Помощь в написании студенческих работ
Антистрессовый сервис

Теория и методы расчета упругих подвесов инерциальных чувствительных элементов приборов навигации

Диссертация: Теория и методы расчета упругих подвесов инерциальных чувствительных элементов приборов навигации
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Среди инерциальных ЧЭ, содержащих упругий подвес, можно выделить основные классы приборов, разработка которых, с одной стороны, нужна для решения целого комплекса навигационных задач подвижных объектов, а с другой стороны, является чрезвычайно сложной на этапах расчета и проектирования. В настоящей диссертации, как объекты исследования особо выделены ММГ и ГГ, в которых ИТ совершают угловые… Читать ещё >

Теория и методы расчета упругих подвесов инерциальных чувствительных элементов приборов навигации (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Содержание

  • Перечень использованных сокращений
  • Глава 1. ОСНОВНЫЕ ПРОБЛЕМЫ ПРОЕКТИРОВАНИЯ ИНЕРЦИАЛЬНЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ С УПРУГИМИ ПОДВЕСАМИ
    • 1. Л. Современное состояние разработок инерциальных чувствительных элементов с упругими подвесами для измерительных модулей подвижных объектов
      • 1. 1. 1. Общие сведения
      • 1. 1. 2. Микромеханические гироскопы
      • 1. 1. 3. Приборы измерения гравитационного поля Земли
      • 1. 2. Принципы построения инерциальных чувствительных элементов с упругими подвесами инерционного тела
      • 1. 2. Л. Принцип работы и конструкции микромеханических гироскопов. 33 1.2.2. Принцип работы и конструкции гравитационных градиентометров
      • 1. 3. Классификация инерциальных чувствительных элементов
      • 1. 4. Проблемы проектирования инерциальных чувствительных элементов с упругими подвесами
      • 1. 4. 1. Проблемы разработки микромеханических гироскопов
      • 1. 4. 2. Проблемы разработки гравитационных градиентометров
      • 1. 4. 3. Основные интегральные характеристики упругих подвесов
  • ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 1
    • ГЛАВА 2. МЕТОДЫ АНАЛИТИЧЕСКОГО ИССЛЕДОВАНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК ИНЕРЦИАЛЬНЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ С УПРУГИМИ ПОДВЕСАМИ
  • 2. 1. Математические модели динамики инерциальных чувствительных элементов с упругими подвесами инерционного тела
  • 2. Л .1. Методики составления математических моделей
    • 2. 1. 2. Математические модели микромеханических гироскопов
    • 2. 1. 3. Математические модели гравитационных градиентометров
    • 2. 2. Особенности динамики инерциальных чувствительных элементов при анизотропии инерционных свойств тела
    • 2. 2. 1. Общая постановка и некоторые частные случаи в гироскопии
    • 2. 2. 2. Гантельный эффект в гравитационных вариометрах и градиентометрах
    • 2. 2. 3. Особенности динамики микромеханического гироскопа
    • 2. 2. 4. Прогностическая задача в сейсмологии
  • ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 2
    • ГЛАВА 3. РАЗВИТИЕ ТЕОРИИ УПРУГОГО ПОДВЕСА ДЛЯ
  • ИНЕРЦИАЛЬНЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ
    • 3. Л. Методика составления модели упругого подвеса
    • 3. 2. Модель упругого подвеса и его матрица жесткости
    • 3. 3. Требования к структуре упругого подвеса и его параметрам
    • 3. 4. Собственные частоты колебаний и их настройка
    • 3. 5. Нелинейные эффекты в упругих подвесах
    • 3. 6. Упругие подвесы с криволинейными элементами: методика расчета и возможности использования
  • ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 3
    • ГЛАВА 4. КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ И КОНЕЧНО ЭЛЕМЕНТЫЙ АНАЛИЗ КОНСТРУКЦИЙ УПРУГИХ ПОДВЕСОВ
  • 4. 1. Компьютерные методы проектирования и анализа конструкций
  • 4. 2. Метод конечно-элементного анализа упругих подвесов
    • 4. 2. 1. Расчет напряженно-деформированного состояния упругих подвесов
    • 4. 2. 2. Вычисление собственных частот упругих подвесов и построение амплитудно-частотных характеристик
    • 4. 2. 3. Учет жесткости инерционного тела при расчете собственных частот упругого подвеса
    • 4. 2. 4. Оценка стойкости к ударным воздействиям
  • 4. 3. Принципы построения систем автоматизированного проектирования микромеханических чувствительных элементов с упругими подвесами
    • 4. 3. 1. Структура программного комплекса
    • 4. 3. 2. Модуль «Конструкция микромеханического акселерометра»
    • 4. 3. 3. Модуль «Конструкция микромеханического гироскопа»
    • 4. 3. 4. Модуль «Системы управления»
    • 4. 3. 5. Модуль «Системы термостабилизации»
  • ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 4
  • ГЛАВА 5. ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫЕ ПОГРЕШНОСТИ ИНЕРЦИАЛЬНЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ С УПРУГИМИ ПОДВЕСАМИ ИНЕРЦИОННОГО ТЕЛА
    • 5. 1. Модель погрешностей инерциальных чувствительных элементов
      • 5. 1. 1. Статический дисбаланс
      • 5. 1. 2. Динамический дисбаланс
      • 5. 1. 3. Неравножесткость подвеса и его элементов
      • 5. 1. 4. Перекосы осей
      • 5. 1. 5. Неравенство параметров
    • 5. 2. Анализ особенностей технологических процессов изготовления конструкций упругих подвесов
      • 5. 2. 1. Традиционные технологии пространственных упругих подвесов
      • 5. 2. 2. Микроэлектронные технологии планарных упругих подвесов
    • 5. 3. Технологические погрешности изготовления и их влияние на характеристики упругих подвесов
      • 5. 3. 1. Особенности расчета характеристик упругих подвесов при использовании технологии микроэлектронного производства
      • 5. 3. 2. Изменение геометрических размеров упругих элементов
      • 5. 3. 3. Изменение взаимного расположения упругих элементов
      • 5. 3. 4. Изменение формы упругих элементов
  • ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 5
  • ГЛАВА 6. РЕЗУЛЬТАТЫ РАЗРАБОТКИ ИНЕРЦИАЛЬНЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ С УПРУГИМИ ПОДВЕСАМИ И ИХ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ
    • 6. 1. Испытания гравитационных градиентометров и вариометров
      • 6. 1. 1. Обоснование конструкции чувствительного элемента ротационного гравитационного градиентометра
      • 6. 1. 2. Испытания макета чувствительного элемента ротационного гравитационного градиентометра
      • 6. 1. 3. Обоснование конструкции чувствительного элемента статического гравитационного вариометра
      • 6. 1. 4. Испытания экспериментального образца чувствительного элемента статического гравитационного вариометра
    • 6. 2. Испытания микромеханических гироскопов
      • 6. 2. 1. Обоснование конструкции чувствительного элемента микромеханического гироскопа
      • 6. 2. 2. Проверка статических характеристик подвесов
      • 6. 2. 3. Определение динамических характеристик подвесов
      • 6. 2. 4. Испытания на вибрационные и ударные нагрузки
      • 6. 2. 5. Испытания в режиме датчика угловой скорости
  • ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ 6

