологических свойств // Металлург.- -М., 2010.-№ 9.-С.66−74.

3. С. Н. Григорьев, В. Ю. Фоминский, Р. И. Романов, Г. Г. Калустян, М. Я. Бычкова. Влияние режимов импульсного лазерного осаждения на трибомеханические свойства тонко пленочных покрытий Mo-Se-Ni-C // Упрочняющие технологии и покрытия. -М., 2011.-№ 9.-С.23−31.

Достоверность результатов.

Достоверность результатов диссертационной работы подтверждается проведением исследований в аккредитованной Испытательной лаборатории функциональных поверхностей (ИЛФП) НИТУ «МИСиС» с использованием современного высокотехнологического оборудования, сертифицированных и поверенных средств измерений, аттестованных методик измерений, а также применением статистических методов обработки данных.

Диссертация состоит из введения, 6 глав, выводов, списка использованных источников и трех приложений. Объем диссертации составляет 131 страницу, включая 20 таблиц и 51 рисунок.

Список использованных источников

состоит из 141 наименования.

выводы.

1. Разработаны, аттестованы и внесены в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений (раздел «Сведения об аттестованных методиках (методах) измерений») три методики измерений механических и трибологических свойств.

2. Методом магнетронного распыления многокомпонентных СВС-мишеней получены однослойные наноструктурные покрытия Тл-С-Са-Р-О-К и И-Сг-В-Ы различной толщины в диапазоне 100 нм — 3 мкм и многослойные покрытия Т1-А1 с толщиной отдельного слоя 7 -130 нм с использованием однокомпонентных элементных мишеней.

3. Установлены закономерности влияния материала подложки, условий испытаний и толщины наноструктурных покрытий П-С-Са-Р-О-Ы и ТьСг-В-Ы на их механические и трибологические свойства:

— для наноструктурных покрытий Тл-С-Са-Р-О-Ы, осажденных на различные подложки, существует интервал глубин вдавливания индентора, в котором модуль упругости Е постоянен (Е=202 ГПа ± 9,8%) и не зависит от материала подложки и приповерхностных дефектов, что является необходимым условием для создания стандартного образца модуля упругости. Минимальная толщина покрытия для корректной оценки твердости и модуля упругости составляет 500 нм.

— коэффициент трения скольжения? наноструктурных покрытий ТьС-Са-Р-О-Ы в паре с контртелом из АЬОз и И-Сг-В-И в паре с контртелом из УС-6%Со практически не зависит от материала подложки и при определенных условиях испытаний (нагрузка — 1 Н, линейная скорость 5. 10 см/с, схема «стержень — диск») составляет Г=(0,194 ± 8%) и Г=(0,685 ± 6%), соответственноадгезионная/когезионная прочность и характер разрушения получаемых наноструктурных покрытий в сильной мере зависят от материала подложки, а именно: адгезионная прочность покрытий Т1-Сг-В-Ы и «П-С-Са-Р-О-Ы толщиной 1,8 мкм на подложках из плавленого кварца в 1,5 и 2,5 раза выше, чем на подложках из сапфира, что обусловлено влиянием напряжений, возникающих на границе „покрытие-подложка“ вследствие 10-кратной разницы в средних значениях линейных коэффициентов теплового расширения плавленого кварца (а=0,58'10″ 6 К» 1) и сапфира (ои.=5,0−10~6 К" 1) в интервале температур 25.200°С. Разрушение покрытия ТьСг-В-К на подложке из сапфира происходит путем образования шевронных трещин, а разрушение покрытия на подложке из плавленого кварца — путем образования замкнутых (герцевских) трещин.

4. На основании результатов проведенных исследований дано обоснование выбора материалов для создания стандартных образцов (СО):

— наиболее перспективными для создания СО модуля упругости выбраны однослойные наноструктурные покрытия ТьС-Са-Р-О-Ы толщиной 1,8 мкм на подложках из плавленого кварца, поскольку они имеют самый протяженный по глубине вдавливания интервал постоянных значений модуля упругости (80−200 нм (4,5−11% от толщины покрытия)), а для СО коэффициента трения — наноструктурные покрытия 'П-С-Са-Р-О-И и Тл-Сг-В-Ы толщиной 1,8 мкм на подложках из микроструктурированного титана как обладающие наибольшей адгезионной прочностью.

