АКТУАЛЬНОСТЬ Одной из глобальных проблем нашего времени является неконтролируемое загрязнение окружающей среды, обусловленное техногенной деятельностью человека. Особую опасность представляет загрязнение поверхностных, питьевых и природных вод, так как их запасы ограничены, а грунтовые и подземные воды, с которыми связывается глобальное решение данной проблемы, имеют тенденцию к аккумулированию токсичных загрязнений.
Эксплуатация подземных вод приводит к изменению показателей и режима водообмена между подземными и поверхностными водами в неблагоприятную сторону. Например, годы эксплуатации скважин питьевого водоснабжения и мониторинга состояния здоровья детей в г. Зеленограде позволили обнаружить некоторые отрицательные итоги артезианского водоснабжения, заключающиеся в том, что патогенез многих заболеваний, высокий уровень которых демонстрируется именно в г. Зеленограде, соответствует токсикологии хронического воздействия обнаруженных в питьевой воде элементов. Поэтому наряду с традиционными требованиями к качеству воды, отмечается значительный интерес к определению микроконцентраций лития и фтора. Судя по участившимся в последнее время публикациям, литий и фтор относятся к одним из наиболее распространенных и одновременно наименее изученных загрязнений по токсикологическим свойствам на организм человека.
Кроме того, как показали исследования, проведенные в области микроэлектронного производства, наличие этих примесей существенно влияет на электрофизические, оптические и другие параметры и свойства высокочистых материалов и веществ, приборов и устройств на их основе.
В связи с этим, весьма актуальными и целесообразными являются исследования, направленные на разработку и создание методов и средств, обеспечивающих экспрессный высокочувствительный контроль воды: питьевой, используемой в системах водоснабжениявысокочистой — в планарном микроэлектронном производстве.
Основными факторами, необходимыми для выбора метода высокочувствительного аналитического определения лития и фтора являются: верхний и нижний интервалы его содержания, чувствительность и избирательность метода, точность и экспрессность определения, стоимость анализа, возможность автоматизации и т. д.
Удовлетворение этих требований становится возможным благодаря изучению и применению новых методов и приемов, их развитию и совершенствованию, разработке и внедрению нового аналитического оборудования, использованию современных достижений науки и техники. Анализ литературных данных и исследований, проведенных в наших работах и работах других авторов по определению ионного содержания лития и фтора в воде, свидетельствует о том, что среди инструментальных методов анализа приоритетное место занимают электрохимические методы.
ОБЪЕКТОМ ИССЛЕДОВАНИЯ данной диссертационной работы является методология высокочувствительного экспресс-контроля ионного содержания лития и фтора в воде.
ПРЕДМЕТ ИССЛЕДОВАНИЯ — природные, артезианские (включая питьевые) и высокочистые воды, используемые в производстве электронной компонентной базы.
Теоретическую и методологическую основу работы составили исследования отечественных и зарубежных ученых и специалистов в области методов контроля питьевых, природных и очищенных вод. Экспериментальные исследования проводились на современном отечественном и импортном аналитическом оборудовании, а также на специально изготовленных средствах контроля.
Тема диссертационной работы является составной частью фундаментальных и прикладных исследований в области методов контроля воды и других объектов окружающей среды, предусмотренных:
— Федеральной Целевой Программой: «Развитие льняного комплекса в Российской Федерации на 2000;2002 г. г.»;
— Федеральной Целевой Программой: «Реструктуризация и конверсия оборонной промышленности» по направлению «Разработка новых материалов, специализированного оборудования, разработка и освоение новых технологий» (2000;2006 г. г.);
— Федеральной Целевой Программой: «Национальная технологическая база» (2002;2006 г. г.);
— Федеральной Целевой Программой: «Научные исследования высшей школы по приоритетным направлениям науки и техники» (20 022 006 г. г.);
— Научно-исследовательскими программами по тематическому плану МИЭТ.
Работа выполнена в рамках следующих НИР и НИОКР:
1. НИОКР: «Разработка НТД на методы и средства контроля экологической безопасности для нового отраслевого стандарта: «Сырье и продукция легкой и текстильной промышленности. ИВ методы определения токсичных металлов и формальдегида». Шифр «Экоконтроль-1». ГУ РФ ЦНИИ ЛКА.
2. НИОКР: «Разработка технологии производства микромеханических элементов для микросистемной техники по кремниевой технологии». Федеральная Целевая Программа «Национальная технологическая база» (2002;2004 гг." по разделу.
Микроэлектронные технологии". Государственный заказчикРоссийское агентство по системам управления.
