Разработка и исследование рефлектометрического метода измерения шероховатости сверхгладких металлических поверхностей
Диссертация
Современное развитие лазерной техники, оптики, микроэлектроники и других разделов науки и техники потребовало создания изделий с минимально возможной шероховатостью поверхности. Такие поверхности, называемые в дальнейшем сверхгладкими, работают в основном на взаимодействии с электромагнитным излучением. Сверхгладкими считаются поверхности, для которых отношение среднего квадратичес-кого… Читать ещё >
Список литературы
- Рытов С.М. Введение в статистическую радиофизику. М.: Наука, 1966.
- Басс Ф.Г., Фукс И. М. Рассеяние волн на статистически неровной поверхности. М.: Наука, 1972.
- Шмелев А.Б. Рассеяние волн статистически неровными поверхностями. УФН, 1972, т.106, вып. З, с.459−480.
- Beckmann Р., Spizzichino A. The scattering of electromagnetic waves from rough surface, Pergamon Press, Oxford, 1963.
- Bennet H.E., Porteus J.O. Relation betwen surface roughness and specular reflectance at normal incidence. J.O.S.A., 1961, v.51, W 2, p.123.
- Bennet Н.Б. Specular reflectance of aluminized ground glass and the height distribution of surface irregularities. J.O.S.A, 1963, v.53, N12, p.1389.
- Porteus J.O. Relation betwen the height distribution of a rough surface and the reflectance at normal incidence. J.O.S.JU, 1963, v.53, N 12, p.1394.
- Elson j.M., Bennet j.M. Vector scattering theory. Optical engineering, 1978, v.18, И" 2, p.116−124.
- Marvin A., Toigo P., Celli V. Light scattering from rough surfaces general incidence angle and polarization. Physical review В., 1975, v.11, N8, p.2777−2782.
- Celli V., Marvin A., Toigo P. Light scattering from rough surfaces. Physical review В., 1975, v.11, N 4, p.1779−1786.
- Chuch E.L., Jenkinson Ы.А., Zavada J.M. Relationship between surface scattering ahd microtopographic features. Optical engineering, 1979, v.18, N 2, p.125−137.
- Elson J.M., Ritchie R.H. Photon interactions at a rough metal surface. Physical Review В., 1971, B4, p.4129−4138.
- Elson J.M., Ritchie R.H. Scattering and surface plasmon generation by photons at a rough dielectric surface.- Physical status solidi В., 1974, Вб2, N 2, р.4б1−4б8.
- Houchens A.P., Hering R.G. AIAA, Thermophysics specialist conference. New Orleans, Lou isiana, April 17−20, 1967.
- Ohidal I. Expression for the reflectance of randomly rough surfaces derived with the frenel approximation. Applied optics, 1980, v.19, N 11, p.1804−1811.
- Исакович M.A. Рассеяние волн от статистически шероховатой поверхности. КЭТФ, 1952, т.23, вып.3(9), с.305−314.
- Bennet Н.Е., Stanford J.L. Structure-related optical characteristics of thin metallic films in the visible and ultraviolet. -J. res. nat. bur. stand, 1976, 80A, p.643−648.
- Bennet H.E. Scattering characteristics of optical materials. -Optical engineering, 1978, v.17, N 5, p.480−488.
- Decker D.L., Bennet J.M., SoileanM.J., Porteus J.O. Surface and optical studies of diamont-turned and other metal mirrors. -Optical engineering, 1978, v.17, N 1, р.1бО-1б4.
- Leader J.C. J. appl. phys., 1971, v.42, p.4808−4811.
- Holzer J.A., Sung C.G. Scattering of electromagnetic waves from a rough surfas.II. J. appl.phys., 1978, v.49, H 3, p.1002−1011.
- Sung C.C., Eberhardt W.D. Scattering of an electromagnetic wave from a very rough semi-infinite dielectric plane (exact treatment of the boundary conditions). J. appl. phys., 1978, v.49,1. N 3, p.994−1001.
- Борн M., Вольф Э. Основы оптики. M., Наука, 1970.
- Kurdock J., Saito Т., Buckmelter J., Austin R. Polishing of supersmooth metal mirrors. Applied Optics, 1975, v.14, N 8, p.1808−1812.
- Hoffman R.A., Lange W.I., Chouke W.J. Ion polishing of copper: some observation. Applied Optics, 1975, v.14, N 8, p.1803−1807.
- Stover J. Roughness characterization of smooth machined surfaced by light scattering. Applied optics, 1975, v.14, N 8.