5. Разработаны, аттестованы и внесены в Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений (раздел «Сведения об утвержденных типах стандартных образцов») три Государственных стандартных образца: ГСО модуля упругости наноматериала (МУ НМ), ГСО коэффициента трения скольжения нанокристаллического материала (КТ-НКМ-0,25) и (КТ-НКМ-0,65) с низким и высоким коэффициентом трения, соответственно. * *.

Автор выражает глубокую признательность к.т.н., ст.н.с. Петржику Михаилу Ивановичу за проявленные терпение и доброжелательность при руководстве диссертационной работой, а также всему коллективу кафедры ПМиФП и научно-учебного центра СВС и лично заведующему кафедрой ПМиФП, директору НУЦ СВС, д.т.н., проф. Левашову Евгению Александровичу за прекрасную рабочую атмосферу.

Автор благодарен коллективу Межкафедральной учебно-испытательной лаборатории полупроводниковых материалов и диэлектриков «Монокристаллы и заготовки на их основе» (ИЛМЗ) НИТУ «МИСИС» и лично заведующей ИЛМЗ, ст.н.с., к.ф.-м.н. Козловой Нине Семеновне за оказанную помощь на всех этапах работы.

Показать весь текст

Список литературы

  1. Leyland A., Matthews A. On the significance of the H/E ratio in wear control: a nanocomposite coating approach to optimised tribological behaviour // Wear. 2000. — V. 246. — P. 1−11.
  2. Д. В., Кулинич С. А., Левашов Е. А., Мур Дж.Дж. Особенности структуры и физико-механических свойств наноструктурных тонких пленок // ФТТ. 2003. -Т. 45, № 6.-С. 1122−1129.
  3. Shtansky D. V., Lyasotsky I. V., Levashov E. A. et al. Comparative Investigation of Ti-Si-N Films Magnetron Sputtered Using Ti5Si3 + Ti and Ti5Si3 + TiN Targets // Surf. Coat. Technol. 2004. — V. 182. — P. 210−220.
  4. Shtansky D. V., Kiryukhantsev-Korneev Ph. V., Levashov E. A. et al. Hard tribological Ti-Cr-B-N coatings with enhanced thermal stability, corrosion- and oxidation resistance // Surf. Coat. Technol. 2007. — V. 202. — P. 861−865.
  5. Kim K.H., Choi S., Yoon S. Superhard Ti-Si-N coatings by hybrid system of arc ion plating and sputtering techniques // Surf. Coat. Techn. 2002. — V. 298. — P. 243−248.
  6. Veprek S. J. The search for novel, superhard materials // Vac. Sci. Technol. 1999. — V. 5. -P. 2401−2418.
  7. Veprek S., Veprek-Heijman M. G. J., Karvankova P., Prochazka J. Different approaches to superhard coatings and nanocomposites // Thin Solid Films. 2005. — V. 476. — P. 1−29.
  8. Кирюханцев-Корнеев Ф. В., Штанский Д. В., Левашов Е. А. и др. Структура и свойства Ti-Si-N покрытий, полученных магнетронным распылением СВС-мишеней // Физика металлов и металловедение. 2004. — Т. 97, № 3. — С. 96−103.
  9. Д. В., Кирюханцев-Корнеев Ф. В., Левашов Е. А. и др. Структура и свойства покрытий Ti-B-N, Ti-Cr-B-(N) и Cr-B-(N), полученных магнетронным распылением СВС-мишеней // ФТТ. 2005. — Т. 47, № 2. — С. 242−251.
  10. Tribological behaviour of homogeneous Ti-B-N, Ti-B-N-C and TiN/h-BN/TiB2 multilayer coatings/ T. P. Mollart, J. Haupt, R. Gilmore, W. Gissler // Surf. Coat. Technol. 1996. -V. 86−87.-P. 231−236.
  11. Characterization of nanostructured multiphase Ti-Al-B-N thin films with extremely small grain size/ D. V. Shtansky, K. Kaneko, Y. Ikuhara, E. A. Levashov // Surf. Coat. Technol. -2001.-V. 148.-P. 206−215.