3. НИР «Разработка технологии электрохимического синтеза новых материалов класса „stripping“ для микрои наноэлектроники». Федеральная Целевая Программа: «Научные исследования высшей школы по приоритетным направлениям науки и техники» (2002;2006 гг), подпрограмма: 208 «Электроника». Раздел: 208.01. «Материалы для микрои наноэлектроники». Номер государственной регистрации НИР: 1 200 303 893.
4. НИР «Разработка методологии аналитического контроля и сертификации качества сапфировых подложек для изготовления гетеротранзисторов и оптоэлектронных приборов на основе нитрида галлия». Федеральная Целевая Программа: «Научные исследования высшей школы по приоритетным направлениям науки и техники» (20 022 006 г. г.), подпрограмма: 208 «Электроника». Раздел: 208.01. «Материалы для микрои наноэлектроники». Номер государственной регистрации НИР: 1 200 303 729.
5. НИР: «Теоретические и экспериментальные основы методологии высокочувствительного контроля жидких сред в технологии очистки поверхности полупроводниковых пластин» Номер государственной регистрации НИР: 1 200 207 908.
ЦЕЛЬ РАБОТЫ. Целью работы является разработка методологии высокочувствительного экспресс-контроля ионного содержания лития и фтора в природных и очищенных водах.
Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи:
1. Провести критический анализ существующих методов определения ионного содержания фтора и лития в питьевых, природных ф и очищенных водах с целью: а) выбора оптимального метода аналитического контроляб) выявления имеющихся недостатков с учетом современного использования в контроле водв) определения перспективных направлений в создании основ новой методологии.
2. Уточнить теоретические модели аналитических сигналов: литияв методе инверсионной вольтамперометрии, фторид-ионов — в методе ионометрии — для научно-методических обоснований кинетических параметров электрохимических реакций при определении их содержания в питьевых, природных и очищенных водах.
3. Улучшить метрологические характеристики высокочувствительного экспресс-контроля ионных содержаний фтора и лития в воде электроаналитическими методами, применение которых ведет к существенному упрощению и удешевлению анализа.
4. Провести государственную аттестацию разработанных методик выполнения измерений в органах ГОССТАНДАРТА.
5. Провести опытно-промышленное внедрение разработанной методологии в аналитическую практику предприятий электронной промышленности и природоохранных служб РФ.
НАУЧНАЯ НОВИЗНА Научная новизна полученных результатов состоит в теоретическом обосновании, экспериментальном обеспечении и разработке методологии высокочувствительного экспресс-контроля ионного содержания лития и фтора в природных и очищенных водах.
В диссертационной работе впервые выполнено:
1. Предложена математическая модель расчета стандартной константы скорости электрохимической реакции для квазиобратимого электродного процесса разряда-ионизации лития в тонкопленочных системах метода инверсионной вольтамперометрии.
2. Предложена математическая модель, адекватно описывающая начальную стадию межфазного процесса перехода ионов из раствора в ионселективную монокристаллическую мембрану, на основе которой разработан способ расчета скорости процесса переноса фторид-ионов в метода ионометрии.
3. Разработана методология ионометрического высокочувствительного экспресс-контроля фторид-ионов в природных и.
7 «Я очищенных водах на уровне от 5×10» до 10 мг/дм .
4. Разработана методология инверсионно-вольтамперометрического высокочувствительного экспресс-контроля лития в природных и о л с -1 очищенных водах на уровне от 1,5-х10″ мг/дм до 1,0×10″ мг/дм.
ПРАКТИЧЕСКАЯ ЗНАЧИМОСТЬ.
1. Проведены расчеты и определены величины стандартной константы скорости электрохимической реакции разряда-ионизации (ks) амальгамы лития в 0,02 М растворе R4NI в диметилформамиде, где R — СНг, С2Н5, САН9, отличающиеся от известных в литературе тем, что кинетические параметры определены из данных ИВ эксперимента.
2. В соответствии с требованиями международных стандартов о -" J решена задача определения лития на уровне пхЮ" мг/дм в высокочистой воде.
3. Разработана методика выполнения измерения массовой концентрации лития в пробах высокочистой воды, природных и артезианских вод инверсионно-вольтамперометрическим методом, направленная на рассмотрение для государственной аттестации в Комитете РФ по стандартизации, метрологии и сертификации ГП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева».
4. В соответствии с требованиями международных стандартов.
7 3 решена задача определения фторид-ионов на уровне от 5×10″ мг/дм в высокочистой воде.
5. Проведена государственная аттестация в Комитете РФ по стандартизации, метрологии и сертификации ГП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева» методики выполнения измерения массовой концентрации фторид-ионов в пробах высокочистой воды, природных и артезианских вод ионометрическим методом (Свидетельство № 242/582 004 от 02.06.2004).