    • История создания прецизионных датчиков и приборов навигации, в которых используются инерциальные чувствительные элементы (ЧЭ) с упругим подвесом инерционного тела (ИТ), насчитывает не одно десятилетие. На основе функциональных схем ЧЭ с упругим подвесом ИТ создано большое количество конструкций акселерометров, вибрационных гироскопов, гравиметров, гравитационных градиентометров и вариометров различного применения, в первую очередь для навигации и управления подвижными объектами, а также для изучения строения Земли, поиска полезных ископаемых, прогноза землетрясений. Основы теории этих приборов разрабатывались такими учеными, как А.Ю. Иш-линский [39], В. Ф. Журавлев [28−30], Д. М. Климов [28, 167], A.A. Красовский [45, 46], Л. И. Брозгуль [12], Л. А. Северов [92−95], Д. С. Пельпор [68], Л.В. Ого-родова [66], Г. Б. Вольфсон [16−19], И. И. Калинников [40, 41].

    Для достижения требуемой высокой точности указанных приборов необходимо обеспечивать высокую стабильность характеристик механических подвесов. Приборы с высокостабильными упругими подвесами разрабатываются с конца XIX века (маятники, вариометры и акселерометры), при этом проблема совершенствования упругих подвесов, изготавливаемых на основе новейших технологий, в настоящее время не только сохраняется, но и становится все более острой. Упругие подвесы ИТ выполняют весьма ответственную роль в конструкции приборов. Только при высоком качестве подвесов создаются предпосылки для точного измерения физической величины. Использование упругих подвесов позволяет достичь ряда технических преимуществ, к которым можно отнести технологичность конструкций, возможность создания заданной анизотропии упругих характеристик, малость диссипативных потерь вследствие отсутствия разъемных соединений в конструкции, обеспечение удержания ИТ в подвешенном состоянии при отключении электрического питания прибора.

    В связи со стремительным развитием микромеханики особую актуальность в настоящее время приобретает разработка микромеханических гироско7 пов (ММГ) и микромеханических акселерометров (ММА) [А6, 69, 107, 120, 205]. Наблюдаемый в течение последнего десятилетия прогресс в технологии изготовления микромеханических инерциальных ЧЭ потребовал перехода на новый, современный уровень технологии расчета и проектирования упругих подвесов при ориентации на массовое производство датчиков. Существенная новизна методов проектирования микромеханических систем рассматриваемого типа связана с применением материалов и технологий изготовления, заимствованных из микроэлектронной промышленности, с резким уменьшением размеров (порядка 1 мм) и зазоров в конструкции (порядка 2 мкм), с необходимостью автоматизации и минимизации времени проектирования в условиях современного крупносерийного и массового производства. Перспективность использования микромеханических инерциальных ЧЭ, обладающих малыми массогаба-ритными характеристиками, низкой стоимостью и повышенной виброударостойкостью, для широкого класса приборов навигации и управления движением обуславливает актуальность разработки как самих упругих подвесов, так и совершенствования методов их расчета и проектирования.

    Мировым лидером в разработке ММГ является Лаборатория им. Ч. Дрей-пера, занимающаяся проблематикой создания микромеханических датчиков с начала 1990;х годов [6, 115, 118]. В настоящее время серийное производство ММГ класса точности (0,05−0,1)°/с освоено компаниями Analog Devices, SensoNor, Bosh, Kionix и другими. Разработки отечественных ММГ начаты с отставанием более чем на десятилетие, но постепенно выходят на мировой уровень. Несмотря на большое количество публикаций по тематике ММГ и ММА использование зарубежного опыта проектирования оказалось весьма ограничено вследствие фрагментарности и рекламного характера основного числа статей и докладов. Существенным ограничением является недоступность технологий изготовления, являющихся «know-how» разработчиков.

    Работы в ЦНИИ «Электроприбор» над созданием ММГ начаты в 2001 году по инициативе академика РАН В. Г. Пешехонова под научным руководством проф. Л. П. Несенюка [A35, А44, 72]. Следует отметить работы в этом направ8 лении таких организаций как ОАО Раменское ПКБ [14], АОЗТ «Гирооптика» [A4, А7, А10, 52, 78], НГЖ «Оптолинк», НИИ ИМ им. акад. В. И. Кузнецова [25]. Большой вклад в теорию и создание ММГ и ММА внесли Л. П. Несенюк [А42-А45], Л. А. Северов [92, 94, 95], A.M. Лестев [52, 53], Д. П. Лукьянов [56], С. Г. Кучерков [49−51], В. М. Ачильдиев [4, 5], А. П. Мезенцев [61], Ю. К. Жбанов [128]. Теории ММГ и обобщению опыта их разработки посвящены монографии В. Я. Распопова [87], В. Э. Джашитова и В. М. Панкратова [23], A.C. Неаполитанского и Б. В. Хромова [65]. Среди зарубежных исследований необходимо отметить работы таких авторов, как W. Geiger [147−152], J. Geen [145, 146], N. Barbour [118−120], A. Shkel [203, 204], D. Lynch [181]. Автор данной диссертации участвовал в разработке ММГ с 1999 года для АОЗТ «Гирооптика» и с 2001 года — в ЦНИИ «Электроприбор» как заместитель научного руководителя. На научном обобщении этих научно-исследовательских и конструкторских работ построена прикладная часть диссертации.

    Наряду с новыми приложениями (ММГ, ММА) нужно учитывать, что не потеряли актуальности также такие инерциальные ЧЭ с упругим подвесом ИТ, как гравиметры, измеряющие ускорение силы тяжести, и гравитационные градиентометры (ГГ) и вариометры (ГВ), измеряющие компоненты тензора вторых производных геопотенциала (ВПГП). Работы по созданию ГГ и ГВ при участии автора проводились в ЦНИИ «Электроприбор» под руководством академика В. Г. Пешехонова в 1980;х — 1990;х гг [75]. Точность таких средств измерений находится на уровне точности уникальных физических экспериментов и обуславливает необходимость применения самых передовых технологий. Актуальность разработки подобных приборов обуславливается открытием новых сфер применения, а именно: поиск полезных ископаемых, каротаж буровых скважин, решение задач сейсмологии для оперативного прогноза сильных землетрясений, фундаментальные исследования гравитационных полей [А2, 41, 109, 198].

