Помощь в написании студенческих работ
Антистрессовый сервис

Разработка и исследование преобразователей давления и силы на основе оптического туннельного эффекта

Диссертация: Разработка и исследование преобразователей давления и силы на основе оптического туннельного эффекта
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Основными требованиями, предъявляемыми к современным общепромышленным преобразователям, являются: высокая стабильность характеристик во времени, высокая надежность, работоспособность в жестких условиях эксплуатации, высокая точность (малые основная и дополнительная — в основном, температурная — погрешности), минимальная трудоемкость производства. Основные дестабилизирующие факторы (температура… Читать ещё >

Разработка и исследование преобразователей давления и силы на основе оптического туннельного эффекта (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Содержание

  • СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ
  • ГЛАВА 1. ОБЗОР МЕТОДОВ И СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ И СИЛЫ ПРИ ПОВЫШЕННЫХ ТЕМПЕРАТУРАХ
    • 1. 1. Микромеханические преобразователи давления и силы
    • 1. 2. Оптические преобразователи внешних воздействий
      • 1. 2. 1. Оценка применения оптических преобразователей
      • 1. 2. 2. Оптические преобразователи для измерения давления и силы
    • 1. 3. Постановка частных задач исследования
      • 1. 3. 1. Обобщенная структурная схема и функция преобразования преобразователей на основе оптического туннельного эффекта
      • 1. 3. 2. Зависимость отражательной способности сред от расстояния между центром мембраны и основанием призмы
      • 1. 3. 3. Частные задачи исследования
  • Выводы
  • ГЛАВА 2. РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЯ УТОЧНЕННЫХ МЕАТЕМАТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ НА ОСНОВЕ ОПТИЧЕСКОГО ТУННЕЛЬНОГО ЭФФЕКТА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ И СИЛЫ
    • 2. 1. Разработка уточненной математической модели преобразователей давления на основе оптического туннельного эффекта, учитывающей переменность прогиба мембраны
    • 2. 2. Исследование влияния прогиба переменности мембраны при воздействии давления на функцию преобразования
    • 2. 3. Разработка уточненной математической модели преобразователей силы на основе оптического туннельного эффекта
    • 2. 4. Исследование влияния прогиба переменности мембраны при воздействии силы на функцию преобразования
    • 2. 5. Анализ чувствительности преобразования к изменению зазора
  • Выводы
  • ГЛАВА 3. АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ДЕСТАБИЛИЗИРУЮЩИХ ФАКТОРОВ НА ХАРАКТЕРИСТИКИ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ НА ОСНОВЕ ОПТИЧЕСКОГО ТУННЕЛЬНОГО ЭФФЕКТА И РАЗРАБОТКА МЕТОДОВ PIX КОМПЕНСАЦИИ
    • 3. 1. Исследование влияния погрешностей изготовления конструктивных параметров на характеристики преобразователей давления и силы
    • 3. 2. Исследование влияния температуры на функцию преобразования преобразователей давления и силы на основе оптического туннельного эффекта и компенсация дополнительной температурной погрешности
    • 3. 3. Исследование влияния электрического поля на пьезоэлектрический элемент для управления зазором преобразователя на основе оптического туннельного эффекта
      • 3. 3. 1. Исследование влияния электрического поля на пьезоэлектрический элемент
      • 3. 3. 2. Управление преобразователем на основе оптического туннельного эффекта с помощью электрического напряжения
    • 3. 4. Исследование взаимодействия биметаллических воспринимающих элементов с системой «призма-зазор-мембрана» для построения преобразователя температуры
  • Выводы
  • ГЛАВА 4. РАЗРАБОТКА ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ С РАСШИРЕННЫМ ДИАПАЗОНОМ ИЗМЕРЕНИЯ И МЕТОДИКИ РАСЧЕТА ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ НА ОСНОВЕ ОПТИЧЕСКОГО ТУННЕЛЬНОГО ЭФФЕКТА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ И СИЛЫ
    • 4. 1. Функция преобразования преобразователя давления на основе оптического туннельного эффекта
    • 4. 2. Обеспечение расширенного диапазона измерения преобразователем давления на основе оптического туннельного эффекта
    • 4. 3. Моделирование статических характеристик преобразователя давления на основе оптического туннельного эффекта с расширенным диапазоном измерения
    • 4. 4. Моделирование динамических характеристик преобразователя давления на основе оптического туннельного эффекта с расширенным диапазоном измерения
    • 4. 5. Экспериментальное исследование характеристик преобразователей электрического напряжения и температуры на основе оптического туннельного эффекта
      • 4. 5. 1. Экспериментальное исследование характеристик преобразователей электрического напряжения
      • 4. 5. 2. Температурная чувствительность преобразователя
    • 4. 6. Методика расчета преобразователей на основе оптического туннельного эффекта для измерения давления и силы
      • 4. 6. 1. Выбор источника излучения с обеспечением стабилизации оптической излучаемой мощности
      • 4. 6. 2. Выбор фотоприемника
      • 4. 6. 3. Расчет конструктивных параметров мембраны для обеспечения требуемого диапазона измерения давления и силы
      • 4. 6. 4. Расчет чувствительности преобразования для обеспечения квазилинейного участка
      • 4. 6. 5. Этапы построения преобразователей на основе оптического туннельного эффекта для измерения давления и силы
  • Выводы
  • ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ

Для реализации задач создания высокоэффективных информационно-измерительных систем управления и контроля требуется создание широкой номенклатуры измерительной аппаратуры с высокими метрологическими и эксплуатационными характеристиками. Отличия технических требований к измерительной аппаратуре авиационных систем привели к тому, что, начиная с 1980;х годов более 90% измерительной аппаратуры было разработано вновь, при этом понадобилось резко изменить традиционные подходы к конструированию и технологии изготовления измерительной аппаратуры.

Функционально измерительная аппаратура (датчик, преобразователь) играет роль основного информативного элемента о контролируемом или измеряемом физическом параметре. На объекте он подвергается одновременному воздействию большого количества дестабилизирующих факторов, которые, если не принять определенных мер, искажают истинную информацию о поведении объекта.

Основными требованиями, предъявляемыми к современным общепромышленным преобразователям, являются: высокая стабильность характеристик во времени, высокая надежность, работоспособность в жестких условиях эксплуатации, высокая точность (малые основная и дополнительная — в основном, температурная — погрешности), минимальная трудоемкость производства. Основные дестабилизирующие факторы (температура и вибрация) на изделиях авиационной техники в 3−5 раз превышают соответствующие значения на изделиях других отраслей [1].

Актуальность темы

исследования. В последние годы наметилась тенденция развития и совершенствования оптических преобразователей. Они используются в тех случаях, когда определяющими являются малые размеры, масса и возможность работы при повышенных температурах, в условиях воздействия электромагнитных полей, а также в агрессивных и взрывоопасных средах.

В частности, такие условия являются характерными для объектов авиационной и космической техники. Например, при разработке систем управления авиационными двигателями необходимо использовать данные о давлении в различных зонах, в которых высокая температура газов исключает использование полупроводниковых устройств. В настоящее время определение давления газовой среды внутри камеры сгорания осуществляется по косвенным признакам. Для приближения преобразователя к высокотемпературной области измерения возможно построение его оптических узлов на основе кварца. Известны оптические преобразователи с отражательной мембраной и принимающими и передающими волоконными световодами, в которых внешнее механическое воздействие (давление, сила), приводит к прогибу мембраны, и отраженное мембраной оптическое излучение перераспределяется на торце принимающего волоконного световода. Но чувствительность таких оптических преобразователей невелика. Чтобы повысить чувствительность, можно использовать преобразователи на основе управляемого оптического туннельного эффекта с переменным зазором между световодом и подвижной пластиной. Для измерения давления и силы целесообразно использовать преобразователи внешних воздействий на основе оптического туннельного эффекта в системе «призма полного внутреннего отражения — пластина», выполненной из кварцевого стекла, что обеспечивает возможность работы при повышенных температурах. Вместе с тем отсутствует полное математическое описание взаимодействия оптического излучения с переменными нанозазорами в таких преобразователях, что не позволяет производить точный расчет их характеристик и параметров.

