Получение твердых растворов GalnAsP на подложках пористого фосфида индия
Диссертация
Ратушный В. И., Мышкин A. JL, Олива Э. В., Шишков М. В. Разработка технологических режимов процесса ЗПГТ для получения слоев многокомпонентных твердых растворов соединений А3В5. Новые методы теоретических и экспериментальных исследований материалов, приборов и технологий: //Сб. науч. тр. Волгодонский ин-т ЮРГТУ. -Новочеркасск: ЮРГТУ, 2001. — С. 76−79. В заключении я хочу выразить благодарность… Читать ещё >
Список литературы
- И. История и будущее полупроводниковых гетероструктур. // ФТП. 1998. т. 32. № 1 с. 3−18
- VLSI Electronics: Microstructure Science. Eds. Einspruch N.G., Wisselman W.R. v. l 1. (GaAs Microelectronics), Academic Press. Orlando San Diego — New York — London — Toronto — Sydney — Tokyo. 1995.
- H.Fujikura, A. Liu, A. Hamamatsu, T. Sato, H. Hasegawa Electrochemical Formation of Nanometer-Sized Straight Pore Arrays on (001) InP Surfaces //Jp. J. Appl. Phys. 2000. V.39. P.4616.
- Лозовский B.H., Лунин Л. С. Пятикомпонентные твердые растворы соединений AIIIBV (Новые материалы оптоэлектроники). Ростов н/Д: Издательство Ростовского университета, 1992, 193 с.
- Shim К., Rabitz Н. Electronic and structural properties of the pentanary alloys Gaxln 1 -xPy Sbz As 1 -y-z// J. of Appl. Phys. V. 85 (1999), P. 7705−7715.
- A.Uhler// Bell Syst. Tech. J.-1956, v.35, p.333.
- А.И.Белогорохов, В. А. Караванский, А. Н. Образцев, В.Ю.Тимошенко// Письма в ЖТФ-1994, № 60, с. 274.
- P.Shmuki, L.E.Erikson, D.J.Lockwood, B.F.Mason, J.W.Fraser, G. Champion, H.J.Lable. Predefined Initiation of Porous GaAs Using Focused Ion Beam Surface Sensitization//! Electrochem. Soc. -1999,v.l46, p.735.
- P.Schmuki, L. Santinacci, T. Djenzian and D.J.Lockwood. Pore formation on n-InP. Phys. Stat. Sol (a), 2000, v. l82, № 51, p. 51−61.
- Гуляев Ю.В., Дворянкина Г. Г., Дворянкин В. Ф. Молекулярно-лучевая эпитакеия перспективный метод получения интегрально-оптических устройств // Квантовая электроника. — 1989. — т. 7, № 1. — С. 5.
- J.R. Arthur. Molecular beam epitaxy.// Surface Science, 500 (2002), p. 189−217
- Херман M. Полупроводниковые сверхрешетки: Пер. с англ.- М.: Мир, 1989.- 240 с.
- Уфимцев В.Б., Акчурин Р. Х. Физико-химические основы жидкофазной эпитаксии.- М.: Металлургия, 1983. 224 с.
- Лозовский В.Н., Лунин Л. С., Попов В. П. Зонная перекристаллизация градиентом температуры полупроводниковых материалов. М: Металлургия, 1987, 232 с.
- Кузнецов В.В., Москвин П. П., Сорокин B.C. Неравновесные явления при жидкостной гетероэпитаксии полупроводниковых твердых растворов. М.: Металлургия, 1991, 175 с.
- Горюнова Н.А. Сложные алмазоподобные полупроводники.- М.: Сов. радио, 1988, 266 с
- Chang К.Н., Gibala R., Srolovitz D.J. Crosshatched surface morphology in strained III-V semiconductor films // J. Appl. Phys. 67 (1990), P. 4093−4098.
- Вигдорович B.H., Селин A.A., Ханин B.A. Анализ зависимости свойств от состава для пятикомпонентных твердых растворов // Изв. АН СССР. Неорган, материалы. 1982.- т. 18, № 10. — С. 1697−1699.
- Кого О., Kazno N., Jotaro М. Experiments and calculation of the AlGaSb ternary phase diagram // J. Electrochem Soc. 1979. — v.126, № 11., P. 1992−1997.
- Stringfellow G.B. //J. of Electronic Materials. 1981. — v. 10, № 5, P. 919−936
- N.A.Bert, A.T.Gorelenok, A.G.Dzigasov, S.G.Konnikov, T.B.Popova, V.K.Tiblov. «Epitaxial growth of InGaAsP solid solutions lattice-matchcd to InP». J.Cryst.Growth, 1981, v.52, p.716.
- Пригожин И., Дефей P. Химическая термодинамика. Новосибирск: Наука, 1966, 509 с.
