Повышение качества порошковых покрытий в производстве электровакуумных приборов за счет совершенствования технологической схемы электроплазменного напыления и автоматизации оборудования
Диссертация
Методы исследований включали теоретический анализ тепловых условий взаимодействия напыляемой частицы порошка с поверхностью подложки. Экспериментальные исследования проводились на специальной установке для электроплазменного напыления в защитной газовой среде с совмещенной обработкой подложки дополнительным источником энергии. Основные методы экспериментальных исследований следующие. Адгезию… Читать ещё >
Список литературы
- Александрова А.Т. Оборудование электровакуумного производства. М.: Энергия, 1974.-383 с.
- Алиев Т.А. Экспериментальный анализ. М.: Машиностроение, 1991.-272 с.
- Алиев Т.А., Мусаева И. О. Статистическая идентификация с уравновешиванием погрешностей // Теория и системы управления 1995. — № 3, — С.50−55
- Антошин Е.В. Газотермическое напыление покрытий. М.: Машиностроение, 1974, — 95 с.
- Анищенко Л.М., Кузнецов С. Е., Яковлев В. А. Влияние параметров обработки диэлектрических подложек в плазме тлеющего разряда на адгезию металлических покрытий // Физика и химия обработки материалов. 1984. -№ 5. — С. 85−88.
- Артамонов А.Г., Володин В. М., Авдеев В. Г. Математическое моделирование и оптимизация плазмохимических процессов. М.: Химия, 1989- 224 с.20D
- Балакирев B.C., Дудников Е. Г., Цирлин A.M. Экспериментальное определение намических характеристик промышленных объектов управления. М.: Энер-я, 1967, — 232 с.
- Борисов Ю.С., Борисова A.JL Плазменные порошковые покрытия. Киев: гхника, 1986. — 223 с.
- Булат В.Е., Кейтлин Л. Г., Кельберт С. Л. К исследованию воздействия плазмы нового разряда в вакууме на поверхность стальных деталей // Докл. АН УзССР. >91. № 7.-С. 31−34
- Булат В.Е., Эстерлис М. Х. Очистка металлических изделий от окалины, окис-ш пленки и загрязнений электродуговым разрядом в вакууме // ФИХОМ. 1987. зЗ.-С. 49−53.
- Вассерман A.M., Кунин Л. Л., Суровой Ю. И. Определение газов в металлах, етод восстановительного плавления в атмосфере газа-носителя. М.: Наука, Л6. — 344 с.
- Вакуумная техника: Справочник М.: Машиностроение, 1985 — 360 с.
- Вислоух В. Е, Глебов Г. Д., Шведов Н. К. Нераспыляемые геттеры для крупно-1баритных ЭВП // Технология и оборудование электронной промышленности:-руды МИЭМ. 1974. Вып. 42, С. 3−9.
- Вислоух В.Е., Глебов Г. Д., Егоров Ю. Г. Поглощение водорода плазмона-ыленными покрытиями. Электронная техника. Сер. 6. Материалы. 1981. — Вып. (158), С. 14−16.zu>
- Высокотемпературные неорганические покрытия: Пер. с англ. /Под ред. Дж. /меника. М.: Металлургия, 1968. — 339 с.
- Гибкие автоматизированные производства. Управление технологичностью ЭА / A.M. Войчинский, Н. И. Диденко, В. П. Лузин и др. // М.: Радио и 1язь, 1987.-272 с.
- Глебов Г. Д. Поглощение газов активными металлами. М.: Госэнергоиздат, >61.-184 с.
- К Глебов Г. Д. Создание защитно-геттерных покрытий первой стенки термоядер-)го реактора // Физика и химия обработки материалов, — 1980. -№ 4, — С. 44−47. I. Готлиб Л. И. Плазменное напыление. М.: ЦИНТИхимнефтемаш, 1970. — 72 с.
- Гусев В.В., Киреев В. Ю. Плазмохимические реакторы для удаления поверхно-иых слоев материалов // ФИХОМ, — 1980. № 1, — С. 72−29.
- Иванов А.А., Соболева Т. К. Неравновесная плазмохимия. М.: Атомиздат,)78−264 с. 1. ZUC
- Измерения в промышленности. Пер. с нем. М.: Металлургия, 1990.-264 с.. Исаева Л. П., Тимофеева И. И., Цидулко А. Г. Межфазные взаимодействия в >рмировании плазменных покрытий //Порошковая металлургия, — 1994.- № 5/6. :.54−56.
- Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла: Пер. шгл. М.: Мир, 1967. — 506 с.
- Козлов Ю. С., Кузнецов О. К., Тельнов А. Ф. Очистка изделий в машино-роении. М.: Машиностроение, 1982. — 264 с.
- Корн Г., Корн Т. Справочник по математике для научных работников и ин-jHepoB. М.: Наука, 1977. — 832с.
- Костиков В. И., Шестерин Ю. А. Плазменные покрытия. М.: Металлургия, •78.- 159 с.
- Краснов А. Н., Шаривкер С. Ю., Зильберберг В. Г. Низкотемпературная плаз-1 в металлургии. М.: Металлургия, 1970. — 215 с.