6. Проведено опытно-промышленное внедрение разработанных методов контроля в аналитическую практику промышленных предприятий. Эффективность разработанных методов контроля достаточно убедительно подтверждена актами внедрения в ОАО «НИИМЭ и завод Микрон», ГУ НПК «Технологический центр» МИЭТ, ОАО «РАДИЙ», ИЭЛ РАН «ЭКОНИКС».
7. Результаты исследований использованы в учебном процессе при разработке и постановке лабораторных практикумов по курсам: «Экология», «Химия окружающей среды», «Экология территорий», «Физико-химические методы анализа», «Аналитическая химия» и др.
ДОСТОВЕРНОСТЬ И ОБОСНОВАННОСТЬ РЕЗУЛЬТАТОВ РАБОТЫ подтверждена:
— положительными результатами серийных и промышленных испытаний методологии экспресс-контроля ионного содержания лития и фтора в природных и очищенных водах;
— комплексным характером проведенных исследований;
— сравнительными результатами сопоставительных анализов методами: атомно-эмиссионной (АЭС), атомно-абсорбционной (ААС) спектрометрии и масс-спектрометрии с ионизацией в индукционно-связанной плазме (ИСП);
— применением современных методов математического моделирования.
Возможность практического использования разработанных методов контроля подтверждается их успешным внедрением в аналитическую практику промышленных предприятий и научно-исследовательских институтов.
АПРОБАЦИЯ РАБОТЫ.
Основные результаты работы докладывались и обсуждались на научных конференциях и совещаниях: 8, 9, 10, 11 и 12-ой Всероссийских межвузовских научно-технических конференциях студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика» (Москва, МИЭТ, 2001,2002,2003,2004,2005 г. г.) — Всероссийских научно-технических конференциях «Новые материалы и технологии. НТМ-2002 и НТМ-2004» (Москва, МАТИ им. К. Э. Циолковского, 2002, 2004 гг.);
D 14-ой и 15-ой Всероссийских научно-технических конференциях «Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления» (Судак, 2002 г., 2003 г.) — Международной научно-технической конференции.
Микроэлектроника и информатика". (19−22 ноября 2002 г., Москва-Зеленоград, Россия);
D VII Международном симпозиуме молодых ученых, аспирантов и студентов «Техника экологически чистых производств в XXI веке: Проблемы и перспективы» (12−13 октября 2004 г., Москва, МГУИЭ).
Основные положения диссертационной работы опубликованы в 42 печатных источниках, в том числе в 11 статьях.
ЛИЧНЫЙ ВКЛАД АВТОРА.
Все основные научные и практические результаты получены автором лично и состоят в непосредственном выполнении значительной части экспериментов, расчетов, систематизации и анализе результатов. Автору принадлежит формулировка цели работы и постановка задач, обоснование и выбор путей их решения и методик исследований, выполнение большей части экспериментов, анализ, интерпретация и обобщение результатов, формулировка научных положений, выносимых на защиту, и выводов.
Исследования комплексного характера проводились по инициативе автора в рамках сотрудничества с Центральной заводской лабораторией АООТ «НИИ молекулярной электроники — завод Микрон" — отделом контроля технологических сред и экологической безопасности ГУ РФ НПК «Технологический центр" — отраслевым отделом охраны окружающей среды электронной промышленности Департамента оборонно-промышленного комплекса Министерства промышленности и энергетикиавторами — разработчиками аналитического оборудования ИЭЛ РАН «ЭКОНИКС».
НАУЧНЫЕ ПОЛОЖЕНИЯ, ВЫНОСИМЫЕ НА ЗАЩИТУ.
1. Метод расчета стандартной константы скорости электрохимической реакции разряда-ионизации (ks) лития в системах: r4ni в диметилформамиде где: r-ch3,c2h5,c4h9, максимально приближенный к условиям эксперимента, а именно, определение величины ks проводится из экспериментальных инверсионно-вольтамперометрических данных.
2. Метод расчета начальной стадии межфазного процесса перехода ионов из раствора в ионселективную монокристаллическую мембрану метода ионометрии фторид-ионов.
3. Методология высокочувствительного инверсионно-вольтамперометрического определения лития в природных и очищенных водах на уровне от 1,5-хЮ" 8 мг/дм3 до 1,0×10″ 5 мг/дм3.
4. Методология ионометрического экспресс-определения фторид-ионов в природных и очищенных водах на уровне от 5×10″ до 10 мг/дм .
СТРУКТУРА И ОБЪЕМ ДИССЕРТАЦИИ
.
Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав, заключения по основным результатам работы, выводов, списка использованной литературы и приложений. Работа содержит 150 страниц машинописного текста, включая 7 таблиц, 62 рисунка и список литературы из 120 наименований.
ВЫВОДЫ.
1. Для реализации выработанных предложений разработана структура методологии ионометрического определения фторид-ионов, включающая: приборную частьконструкционные особенности электрохимического датчикаисследования по выбору условий ионометрического определения фторид-ионовметодические особенности выполнения измерений.
2. Разработаны и экспериментально проверены алгоритмы анализа проб воды на содержание фтора. Организованы и проведены работы по госаттестации методик выполнения измерений.
6 v.
3. Разработанная методология определения nxlO" - nxlO" % масс. (1-гЮ ppb) фторид-ионов в воде апробирована и внедрена в аналитическую практику предприятий электронной промышленности (ЦЗЛ АООТ.
L/.
НИИМЭ-Микрон" и АООТ «РАДИИ», г. Москва) и предприятияразработчика и производителя аналитических приборов (ИЭЛРАН ЭКОНИКС, г. Москва).
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
.
1. Эффективный экспресс-контроль ионного содержания лития и фтора в природных и очищенных водах имеет два важных аспекта: санитарно-гигиенический и технологический. Первый состоит в том, что патогенез многих заболеваний, высокий уровень которых фиксируется в Зеленограде, с высокой степенью корреляции соответствует токсикологии хронического воздействия именно этих элементов. В технологическом плане наличие указанных примесей в высокочистой воде существенно влияет на электрофизические, оптические и другие параметры материалов, веществ и приборов в производствах электронной компонентной базы.
2. Специфика аналитического определения ионного содержания лития и фтора в природных и очищенных водах связана с многокомпонентностью объекта анализа, относительно низким содержанием искомых примесей и многовариантностью целей оценки как следствия применения вод для разнообразных нужд. Высокая чувствительность методов контроля диктуется необходимостью приближения к международным технологическим стандартам (10″ 6% против 103%, регламентируемых в РФ).
3. Основные факторы, необходимые для выбора метода высокочувствительного аналитического определения лития и фтора, границы интервала содержания (от не/л до i/л) элемента, чувствительность, избирательность, точность анализа, экспрессность и стоимость. Как показывает практика российских аналитических лабораторий, большинство приборов использует контроллеры зарубежного производства, что вызывает трудности при совмещении их с отечественными приборами. Это обстоятельство выдвигает проблему импортозамещения в качестве одного из важных факторов.
4. Сравнительный анализ методов контроля выявил ряд преимуществ электрохимических методов: относительная простота аппаратурного оформленияэкспрессность анализавысокая разрешающая способностьвозможность определения различных химических форм анализируемого веществаизмерение под управлением микропроцессорахранение результатов измеренийпортативность исполнениявозможность использования в полевых и лабораторных условиях.
5. Созданные к настоящему времени отечественные электрохимические анализаторы отличаются возможностью модульного наращивания оборудования и его поэтапной интеллектуализации, улучшенными малогабаритными параметрами, использованием российской электронной компонентной базы. Нерешенными проблемами остаются: разработка обоснованных требований к метрологическим характеристикам методик анализа вод, обеспечивающим необходимую точность измеренийразработка экспрессных методов предварительного концентрирования, не вызывающих изменения компонентного состава объекта.
Таким образом, создание методологии высокочувствительного экспресс-контроля ионного содержания фтора и лития в питьевых, природных и очищенных водах основано на решении комплекса теоретических, физико-химических и экспериментальных задач.
В диссертационной работе получены следующие научные и практические результаты:
1. Проведен критический анализ существующих методов определения ионного содержания фтора и лития в питьевых, природных и очищенных водах в целях определения оптимального варианта аналитического контроля, выявления их недостатков и определения перспективных направлений в создании основ новой методологии.
2. Уточнена теория аналитических сигналов: лития — в методе ИВ, фторид-ионов — в методе ионометрии — для теоретических и научно-методических обоснований кинетических параметров электрохимических реакций при определении их содержания в питьевых, природных и очищенных водах.
3. Разработана математическая модель квазиобратимого процесса, опирающаяся на метод расчета кинетических параметров /3,ks, El из реальной вольт-амперной кривой метода ИВ.
4. Разработана математическая модель, адекватно описывающая: начальную стадию межфазного процесса перехода фторид-ионов из раствора в ионселективную монокристаллическую мембрану метода ионометрии и на ее основе разработан способ расчета скорости процесса переноса фторид-ионов.
5. Улучшены метрологические характеристики высокочувствительного экспресс-контроля ионных содержаний фтора и лития в воде электроаналитическими методами, применение которых ведет к существенному упрощению и удешевлению анализа.