Поэтому разработка и исследование оптических преобразователей на основе оптического туннельного эффекта, способных обеспечить получение достоверной информации о механических воздействиях, и их уточненных математических моделей, является актуальной задачей.

Целью работы является улучшение характеристик преобразователей давления и силы на основе оптического туннельного эффекта в системе «призма полного внутреннего отражения — пластина», выполненных из кварцевого стекла и способных работать при повышенных температурах в составе систем автоматического управления авиационными двигателями.

Для достижения указанной цели необходимо решить следующие задачи исследования:

— разработать и исследовать уточненные математические модели преобразователей на основе оптического туннельного эффекта для измерения давления и силы;

— исследовать влияние конструктивных параметров на характеристики преобразователей давления и силы на основе оптического туннельного эффекта;

— произвести анализ влияния внешних дестабилизирующих факторов на характеристики преобразователей на основе оптического туннельного эффекта и разработать методы их компенсации;

— исследовать возможность расширения диапазона измерения преобразователей давления и силы за счет введения обратных связей по положению воспринимающего элемента и исследовать их статические и динамические характеристики;

— провести экспериментальное исследование характеристик преобразователей на основе оптического туннельного эффекта;

— разработать методику расчета преобразователей давления и силы на основе оптического туннельного эффекта.

Научная новизна работы:

— предложены уточненные математические модели преобразователей на основе оптического туннельного эффекта, которые учитывают переменность нанозазора для различных точек контакта оптического излучения с модулируемой гранью призмы, что обеспечивает уменьшение погрешности расчетов характеристик преобразователей давления и силы;

— предложена новая структура преобразователя давления и силы, которая отличается введением дополнительной обратной связи по положению воспринимающего элемента, компенсирующей влияние изменения формы мембраны, что обеспечивает расширение диапазона измерения давления и силы;

— предложено новое решение, использующие температурные изменения свойств взаимосвязанных биметаллической и кварцевой мембран преобразователя на основе оптического туннельного эффекта, что позволяет производить измерение температуры в заданном диапазоне;

— методика расчета преобразователей давления и силы с оптическим туннельным эффектом основана на обеспечении заданного диапазона чувствительности, что приводит к реализации квазилинейной функции преобразования.

Методы исследования.

При разработке математических моделей преобразователей внешних воздействии на основе оптического туннельного эффекта использовались основные положения волновой и геометрической оптики, применялись методы теории упругости, прикладной механики.

При исследовании характеристик преобразователей для измерения давления, сил, электрических напряжений, температуры использовались положения теории интегрального исчисления, чувствительности, погрешностей, методы численного анализа. В экспериментальных исследованиях использовались положения теории измерений и математическая обработка полученных результатов. Исследование моделей преобразователей производилось с применением программного пакета (МаЛСАГ)).

Основные положения, выносимые на защиту:

— уточненные математические модели преобразователей на основе оптического туннельного эффекта, которые учитывают неравномерность прогиба мембраны при воздействии давления и силы и расходимость.

10 оптического излучения, что уменьшает погрешность расчетов характеристик преобразователей;

— обеспечение малой температурной погрешности за счет использования кварцевых элементов преобразователя и способы компенсации температурной погрешности;

— полезная модель преобразователя температуры на основе оптического туннельного эффекта и биметаллических воспринимающих элементов, обеспечивающих работу в заданном температурном диапазоне;

— результаты экспериментального исследования влияния электрического поля на оптическое туннелирование при использовании пьезоэлектрического элемента и структурную схему преобразователя электрических напряжений на основе оптического туннельного эффекта;

— обеспечение расширенного диапазона измерения преобразователя на основе оптического туннельного эффекта за счет введения обратной связи, компенсирующей влияние изменения формы мембраны;

— методика расчета преобразователей механических воздействий с оптическим туннельным эффектом, основанная на обеспечении заданного диапазона чувствительности.

Практическая ценность исследования.

Использование полученных в работе уточненных математических моделей преобразователей на основе оптического туннельного эффекта позволяет повысить точность расчета их характеристик.