- Stringfellow G.B. Immiscibility and spinodal decomposition in III/V alloys.// J. of Crystal Growth. 1983. — v. 65, N 1. — P. 454 — 462
- S.Mahajan, B.V.Dutt, H. Temkin, R.J.Cava, W.A.Bonner. «Spinodal decomposition in InGaAsP epitaxial layers». J.Ciyst.Growth, 1984, v.68, p.589.
- Guggenheim E.A. Thermodynamics, North-Holland, 3-th ed. Amsterdam. -1957.-P. 250.
- Jordan A.S. // J. Electrochem. Soc. 1972. — v. 119, № 1. — P. 123−126.
- Казаков А.И., Мокрицкий B.A., Романенко B.H., Хитова JI. Расчет фазовых равновесий в многокомпонентных системах. М.: Металлургия, 1987, 136 с.
- Паниш М.Б., Илегемс М. Фазовые равновесия в тройных системах III-V. -Материалы для оптоэлектроники. М.: Мир, 1976, с. 39.
- Кузнецов В.В., Сорокин B.C. // Изв. АН СССР. Сер. Неорг. Материалы. -1980.-т. 16, № 12.-С. 2085−2089.
- Jordan A.S., Ilegems М. Solid-liquid equilibria for quaternary solid solutions // J. Phys. Chem. Solids. 1975. — v. 36, № 4. — P. 329−342.
- Onabe K. Thermodynamics of type Ai.xBxCi.yDy III-V quaternary solid solution//J. Phys. Chem. Solids 1982. — v.43, № 11.-P. 1071−1086.
- Павлова JI.H., Овчинникова H.A. Поярков Н. Б. В. кн. Диаграммы состояния металлических систем. — М.: Наука, 1981, С. 149 — 154.
- Stringfellow G.B. Calculation of ternary and quaternary III-V phase diagrams // J. of Crystal Growth. 1974. — v. 27. — P. 21−34.
- Глазов B.M., Павлова П. М. Химическая термодинамика и фазовые равновесия. М.: Металлургия, 1981, с. 78.
- Селин А.А., Ханин В. А., Вигдорович В. Н. Термодинамический расчет фазовых равновесий для многокомпонентных твердых растворов с эквиатомным катионно анионным соотношением // Докл. АН СССР. — 1980. -Т. 252, № 2.-С. 406−410.
- Vieland L.J. //Acta Met. 1963. — V. 11. — P. 1377
- Jordan A.S., Ilegems M. Solid liquid equilibria for quaternary solid solutions involving compound semiconductors in the regular solutions approximation // J. Phys. Chem. Solids. — 1975. — v. 36, № 4. — P. 329−342.
- Математические проблемы фазовых равновесий. М., «Наука», 1983, 143с.
- Ф.П. Васильев. Численные методы решения экстремальных задач. М., «Наука», 1988, 549с.
- Pearsall Т. Р, Quillec М., Polack М.А. // Appl. Phys. Lett. 1979. — v. 35, № 4.- P. 342−344.
- Sankaran R., Antypas G.A., Moon R.L. e.a. // J. Vac. Sci. and Technol. 1976. -v. 13, № 4. — P. 932−937.
- Pearsall T.P., Bisaro R., Ansel R., Merenda P. The growth of GaJn^xAs on (100) InP by liquid-phase epitaxy.// Appl. Phys. Lett. 1978.- v. 32, № 8. P. 497 — 499.
- Antypas G.A., Houng Y.M., Hyder S.B. The incorporation of Ga during LPE growth of InO.53GaO.47As on (lll)B and (100) InP substrates // Appl. Phys. Lett.- 1978. v. 33, № 5. — P. 463 — 465.
- Hsieh J.J. Phase diagram for LPE growth of GalnAsP layers lattice matched to InP substrates // IEEE J. Quant. Electronics. 1981. — v. QE-17, N2. — P. 118−122.
- Longo J.T., Harris J.S., Gertner E.R., Chu J.C. Improved surface quality of solution grown GaAs and Pbl-xSnxTe epitaxial layers: A new technique // J. Cryst. Growth. 1972. — v. 15, № 2. — P. 107−116.
- Perea E.H., Fonstad C.G. Phase diagram calculations for InuGaiuPvAs. v lattice matched to (111-B) InP, in the temperature range 600−660 °C // J. Appl. Phys. -1980. v. 51, № 1. — P. 331−335.
- Стрельченко C.C., Лебедев В. В. Соединения А3В5: Справочник. М.: Металлургия, 1984. — 144 с
- Vurgaftman, J. R. Meyer, L. R. Ram-Mohan. Band parameters for III-V compound semiconductors and their alloys // J. of Appl. Phys. 2001. — v. 89, № 11. — P. 5815−5875.
