Синтез широкополосных спектро-и светоделительных покрытий для ИК-диапазона спектра

2.1. Методы исследования оптических констант.73.

2.2. Исследование ОК пленок фторидов и халькогенидов на основе сульфидов и селенидов.79.

2.3. Исследование ОК пленок из теллуридов свинца и германия.99.

2.4.Исследование оптических свойств легированных пленок фторида бария.108.

Актуальность работы. Спектро и светоделительные покрытия успешно используются в оптическом приборостроении, лазерной физике, аппаратуре для космических исследований, фурье-спектроскопии и других областях науки и техники. Исключительные возможности в отношении формирования требуемых спектральных кривых, незначительная масса и относительная простота реализации, обусловили их широкое применение. Однако, вопросы теории синтеза и технологии изготовления таких покрытий на современном уровне развития недостаточно изучены и разработаны. В частности, в литературе практически отсутствует обсуждение универсальных методов синтеза покрытий в широком диапазоне спектра с использованием возможностей персональных ЭВМ последнего поколения.

Для реализации широкополосных интерференционных покрытий (ИП) в инфракрасном (ИК) диапазоне спектра требуются прозрачные оптические пленки с различными коэффициентами преломления и малым поглощением в указанной области спектра. Известно, что халькогенидные пленки на основе сульфидов, селенидов и теллуридов являются перспективными пленкообразующими материалами для изготовления широкополосных ИП различного назначения. Несмотря на хорошие эксплуатационные характеристики и малые оптические потери, многие из них не получили должного распространения. Одной из причин этого является отсутствие данных по оптическим константам (ОК) пленок этих веществ, которые сильно зависят от способа и условий изготовления и отличаются от ОК исходных монокристаллов. Необходимость учета дисперсии показателей преломления и коэффициентов поглощения пленкообразующих веществ при синтезе многослойных ИП приводит к проблеме создания базы данных по оптическим константам тонких пленок.

Цель настоящей работы заключается в разработке универсальных программ и на их основе методик синтеза широкополосных покрытий различного назначения для ближнего и среднего ИК-диапазона спектра. Разработанные методики позволят синтезировать реализуемые на практике широкополосные спектрои светоделительные покрытия на основе различных пленкообразующих материалов при минимальных затратах машинного времени.

Для решения поставленной задачи требовалось:

— провести анализ существующих методов синтеза и оптимизации покрытий, разработать универсальную программу для синтеза интерференционных покрытий различного типа, которая позволит находить структуры реализуемых на практике покрытий с требуемыми спектральными характеристиками в реальном масштабе времени,.

— разработать методики синтеза широкополосных спектрои светоделительных покрытий на основе универсальной программы синтеза,.

— разработать методики и программы для расчета оптических констант пленкообразующих веществ в широком спектральном диапазоне,.

— провести исследования пленкообразующих веществ на основе халькогенидных соединений в диапазоне от 2 до 15 мкм,.

— создать базу данных по оптическим константам тонких пленок и включить ее в универсальную программу для синтеза покрытий с целью учета дисперсии показателей преломления и коэффициентов поглощения пленок,.

— провести исследования влияния легирующих добавок на пленки ВаБг и получить толстые пленки, прозрачные не только в инфракрасном, но и в видимом диапазоне спектра,.

— синтезировать, изготовить и исследовать широкополосные спектро — и светоделительные покрытия для ИК — диапазона спектра.

Положения, выносимые на защиту.

1. Составлена универсальная программа синтеза интерференционных покрытий различного назначения. В отличие от аналогов, в программе впервые предусмотрена возможность учета дисперсии показателей преломления и коэффициентов поглощения используемых пленкообразующих материалов на всем рассматриваемом участке спектра.

2. На основе созданной программы разработаны методики синтеза широкополосных спектрои светоделительных покрытий ИК-диапазона спектра, позволяющих синтезировать реализуемые на практике покрытия с требуемыми спектральными характеристиками при минимальных затратах машинного времени.

3. Разработаны методики и программы для определения ОК пленок по спектрам пропускания и отражения в широкой области спектра при наличии сильных полос поглощения и определены оптические константы (ОК) пленок М^ез, МА, РЬЭе, ?Ъ¥-2, Ва¥-2, ОеТе и РЪТе.

4. Создана база данных по оптическим константам (ОК) пленкообразующих веществ на основе литературных данных и оригинальных исследований. База данных включена в универсальную программу для синтеза интерференционных покрытий различного типа.