    Единые подходы к расчету и проектированию упругих подвесов ЧЭ всех этих и других подобных приборов на основе общих принципов, математических моделей, инженерных методик расчета и программного обеспечения в на9 стоящее время отсутствуют, но они необходимы и актуальны, их использование позволит значительно улучшать характеристики перечисленных приборов и сокращать время разработки.

    Среди инерциальных ЧЭ, содержащих упругий подвес, можно выделить основные классы приборов, разработка которых, с одной стороны, нужна для решения целого комплекса навигационных задач подвижных объектов, а с другой стороны, является чрезвычайно сложной на этапах расчета и проектирования. В настоящей диссертации, как объекты исследования особо выделены ММГ и ГГ, в которых ИТ совершают угловые колебания. Выделенные классы приборов представляют два полюса свойств упругих подвесов и требований к ним: пространственные низкочастотные («сверхмягкие») подвесы по измерительной оси для ГГ и планарные высокочастотные («сверхжесткие») подвесы для ММГ. В случае ММГ, основанных на принципе измерения кориолисовых сил инерции при относительных вибрациях ИТ, и ГГ с несколькими ИТ требуется обеспечивать определенные значения двух и более собственных частот, а так же стабильность их взаимных соотношений.

    Цель работы. Целью настоящей диссертации является разработка научно обоснованных технических решений по проектированию упругих подвесов инерциальных ЧЭ, а также формулирование практических рекомендаций по созданию конструкций этих подвесов на основе теоретических и экспериментальных исследований.

    Достижение поставленной цели свелось к постановке и решению следующих основных задач:

    — создание многоаспектной классификации конструкций инерциальных ЧЭ с упругими подвесами ИТ;

    — развитие теории многомерных подвесов с использованием их линейных и нелинейных моделей и разработка методов выбора их параметров исходя из совокупности требований к ним;

    — обоснование принципов проектирования упругих подвесов инерциальных ЧЭ;

    — формулирование и обоснование предложений по схемным решениям подвесов;

    — анализ основных инструментальных погрешностей ЧЭ, обусловленных технологическими несовершенствами изготовления подвесов;

    — разработка метода расчета влияния вариаций размеров, формы и взаимного положения элементов подвеса на упругие характеристики;

    — разработка алгоритмов и основ построения систем автоматизированного проектирования (САПР) микромеханических инерциальных ЧЭ;

    — разработка методик экспериментального исследования образцов ЧЭ, анализ результатов и выработка рекомендаций по проектированию упругих подвесов.

    Методы исследования. Рассматриваемые в диссертационной работе задачи решаются с использованием методов и математического аппарата аналитической механики, сопротивления материалов, теории упругости, а также путем численного моделирования на ЭВМ с использованием программ конечно-элементного анализа (КЭА). Для описания математических моделей в большинстве случаев используется аппарат векторного и тензорного исчисления, обладающего большой компактностью записи формул.

    Новизна исследований, проведенных в диссертационной работе, заключается в следующем:

    — впервые проведена классификация инерциальных ЧЭ по широкому спектру классификационных признаков, обобщающая доступную информацию по различным конструктивным схемам инерциальных измерителей;

    — развита теория многомерных упругих подвесов, что позволяет с единых методических позиций осуществлять выбор параметров и структуры упругих подвесов;

    — проведен анализ инструментальных погрешностей инерциальных ЧЭ, позволивший выявить ряд новых факторов, имеющих существенное влияние на точность показаний разработанных и проектируемых приборов;

    — разработан новый метод расчета упругих характеристик при вариациях.

    11 размеров, формы и взаимного положения элементов подвеса;

    — на основе проведенных исследований обоснованы и разработаны оригинальные конструкции упругих подвесов прецизионных инерциальных ЧЭ;

    — разработаны новые алгоритмы расчета основных характеристик микромеханических приборов и создан специализированный программный комплекс для их проектирования.

    Новизна разработанных в ходе исследований оригинальных технических решений защищена свидетельством на полезную модель и патентами РФ, которые внедрены при создании конструкций различных инерциальных ЧЭ.

    Практическая ценность полученных результатов состоит в следующем:

    — разработанная автором система классифицирования признаков конструкций ускоряет поиск конструктивных решений разрабатываемых и изготавливаемых приборов и служит концепцией для создания поисковой системы в базах данных интерактивных САПР. С использованием классификации расширяются возможности поиска новых схемных решений систем подвеса ИТ, обладающих значительными преимуществами перед существующими вариантами;

    — полученные автором аналитические соотношения, описывающие основные инструментальные погрешности ЧЭ с упругими подвесами, приспособлены как для анализа точности разрабатываемых приборов, так и для выработки требований к уровню технологической точности изготовления;

    — разработанный метод расчета упругих характеристик подвесов при вариациях размеров, формы и взаимного положения элементов подвеса позволяет анализировать результаты изготовления и прогнозировать уровень возникающих ошибок ЧЭ при экспериментальных исследованиях;

    — сформулированные принципы проектирования упругих подвесов инерциальных ЧЭ разного класса точности создают возможность разработки конструкций, адаптированных для различных условий эксплуатации.

    Основные научные и практические результаты исследований по теме диссертационной работы использованы и внедрены в ряде прикладных научно.

    12 исследовательских и опытно-конструкторских работ в ЦНИИ «Электроприбор» при разработке ГГ и ГВ (шифры тем «Угорь», «Узор», «Результат — МСП», «Риверс», «Клеймовщик», «Клеймовщик — 2») и ММГ (шифры тем «Микротехнология», «Микроскоп», «Микроскоп-Н», «Микроскоп-Ф», «База-ЭП», «КП-ЭП»).