  12. Optimization of PVD Parameters for the Deposition of Ultra Hard Ti-Si-B-N Coatings/ D. V. Shtansky, E. A. Levashov, A. N. Sheveiko, J. J. Moore // J. Mater. Synth. Process. 1999-V. 7, N 3. — P. 187−193.
  13. Hard Tribological Ti-B-N, Ti-Cr-B-N, Ti-Si-B-N and Ti-Al-Si-B-N Coatings / D. V. Shtansky, A. N. Sheveiko, E. A. Levashov et al. // Surf. Coat. Technol. 2005. — V. 200, — P. 208 212.
  14. J. Musil, M. Jirout. Toughness of hard nanostructured ceramic thin films // Surf. Coat. Technol. 2007. — V. 201.- N. 1 -4. — P. 5148−5152.
  15. Voevodin A. A., Zabinski J. S. Nanocomposite and nanostructured tribological materials for space applications//Composites Science and Technology. 2005. — V. 65. — P. 741−748.
  16. Temperature dependence of tribological properties of MoS2 and MoSe2 coatings / T. Kubart, T. Polcar, L. Kopecky et al. // Surf. Coat. Technol. 2005. — V. 193. — P. 230−233.
  17. Е. А., Штанский Д. В. Многофункциональные наноструктурные пленки // Успехи химии. 2007. — Т. 76, № 5. — С. 501−509.
  18. Microstructure effect on the high-temperature oxidation resistance of Ti-Si-N coating layers J. B. Choi, C. Kurn, Y. Kim et al. // Jpn. J. Appl. Phys. 2003. — V. 2. — P. 6556−6559.
  19. C. Paternoster, A. Fabrizi, R. Cecchini, S. Spigarelli, Ph.V. Kiryukhantsev-Korneev, A. Sheveyko. Thermal Evolution and Mechanical Properties of Hard Ti-Cr-B-N and Ti-Al-Si-B-N Coatings // Surf. Coat. Technol. 2008. — V. 203. — P. 736−740.
  20. Д. В. Штанский, И. А. Башкова, Ф. В. Кирюханцев-Корнеев, А. Н. Шевейко, Е. А. Левашов, Д. Мур, Н. А. Глушанкова. Биоактивные керамические танталсодержащие пленки для имплантатов // Доклады РАН, т. 418, № 1, 2008, С.121−124.
  21. Ma, Е., Tompson, C.V., Clevenger, L.A., Tu, K.N. // Appl. Phys. Let. -1990. -Vol. 57(12).-P.1262.
  22. Pat. 5 538 795 US. Ignitable heterogeneous stratified structure for the propagating of an internal exothermic chemical reaction along an expanding wavefront and method of making same // Barbee, T.W., Weihs, Т. Jul. 23, 1996.
  23. , A.C. Волны экзотермических реакций в многослойных нанопленках // Успехи химии. 2008. — Т. 77, № 1. — С. 22−37.
  24. Swiston, A.J., Hufnagel, Т.С., Weihs, Т.Р. // Scripta Materialia. 2003. — Vol. 48. — P.1575.
  25. Duckham, A., Spey, S.J., Wang, J. et al. // J. Appl. Phys. 2004. — Vol. 96. — P. 2336.
  26. Wang, J., Besnoin, E., Knio, O.M., Weihs, Т.Р. // Acta Materialia. 2004. — Vol. 52. — P.5265.
  27. Swiston, A.J., Weihs, T.P., Hufnagel, Т. Pat. Application 20 070 023 489 US, Serial No. 342 450.-2006.
  28. Wang, J., Besnoin, E., Knio, O.M., Weihs, Т.Р. // J. Appl. Phys. 2005. — Vol. 97. — P. 114 307.
  29. Swiston, A.J., Besnoin E., Duckham A. et al. // Acta Materialia. 2005. — Vol. 53. — P.3713.
  30. В.Л., Шаньгин В. Ф. Электронная идентификация. Бесконтактные электронные идентификаторы и смарт-карты. -М.: ACT, 2004. -695 с.
  31. Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции. Под ред. Дж. Поута, К. Ту и Дж. Мейера- пер. с англ. под ред. В. Ф. Киселева, В. В. Поспелова. М.: Мир. 1982. — 567 с.