Показано, что преобразователи на основе оптического туннельного эффекта в системе «призма полного внутреннего отражения — пластина», выполненные полностью из кварцевого стекла, способны работать при повышенных температурах (до 500 °С) с малой температурной погрешностью, что позволяет их использовать в системе автоматического управления авиационными газотурбинными двигателями в различных температурных зонах.

Результаты исследования влияния механических воздействий (давления, силы) и электрического напряжения на оптическое туннелирование в системе «призма-зазор-мембрана» и предложенное техническое решение преобразователя с компенсирующей обратной связью позволяют создавать преобразователи, отличающиеся расширенным диапазоном измерения.

Разработанная методика позволяет производить расчет основных параметров преобразователей давления и силы на основе оптического туннельного эффекта с обеспечением заданного диапазона их чувствительности.

Достоверность научных положений, результатов, выводов и рекомендаций, сформулированных в диссертации, обоснована соответствием полученных результатов известным, а также проведенными экспериментальными исследованиями.

Реализация результатов работы. Результаты работы использованы в учебном процессе по дисциплине «Оптические и волоконно-оптические устройства и системы» кафедры «Системы автоматического и интеллектуального управления» МАИ. На основе результатов работы созданы 2 объекта интеллектуальной собственности, подтвержденные патентом на полезную модель и патентом на изобретение.

Апробация работы. Основные научные результаты исследований по теме диссертации докладывались на 17-ой, 18-ой и 19-ой Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика «(МИЭТ, 2010, 2011, 2012 г. г.) — Научной сессии НИЯУ МИФИ-2011 — Научно-технической конференции-семинаре по фотонике и информационной оптике (МИФИ, 2011) — Всероссийской конференции по фотонике и информационной оптике (МИФИ, 2012) — Х1Х-ом, ХХ-ом и ХХ1-ом международном научно-техническом семинаре «Современные технологии в задачах управления, автоматики и обработки информации» (Алушта, 2010, 2011, 2012 г. г.).

Публикации. По теме диссертации опубликовано 4 научных статьи в изданиях перечня ВАК, 10 публикаций в виде тезисов докладов на научных конференциях. Получен 1 патент РФ на изобретение, 1 патент РФ на полезную модель.

Структура и объём работы. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка литературы, включающего 80 наименований, и одного приложения. Работа изложена на 172 страницах текста, содержит 93 рисунка и 1 таблицу.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ.

В результате выполнения данной диссертационной работе получены следующие основные научные результаты.

1. Разработаны уточненные математические модели преобразователей на основе оптического туннельного эффекта для измерения давления и силы, которые учитывают переменность нанозазора для различных точек контакта оптического излучения с модулируемой гранью призмы, обеспечивающие уменьшение погрешности расчетов характеристик преобразователей давления и силы.

2. Исследовано влияние конструктивных параметров на характеристики преобразователей давления и силы на основе оптического туннельного эффекта и определены погрешности расчетов мощности оптического излучения РФП уточн с учетом предложенной уточненной математической модели по сравнению с приближенной моделью для мощности оптического излучения РФп прибл, определяющей приближенно по центральному лучу источника излучения с учетом допущения постоянства зазора.

3. Исследовано влияние температуры на характеристики преобразователей на основе оптического туннельного эффекта и определены величины дополнительной температурной погрешности, которая уменьшена за счет использования кварцевых элементов преобразователя, и предложены способы компенсации дополнительной температурной погрешности.

4. Предложена полезная модель преобразователя температуры на основе оптического туннельного эффекта и биметаллических воспринимающих элементов, обеспечивающего работу в заданном температурном диапазоне при исследовании взаимодействие биметаллических воспринимающих элементов с системой «призма-зазор-мембрана».

5. Экспериментально исследовано влияние электрического поля на оптическое туннелирование при использовании пьезоэлектрического элемента и предложена структурная схема преобразователя электрических напряжений на основе оптического туннельного эффекта.

6. Разработана структурная схема преобразователя, обеспечивающего расширение диапазона измерения давления и силы за счет введения обратной связи по положению воспринимающего элемента, компенсирующей влияния изменение формы мембраны.