6. Разработана методология ионометрического контроля загрязнений.
7 «1 фтора в природных и очищенных водах на уровне от 5×10' до 10 мг/дм. Проведена государственная аттестация разработанных методик выполнения измерений массовой концентрации фторид-ионов в пробах высокочистой воды, природных и артезианских вод ионометрическим методом. (Свидетельство об аттестации МВИ № 242/58−2004). г т.
7. Разработанная методология определения nxlO — nxlO % масс. (1-гЮ ppb) фторид-ионов в воде апробирована и внедрена в аналитическую практику предприятий электронной промышленности (ЦЗЛ АООТ «НИИМЭ-Микрон» и АООТ «РАДИЙ», г. Москва) и предприятия — разработчика и производителя аналитических приборов (ИЭЛРАН ЭКОНИКС, г. Москва).
8.Разработана методология инверсионно-вольтамперометрического контроля загрязнений лития в природных и очищенных водах на уровне от 1,5-х 10″ 8 мг/дм3 до 1,0×10″ 5 мг/дм3. Подготовлена техническая документация для государственной аттестации разработанных методик выполнения измерений массовой концентрации лития в пробах высокочистой воды, природных и артезианских вод инверсионно-вольтамперометрическим методом. (Договор на проведение работ по аттестации МВИ № 2420/-274−2004).
9. Разработанная методология определения лития в природных и.
8 3 5 3 очищенных водах на уровне от 1,5-хЮ" мг/дм до 1,0×10″ мг/дм апробирована и внедрена в аналитическую практику предприятий электронной промышленности (ЦЗЛ АООТ «НИИМЭ-Микрон» и АООТ «РАДИИ», г. Москва) и предприятия — разработчика и производителя аналитических приборов (ИЭЛРАН ЭКОНИКС, г. Москва).
Основные положения диссертационной работы изложены в следующих печатных работах:
1. Хаханина Т. И., Ковалева А. Ю., Утенкова С. Б., Жирков М. В. «Инверсионно-вольтамперометрический контроль высокочистой воды пленарного микроэлектронного производства ИЭТ» /Тез. Докл. научно-технической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика — 2001» (МИЭТ, апрель 2001 г.), с 272.
2. Хаханина Т. И., Осипов Б. П., Осипова Н. Н., Ковалева А. Ю., Хаханин С. Ю., Никитенкова В. Н., Косоусова J1.H., Мордвинова Н. М. Определение токсичных металлов и формальдегида методом инверсионной вольтамперометрии. // Текстильная промышленность России. М: 2002, № 2, с.20−28.
3. Хаханина Т. И., Осипов Б. П., Осипова Н. Н., Ковалева А. Ю., Хаханин С. Ю., Никитенкова В. Н. Отечественные методы контроля экологической безопасности продукции текстильной и легкой промышленности. // Ж. РХО им. Д. И. Менделеева. Российский химический журнал. М: 2002, т. XLVI, № 2, с.77−81.
4. Жирков М. В., Ковалева А. Ю., Утенкова С. Б., Пинин А. Ю. «Новая технология микроэлектронного производства водоподготовки ИЭТ» /Тез. Докл. научно-технической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика — 2002» (МИЭТ, апрель 2002 г.), с. 37.
5. Ковалева А. Ю., Утенкова С. Б., Хаханин С. Ю., Сухарев С. А. «Разработка отраслевого стандарта контроля качества высокочистой воды» / Тез. Докл. научно-технической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика — 2002» (МИЭТ, апрель 2002 г.), с. 41.
6. Хаханин С. Ю., Ковалева А. Ю., Утенкова С. Б. «Определение микропримесей в монокристаллах иодата лития» / Тез. Докл. научно-технической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика — 2002» (МИЭТ, апрель 2002 г.), с. 60.
7. Хаханина Т. И., Каракеян В. И., Жирков М. В., Ковалева А. Ю., Черных С. П., Хаханин С. Ю., Утенкова С. Б. «Контроль качества высокочистой воды и его роль в технологии водоподготовки микроэлектронного производства ИЭТ» /Тез. Докл. научно-технической конференции «Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления. Датчик-2002» (Судак, май 2002 г.), с.289−291.
8. Хаханина Т. И., Торгашов Ю. Н., Жирков М. В., Ковалева А. Ю., Каракеян В. И., Черных С. П., Утенкова С. Б., Мордвинова Н. М. «Новые отечественные методы и средства в разработке отраслевого стандарта контроля качества высокочистой воды» /Тез. Докл. научно-технической конференции «Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления. Датчик-2002» (Судак, май 2002 г.), с.293−295.