    Основные положения и результаты исследований докладывались и обсуждались на международных, всероссийских и межотраслевых научно-технических конференциях и симпозиумах, на научно-технических конференциях профессорско-преподавательского состава: на межотраслевых конференциях, посвященных памяти H.H. Острякова (С.-Петербург, 1998;2006) — на совместных научных сессиях Секции навигационных систем и их чувствительных элементов и Санкт-Петербургской секции прецизионной гироскопии Научного совета РАН по проблемам управления движением и навигации (Москва, 1998, 2004) — на научных конференциях молодых ученых «Навигация и управление движением» (С.-Петербург, 1999;2007) — на научно-технических конференциях профессорско-преподавательского состава ИТМО (С.-Петербург, 2000, 2005, 2007) — на I международной конференции по мехатронике и робототехнике «МиР'2000» (С.-Петербург, 2000) — на международной геофизической конференции «300 лет горно-геологической службе Росии» (С.-Петербург, 2000) — на 5 сессии международной научной школы «Фундаментальные и прикладные проблемы теории точности процессов, машин, приборов и систем (Фридлендеров-ские чтения)» (С.-Петербург, 2002) — на международном симпозиуме РАН «Микророботы, микромашины и микросистемы» (Москва, 2003) — на III международном симпозиуме «Аэрокосмические приборные технологии» (С.Петербург, 2004) — на I Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «Мехатроника, автоматизация, управление — МАУ-2004» (Владимир, 2004) — на V международной научно-технической конференции «Интеллектуальные и многопроцессорные системы» (Таганрог, 2004) — на XII международной научно-технической конференции по интегрированным навигационным системам (С.-Петербург, 2005) — на V международной научно.

    13 технической конференции «Гиротехнологии, навигация и управление движением» (Киев, 2005) — на международном симпозиуме Gyro Technology (Штутгарт, Германия, 2005).

    Основные научные результаты работы опубликованы в научных изданиях, выпускаемых государственными издательствами. По теме диссертации опубликовано 54 печатные работы, в том числе 1 свидетельство на полезную модель и 5 патентов.

    Диссертационная работа содержит введение, шесть глав, заключение, список литературы из 225 наименований. Материал изложен на 340 страницах с 136 рисунками и 21 таблицей в тексте.

    Выводы по главе 6.

    1. На основе проведенных теоретических исследований обоснованы и разработаны конструкции инерциальных ЧЭ с упругим подвесом ИТ, таких как: РГГ, СГВ и ммг.

    2. Проведены испытания спроектированного с учетом результатов теоретических исследований макета ЧЭ РГГ, в ходе которых получены следующие основные результаты:

    — относительное несовпадение частот колебаний коромысел в подвесах не превысило 5 Т = 2 • 10″ 5;

    — добротности колебательных систем подвесов коромысел лежат в пределах 4000−5000;

    — момент статического дисбаланса коромысел не более 1,5−10″ 3 Н-мм;

    — уровень флуктуаций выходного сигнала макета в ночное время суток составил 1 -2 Этв;

    — экспериментально получена частотная характеристика выходного сигнала макета при изменении периода вращения устройства вращения с шагом 10 мкс;

    — порог чувствительности макета ЧЭ ротационного гравитационного градиентометра находится на уровне 3 Этв за время измерения 10 мин.

    3. Проведенные испытания экспериментального образца ЧЭ СГВ показали, что основные параметры балансировки коромысел, вакуумирования измерительного объема и юстировки относительного положения ДУ и ДМ обеспечивают нормальное функционирование вариометра на неподвижном основании и на подвижном основании при установке на гироскопический стабилизатор.

    В ходе испытаний получены следующие основные результаты:

    — момент статического дисбаланса коромысла не превышает 2−10″ 4 Н-мм;

    — порог чувствительности прибора составляет 0,1 Этв;

    — погрешность определения вторых производных гравитационного потенциала экспериментального образца ЧЭ СГВ в условиях неподвижного и ка.

    310 чающегося основания не превышает 3 Этв.

    4. Экспериментально исследованы более 1000 образцов различных модификаций упругих подвесов ММГ. В результате измерений характеристик упругих подвесов получено:

    — собственные частоты первичных и вторичных колебаний совпадают с расчетными значениями с погрешностью менее 10%;

    — расстройка собственных частот первичных и вторичных колебаний соответствует расчетным значениям, а вариации расстройки согласуются с заданными технологическими допусками на изготовление упругих элементов;

    — добротности колебательных контуров по оси первичных колебаний были не менее 100 000, по оси вторичных — не менее 50 000.

    5. Проведены экспериментальные исследования ММГ для диапазонов измерения ± 300% и ± 1000% на стенде вращения Acutronic и получены следующие основные результаты:

    — время готовности не более 5 с;

    — полоса пропускания не менее 40 Гц;

    — коэффициент преобразования имеет порядок 1 мВ/(%) и может быть существенно увеличен при подавлении квадратурной погрешности;

    — нелинейность характеристики выходного сигнала 0,3−2%;

    — имеет место вибростойкость приборов в диапазоне 20−2000 Гц с амплитудой 5g;

    — уровень широкополосного шума в полосе пропускания 0,02−0,05%Л/Гц.

    6. Результаты проведенных испытаний экспериментально подтверждают основные теоретические положения диссертационной работы и возможность создания ММГ и ГГ с заданными характеристиками для приборов навигации.

    ЗАКЛЮЧЕНИЕ

    .

    В представленной диссертации на основании разработанных автором теоретических положений изложены научно обоснованные технические решения по проектированию упругих подвесов инерциальных ЧЭ приборов навигации, внедрение которых вносит значительный вклад в развитие экономики страны и повышение ее обороноспособности.

    Основные научные и практические результаты диссертационной работы сводятся к следующему:

    1. Предложена многоаспектная классификация конструкций инерциальных ЧЭ по широкому спектру классификационных признаков, позволяющая с единых методических позиций осуществлять сравнительный анализ различных конструктивных схем измерителей.

    2. Показана общность вопросов проектирования различных ЧЭ с упругими подвесами и разработана единая концепция теоретических основ построения конструкций.

    3. Сформулированы основные принципы проектирования упругих подвесов инерциальных ЧЭ, разработан общий метод расчета линейных и нелинейных характеристик подвеса по параметрам формы и положения упругих элементов.

    4. Развита теория многомерного, в общем случае нелинейного, упругого подвеса, позволившая решить серию задач расчета характеристик подвеса для обеспечения заданной точности инерциальных ЧЭ. Сформулированы и обоснованы требования к структуре построения подвесов и к выбору их параметров.

    5. На основе разработанных математических моделей и аналитических соотношений проведен анализ основных, связанных с упругим подвесом, инструментальных погрешностей инерциальных ЧЭ и выявлены основные факторы, вносящие существенный вклад в погрешности собственных частот и выходных сигналов.

    6. Рассмотрены нелинейные эффекты в конструкциях упругих подвесов, получены оценки их зависимостей от параметров упругих элементов и предложены конкретные технические решения, снижающие нелинейность упругих характеристик.

    7. Разработан метод расчета характеристик упругих подвесов при вариациях размеров, формы и взаимного положения элементов подвеса. Получены аналитические соотношения и выполнено моделирование с использованием программ КЭА, подтверждающее справедливость аналитических соотношений. Сформулированы требования к точности формообразования упругих подвесов и технологическим процессам их изготовления.