5. Проведены исследования влияния легирующих добавок на оптические характеристики пленок ВаГ2 и получены пленки, прозрачные в инфракрасном и видимом диапазонах спектра. На их основе синтезированы, изготовлены и исследованы спектроделительные покрытия для разделения излучения Не-Ые и СО2 лазеров.

6. Синтезированы, изготовлены и исследованы широкополосные спектрои светоделительные покрытия для ИК-диапазона спектра на подложках из ЫаС1, КВг и 2п8е.

Научная новизна и практическая ценность работы заключается в: разработке программного обеспечения для синтеза интерференционных покрытий различного назначения;

— разработке методик синтеза широкополосных спектрои светоделительных покрытий на основе созданного программного обеспечения;

— синтезе широкого класса спектрои светоделительных покрытий и практической реализации некоторых из этих покрытий;

— создании спектрофотометрических методик изучения оптических констант, основанных на численных методах и позволяющих исследовать в широком спектральном интервале пленки, спектры которых содержат сильные полосы поглощения;

— исследовании оптических констант пленок АБ28ез, АвгБз, РЬБе, РЬР2, ВаР2, ОеТе и РЬТе в широком спектральном интервале;

— исследовании влияния легирующих добавок на оптические характеристики пленок ВаР2 и получении пленок, прозрачных в инфракрасном и видимом диапазонах спектра;

— синтезе, изготовлении и исследовании покрытий для разделения излучения Не-Ме и С02 лазеров, полученных на основе пленок ВаР2 с легирующими добавками.

Личный вклад автора. Основная часть теоретических и экспериментальных исследований выполнена автором самостоятельно.

Формулировка направлений исследований, обсуждение и интерпретация результатов проводились совместно с научным руководителем.

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы докладывались на международных научных конференциях «Оптика лазеров — 98» (Санкт-Петербург, 22−26 июня 1998 г.) и «Оптика лазеров -2000» (Санкт-Петербург, 26−30 июня 2000 г.), на I, II и III Научных сессиях аспирантов, докторантов и соискателей Санкт-Петербургского государственного университета аэрокосмического приборостроения (1317 апреля 1998 г., 12−16 апреля 1999 г., 10−14 апреля 2000 г., СПбГУАП). Содержание работы опубликовано в 10 научных трудах [44, 49, 55−57, 8589].

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, трех глав и заключения. Изложена на 180 страницах машинописного текста, включая 34 рисунка и 28 таблиц. Список цитируемых литературных источников содержит 89 библиографических ссылок. Содержание работы. В первой главе описывается разработанные автором программное обеспечение и методики синтеза ИП различного назначения. Первый раздел главы посвящен обзору методов решения задач анализа и синтеза интерференционных покрытий и методов оптимизации структур синтезируемых покрытий. Прогресс в развитии скорости обработки информации персональными компьютерами и появление сред визуального программирования позволяет выбрать необходимые оптимизационные методы при написании программ для расчета многослойных покрытий с заданными оптическими характеристиками.

2.3.3. Результаты исследования пленок из РЬТе и СеТе. На рис. 2.3.1. представлены экспериментально полученные спектральные зависимости: пропускания подложки (1) и системы пленка-подложка (2) — отражения подложки (4) и системы П-П (3) — поглощения А^ЮО-Я-Т (5). Спектры, А относятся к исследованиям ОК пленки из ОеТе (<12~1.4 мкм), спектры В — пленки из РЬТе (с!2~1.25), напыленных на подложки из 2п8е с геометрическими толщинами 4.6 мм и 1.95 мм соответственно. Рис. 2.3.2. демонстрирует спектры поглощения, А (А=100-К-Т) от длины волны А, для пленок ОеТе (1) и РЬТе (2), напыленных на подложки из 2п8е, а также спектры поглощения, А данных подложек (3 и 4) без пленочных покрытий.

При использовании описанной выше методики были получены искомые зависимости показателя преломления и поглощения пленок из РЬТе и ОеТе от длины волны в спектральном диапазоне от 2 до 15 мкм. (рис. 2.3.3 и 2.3.4 соответственно). Анализ усредненных с учетом погрешности расчета дисперсионных зависимостей позволяет сделать вывод, что для пленок ОеТе спектральный диапазон до 2 мкм, а для РЬТе — до 5 мкм характеризуется высокими показателями преломления и поглощения. Для пленок РЬТе имеются два спектральных участка (приблизительно от 5 до 5,9 мкм и от 8,5 до 11 мкм), в пределах которых рассматриваемые пленки являются прозрачными для ИК излучения С02-лазера. Во всем исследуемом спектральном интервале от 4 до 12 мкм, за исключением участка 6−7 мкм, показатель преломления теллурида свинца.