- Лукьянов B.C., Рудзит Я. А. Параметры шероховатости поверхности. М.: изд-во стандартов, 1979, с. 162.
- Хусу А.П., Витенберг Ю. Р., Пальмов В. А. Шероховатость поверхностей. Теоретико-вероятностный подход. М.: Наука, 1975, с. 343.
- Вентцель Е.С. Теория вероятностей. М.: Наука, 1969, с. 576.
- Свешников А.А. Прикладные методы теории случайных функций.-М.: Наука, 1968, с. 463.
- Bennet J.M. Measurement of the rms roughness, autocovariance function and other statistical properties of optical surfaces using PECO scanning interferometer. Applied optics, 1976, v.15, N 1, p.2705−2721.
- Bennet J.M., Dancy J.H. Stylus profiling instrument formeasuring statistical properties of smooth optical surfaces. -Applied optics, 1981, v.20, N 10, p.1785−1802.
- Chandley P.J. Surface roughness measurements from coherent light scattering. Optical and Quantum Electronics, 1976, N 8, p.323−327.
- Chandley P.J. Determination of the autocorrelation function of height on a rough surface from coherent light scattering. -Optical and quantum electronics, 1976, N 8, p.329−333.
- Rasigni M., Rasigni G., Palmari J.-P., Slebaria A. Studyof surfaces roughness using a microdensitometer analyses of electron micrographs of surface replicas: I. Surface profiles. J.O.S.A. 1981, v.71, N 9, p.1124−1133.
- Одитис И.А., Рудзит Я. А. О выборе типа корреляционной функции при исследовании нерегулярной шероховатости. В кн.: Микрогеометрия в инженерных задачах. Рига, Зинатне, 1973.
- Топорец А.С. Отражение света шероховатой поверхностью, ОМП, 1979, № I, с.34−46.
- Солодухо Ф.М. Разработка и исследование рефяектометрического метода измерения параметра шероховатости металлических тонкообра-ботанных поверхностей, кандидатская диссертация, ВВШМС, М., 1975.
- Топорец А.С. Фотометрический метод определения средней высоты микронеровностей шероховатой поверхности. ОМП, 1969, 6, с.60−61.
- Dreyfus H.J.. Патент США, кл. 88−14, № 316.574, 22.08.1967.
- Hildebrand В.P., Gordon R.L., Allen E.V. Instrument for measuring the roughness of supersmoth surfaces, Applied optics, 1974, v.13, N 1.
- Мазуренко M.M., Скрелин A.JI., Топорец A.C. Авторское свидетельство, кл. G-OIB II/30, J& 654 853, от 25.1.1977.
- Bennet н.Е. Патент США, 356/209, 356/212, № 3.771.880 от 29.09.1971.
- Обрадович К.А., Солодухо Ф. М. Авторское свидетельство, кл.&- -OIB II/30, № 815 492, от 23.03.1981.
- Зубков В.М., Киселев К. В., Турьянский А. Г., Ципкин Р. З. Авторское свидетельство, кл-G 01 В 11/30, № 672 480 от 09.06.1977.
- Синайский В.М. Количественная оценка неровностей обработанных поверхностей высших классов чистоты методами рентгеновской рефпектометрии. Измерительная техника, 1983, № 6, с. 27.
- Патент Швеции, кл. G1A (межд. кл. G01B 11/30), № 7 410 027 от 05.08.1974.
- Патент Швейцарии, кл. G01B II/30,? 416.649 от I6.II.I97i
- Патент Великобритании, кл. G01B 11/30 № I474I9I от 21.01.1974.
- Патент Швеции, кл. G01B П/30 Je 763 703 от 01.12.1976.
- Патент Великобритании, клЛ01 21/32 № 2 022 823 от 24.05.1979.
- Kretschman Е. Die bestimmung der oberflachenrauhigkeit dunner schichten durch messung der winkelabhangigkeit der streustrahlung von oberf l’achenplasmaschwingungen. Optich Communications, 1974, v.10, U 4, p.353−356.
- Pemick B.J. Surface roughness measurements with an optical fourier spectrum analyzer.- Applied optics, 1979″ v.18, N 6, p.796−801.
- Сотин B.E., Осоввдкий A.H., Цеснвк JI.С., Челяев А. Ф. Использование волноводного рассеяния света для определения статистических характеристик шероховатых поверхностей. ОМП, 1981, № 7, с.1−4.