    8. Разработаны оригинальные алгоритмы и основные элементы интерактивной САПР микромеханических ЧЭ, включающей в себя модули расчета характеристик ММА, ММГ, разработки систем автоматического управления и систем термостабилизации.

    9. В соответствии с разработанными методами конструирования предложены оригинальные технические решения, защищенные свидетельством на полезную модель и патентами, и спроектирован ряд ЧЭ ММГ и ГГ.

    10. Результаты испытаний образцов ЧЭ ГВ и ГГ подтвердили справедливость теоретических положений и показали, что в условиях неподвижного основания и качки погрешность приборов не превышает 1−3 Этв при пороговой чувствительности порядка 0,1 Этв.

    11. Результаты испытаний образцов ЧЭ ММГ подтвердили достоверность полученных результатов и обоснованность научных положений и показали, что погрешность в измерении угловой скорости не превышает 0,05 град/с при пороговой чувствительности 0,02 град/с. Экспериментально проверена и подтверждена расчетная стойкость разработанных приборов к поступательным вибрациям (5g, до 2 кГц) и ударным воздействиям (1000 0,5 мс).

    ПУБЛИКАЦИИ АВТОРА ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ.

    AI. Вольфсон, Г. Б. Новые результаты разработки гравитационных вариометров для подвижных объектов / Г. Б. Вольфсон, М. И. Евстифеев, В.Г. Ро-зенцвейн // Совместная научная сессия Секции навигационных систем и их чувствительных элементов и С-Пб секции прецизионной гироскопии Научного совета РАН по проблемам управления движением и навигации. — Гироскопия и навигация. — 1998. — № 1 — С.93−94.

    А2. Вольфсон, Г. Б. Гравитационный вариометр для оперативного прогноза сильных землетрясений / Г. Б. Вольфсон, М. И. Евстифеев, В. Г. Розенцвейн // Материалы XXI конференции памяти H.H. Острякова. — Гироскопия и навигация. — 1998. — № 4. — С.106−107.

    A3. Вольфсон, Г. Б. Базовый чувствительный элемент гравитационного вариометра для геофизических исследований / Г. Б. Вольфсон, М. И. Евстифеев, В. Г. Розенцвейн // Материалы XXI конференции памяти H.H. Острякова. — Гироскопия и навигация. — 1998. — № 4. — С. 107−108.

    A4. Евстифеев, М. И. Разработка и исследование микромеханического гироскопа / М. И. Евстифеев, A.M. Лестев, И. В. Попова [и др.] // Гироскопия и навигация. — 1999. — № 2. — С.3−10.

    А5. Вольфсон, Г. Б. Новое поколение гравитационных вариометров для геофизических исследований / Г. Б. Вольфсон, М. И. Евстифеев, Ю. И. Никольский [и др.] // Геофизическая аппаратура. — 1999. — № 102. — С.90−105.

    А6. Евстифеев, М. И. Состояние разработок и перспективы развития микромеханических гироскопов / М. И. Евстифеев // Навигация и управление движением: материалы II конференции молодых ученых. — СПб.: ЦНИИ «Электроприбор». — 2000. — С. 54−71.

    А7. Евстифеев, М. И. Микромеханические гироскопы: особенности динамики, проблемы конструирования и технологии изготовления / М. И. Евстифеев, A.M. Лестев, И. В. Попова [и др.] // МиР'2000: сборник трудов I международной конференции по мехатронике и робототехнике, том 2. — С-Пб, 2000. — С.169−173.

    А8. Вольфсон, Г. Б. Ориентация чувствительного элемента скважинного гравитационного вариометра / Г. Б. Вольфсон, М. И. Евстифеев, В.Г. Розенц-вейн // Материалы XXII конференции памяти H.H. Острякова. — Гиро-скопия и навигация. — 2000. № 4. — С.55−56.

    А9. Вольфсон, Г. Б. Современные технологии в разработках геофизических гравитационных вариометров / Г. Б. Вольфсон, М. И. Евстифеев [и др.] // Материалы международной геофизической конференции «300 лет горногеологической службе Росии». — СПб, 2000. — С.240−241.

    AI0.Евстифеев, М. И. Особенности микромеханических гироскопов / М. И. Евстифеев [и др.] // Микросистемная техника. — 2000. — № 4. — С. 16−18.

    AI 1. Свидетельство на полезную модель 18 768 Российская Федерация, МПК 7 G01 С 19/56. Микромеханический вибрационный гироскоп // Евстифеев М. И., Кучерков С. Г., Несенюк Л. П., Пешехонов В. Г., Унтилов A.A.- заявл. 12.03.2001; опубл. 10.07.2001, Бюл.№ 19 — 3 с.

    А12.Патент 2 172 967 Российская Федерация, МПК 7 G01 V 7/10. Гравитационный вариометр // Вольфсон Г. Б., Денисов Б. И., Евстифеев М. И., Пешехонов В. Г., Розенцвейн В. Г., Щербак А.Гзаявл.05.06.2000; опубл.27.08.2001, Бюл.№ 24. — 7 с.

    А13.Патент 2 175 773 Российская Федерация, МПК 7 G01 V 7/10. Гравитационный вариометр // Вольфсон Г. Б., Евстифеев М. И., Пешехонов В. Г., Розенцвейн В. Г., Щербак А.Г.- заявл.24.04.2000; опубл. 10.11.2001, Бюл.№ 31. -5 с.

    А14.Евстифеев, М.И. Конечно-элементный анализ конструкции микромеханического гироскопа / М. И. Евстифеев, A.A. Унтилов // Навигация и управление движением: тез. докл. III конф. — Гироскопия и навигация. -2001. -№ 2.-С.102.

    AI5.Евстифеев, М.И. Конечно-элементный анализ конструкции микромеханического гироскопа / М. И. Евстифеев, A.A. Унтилов // Навигация и управление движением: материалы III конференции молодых ученых. -СПб.: ЦНИИ «Электроприбор». — 2001. — С. 101−108.

    AI6.Евстифеев, М. И. Определение ресурса упругого подвеса микромеханиче.

    315 ского гироскопа / М. И. Евстифеев, C.B. Громова, A.A. Унтилов // Фундаментальные и прикладные проблемы теории точности процессов, машин, приборов и систем (Фридлендеровские чтения). Труды 5 сессии международной научной школы. — СПб., 2002. — С. 110−117.

    А17.Евстифеев, М. И. Анализ механических, электрических и тепловых характеристик при проектировании микромеханического гироскопа / М. И. Евстифеев, М. Ф. Смирнов, A.A. Унтилов // Навигация и управление движением: тез. докл. IV конф. — Гироскопия и навигация. — 2002. — № 3. -С.128.