7. Предложена методика расчета конструктивных параметров преобразователей на основе оптического туннельного эффекта, основанная на работе в заданном диапазоне чувствительности, которая обеспечивает реализацию требуемого диапазона измерения давления и силы.

Показать весь текст

Список литературы

  1. Ю. Н., Гориш А. В. Датчиковая аппаратура для ракетно-космической техники // Радио-техника. 1995. № 10.
  2. В. И., Носов Ю. Р. Волоконно-оптические датчики. М.: Энергоатомиздат, 1990. 256 с.
  3. И. Н., Мокров Е. А. Микрооптомеханический преобразователь давления // 7-я Междунар. Конф. «Авиация и космонавтика-2008». 2008. 236 с.
  4. S.J. Prosser, «Advances in Sensors for Aerospace Applications», Sensors and Actuators, vol. 37−38, no. 1−3, pp. 128−134.
  5. G. Smith, «The Application Of Micro technology To Sensors For The Automotive Industry», Microelectronics Journal, vol.28, no.4, pp.371−9, May 1997.
  6. W.P. Eaton and J.H. Smith, «Micromachined Pressure Sensors: Review And Recent Developments», Proceedings of the SPIE The International Society for Optical Engineering, vol. 3046, pp.30−41, 1997.
  7. S. Lee, et al, «Surface/bulk micromachining (SBM) process and deep trench oxide isolation method for MEMS», International Electron Devices Meeting 1999. Technical Digest, p.701−4, 5−8 Dec. 1999
  8. A.V. Chavan and K.D.Wise, «A Multi-Lead Vacuum-Sealed Capacitive Pressure Sensor», Technical Digest. Solid-State Sensor and Actuator Workshop, pp.212−15, 1998.
  9. R.S. Okojie, A.A. Ned, and A.D. Kurtz, «Operation Of Alpha (6H)-Sic Pressure Sensor At 500 Degrees C», Sensors and Actuators A (Physical), vol. A66, no. 1−3, pp.200−4, 1998.
  10. R. Ziermann, et al, «A High Temperature Pressure Sensor With Beta -Sic Piezoresistors On SOI Substrates», Tranducers 97., 1997 International Conference on 241 Solid-State Sensors and Actuators. Digest of Technical Papers, vol 2, pp.1411−14, 1997.
  11. Е. А., Баринов И. Н. Разработка высокотемпературных полупроводниковых датчиков давления // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2009. № 1.
  12. Neudeck P.G., Okojie R. S., Chen L.-Y. High- Temperature Electronics — A Role for Wide Bandgap Semiconductors? Proceedings of the IEEE. 2002. Vol. 90, no. 6
  13. А., Сбруев С. SiC-электроника. Прошлое, настоящее, будущее // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 2006. № 5.
  14. Hunter G. W., Neudeck P. G., Okojie R. S., Beheim G. M., Powell J. A. An Overview of High-Temperature Electronics and Sensor Development at NASA Glenn Research Center // J. Turbomach. Oct 2003. Vol. 125, Issue 4.
  15. Okojie R., Beheim G., Saad G., Savrun E. Characteristics of a Hermetic 6H-SIC pressure sensor at 600 °C // In Proc. of the AIAA Space 2001 Conference and Exposition. Albuquerque, NM. Aug 28−30, 2001.
  16. Wu C., Zorman C., Mehregany M. Fabrication and Testing of Bulk Micromachi-ned Silicon Carbide Piezoresistive Pressure Sensors for High Temperature Applications // IEEE Sensors Journal. 2006. 6, 2.
  17. Patricia M. NIEVA. New Trends on MEMS Sensor Technology for Harsh Environment Applications // Sensors & Transducers Journal. Special Issue. Oct 2007.
  18. Ziermann R., von Berg J., Obermeier E., Wischmeyer F., Niemann E., Moller H., Eickhoff M., Krotz G. High temperature piezoresistive ?-SiC-on-SOI pressure sensor with on chip SiC thermistor // Materials Science and Engineering. Vol. 61−62,30 July 1999.