  32. , А.Э., Елистратов, Н.Г., Ковалев, Д.Ю. и др. // ДАН. 2001. — Т. 381. — С.368.
  33. , Н.Г., Носырев, А.Н., Хвесюк, В.И., Цыганков, П.А. // Прикладная физика.-2001.-Т. З.-С. 8.
  34. Chu, X., Wong, M.S., Spoul, W.D. et al. // J. Vac. Sci. Technol. 1992. — Vol. A. 10 (4). -P. 1604.
  35. Yashar, P.C., Sproul, W.D.//Vacuum. 1999.-Vol. 55. — P. 179.
  36. Lewis, A.C., Josell, D., Weihs, N.P. // Scripta Materialia. 2003. — Vol. 48. — P. 1079.
  37. Michaelsen, C., Lucadamo, G., Barmak, K. // J. Appl. Phys. 1996. — Vol. 80 (12). — P.6689.
  38. Blobaum, K.J., Van Heerden, D., Gavens, A.J., Weihs, T.P. // Acta Materialia. -2003. -Vol. 51.-P. 3871.
  39. , А.Э., Илларионова, E.B., Логинов, Б.А. и др. // Изв. вузов. Цветная металлургия. 2006. — № 5. — С. 31.
  40. Coelho, С., Ramos, A.S., Trindade, В. et al. // Surface & Coating Technology. 1999. -N 120/121.-P. 297.
  41. Lukadamo, G., Barmak, K., Lavoie, C. et al. // J. Appl. Phys. 2002. — Vol. 91 (12). — P.9575.
  42. Ramos, A.S., Calinas, R., Vieira, M.T. // Surface &Coating Technology. 2005. — Vol. 200.-P. 6196.
  43. , A.S., Vieira M.T. // Surface & Coating Technology. 2005. — Vol. 200. — P. 326.
  44. Gachon, J.-C., Rogachev, A.S., Grigoryan, H.E. et al. // Acta Materialia. 2005. — Vol. 53.-P. 1225.
  45. , И.Ю., Григорян, А.Э., Рогачев, A.C. и др. // Изв. РАН. Сер. физическая. -2007. Т. 71.-С. 278.
  46. Lukadamo, G., Barmak, К., Hyun, S. et al. // Materials Let. 1999. — Vol. 39. — P. 268.
  47. Rogachev, A.S., Gachon, J.-C., Weihs, T. Recent advances in multilayer nanofilm SHS. Abstracts book of VIII Int. symp. on self-propagating high-temperature synthesis (21−24 June 2005, Quartu S. Elena, Italy). P. 92.
  48. Reiss, M.E., Esber, C.M., Van Heerden, D. et al. // Materials Science and Engineering. -1999.-Vol.A261.-P. 217.
  49. Blobaum, K.J., Reiss, M.E., Plitzko J.M. et al. // J. Appl. Phys. 2003. — Vol. 94 (5). — P.2915.
  50. Blobaum, K.J., Wagner, A.J., Plitzko, J.M. et al. // J. Appl. Phys. 2003. — Vol. 94 (5). -P. 2923.
  51. , В.Г., Быкова, Л.Е. // ДАН. 1997. — Т. 354. -С. 777.
  52. , В.Г., Жигалов, B.C., Быкова, Л.Е., Мальцев, В.К. // ЖТФ. 1998. — Т. 68 (10).-С. 58.
  53. , В.Г., Ли, Л.А., Быкова, Л.Е. и др. // Физ. тверд, тела. 2000. — Т. 42 (5).1. С. 937.
  54. Ma, Е. // Materials Science and Engineering. 2005. -Vol. A398. — P. 60.
  55. , Я.Б., Франк-Каменецкий, Д.А. // Журн. физ. химии. 1938. — Т. 12. — С.100.
  56. Michaelsen, С., Barmak, К., Weihs, Т.Р. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1997. — Vol. 30. -P. 3167.
  57. , М.И., Левашов, E.A. Современные методы изучения функциональных поверхностей перспективных материалов в условиях механического контакта // Кристаллография. 2007. — Т. 52, № 6. — С. 1002−1010.
  58. Bull, S.J. Correlation between Mechanical Properties and Different Coating Architectures // Abstracts of the 12th Int. Ceramic Congress CIMTEC-2010 (Montecatini Terme, Tuscany, Italy, June 6−11,2010).-P. 87.
  59. E. А. Левашов, А. С. Рогачев, И. П. Юхвид и др. Физико-химические и технологические основы самораспространяющегося высокотемпературного синтеза. М.: БИНОМ, 1999.- 176 с.