    AI8.Евстифеев, М. И. Анализ механических, электрических и тепловых характеристик при проектировании микромеханического гироскопа / М. И. Евстифеев, М. Ф. Смирнов, A.A. Унтилов // Навигация и управление движением: материалы IV конференции молодых ученых. — СПб.: ЦНИИ «Электроприбор». — 2002. — С. 142−148.

    AI9.Евстифеев, М. И. Погрешности микромеханического гироскопа на вибрирующем основании / М. И. Евстифеев // Гироскопия и навигация. — 2002. -№ 2.-С. 19−25.

    А20.Евстифеев, М. И. Влияние технологических погрешностей на упругие характеристики подвеса микромеханического гироскопа / М. И. Евстифеев, A.A. Унтилов // Материалы XXIII конференции памяти H.H. Острякова. -Гироскопия и навигация. — 2002. — № 4. — С.41−42.

    А21.Вольфсон, Г. Б. Новое поколение гравитационных вариометров для геофизических исследований / Г. Б. Вольфсон, М. И. Евстифеев [и др.] // Применение гравиинерциальных технологий в геофизике: сборник статей и докладов. — СПб.: ЦНИИ «Электроприбор». — 2002. — С.122−135.

    А22.Евстифеев, М. И. Оценка порога чувствительности микромеханических гироскопов / М. И. Евстифеев // Гироскопия и навигация. — 2003. — № 1. -С.27−33.

    А23.Евстифеев, М. И. Требования к точности изготовления упругого подвеса микромеханического гироскопа / М. И. Евстифеев, A.A. Унтилов // Гироскопия и навигация. — 2003. — № 2. — С.24−31.

    A24.Evstifeev, M.I. Demands to Production Accuracy of Flexible Suspension of Micromechanical Gyroscope / M.I. Evstifeev, A.A. Untilov // Proceedings of IARP Workshop on Micro Robots, Micro Machines and Micro Systems, Russian Academy of Sciences, Institute for Problems in Mechanics, Moscow, Russia. — April 24−25, 2003. — pp.293−301.

    А25.Евстифеев, М. И. Автоматизированная система расчета конструкции чувствительного элемента микромеханического гироскопа / М. И. Евстифеев [и др.] // Навигация и управление движением: тез. докл. V конф. — Гиро-скопия и навигация. — 2003. — № 4. — С. 108.

    А26.Евстифеев, М. И. Автоматизированная система расчета конструкции чувствительного элемента микромеханического гироскопа / М. И. Евстифеев [и др.] // Навигация и управление движением: материалы V конференции молодых ученых. — СПб.: ЦНИИ «Электроприбор». — 2004. — С.80−87.

    А27.Евстифеев, М. И. Вопросы разработки конструкции микромеханического гироскопа / М. И. Евстифеев // Совместная научная сессия Секции навигационных систем и их чувствительных элементов и С-Пб секции прецизионной гироскопии Научного совета РАН по проблемам управления движением и навигации, Москва, июль 2003. — Гироскопия и навигация. -2004. -№ 3. -С.119.

    А28.Евстифеев, М. И. Проблемы расчета и проектирования микромеханических гироскопов / М. И. Евстифеев // Гироскопия и навигация. — 2004. -№ 1. — С.27−39.

    А29.Евстифеев, М. И. Анализ компьютерных средств проектирования микромеханических гироскопов с позиций мехатроники / М. И. Евстифеев [и др.] // Мехатроника, автоматизация, управление. — 2004. — № 2. — С.31−37.

    A30.Евстифеев, М. И. Классификационные признаки конструкций микромеханических гироскопов / М. И. Евстифеев // Гироскопия и навигация. — 2004. — №.3. — С.30−37.

    A31. Евстифеев, М. И. Особенности расчета упругих характеристик кремниевого микромеханического гироскопа / М. И. Евстифеев, А. А. Унтилов // Аэрокосмические приборные технологии: материалы III международного.

    317 симпозиума. — СПб.: ГУАП. — 2004. — С.297−298.

    А32.Евстифеев М. И. Анализ проблем конструирования микромеханических гироскопов // Аэрокосмические приборные технологии: материалы III международного симпозиума. — СПб.: ГУАП. — 2004. — С.301−303.

    АЗЗ.Баженов, А. Г. Автоматизированное проектирование конструкции микромеханического гироскопа / А. Г. Баженов, М. И. Евстифеев, A.A. Унтилов // Мехатроника, автоматизация, управление: труды I Всероссийской научно-технической конференции с международным участием, Владимир. — М.: Новые технологии, 2004. — С.310−313.

    А34.Евстифеев, М. И. Исследование влияния нелинейной жесткости на характеристики вибрационного микромеханического гироскопа / М. И. Евстифеев [и др.] // Микросистемная техника: материалы Международной научной школы. — Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2004. — С.85−94.

    А35.Пешехонов, В. Г. Результаты разработки микромеханического гироскопа / В. Г. Пешехонов, Л. П. Несенюк, М. И. Евстифеев [и др.] // Материалы XXIV конференции памяти H.H. Острякова. — Гироскопия и навигация. -2004. — № 4. — С.65.

    A36.Евстифеев, М. И. Оценка нелинейной жесткости упругого подвеса микромеханического гироскопа / М. И. Евстифеев [и др.] // Материалы XXIV конференции памяти H.H. Острякова. — Гироскопия и навигация. — 2004. -№ 4. — С.65−66.

    A37.Евстифеев, М. И. Исследование инструментальных погрешностей микромеханического гироскопа / М. И. Евстифеев, A.A. Унтилов // Материалы XXIV конференции памяти H.H. Острякова. — Гироскопия и навигация. -2004. — № 4. — С.66.

    A38.Евстифеев, М. И. Анализ характеристик микромеханического гироскопа с нелинейной жесткостью подвеса / М. И. Евстифеев [и др.] // Интеллектуальные и многопроцессорные системы: материалы V международной научно-технической конференции, Таганрог — Известия ТРТУ, 2004. — № 9 (44) — С.204−208.

    А39.Евстифеев, М. И. Конструкции подвесов микромеханических гироскопов /.

    М.И. Евстифеев, А. А. Унтилов // Навигация и управление движением: тез. докл. VI конф. — Гироскопия и навигация. — 2005. — № 1. — С.92.

    А40.Евстифеев, М. И. Конструкции подвесов микромеханических гироскопов / М. И. Евстифеев, А. А. Унтилов // Навигация и управление движением: материалы VI конференции молодых ученых. — СПб.: ЦНИИ «Электроприбор». — 2005. — С. 136−148.