9. Хаханина Т. И., Жирков М. В., Никитина Н. Г., Ковалева А. Ю., Утенкова С. Б., Хаханин С. Ю., Черных С. П. «Разработка нового ГОСТ Р «Вода высокой чистоты. Инверсионно вольтамперометрические методы контроля тяжелых металлов» / Межвузовский сборник «Научные основы технологий материалов, приборов и систем электронной техники» под ред. профессора Гусева В. В. и доцента Соколовой Т. Ю., Москва, 2002 год, стр. 114.
Ю.Хаханина Т. И., Жирков М. В., Никитина Н. Г., Ковалева А. Ю., Утенкова С. Б., Хаханин С. Ю., Черных С. П. «Разработка нового ГОСТ Р «Вода высокой чистоты. Инверсионно вольтамперометрические методы контроля щелочных металлов"/.
Межвузовский сборник «Научные основы технологий материалов, приборов и систем электронной техники» под ред. профессора Гусева В. В. и доцента Соколовой Т. Ю., Москва, 2002 год, стр. 121.
П.Косоусова JI.H., Дягилев В. В., Ковалева А. Ю., Хаханин С. Ю «Разработка системы мониторинга экологической безопасности предприятий электронной промышленности РАСУ» // Тез. Докл. Всероссийской научно-технической конференции «Новые материалы и технологии», М.: МАТИ, 2002, Т.4. с. 42.
12.Хаханин С. Ю., Косоусова JI.H., Ковалева А. Ю., Шилов С. А «Новые аналитические приборы и методы в создании общей системы мониторинга экологической безопасности предприятий микроэлектроники» // Тез. Докл. Всероссийской научно-технической конференции «Новые материалы и технологии», М.: МАТИ, 2002, Т.4. с. 43.
1 З. Ковалева А. Ю., Черных С. П., Утенкова С. Б., Терашкевич И. М. «Инверсионно — вольтамперометрические методы контроля тяжелых металлов в высокочистой воде» // Тез. Докл. Всероссийской научно-технической конференции «Новые материалы и технологии», М.: МАТИ, 2002, Т.4. с. 79.
14.Утенкова С. Б., Ковалева А. Ю., Черных С. П., Еремин Г. В. «Контроль примесей щелочных металлов в высокочистой воде методом инверсионной вольтамперометрии» // Тез. Докл. Всероссийской научно-технической конференции «Новые материалы и технологии», М.: МАТИ, 2002, Т.4. с. 94.
15.Хаханина Т. И., Жирков М. В., Ковалева А. Ю., Утенкова С. Б. «Разработка нового ГОСТ Р контроля качества воды высокой чистоты» // Тез. Докл. Всероссийской научно-технической конференции «Новые материалы и технологии», М.: МАТИ, 2002, Т.4. с. 96.
16.Терашкевич И. М., Ковалева А. Ю., Козлов Ю. Ф., Утенкова С. Б. «Новые отечественные высокоэффективные технологические среды для жидкостной химической очистки пластин монокристаллического кремния» // Тез. Докл. Всероссийской научно-технической конференции «Новые материалы и технологии», М.: МАТИ, 2002, Т.З. с. 57.
17.Хаханина Т. Н., Ковалева А. Ю., Терашкевич И. М., Ковалев А. А. «Проблемы и перспективы использования смеси КАРО для очистки поверхности полупроводниковых структур» // Тез. Докл. Всероссийской научно-технической конференции «Новые материалы и технологии», М.: МАТИ, 2002, Т.З. с. 60.
18.Торгашов Ю. Н., Хаханина Т. И., Ковалева А. Ю., Хаханин С. Ю. «Новые материалы электронной техники класса „STRIPPING“ и их применение в планарном микроэлектронном производстве ИЭТ» // Тез. Докл. Всероссийской научно-технической конференции «Новые материалы и технологии», М.: МАТИ, 2002, Т.З. с. 80.
19.Еремин Г. В., Черных С. П., Ковалева А. Ю., Хаханин С. Ю. «Новые технологии глубокой очистки поверхности электрохимически синтезированными растворами высокой энергии» // Тез. Докл. Всероссийской научно-технической конференции «Новые материалы и технологии», М.: МАТИ, 2002, Т.З. с. 27.
20.Черных С. П., Ковалева А. Ю., Еремин Г. В., Хаханин С. Ю «Проблемы сертификации подложек сапфира для производства приборов на основе GaN» // Тез. Докл. Всероссийской научно-технической конференции «Новые материалы и технологии», М.: МАТИ, 2002, Т.4. с. 98.
21.Жирков М. В., Каракеян В. И., Утенкова С. Б., Ковалева А. Ю., Чаплыгин Е. Ю. «Расчеты экономической эффективности новой технологии водоподготовки микроэлектронного производства ИЭТ».