  19. Wieczorek G., Schellin В., Obermeier E., Fagnani G., Drera L. SiC Based Pressure Sensor for High-Temperature Environments // IEEE Sensors 2007 Conference. Oct 28−31, 2007.
  20. А. В. Технология структур «карбид кремния кремний» для приборов микроэлектроники и микросистемной техники: дисс. канд. техн. наук. 05.27.2006.
  21. В. А., Матузов А. В., Петров А. С. Исследо-вание процесса получения гетероэпитаксиальных структур ЗС-карбида кремния на подложках кремния // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2008. № 4.
  22. О. С., Буряченко А. Г., Ранченко Г. С. Перспективы развития датчиков давления для авиационных и общепромышленных ГТД // Авиационно-космическая техника и технология. 2007. № 10.
  23. Е. Obermeier et al, «High Temperature Microsensors Based On Polycrystalline Diamond Thin Films», The Solid State Sensors and Actuators Workshop, pp. 178−181, 1995.
  24. D. Hammerschmidt et al, «A CMOS Piezoresistive Pressure Sensor With On-Chip Programming And Calibration», 1993 IEEE International SolidState Circuits Conference. Digest of Technical Papers, pp. 128−9, 1993.
  25. D. De Bruyker, A. Cozma, R. Puers, «A Combined Piezoresistive/Capacitive Pressure Sensor with Self-Test Function Based on Thermal Actuation», Sensors and Actuators A (Physical), vol. A66, no. 1−3, pp.7075, 1997. /
  26. Stuchebnikov V.M. SOS strain gauge sensors for force and pressure transducers. // Sensors & Actuators, 1991, v.28, No 3, pp. 207−213.
  27. B.M. Тензорезисторные преобразователи на основе гетероэпитаксиальных структур «кремний на сапфире». // Измерения, контроль, автоматизация//Н.-т. сборник, 1983, № 1(45), с.30−42.
  28. Датчики преобразователи давления. // Номенклатурный каталог концерна Метран. Челябинск, 1995.
  29. High accuracy 4−20 mA sapphire sensor. // Bourns Pressure Transmitters (Каталог фирмы), 1995, p. 12.
  30. B.B., Николайчук О.JI., Стучебников В. М. Серия микроэлектронных датчиков давления МИДА. // Датчики и системы, 2000, № 1, с 21−27.
  31. Е. Е., Николайчук О. JL, Стучебников В. М. Серия микроэлектронных датчиков давления МИДА // Датчики и системы. 2000, -№ 1,-с. 21.
  32. В.М. О нормировании температурной погрешности тензорезисторных полупроводниковых датчиков. // Датчики и системы, в печати.
  33. Датчики давления МТ-100. Преобразователи измерительные Сапфир-22М. // Номенклатурный каталог АО Манометр, М, 1996.
  34. Датчики преобразователи давления. // Номенклатурный каталог концерна Метран. Челябинск, Г995.
  35. High accuracy 4−20 mA sapphire sensor. // Bourns Pressure Transmitters (Каталог фирмы), 1995, p.12.
  36. H., «the Fiber-optic Gyroscope», Artech House, 1993.
  37. R. В., ed., «Selected Papers on Fiber-optic Gyroscopes», SPIE Milestone Series, Vol. MS8, 1989.
  38. Ю. H., Федоров В. А., Прилуцкий В. E., Пономарев В. Г., Фенюк М. А., Марчук В. Г., Кострицкий С. М., Падерин Е. М. Высокоточный волоконно-оптический гироскоп с линейным цифровым. // Гироскопия и навигация. 2004. № 1, с. 69 82.
  39. Lin S/, Giallorienzi Т. G. Sensitivity analysis of the Sagnac-effect optical-fiber ring interferometer // Appl/ Optics/ 1979. V. 18. N 6. 915−931.
  40. Davis J. L., Ezekiel S. Techniques for shot-noise-limited inertial rotation measurement using a multiturn fiber sagnac interferometer // Proc. SPIE, 1978. V. 157. P. 131−143.