- Пастушков А.А. Определение параметров случайных полей методами когерентной оптики. Автореферат кандидатской диссертации, 1. М., МИРЭА, 1975.
- Обрадович К.А., Солодухо Ф. М., Яншин В. Н. Погрешность реф-лектометрического метода измерения шероховатости поверхности. Труды метрологических институтов СССР, вып. 179(239), М., 1975.
- Кучин А.А., Обрадович К. А. Оптические приборы для измерения шероховатости поверхности. Л., Машиностроение, 1981, 198 с.
- Дунин-Барковский И.В., Карташова А. Н. Измерение и анализ шероховатости, волнистости и некруглости поверхности. М., Машиностроение, 1978, 232 с.
- Корн Г., Корн Т., Справочник по математике. М.: Наука, 1977, 831 с.
- Соколов Л.В. Оптические свойства металлов. М.: Г. И.Ф — М.Л. 1961, 464 с.
- Schulz L.G. The optical constants of silver, gold, copper and aluminum. J.O.S.A., 1954, v.44, N 5, p.357−368.
- Мотулевич Г. П. Металлооптика, БСЭ, т.16, с. 119.
- Обрадович К.А., Попов Ю. Н. Определение корреляционной функции высот неровностей полированных металлических поверхностей рефлектометрическим методом. Измерительная техника, 1983, № 2, с. 17.
- Бронштейн И.Н., Семендяев К. А. Справочник по математике. «Тойбнер» Лейпциг, 1979, М.: Наука, 1980, 974 с.
- Обрадович К.А., Попов Ю. Н., Солодухо Ф. М. Авторское свидетельство, кл. -01 В II/30, № 868 347, от 30.09.1981.
- Обрадович К.А., Попов Ю. Н., Солодухо Ф. М. Определение двух-параметров шероховатости металлических полированных поверхностей рефлектометрическим методом. Измерительная техника, 1982, № 2, с. 19.
- ГОСТ 16 263–70. Метрология. Термины и определения.
- Макс S. Методы и техника обработки сигналов при физических измерениях, т.2. М.: Мир, 1983.
- Горяинов В.Т., Журавлев А. Г., Тихонов В. И. Статистическая радиотехника. Примеры и задачи. М.: Советское радио, 1980, с. 544.
- Топорец А.С., Мазуренко М. М. Гониорефлектометрическая установка с высоким угловым разрешением. 0МП, 1964, № I, с.37−39.
- Обрадович К.А., Солодухо Ф. М. Определение высоты неровностей поверхностей с регулярным треугольным профилем рефлектометрическим методом. Тр./ВНИИФТРИ, ВНИИМС, 1973. Линейные и угловые измерения, с.22−29.
- Williams V.L., Lockie R.T. Optical contamination assessment by bidirectional reflectance distribution function (BRDF) measurement. Opt. eng., 1979, v.18, N 2, p.152−156.
- Обрадович К.А., Попов Ю. Н., Солодухо Ф. М. Гониорефлектомет-ричеокая установка для исследования шероховатости поверхности. -Тр/ВНИИФТРИ, ВНИИМС, 1981. Исследования в области измерения геометрических величин, с.51−60.
- Жидкие кристаллы. Под ред. С. И. Жданова. М.: йшия, 1979, с. 256.
- Захарченко А.П., Кравцов В. Е., Кузнецов В. И. и др. Измерение линейности фотометрических устройств с использованием светодиодов. -ОМП, 1979, № I, с. 48.
- Корндорф С.Ф., Дубиновский A.M., Муромова Н. С., Перова Н. И., Сурова Е. Я. Расчет фотоэлектрических цепей. М.: Энергия, 1967, с. 200.
- Фукс-Рабинович Л.И., Епифанов М. В. Оптико-электронные приборы. Л.: Машиностроение, 1979, с. 362.
- Харкевич A.A. Борьба с помехами. М.: Наука, 1965, с. 275.
- Лукьянов B.C., Комаровский O.K., Егоров И. В. Использование ЦВМ для исследования шероховатости поверхности. Измерительная техника, 1975, I.
- Обрадович К.А., Попов Ю. Н., Солодухо Ф. М. Авторское свидетельство, кл. G 01 В 11/30, № 987 381 от 07.01.83.
- Обрадович К.А., Попов Ю. Н., Солодухо Ф. М. Положительное решение по заявке 3 333 763-/25−28 от 10.10.82.
- Лабораторные оптические приборы. Под ред.Л. А. Новицкого. М.: Машиностроение, 1979, с. 448.