  60. The structure and mechanical properties of Ti-Si-B coatings deposited by DC and pulsed-DC unbalanced magnetron sputtering / M. Audronis, A. Leyland, E. Levashov et al. // Plasma Process. Polym. 2007. — V. 4. — P. 687−692.
  61. Mechanical properties of Ti-B-C-N coatings deposited by magnetron sputtering / D. Zhong, E. Sutter, E.A. Levashov et al. // Thin Solid Films. 2001. — V. 398−399. — P. 320−325.
  62. W. Kulisch, P. Colpo, P.N. Gibson, G. Ceccone, D.V. Shtansky, E.A. Levashov, F. Rossi // ICP assisted sputter deposition of TiC/CaO nanocomposite films// Surface and Coatings Technology, Volumes 188−189, November-December 2004, P. 735−740.
  63. New types of multi-component hard coatings deposited by ARC PVD on steel pre-treated by pulsed plasma beams/ Z. Werner, J. Stanislawski, E. Levashov et al. // Vacuum. 2003. — V. 70.- P.263−267.
  64. Перспективы создания композитных износостойких пленок, получаемых с использованием СВС-катодов/ Д. В. Штанский, Е. А. Левашов, Н. Н. Хавский, Дж. Дж. Мур // Изв. вузов. Цв. металлургия. 1996. — № 1. — С. 59−68.
  65. Kelly P. J., Arnell R. D. Magnetron sputtering: a review of recent developments and applications // Vacuum. 2000. — V. 56. — P. 159−172.
  66. Teer D. G. Technical note: a magnetron sputter ion-plating system // Surf. Coat. Technol.- 1989. V. 39−40. — P. 565−572.
  67. Д.В. Просвечивающая электронная микроскопия высокого разрешения в нанотехнологических исследованиях // Рос. хим. журн. 2002. — Т. 46, № 5. — С. 81−89.
  68. Д. В., Левашов Е. А. Многокомпонентные наноструктурные тонкие пленки: проблемы и решения (обзор) // Изв. вузов. Цв. Металлургия. 2001. — № 3. — С. 5262.
  69. D.V. Shtansky, S.A. Kulinich, Е.А. Levashov, A.N. Sheveiko, F.V. Kiriuhancev and J.J.Moore. Localized Deformation of Multicomponent Thin Films // Thin Solid Films, 2002, V. 420−421, P. 330−337.
  70. Thermal stability and oxidation resistance of Ti-B-N, Ti-Cr-B-N, Ti-Si-B-N and Ti-Al-Si-B-N films / Ph. V. Kiryukhantsev-Korneev, D. V. Shtansky, E. A. Levashov et al. // Surf. Coat. Technol. 2007. — V. 201. — P. 6143−6147.
  71. H.R. // Zeitschrift fur die reine und angewandte Mathematik. 1882. № 92. P. 156.
  72. Л., Лифшиц M. Теория упругости. М.: Наука, 1987. 248 с.
  73. G.M. // Proc.Inst. Mech. Engrs. 1983. V. C197. P.53.
  74. Musil J., Zeman H, Kunc F., Vlcek J. // J./Mater. Sci. Eng. 2002. V. A340, Iss. 1−2. P.281.
  75. Veprek S., Mukherjee S., Mannling H.-D., He J.L. // Hertzian analysis of the self-consistency and reliability of the indentation hardness measurements on superhard nanocomposite coatings // Thin solid films. 2003.V. A436, Iss.2. P.292.
  76. B.C. Механические свойства металлов: M.: МИСиС, 1998, 400 с.
  77. ISO 14 577−1-4:2002. Metallic materials. Instrumented indentation test for hardness and materials parameters.
  78. Oliver W.C., Pharr G.M. An improved technique for determining hardness and elastic modulus using load and displacement sensing indentation experiments // J. Mater. Res. 1992. N.7. P.1564.
  79. С.И., Алехин В. П. Испытание материалов непрерывным вдавливанием индентора: М.: Машиностроение, 1990. 224 с.
  80. v., Popov M., Lvova N., Gogolinsky K., Reshetov V. / J. Mater. Res. 1997. V.12.1. P.3109.