РЬТе убывает от 5,2 до 5,0, а для пленок теллурида германия ОеТе в интервале от 3,5 до 13 мкм — от 3,7 до 3,3. Пленки ОеТе не имеют полос поглощения в области 3 и 6,5 мкм, обусловленных полосами поглощения абсорбированной воды и гидроксильной группы ОН, что свидетельствует о высокой плотности пленок. Оценку плотности пленок РЬТе по полосе поглощения воды в области 3 мкм провести невозможно из-за наличия собственной полосы поглощения в области 3 мкм. В области свыше 12 мкм для обоих рассматриваемых материалов наблюдаются полосы поглощения, обусловленные примесями окислов свинца и германия. Адгезия пленок к подложке проверялась тестом на «скотч», показавшим положительные результаты.

Прозрачность в указанных спектральных интервалах, а также хорошая адгезия с подложками, механическая прочность, влагоустойчивость, простота изготовления пленок высокого качества позволяют сделать вывод, что исследуемые пленкообразующие материалы РЬТе и ОеТе являются перспективными для среднего ИКдиапазона спектра.

Х, мкм.

Рис. 2.3.1. Спектральные зависимости: Т (Х-) подложки П (1) и системы Пл-П (2) — Л (А) подложки (4) и системы Пл-П (3) — поглощения А=100-Е1-Т (5). Адля пленки из веТе (с12~1.4 мкм), Вдля пленки из РЬТе (с!2~1.25).

5 4 2.

1 0 з.

А 3 д д/ а Агт* 1.

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15.

Х, м<�м.

1 2.

I*.

2 1.

V 1.

7 8 9 А, м<�м.

10 11 12 13 14 15.

Рис. 2.3.2. Спектры поглощения, А (А=100-Я-Т) от длины волны X для пленок веТе (1) и РЬТе (2), напыленных на подложки из ZnSe, а также спектры поглощения, А данных подложек (3 и 4) без пленочных покрытий.

5.0 4.5 4.0 с 3.5 3.0 2.5 2.0.

7 9 Л, мкм.

V —.

1 — - — —1 1 2 — —.

0.6 0.5 0.4 0.3 * 0.2 0.1 0.0.

Рис. 2.3.4. Зависимости показателя преломления п (1) и показателя поглощения к (2) от длины волны Я для пленки из веТе. Оптические константы пленки получены (ТД) — методом.

2.4. Исследование оптических свойств легированных пленок фторида бария.

2.4.1. Обзор литературы по исследованию влияния легирующих добавок на оптические свойства тонких пленок.

Для реализации широкополосных интерференционных покрытий в видимой и инфракрасной областях спектра требуются прозрачные оптические пленки с различными коэффициентами преломления и малым поглощением. Перспективные для этого пленки фторидов бария, кальция, стронция при суммарных оптических толщинах более 3−5 мкм в многослойных покрытиях мало прозрачны в видимой части спектра из-за потерь на рассеивание.

Для получения пленок с заданными оптическими свойствами (например, показателем преломления) можно использовать совместное напыление различных веществ [64]. Изготовленные по такой технологии пленки часто обладают более высокими механическими и оптическими свойствами. Например, структурные исследования совместно напыленных пленок Се02 и СеР3 показали, что они имеют более тонкую структуру, чем пленки отдельных компонентов смеси. В настоящее время широко используются пленки из смесей фторидов и смесей окислов для уменьшения рассеяния света в пленках [65].

В [64] приведены также и результаты исследования пленок из смеси германия ве с 2п8 и ве с М^^. Пленки были получены одновременным напылением из двух отдельных испарителей. Было установлено, что пленки из смеси Ge+ZnS относительно мягкие и гигроскопичные. В этом отношении лучшими характеристиками обладает система Ое+М?р2. Отметим, что эти эксперименты проводились с целью получения пленок с промежуточными значениями показателей преломления.