Тез. Докл. научно-технической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика — 2002» (МИЭТ, ноябрь 2002 г.), с. 325.
22.Хаханина Т. И., Каракеян В. И., Жирков М. В., Ковалева А. Ю., Утенкова С. Б. Разработка методов и средств контроля качества высокочистой воды // Тез. докл. IV Международной н.-т. конф. «Микроэлектроника и информатика-2002"-М.:МИЭТ, Т.2. 2002.-с.326.
23.Шилов С. А., Черных С. П., Ковалева А. Ю., Утенкова С. Б., Жирков М. В. «Новая технология водоподготовки микроэлектронного производства ИЭТ». Тез. Докл. научно-технической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика — 2002» (МИЭТ, ноябрь 2002 г.), с. 321.
24.Хаханина Т. И., Торгашов Ю. Н., Ковалева А. Ю., Утенкова С. Б., Ковалев А. А., Шилов С. А., Климкина Н. А., Хаханин С. Ю. «Система диагностики процессов электрохимического синтеза новых материалов электронной техники класса «STRIPPING» «/Тез. Докл. научно-технической конференции «Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления. Датчик-2003», с.302−304.
25.Хаханина Т. И., Косоусова JI. Н., Ковалева А. Ю., Каракеян В. И., Утенкова С. Б., Матеенков С. В., Климкина Н. А., Хаханин С. Ю. «Контроль высокотоксичных элементов в сточных водах предприятий электронной промышленности РАСУ» /Тез. Докл. научно-технической конференции «Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления. Датчик-2003» с.304−305.
26.Хаханина Т. И., Ковалева А. Ю., Утенкова С. Б., Климкина Н. А., Козлова Е. Е., Кузьмичев Н. Ю. Суханов В. Н. «Контроль за состоянием экологической безопасности объектов окружающей среды при их охране и эксплуатации» Вестник БГТУ им. В. Г. Шухова. Спецвыпуск: Материалы II Международной научно-практической конференции «Экология: образование, наука, промышленность и здоровье «. № 8. 2004 г. 4.IV. с.214−216.
27.Т. И. Хаханина, Л. С. Суханова, А. Г. Борисов, А. Ю. Ковалева, Н. Г. Никитина, С. Б. Утенкова, Н. Ю. Кузьмичев «Анализ основных направлений экологического образования и воспитания в Московском государственном институте электронной техники» Вестник БГТУ им. В. Г. Шухова. Спецвыпуск: Материалы II Международной научно-практической конференции «Экология: образование, наука, промышленность и здоровье «. № 8. 2004 г. 4.1. с. 198−200.
28. Хаханина Т. И., Ковалева А. Ю., Утенкова С. Б., Климкина Н. А., Козлова Е. Е., Кузьмичев Н. Ю. Суханов В. Н. «Электроаналитические методы в исследованиях систем водоснабжения Зеленограда». Вестник БГТУ им. В. Г. Шухова. Спецвыпуск: Материалы II Международной научно-практической конференции «Экология: образование, наука, промышленность и здоровье «. № 8. 2004 г. 4.IV. с. 213−214.
29.Т. И. Хаханина, Л. С. Суханова, А. Г. Борисов, А. Ю. Ковалева, Н. Г. Никитина, С. Б. Утенкова, Н. Ю. Кузьмичев «Анализ основных направлений экологического образования и воспитания в Московском государственном институте электронной техники» Вестник БГТУ им.
B.Г.Шухова. Спецвыпуск: Материалы П Международной научно-практической конференции «Экология: образование, наука, промышленность и здоровье «. № 8. 2004 г. 4.1. с. 198−200.
30.Хаханина Т. И., Ковалев А. А., Суханов В. Н., Ковалева А. Ю., Шилов.
C.А., Ю. Н. Торгашов «Безотходные технологии очистки поверхности в решении проблем переработки и утилизации отходов предприятий электронной промышленности РАСУ». Вестник БГТУ им. В. Г. Шухова. Спецвыпуск: Материалы II Международной научно-практической конференции «Экология: образование, наука, промышленность и здоровье «. № 8. 2004 г. 4.VI. с. 312−314.
31.Т. И. Хаханина, А. Ю. Ковалева, Н. Г. Никитина, В. Н. Суханов, С. Б. Утенкова, Н. А. Климкина, Н. Ю. Кузьмичев «Экологическая сертификация и стандартизация методологии экспресс — контроля содержания фторид — ионов в воде». Тез. докл. научно-технической конференции «Окружающая природная среда и экологическое образование и воспитание» (Пенза, 2004 г).