  41. E.A., Гориш A.B., Крупкина, Т.Ю. Волоконно-оптический датчик давления на туннельном эффекте// Датчики и системы. 2005. № 8.
  42. М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1983. 721 с.
  43. JI.E., Пономарев С. Д. Расчет упругих элементов машин и приборов. М.: Машиностроение, 1980. 326 с.
  44. С.П. Пластинки и оболочки. М.: Гостехниздат, 1948.625 с.
  45. Eduard Ventsel, Theodor Krauthammer, «Thin plates and shells Theory, Analysis and Application», Marcel Dekker, Inc. 2001, -658 c.
  46. И.Н. Эллипс. // Квант. 1975. — № 1. с. 27 — 36.
  47. Я. Ш. Теоретические основы электроакустики и электроакустическая аппаратура. М.: Искусство, 1982.
  48. О. В. К расчету оптоэлектронного преобразователя механических воздействий // Элементы, устройства и математическое обеспечение информационно-преобразовательных систем. Рязань: РРТИ, 1985. С. 76−78.
  49. Л.Д., Лившиц Е. М. Теореточеская физика. Теория упругости: М.: Наука. 1987. 248 с.
  50. Таблицы физических величин. Справочник / Под ред. акад. И. К. Кикоина. — М., Атомиздат, 1976. — 1008 с.
  51. А.Е. Пьезокерамические актюаторы, Учебное пособие, Ростов-на-Дону, 2008, —159 с.
  52. В. Г. Волоконно-оптические измерительные преобразователи скорости и давления. —М.: Энергоамиздат, 1987. — 112 с.
  53. Ф. Светодиоды / с англ. под ред. А. Э. Юновича. — 2-е изд. —М., ФИЗМАТЛИТ, 2008. — 496 с.
  54. А.А., Бойков В. И., Быстров С. В., Григорьев В. В. Исполнительные устройства и системы для микроперемещений. — СПБ ГУ ИТМО, 2011, — 131 с.
  55. Piezo Ceramic Actuators and Custom Subassemblies // PIC Catalog PiezoelectricCeramicActuators, 2006, —56 c.
  56. Allan R. New applications open up for silicon sensors: a special report. — Electronics, 1980, vol. 53, N 24, p. 113.
  57. Kanthal AB., KANTHAL Thermostatic Bimetal Handbook, 2008, c134.
  58. H. П., Бусурин В. И. Основные конструирования и производства оптоэлектронных устройств автоматики. М.: Изд-во МАИ, 1982.
  59. Г. В. Многооконные оптикоэлектронные датчики линейных размеров. М.: Радио и связь, 1986.
  60. В. И., Шток К. В., Звей Нэй Зо. Преобразователи давления и силы на основе оптического туннельного эффекта // Приборы. 2010. № 2. с. 1−5.
  61. В.И., Казарьян A.B., Чижов B.C., Звей Нэй Зо. Исследование характеристик преобразователей электрического напряжения и температуры на основе оптического туннелирования // Мехатроника, Автоматизация, Управления. 2011. № 12. с. 40−44.
  62. В.И., Звей Нэй Зо. Моделирование и компенсация температурной погрешности преобразователя давления на основе оптического туннелирования // Вестник МАИ, 2012, № 1, с. 149−156.
  63. В.И., Казарьян A.B., Жеглов М. А., Звей Нэй Зо. Моделирование преобразователя давления на основе оптического туннельного эффекта с настраиваемым диапазоном измерения // Вестник МАИ, 2012. № 4, с. 128−133.
  64. Патент на полезную модель № 111 643 «Преобразователь температуры на основе оптического туннельного эффекта» от 20 декабря 2011 г., Б.И. № 35. (Бусурин В.И., Жеглов М. А., Звей Нэй Зо, Казарьян A.B.).
  65. Патент на изобретение № 2 456 563 «Волоконно-оптический преобразователь давления с динамически настраиваемым диапазоном» от 20 июля 2013, Б.И. № 20. (Бусурин В.И., Жеглов М. А., Коробков В. В., Звей Нэй Зо).
Заполнить форму текущей работой

Сессия? Спокойно!