В [66] уделено внимание проблеме влияния примесей ВаР2, М^Р2, Се02, ZnS и 81 на свойства пленок германия. Автор ставил задачуполучить мелкозернистые пленки германия. Исследовались пленки при малых концентрациях (1-г5%) примесей. Использование смеси Ое+81 оказалось наиболее перспективным способом получения пленок высокого качества [67]. На основе этих результатов были разработаны, изготовлены и изучены интерференционные покрытия из слоев ZnSe и слоев ве, легированного кремнием 81, для волноводных С02-лазеров. В работе приводятся данные о влиянии условий осаждения (температуры подложки и скорости напыления), а также концентрации 81 в исходной смеси Ое+81 на поглощение и структуру покрытий. Показано, что поглощение пленок Ое связано с наличием дефектов — в виде узлов или, точнее, капель, наблюдаемых в растровом электронном микроскопе (чем больше дефектов, тем больше поглощение), и предложен способ для уменьшения поглощения в пленках Ое путем совместного напыления Ое и 81. Этот способ позволяет уменьшить поглощение в пленках германия в инфракрасной области спектра на порядок при использовании оптимальной пропорции Ое и по сравнению с пленками чистого германия. Таким образом, легирование пленок германия кремнием снижает число «узелковых» дефектов и одновременно снижает поглощение в пленках.

Статья [68] содержит анализ механизма оптических потерь в пленках германия и зеркалах из пленок германия Ое, легированного селенидом цинка 2п8е. Потери в пленках Ое в ИК-области спектра обусловлены поглощением, которое, в свою очередь, является следствием разупорядоченной структуры пленок, характеризуемой наличием большого количества «узелковых» («капельных») дефектов. Уменьшение числа подобных дефектов в структуре пленок приводит к уменьшению поглощения в них, которое слабо зависит от длин волн в диапазоне 3−12 мкм. Образование дефектов в [68] объясняется на основе термодинамического рассмотрения конденсации пересыщенного пара на подложке, а факт снижения роста «капельных» дефектов при легировании материала пленки — на основе классической теории гетерогенного образования зародышей.

Давление насыщенных паров над поверхностью с радиусом кривизны г при температуре Т имеет вид р1=р0ехр (Ост/гкТ), (2.4.1) где — атомный объем, а — поверхностное натяжение, ро — давление насыщенных паров над плоской поверхностью, р! — давление насыщенных паров над поверхностью с радиусом кривизны г. На начальной стадии зародышеобразования на поверхности образуется множество зародышей сферической формы. Преимущественное их образование происходит на дефектах структуры подложки или пленки. Они растут, коалесцируют и образуют сплошную пленку. Если в какой-то момент времени часть зародышей имеет большие размеры, то в дальнейшем эти зародыши могут расти быстрее в условиях пересыщенного пара. В теории термодинамики это соответствует состоянию неустойчивого равновесия, в котором находится набор капель различного размера, окруженный насыщенным паром. Мелкие капли, обладающие избыточной энергией, связанной с поверхностным давлением (см. формулу 2.4.1), будут испаряться, а на крупных каплях будет происходить конденсация.

С увеличением размеров капель или температуры подложки, а также с уменьшением поверхностного натяжения ст, происходит выравнивание р! и р0, т. е. преимущественный рост дефектов по сравнению с ростом пленки прекращается. Увеличение давления облегчает рост мелких капель, т. е. с ростом скорости осаждения число капельных дефектов должно увеличиваться. Уменьшение поверхностного натяжения ст может быть достигнуто легированием пленки молекулами другого вещества.

Снижение роста капельных дефектов вытекает из классической теории гетерогенного образования зародышей. Присутствие слоя адсорбированной примеси на подложке уменьшает энергию связи адсорбированного мономера, хотя возможен и противоположный эффект. При этом понижается энергия активации и для десорбции, и для поверхностной диффузии. Адсорбированные атомы более активно диффундируют по поверхности и образуют более упорядоченную структуру пленки.

В работе [69] при изучении влияния легирующих добавок на структуру кристаллических вакуумных конденсатов также установлено, что оптические свойства пленок ВаРг+М^Бг и А^з+М^Бг сильно зависят от степени дефектности по фтору, а экспериментально определенная зависимость показателя преломления пленок смеси ВаР2+1У^р2 от процентного соотношения испаряемых компонентов смеси имеет нелинейный характер.

Таким образом, на основании проведенного обзора литературы можно сделать вывод, что уменьшение рассеяния света пленками может быть достигнуто легированием данных пленок молекулами другого вещества.

2.4.2. Постановка задачи.