  81. G.M. // Mater.Sci. Eng.A. 1998. V.253. P. 151.
  82. М.И., Филонов M.P., Печёркин К. А. и др. // Изв. вузов. Цв. металлургия. 2005, № 6, С. 62.
  83. М.И. Петржик, Е. А. Левашов. Современные методы изучения функциональных поверхностей перспективных материалов в условиях механического контакта // Кристаллография, том 52, № 6, С. 1002−1010.
  84. Shtansky D.V., Sheveiko A.N., Petrzhik M.I., et.al. //. Surface and Coatings Technology. 2005, V.200,. P.208.
  85. Теория трения, износа и проблемы стандартизации / Броновец М. А., Добычин М. Н., Зеленская М. Н. и др. -Брянск: Приокское книжное издательство, 1978.
  86. И.В., Добычин М. Н., Комбалов B.C. Основы расчетов на трение и износ. -М.: Машиностроение, 1977.
  87. Экспериментальное исследование параметров контакта цилиндра, покрытого слоем полимера / Старжинский В. Е., Дорошкина Т. А., Можаровский В. В. и др. // Механика полимеров. -1977. -№ 2. -С.344−346.
  88. И.Г. Механика фрикционного взаимодействия. -М.:Наука, 2001.
  89. М., Васантасри В., Сидки П. Металлические и керамические покрытия. -М.: Мир, 2000.
  90. Д.Н. Триботехника. Износ и безызносность. -М.:МСХА, 2001.
  91. Г. А. Производство спеченных изделий.-М.Металлургия, 1982.117K.-D. Bouzakis, N. Vidakis, Т. Leyendecker, 0. Lemmerb, H.-G. Fuss, G. Erkens.
  92. Determination of the fatigue behaviour of thin hard coatings using the impact test and a FEM simulation // Surface and Coatings Technology.- 1996.-V.86−87.- P. 549−556.
  93. Федеральный Закон от 26.06.2008 № 102-ФЗ «Об обеспечении единства измерений».
  94. РМГ 29−99 ГСИ. Метрология. Основные термины и определения.
  95. Р50.2.056−2007 ГСИ. Образцы материалов и веществ стандартные. Термины и определения.
  96. ГОСТ 8.315−97 ГСИ. Стандартные образцы состава и свойств веществ и материалов. Основные положения.
  97. ГОСТ 8.009−84 ГСИ. Нормируемые метрологические характеристики средств измерений.123 http://ru.wikipedia.org/wiki/%D1%F0%E5%E4%F1%F2%E2%EE%E8%E7%EC%E5%F0%E5%ED%E8%E9.
  98. ГОСТ 16 504–81. Испытания и контроль качества продукции. Основные термины и определения.
  99. ГОСТ Р 8.563−96 ГСИ. Методики выполнения измерений.
  100. ГОСТ 15 130–86. Стекло кварцевое оптическое. Общие технические условия.
  101. ГОСТ 19 658–81 Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия.
  102. ГОСТ 8.207−76 ГСИ. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений.
  103. ГОСТ Р 5725−1+6−2002. Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений.
  104. РМГ 61−2003 ГСИ. Показатели точности, правильности, прецизионности методик количественного химического анализа. Методы оценки.
  105. Р 50.2.058−2007 ГСИ. Оценивание неопределенностей аттестованных значений стандартных образцов.137 129 ГОСТ 28 076–89. Газотермическое напыление. Термины и определения.
  106. С.И. тепловое расширение твердых тел. М.: Наука, 1974, 294 с. 139 http://heraeus-quarzglas.com/en/qiiarzglas/thermalproperties/Thermal ргорегНез.азрх.140 http://www.elektrosteklo.ru/A1203 rus.htm.
  107. МИ 2838−2003 Рекомендация. ГСИ. Стандартные образцы состава и свойств веществ и материалов. Общие требования к программам и методикам аттестации
Заполнить форму текущей работой

Сессия? Спокойно!