    А41.Евстифеев, М. И. Особенности конструирования чувствительного элемента микромеханического гироскопа / М. И. Евстифеев, А. А. Унтилов // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО «Программирование, управление и информационные технологии»: материалы XXIV научной и учебно-методической конференции ИТМО, посвященной 100-летию первого выпуска специалиста ВУЗа. — СПб: ГУ ИТМО. — 2005. — вып. 19. — С.233−238.

    A42.Peshekhonov, V.G. Development of a Micromechanical Disc-shape Gyroscope / V.G. Peshekhonov, L.P. Nesenyuk, M.I. Evstifeev [et al.] // Proceedings of 12th Saint Petersburg International Conference on Integrated Navigation Systems. — 2005. — pp.343−347.

    А43.Пешехонов, В. Г. Результаты разработки микромеханического гироскопа / В. Г. Пешехонов, Л. П. Несенюк, М. И. Евстифеев [и др.] // Гиротехнологии, навигация и управление движением: сборник докладов V международной научно-технической конференции. — Киев: НТУУ «КПИ». — 2005. — С.28−36.

    А44.Peshekhonov, V.G. Development and Test Results of a Micromechanical Discshape Gyroscope / V.G. Peshekhonov, L.P. Nesenyuk, M.I. Evstifeev [et al.] // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. — 2005. -pp.8.0−8.10.

    A45.Пешехонов, В. Г. Результаты разработки микромеханического гироскопа / В. Г. Пешехонов, Л. П. Несенюк, М. И. Евстифеев [и др.] // Гироскопия и навигация. — 2005. — № 3. — С.44−51.

    А46.Евстифеев, М. И. Исследование поведения чувствительного элемента микромеханического гироскопа на вибрирующем основании / М. И. Евстифеев [и др.] // Навигация и управление движением: тез. докл. VII конф. — Гиро.

    319 скопил и навигация. — 2005. — № 3. — С.19.

    А47.Евстифеев, М. И. Исследование поведения чувствительного элемента микромеханического гироскопа на вибрирующем основании / М. И. Евстифеев [и др.] // Навигация и управление движением: материалы VII конференции молодых ученых. — СПб.: ЦНИИ «Электроприбор». — 2006. — С. 168−174.

    А48.Патент 2 269 746 Российская Федерация, МПК G01 С 19/56. Микромеханический вибрационный гироскоп // Евстифеев М. И., Несенюк Л. П., Пеше-хонов В.Г., Унтилов A.A.- заявл.06.12.2004; опубл. 10.02.2006, Бюл.№ 4. — 8 с.

    А49.Евстифеев, М. И. Автоматизированная система расчета конструкции чувствительного элемента микромеханического акселерометра / М. И. Евстифеев [и др.] // Навигация и управление движением: тез. докл. VIII конф. -Гироскопия и навигация. — 2006. — № 2. — С.89.

    А50.Евстифеев, М. И. Упругие подвесы инерционных тел в точном приборостроении / М. И. Евстифеев // Материалы XXV конференции памяти H.H. Острякова. — Гироскопия и навигация. — 2006. — № 4. — С.81.

    А51.Патент 2 289 788 Российская Федерация, МПК G01 С 19/56. Микромеханический вибрационный гироскоп // Евстифеев М. И., Несенюк Л. П., Пеше-хонов В. Г, Унтилов A.A.- заявл. 18.05.2005; опубл.20.12.2006, Бюл.№ 35. — 8 с.

    А52.Патент 2 296 302 Российская Федерация, МПК G01 С 19/56. Микромеханический вибрационный гироскоп // Евстифеев М. И., Несенюк Л. П., Пеше-хонов В.Г., Унтилов A.A.- заявл. 15.11.2005; опубл. 27.03.2007, Бюл.№ 9. — 8 с.

    А53.Евстифеев, М. И. Упругие подвесы инерционных тел в точном приборостроении / М. И. Евстифеев // Гироскопия и навигация. — 2007. — № 2. -С.62−74.

    А54.Евстифеев, М. И. Упругие подвесы приборов навигации / М. И. Евстифеев // Известия вузов, Приборостроение. — 2007. — т.50, № 5. — С.24−36.