В настоящей работе ставилась задача исследовать оптические характеристики легированных пленок фторидов бария с целью получения пленок, прозрачных в видимом и инфракрасном диапазонах спектра.

Однако, в отличии от предыдущих разделов, здесь не определялись показатели преломления пленок п в широком спектральном диапазоне, а изучалось влияние на п, а также на плотность q пленки фторида бария условий напыления (температура подложки Т5, выбор вещества в качестве примеси и его концентрация).

Нами изучались оптических потери рассматриваемых пленок при использовании легирующих добавок Са¥-2 и М? р2 с различной концентрацией. В ходе экспериментов нужно было определить значения оптимальных концентраций СаР2 и М§ Р2 в пленках ВаР2, при которых оптические потери снижаются до минимальных, а дальнейшее экспериментальное увеличение концентрации легирующей примеси приводит к увеличению напряжения в пленках и последующему их разрушению. Кроме того, исследовалось влияние примесей на оптическую плотность пленок ВаР2 при различных значениях температуры подложки Т8.

2.4.3. Методика измерения коэффициента преломления.

Используемые нами ранее методики по ОК пленок в настоящем случае были неприменимы по двум причинам: 1) после вынесения на воздух после напыления пленок фторида бария в вакууме их показатель преломления сильно изменяется вследствие абсорбции паров воды, заполняющей поры пленок фторидов [46], 2) целью работы было исследование влияния условий напыления пленок на его оптические свойства, а не определение п в широком спектральном интервале.

Поэтому для измерения коэффициента преломления использовалась другая разработанная нами методика, базирующаяся на известных формулах [70] по определению коэффициентов пропускания и отражения двухслойной пленки. Оптические толщины напыленных слоев составляли величину Л, 0/4, где Я, 0=0,8 мкм. В качестве подложек использовался кварц КВ с п5 =1,46. Коэффициент отражения однослойной пленки с показателем преломления пн, большим показателя преломления подложки п5, равен.

Я, — [(п2нП0П8)/(ПН2 + п0п5)]2, (2.4.2) где п0 — показатель преломления обрамляющей среды, в общем случае 110=1.

Тогда коэффициент преломления первого слоя пленки, соприкасающегося с подложкой, равен пн = [п8(1(2−4.3) Коэффициент отражения двухслойной пленки Я2 = [(пн2П0-п8пь2)/(пн2п0 + п8пь2)]2 (2.4.4).

Из (2.2.4) следует, что коэффициент преломления второй пленки пь равен.

Пь = пн[(1-К2,/2)/((п8(1+Я2,/2))]½=[ (1 ,/2)/((1 +Я2Й)(1 -Я.,/2)) ]*.

2.4.5).

Коэффициент отражения поверхности с показателем преломления л.

Пз равен 11о=[(п5−1)/(пз+1)] -0,03 5, откуда мы определяем коэффициент отражения поверхности, необходимый для определения коэффициента отражения поверхности с одной и двумя пленками:

К^Ко+ЛЫь Яг^+АКг (2.4.6), где ЛИ. — изменение коэффициента отражения подложки после нанесения первого слоя, АЯ2 — изменение отражения подложки после нанесения второй пленки.

Точность определения пропускания подложки с нанесеннными пленками 5Т=5Т≠5Т2 составляла 0,5%. Пропускание определялось с помощью фотометрической системы контроля. Так как при отсутствии поглощения в пленках.

Т^ЬЯь Т2=1-Я2 (2.4.7.), то 8Т=5К=5К1=5К2=0,5%.

Погрешность определения коэффициента преломления для первой пленки равна.

5пн = 0,25п81/25КУ[К^(1-К1,/2)] х.

X | [(1 — И.!/(1 -Ы^,/2)]Кг+[(1+Я1 /2)/(1 -Я!Уг)]л | (2.4.8).

Если показатель преломления первой пленки пн лежит в пределах от 2,1 до 2,5, то погрешность определения показателя преломления первой пленки будет равна.

5пн=2,6п8К251Ы), 5×0, 03=0,015. (2.4.9).

Таким образом, абсолютная погрешность измерения не превышает.

0,02.

Погрешность измерения показателя преломления второй пленки § Пь-5пн[(1-К2К2)/(п3(1+К2/2))]/2+0,25пн5К/(п5^К2^(1+К2^))х х | [(1 1 -Е²,/2)][(1 ½)/(11/2)]5/21 • (2.4.10).