- Болховитянов Ю.Б., Чикичев С. И. Устойчивость неравновесной границы раздела кристалл-расплав перед жидкофазной гетероэпитаксией соединений АЗВ5. Новосибирск, 1982, с. 5.
- Селин А.А., Ханин В. А. Метод расчета составов равновесных жидких и твердых фаз многокомпонентных полупроводниковых систем // Физ. химия. -1979. т.53, № 11. — С. 2734.
- М. Ilegems, М.В. Panish. Phase equilibrium in III-V quaternary system -application to AlGaPAs // J. Chem. Solids. 1974. — v.35. — P. 409.
- Кузнецов B.B., Садовски В., Сорокин B.C. // ЖФХ. 1985. — т. 59, № 2. -С. 322−328.
- Ishikawa М., Ito R. Substrate induced stabilization of GalnPAs on GaAs and InP //Jap. J. Appl. Phys. 1984. — v. 22. — P. 21 — 22.
- Концевой Ю.А., Литвинов Ю. М., Фаттахов З. А. Пластичность и прочность полупроводниковых материалов и структур. М.: Радио и связь, 1982. — 240 с.
- J. du Plessis, G. N. van Wyk, A model for surface segregation in multicomponent alloys—part I: Equilibrium segregation// J. Phys. Chem. Solids-1988,v.49, p.1441−1450.
- J. du Plessis, G. N. van Wyk, A model for surface segregation in multicomponent alloys—part II: Comment on other segregation analyses// J. Phys. Chem. Solids-1988,v.49, p.1451−1458.
- A. I. Rusanov, Phase Equilibria and Surface Phenomena, Leningrad, Khimiya, 1967 (in Russian).
- N. Oscherin,//Phys. Stat. Sol (a)-1976,v. 34, K181.
- R. Tyson//Can. Metal. Quaterly- 1975, v. 14, p.l.
- O. G. Ashkhotov, M. V. Zdravomyslov,// Poverkhnost 1996, № 11, p.15.
- W.Keck, U. Konig Contact angles between III-V melts and several substrates //J. Electrochem. Soc. 1983. № 3. P.685−686
- U.Konig, W. Keck, A. Kriks Contact angles in the liquid phase epitaxy of InP, GalnAs and GalnAsP //J.Crystal Growth 1984. № 68. P.545−549
- Кулиш У.М., Борликова Г. В. Смачивание сложных полупроводников металлическими расплавами // Адгезия расплавов и пайка материалов, 1989. № 22. С.11−13
- Kuznesov, Moskvin, Sorokin. Growth kinetics in LPE of the Ga-In-P-As system// J. Crystal Growth 1984. № 66. P.562−574
- Абрамов A.B., Арсентьев И. Н., Мишурный B.A., Румянцев В. Д., Третьяков Д. Н. Люминесцентные свойства и некоторые особенности выращивания из растворов-расплавов твердых растворов GaxInixP.// Письма в ЖТФ, 1976, т.2, в.5, с.204−207.
- Лозовский В.Н., Лунин Л. С. Пятикомпонентные твердые растворы соединении AinBv (Новые материалы оптоэлектроники). Ростов н/Д: Издательство Ростовского университета, 1992, 135 с.
- А.В.Овчинников. Кандидатская диссертация «Разработка жидкофазнон технологии изготовления InGaAsP/InP (А,=1.3 мкм) лазерных структур (для ВОЛС) со сверхтонкими активными областями». Ленинград, ФТИ им. А. Ф. Иоффе, 1988.
- S. Langa, I. М. Tiginyanu, J. Carstensen, М. Christophersen, Н. Folia. Formation of Porous Layers with Different Morphologies during Anodic Etching of n-InP. Electrochem. Solid-State Lett., 3, 11 (2000) p.514−516.
- E.Kuphal. «Phase diagrams of InGaAsP, InGaAs and InP lattice-matched to (100)InP». J.Cryst.Growth, 1984, v.67, p.441−456.
- Лебедев А.И., Стрельникова И. А. Юнович А.Э. Исследование фотолюминесценции тройных твердых растворов Ga!.xInxSb.// ФТП, 1977, т.11, №.11, с.2123−2127.
- Баранский П.И., Клочков В. П., Потыкевич И. В. Полупроводниковая электроника. Справочник. К.: «Наукова думка», 1975, С. 318.
- S.H.Groves, M.C.Plonko. «Liquid-phase epitaxial growth of InP and InGaAsP alloys». J. Crystal Growth, 1981, v.54, p.81.
- Зи С. Физика полупроводниковых приборов. М.: Мир. т.1, 1984.
- S.M.Sze, G. Gibbons //Appl. Phys. Lett. 1966. V.8. P. l 11.