32.Т. И. Хаханина, А. Ю. Ковалева, С. А. Шилов, JI. С. Суханова, С. Б. Утенкова, Н. А. Климкина, Н. Ю. Кузьмичев «Экологическая сертификация и стандартизация методов и средств экспресс — контроля содержания тяжелых металлов в воде», Тез. докл. научно-технической конференции «Окружающая природная среда и экологическое образование и воспитание» (Пенза, 2004 г).
33.Т. И. Хаханина, А. Ю. Ковалева, Н. Г. Никитина, JI. С. Суханова, С. Б. Утенкова, Е. Е. Козлова, Н. Ю. Кузьмичев «Внедрение системы непрерывного экологического образования и воспитания в Московском государственном институте электронной техники» Тез. докл. научно-технической конференции «Окружающая природная среда и экологическое образование и воспитание» (Пенза, 2004 г).
34.Ковалева А. Ю. «Разработка методологии высокочувствительного экспресс-контроля ионного содержания лития и фтора в природных и очищенных водах». В сб. тез. докл. Всероссийской научно-практической конференции «Новые материалы и технологии — НМТ-2004». В 3 томах. Т.З.-М.: «МАТИ-РГТУ им. К. Э. Циолковского. 2004. с. 63.
35.Ковалева А. Ю., Изуткина Д. В., Гурская А. А. «Анализ основных направлений концепции устойчивого развития и менеджмента в экологическом образовании студентов и аспирантов Московского государственного института электронной техники» В сб. материалов VIII Международного Симпозиума молодых ученых, аспирантов и студентов «Техника экологически чистых производств в XXI веке: Проблемы и Перспективы» М.: МГУИЭ.2004. с. 82−85.
36.Хаханин С. Ю., Ковалева А. Ю., Изуткина Д. В., Гурская А. А. «Безотходные технологии очистки поверхности в решении экологических проблем предприятий электронной промышленности». В сб. материалов VIII Международного Симпозиума молодых ученых, аспирантов и студентов «Техника экологически чистых производств в XXI веке: Проблемы и Перспективы» М.: МГУИЭ.2004. с. 85−90.
37.Хаханина Т. И., Кузьмичев Н. Ю., Ковалева А. Ю., Суханова JI.C., Климкина Н. А., Утенкова С. Б., Козлова Е. Е. Н. Ю. «Исследование систем водоснабжения Зеленограда и контроль за состоянием их экологической безопасности». В сб. науч. тр. Вопросы прикладной геоэкологии. Под ред д.г.н., проф. А. В. Хабарова — М.: «Папирус ПРО. 2004. с.180−187.
38.Суханова Л. С., Хаханина Т. И., Ковалева А. Ю., Хаханин С. Ю., Климкина Н. А., Утенкова С. Б., Козлова Е. Е. «Инверсионно-вольтамперометрический контроль содержания тяжелых металлов в поверхностных и подземных водах». В сб. науч. тр. Вопросы прикладной геоэкологии. Под ред д.г.н., проф. А. В. Хабарова — М.: «Папирус ПРО. 2004. с. 188−205.
39.Ковалева А. Ю., Хаханина Т. И., Суханов В. Н., Н. Ю. Кузьмичев, Хаханин С. Ю., Климкина Н. А., Утенкова С. Б. «Ионометрический контроль содержания фторид-ионов в питьевых, природных и очищенных водах». В сб. науч. тр. Вопросы прикладной геоэкологии.
Под ред. д.г.н., проф. А. В. Хабарова — М.: «Папирус ПРО. 2004. с. 206−220.
40.Хаханина Т. И., Ковалев А. А., Торгашов Ю. Н., Косоусова JI.H., Хаханин С. Ю., Ковалева А. Ю., Шилов С. А. «Экологически безопасные ресурсосберегающие технологии очистки поверхности и репроцессорные комплексы для их промышленного внедрения». В сб. науч. тр.: Вопросы прикладной геоэкологии. Под ред. д.г.н., проф. А.В.Хабарова-М.: «Папирус ПРО. 2004. с.220−236.
41.Ковалева А. Ю. «Экологическая сертификация и стандартизация методологии экспресс-контроля содержания фторид-ионов в воде» В сб. материалов III Всероссийской научной конференции «Химия и химическая технология на рубеже тысячелетий» Томск. Изд-во Томского политехнического университета 2004. с. 185−186.
42.Ковалева А. Ю., Балина Е. А. Разработка методологии высокочувствительного экспресс-контроля ионного содержания лития и фтора в природных и очищенных водах. // Тез. докл. 12-ой Всероссийской н.-т. конф. студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика-2005"-М.:МИЭТ, 2005.-c.361.