- Крупин С.В., Евгенов И. Т., Пегов B.C. Синтез нитрида алюминия в потоке азмы // Физика и химия обработки материалов, — 1994, — № 2 .-С. 39−41.
- Кудинов В. В., Иванов В. М. Нанесение плазмой тугоплавких покрытий. М.: ашиностроение, 1981. — 192 с.
- Кудинов В. В. Плазменные покрытия. М.: Наука, 1977. -184 с.. Левин Г. Основы вакуумной техники: Пер. с англ. — М.: Энергия, 1969.-272 с.
- Лисовский С.М., Таран В. М. Разработка оптимального алгоритма управления 1гревом стальных деталей в тлеющем разряде. // Проектирование и техническая тагностика автоматизированных комплексов: Сб. науч. тр. Саратов: СГТУ,)95-С. 45−51.2VJ>
- Лясников В.Н., Украинский B.C., Богатырев Г. Ф. Плазменное напыление по-ытий в производстве изделий электронной техники- Саратов: СГТУ, 1985 -Ю с.
- Лясников В.Н., Таран В. М., Лаврова В. Н. Плазменное напыление титана на тки мощных генераторных ламп // Электронная техника. Серия 4.Вып. 1. 198 098−104.
- Лясников В. Н. Оборудование для плазменного напыления: Обзоры по элек-онной технике. Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование. .: ЦНИИ. Электроника. 1981. Вып. 5 (775). -47 с.
- Львович Я.Е., Фролов В. Н. Теоретические основы конструирования, техноло-и и надежности РЭА,— М.: Радио и связь, 1986, — 148 с.
- Максимов Е. Г., Панкратов О. А. Водород в металлах // Успехи физических ук -1975. Т. 116,-Вып. 3, — С. 385−411.
- Методы эталонной порометрии и возможные области их применения в элек-охимии / Ю. М. Вольфкович, В. С. Багоцкий, В. Е. Сосенкин, Е. И. Школьников Электрохимия. 1980.Т. XYI. Вып. 11.С. 1620−1652.
- Мороз Л. С., Чечулин Б. Б. Водородная хрупкость металлов. М.: Металлур-я, 1967.-225 с.
- Оборудование и технология плазменной обработки деталей ИЭТ/ Сост.В.М. фан, Ю. Н. Змиевской. М.:1985.Вып.17.Сер.7, — 58 с.
- Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной хники. / Сост. В. М. Таран, В. И. Орлов. М.: 1987. Вып. 16. Сер. 7, — 50 с. .Оборудование для напыления металлов // Semicond. Inter — 1985. № 11.-С.73−79
- Основы расчёта плазмотронов линейной схемы: Оперативно-информацион-:ый материал / Под ред. чл.-кор. АН СССР М. Ф. Жукова Новосибирск, 1979. -48 с.
- Плазменные процессы в металлургии и технологии неорганических материа-юв / Под ред. Б. Е. Патона. М.: Наука, 1973. — 243 с.
- Плаченов Т.Г., Александров В. А., Белоцерковский Г. М. Определение структу-зы пористых тел методом вдавливания ртути // Методы исследования структуры зысокодисперсных твердых тел. М., 1953. С.59−71.
- Плаченов Т.Г., Колосенцев С. Д. Порометрия. JL: Химия, 1988. 176 с.
- Полуавтоматическая установка плазменного напыления порошковых материалов / В. Н. Лясников, B.C. Украинский, Г. Ф. Богатырёв, Н. В. Иванова // Электронная техника. Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование. 1978.-Вып. 2(87).-С. 29−32
- Получение покрытий высокотемпературным распылением / Под ред. Л. К. Друхшнина, В. В. Кудинова. М.: Атомиздат, 1973. — 312 с.
- Порошковая металлургия и напыление покрытия / Под ред. Б. С. Митина. М.: Металлургия, 1987. — 792 с.
- Применение тлеющего разряда в технологии получения плазменных покрытий / С. Р. Пустотина, Л. К. Глухова, Н. Н. Новиков, Е. П. Тихоненко // Электронная обработка материалов. 1982. № 4.С. 20−30.
- Пузряков А.Ф., Левитин С. А., Лазаренко Г. А. Механизация и автоматизация процесса плазменного напыления с помощью манипуляторов // Известия Сибирского отделения АН СССР. Серия технических наук. 1984. № 16. Вып. 3. С. 110 117.
- Пузряков А.Ф., Ионов Ю. Г., Моссур Е. П. Пути совершенствования автоматизированных плазменных установок для нанесения покрытий // Автоматическая сварка. 1987. — № 4. -С. 56−58.due
- Пузряков А.Ф. Перспективы автоматизации технологического процесса плаз-енного напыления // Известия Сибирского отделения АН СССР. Серия техниче-ких наук. -1985. № 10. — Вып. 2. — С.98−102.
- Райзер Ю.П. Основы современной физики газоразрядных процессов М.: 1аука, 1980.-415 с.
- Резников А.И., Резников JI.A. Тепловые процессы в технологических системах М.: Машиностроение, 1990.-288 с.