Если показатель преломления второй пленки пь находится в пределах от 1,3 до 1,5, то его погрешность измерения 8пь равна.

5пь * 0,65пн+0,85Я «0,015. (2.4.11).

Таким образом, точность измерений показателя преломления данным методом высока и сравнима с точностью измерения показателей преломления другими методами (эллипсометрическими, спектрометрическими и т. д.).

2.4.4. Определение относительной плотности и показателей преломления пленок ВаР2, ZnSe и ХпБ при разных температурах подложки.

Относительная плотность ц определяется отношением плотности пленки pf к плотности массивного образца рт. Относительная плотность (коэффициент упаковки, коэффициент заполнения) связана с показателем преломления массивного образца пт и пленки г^ соотношением [46] д=[(п2г1)/(пУ2)]х[(п2т+2)/(п2т-1)]. (2.4.12).

В таблице 2.1 даны значения относительной плотности пленки фторида бария. За оптическую плотность массивного образца фторида бария принято значение пт=1,47.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

.

1. Составлена универсальная программа, реализующая синтез интерференционных покрытий различного назначения. Использование средств визуального программирования и вычислительных машин последнего поколения, продуманный интерфейс программы и предусмотренный диалоговый режим работы пользователя привели к сокращению затрат машинного времени на решение поставленной задачи. Разработанная программа написана на языке Object Pascal в среде Delphi и функционирует под управлением операционных систем Windows 95, 98, 2000 или Windows NT.

2. Развита поэтапная методика синтеза широкополосных ИП для ИК диапазона спектра, основанная на концепции эквивалентных слоев. В отличие от предшествующих методик, в разработанных автором методике и программе упрощена процедура выбора начального приближения структуры синтезируемого покрытия, сокращено число этапов синтеза, уменьшена степень допускаемых ошибок при расчетах за счет использования базы данных по дисперсии ОК пленкообразующих материалов.

3. Проведены исследования оптических констант (ОК) пленок наиболее перспективных материалов в ИК области спектра. Определены ОК пленок ZnSe, ZnS, BaF2, PbF2, SrF2, NaF, KC1 на длинах волн X = (0.90−0.94) мкм и А, = 10,6 мкм. Исследованы ОК пленок AS2S3, AS2Se3, PbF2, BaF2, YF3 и PbSe в диапазоне 2−11 мкм, а ОК пленок GeTe и РЬТе в диапазоне спектра 2−15 мкм.

4. Создана база данных по оптическим константам тонких пленок с учетом технологии их изготовления, которая позволяет учесть вызываемые ими ошибки в расчетах синтезируемых покрытий. База данных использована в разработанной программе синтеза ИП. В базе использованы не только данные, взятые из литературных источников, но и оригинальные результаты исследования для пленок As2S3(As2Se3 и GeTe в области спектра 2−12 мкм.

5. Созданы универсальные методики вычисления ОК пленок и подложек по спектрам пропускания и отражения чистой подложки и пленки, напыленной на подложку. Данные методики основаны на численных методах решения систем нелинейных уравнений и позволяют исследовать пленки в широких спектральных диапазонах при наличии сильных полос поглощения.

6. Составлены программы для ПЭВМ типа IBM-PC, поддерживающие разработанные методики вычисления ОК. Для написания программ использовался язык программирования Object Pascal в среде Delphi.

7. Рассмотрена проблема, связанная с использованием легированных пленкообразующих материалов с измененными соответствующим образом оптическими свойствами для изготовления интерференционных покрытий. На основе легированных пленок BaF2 синтезированы, изготовлены и исследованы спектроделительные покрытия, работающие в среднем инфракрасном и видимом диапазонах спектра одновременно.

8. Найдены базовые структуры синтезированных интерференционных покрытий в диапазоне спектра 2−20 мкм на подложках из KBr, CaF2, ZnSe и NaCl. По некоторым из них реализованы на практике и исследованы покрытия для ИК-диапазона спектра с оптическими параметрами, максимально приближенными к заданным, что демонстрирует эффективность разработанных методик и универсальной программы.

9. Синтезированы и реализованы на практике спектрои светоделительных покрытия в спектральном интервале 2,5−20 мкм. Эти покрытия использовались в фурье-спектрометрах, системах обнаружения человека и первичных очагов пожара.

10. На основе легированных пленок Ва¥-2 синтезированы и изготовлены спектроделительные покрытия, разделяющие излучение С02 и Не-Ие лазеров.