- Розанов JI.H. Вакуумная техника. М.: Высшая школа, 1982. — 207 с. >9. Ройх И. Л., Файнштейн А. И. Механизм активации поверхности при обработке j тлеющем разряде // Физика и химия обработки материалов. -1984. — № 5, — С. 8254.
- Роберте М., Макки Ч. Химия поверхности раздела металл-газ: Пер. с англ. -М.: Мир, 1981.-539 с.
- Роботизированные технологии для плазменно-дугового поверхностного уп-эочнения машиностроительных деталей / Ставров Д., Въев Д., Димитров Ж. и др. Ч Машиностроение. 1990. 39. № 10,-С. 447−451.
- Система плазменной очистки и подготовки поверхности // Solid State. Technology. 1989, — № 4, — С.96−98.
- Сорокин В.А., Тарасенко Ю. П., Патрикеев С. В. Кинетика реакций и изменение состава при нагреве некоторых порошковых материалов и композиций для плазменных теплозащитных покрытий // Порошковая металлургия, — 1994, — № 5,-С. 45−48.
- Строганов А.И., Гоц А.Б., Дробышевский А. С. Распределение частиц порошка в плазменной струе при напылении / Челябинский политехи, ин- т. Чел-бинск, 1984.16 с. Деп. В Сибир. Отд-нии АН СССР. 16.06.84. № 2116.
- Сурис А.Л. Плазмохимические процессы и аппараты. М.:Химия, 1989, — 304 с.
- Таран В.М. Исследование и разработка процесса плазменного напыления покрытий с совмещенной активацией поверхности газовыми разрядами: Дис. канд. техн наук. М. 1983.-176 с. (МАТИ).
- Таран В.М., Митин Б. С., Бобров Г. В. Плазменное напыление покрытий с со-мещенной активацией поверхности газовыми разрядами // Теория и практика га-отермического нанесения покрытий: Материалы X Всесоюзн. совещания. М.: 985 — С.118−121
- Тимофеев В.Н., Калита В. И., Кошлев Д. И. Формирование покрытий с аморф-ой структурой при плазменном напылении // Физика и химия обработки мате-иалов, — 1996.-№ 4, — С. 47.
- Фаст Дж. Д. Взаимодействие металлов с газами: Пер. с англ. / Под ред. [.А. Шварцмана, — М.: Металлургия, 1975. -375 с.
- Филиппов Г. М. Исследование обменного плазменного механизма возбужде-ия атома при отражении от поверхности металла // Поверхность.-1994, — № 2.1. С. 78.
- Харламов Ю.А. Основные направления создания основ технологии газотер-ического нанесения покрытий // Сварочное производство. 1986.-№ 1.- С. 10−13.
- Хасуй А. Техника напыления. М.: Машиностроение, 1975 — 288 с.
- Хенней И. Химия твердого тела. М.: Мир, 1971, — 135 с.
- Цапенко М.П. Измерительные информационные системы: структуры и алго-итмы системотехнического проектирования. М.: Энергоатомиздат, 1985- 440 с.
- Цвиккер У. Титан и его сплавы: Пер. с нем. М.: Металлургия, 1979 — 511 с.
- Черемской П.Г. Методы исследования пористости тердых тел. М.: Энерго-гомиздат, 1985. 112 с.
- Черепнин Н.В. Сорбционные явления в вакуумной технике. М.: Советское адио, 1973.-384 с.
- Школьников Е.М. Методы эталонной порометрии и возможности их приме-ения в электрохимии // Электрохимия. 1980. — Т. 16. Вып. 11. — С. 1620−1653.20Х
- Шоршоров М.Х., Харламов Ю. А. Физико-химические основы детонационно-зового напыления покрытий. М.: Наука, 1978.-224 с.
- Эртмантраут М.М., Степанов В. В. О расчете равномерности покрытий // зарочное производство 1971, — № 3, — С.35−37.
- Babiak z. Factors influencing properties of plasma-sprayed layers // 10th Int. ther-al Spraying Conf. DVS Berichte Band 80, Dusseldorf.- 1983. P. 64−66.
- Fessman I. Reinigen und Aktivieren von Oberflachen im Plasma Eine Ubersicht it Anwendungsbeispielen aus den Bereichen Entfetten, Metallisieren, Lackieren und itlacken //Metalloberflache.- 1992,-№ 2, — S. 83.
- Gruner H. Moglichkeiten und Grenzen der Vakuum Plasma Spritztechnik // Met-loberflache. 1986. — Bd.40.- N 12, — S.552−527.
- Kon A. Das Plasma Spritzverfahren // Der Konstrukteur. — 1980. Bd. 11. N 12. — S. 14−15.
- Kretzschmar E. Interessante Anwendungen des thermischen Spritzens und ualitatssicherung in Auswertung der IX.IISC. ZIS — Mitteilung, Schweissmetallur-e. — 1981, — Bd.23.- N 3- S.271−286.
- Rykalin N. N., Kudinov V. V. Plasma spraying Pure and Appl Chem.- 1976. -V. S.-N2.-P. 229−239.