    Показать весь текст

    Список литературы

    1. , Л.Е. Упругие элементы приборов / J1.E. Андреева. — М.: «Машиностроение», 1981. — 392 с.
    2. , В.А. Сравнительный анализ характеристик микромеханических гироскопов с поступательным и вращательным движениями чувствительного элемента / В. А. Апостолюк, A.B. Збруцкий // Гироскопия и навигация. 1999. — № 4. — С.3−9.
    3. , В.М. Микромеханический вибрационный гироскоп-акселерометр / В. М. Ачильдиев, В. Н. Дрофа, В. М. Рублев // Микросистемная техника. 2001. — № 5. — С. 8−10.
    4. , В.М. Система измерений геометрических параметров и качества покрытия дорожного полотна на основе инерциального блока БИ-210 / В. М. Ачильдиев и др. // Микросистемная техника. 2001. — № 8. — С.19−24.
    5. , Н. Направления развития инерциальных датчиков / Н. Бабур, Дж. Шмидт // Гироскопия и навигация. 2000. -№ 1. — С.3−15.
    6. , И.В. Обобщенная математическая модель одномассовых микромеханических гироскопов / И. В. Балабанов // Гиротехнологии, навигация и управление движением: сб. докл. IV международной науч.-техн. конф. Киев: НТУУ «КПИ». — 2003. — С. 123−129.
    7. , П.И. Полупроводниковая электроника. Свойства материалов: справочник / П. И. Баранский, В. П. Клочков, И. В. Потыкевич. Киев: «Наукова думка», 1975. — 704 с.
    8. , B.JI. Прикладная теория механических колебаний / B.JI. Би-дерман. М.: Высшая школа. — 1972. — 416 с.
    9. , Г. Д. Гироскопические компасы / Г. Д. Блюмин, Ю. К. Жбанов, В. Н. Кошляков // Развитие механики гироскопических и инерциальных систем. М.: Наука, 1973. — С.253−284.
    10. , Л.И. Вибрационные гироскопы / Л. И. Брозгуль, E.JI. Смирнов. -М.: Машиностроение, 1970. 215 с.
    11. , И. Физические основы микротехнологии / И. Броудай, Дж. Мерей. М.: Мир, 1985. — 496 с.
    12. , В.Л. Разработка кремниевых датчиков первичной информации для систем навигации и управления / В. Л. Будкин и др.// Гироскопия и навигация. 1998.- № 3.-С.94−101.
    13. , Ю.А. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве / Ю. А. Быстров, Е. А. Колгин, Б. Н. Котлецов. М.: Радио и связь, 1988.- 168 с.
    14. , Г. Б. Влияние гантельного эффекта на точность гиростабилизи-рованного гравитационного вариометра / Г. Б. Вольфсон, В. Г. Розенцвейн // Гироскопия и навигация. 1995. — № 4. — С.33−42.
    15. , Г. Б. Новые технологии в гравитационной градиентометрии / Г. Б. Вольфсон // Гироскопия и навигация. 2003. — № 1. — С.99−109.
    16. , Г. Б. О возможности использования современного гравитационного вариометра для прогноза землетрясений / Г. Б. Вольфсон // Гироскопия и навигация. 2001. — № 4. — С.33−45.
    17. , Г. Б. Состояние и перспективы развития гравитационной градиентометрии / Г. Б. Вольфсон // Применение гравиинерциальных технологий в геофизике. СПб.: ГНЦ РФ — ЦНИИ «Электроприбор», 2002. — С.90−105.
    18. Гай, Э. Наводящиеся снаряды с инерциальной навигационной системой на микромеханических датчиках, интегрированной с GPS / Э. Гай // Гироскопия и навигация. 1998. -№ 3. — С.72−81.322
    19. , С.П. Теория упругости: Учебник для вузов / С. П. Демидов. М.: Высшая школа, 1979. — 432 с.
    20. , В.Э. Выбор параметров упругого подвеса планарного микромеханического гироскопа на основе определения частот его собственных колебаний / В. Э. Джашитов, В. М. Панкратов // Гироскопия и навигация -2005. № 4. — С.42−56.
    21. , В.Э. Математические модели теплового дрейфа гироскопических датчиков инерциальных систем / В. Э. Джашитов, В.М. Панкратов- под общ. ред. академика РАН В. Г. Пешехонова. СПб.: ГНЦ РФ — ЦНИИ «Электроприбор», 2001. — 150 с.
    22. , В.Э. Расчет температурных и технологических погрешностей микромеханических гироскопов / В. Э. Джашитов и др. // Микросистемная техника. 2001. — № 3. — С.2−10.
    23. , В.П. Основные проблемы создания миниатюрного инерциально-го измерительного прибора на базе микромеханических чувствительных элементов / В. П. Доронин и др. // Гироскопия и навигация. 1996. — № 4.- С. 55.
    24. Жеков, К. CAE-системы в XXI веке / К. Жеков // САПР и Графика 2000.- № 2. С.75−79.
    25. , O.A. Современное состояние и перспективы развития зарубежной гравиизмерительной техники / O.A. Жернаков, Д. А. Егоров // Гироскопия и навигация. 1998. -№ 1. — С.35−47.
    26. , В.Ф. Волновой твердотельный гироскоп / В. Ф. Журавлев, Д. М. Климов. М.: «Наука», 1985.- 126 с.
    27. , В.Ф. Обобщенный маятник Фуко в режиме управления углом прецессии / В. Ф. Журавлев // Известия РАН. Механика твердого тела. -2002. № 5. — С.3−7.
    28. , В.Ф. Управляемый маятник Фуко как модель одного класса свободных гироскопов / В. Ф. Журавлев // Известия РАН. Механика твердого тела. 1997. — № 6. — С.27−35.
    29. , Д. Использование ANSYS для расчета MEMS-устройств / Д. Захаров // САПР и Графика 2000. — № 5. — С.54−55.
    30. , A.B. Динамика чувствительного элемента микромеханического гироскопа с дополнительной рамкой / A.B. Збруцкий, В. А. Апостолюк // Гироскопия и навигация. 1998. — № 3. — С.13−23.
    31. Испытания макета чувствительного элемента ротационного гравитационного градиентометра: протокол испытаний / ЦНИИ «Электроприбор». -СПб., 1992. 25 с. — Инв.№ 18−92/81.
    32. Испытания микромеханического гироскопа: протокол испытаний / ЦНИИ «Электроприбор». СПб., 2006. — 10 с. — Инв.№ 1−12−06/816.
    33. Испытания микромеханического гироскопа с дополнительными электродами для подавления квадратурной помехи: протокол испытаний / ЦНИИ «Электроприбор». СПб., 2006. — 4 с. — Инв.№ 02−06−06/816.
    34. Испытания экспериментального образца морского гравитационного вариометра на качающемся основании: протокол испытаний / ЦНИИ «Электроприбор». СПб., 1995. — 18 с. — Инв.№ 22−95/81.
    35. Испытания экспериментальных образцов микромеханического гироскопа и корректировка документации: отчет о НИР «Микроскоп» (3 этап) / ЦНИИ «Электроприбор" — рук. Л. П. Несенюк. СПб., 2003. — 210 с. — Инв.№ 16/81.
    36. Исследование работоспособности первых экспериментальных образцов микромеханического гироскопа: отчет о НИР «Микроскоп» (2 этап) / ЦНИИ «Электроприбор" — рук. Л. П. Несенюк. СПб., 2002. — 110 с. -Инв.№ 5/81.
    37. , А.Ю. Прикладные задачи механики: кн. 2. Механика упругих и абсолютно твердых тел /А.Ю. Ишлинский. М.: Наука, 1986. — 416 с.
    38. , И.И. Горизонтальные крутильные весы сейсмоприемник с многолепестковой диаграммой направленности / И. И. Калинников // ДАН. — 1991. — т. 317, № 4. — С.868−872 .
    39. , И.И. Оперативный прогноз землетрясений в телесейсмической зоне реальность / И. И. Калинников и др. // ДАН. — 1992. — т. 323,3246. С.1068−1071.
    40. , С.А. Технологии МЭМС в разработках интегральных датчиков механических параметров / С. А. Козин // Микросистемная техника. 2003. -№ 11. — С.10−14.
    41. , Ю.А. Пластичность и прочность полупроводниковых материалов и структур / Ю. А. Концевой, Ю. М. Литвинов, Э. А. Фаттахов. М.: «Радио и связь», 1982. — 240 с.
    42. , A.A. Базовая концепция комбинированной многоярусной инерциальной виброзащиты и орбитальные измерения микромаятниковым прибором / A.A. Красовский // Космические исследования. 2000. — Т. 38, № 4. — С.404−413.
    43. , A.A. Пути создания бортовых ротационных гравитационных градиентометров / A.A. Красовский // Оборонная техника. 1983. — № 6. -С. 52−57.
    44. , Б.И. Теория и практика гироскопического компаса: 4. IV / Б. И. Кудревич. Военмориздат, 1939. — 370 с.
    45. , А.Ю. Методы и средства измерений линейных размеров в нано-метровом диапазоне / А. Ю. Кузин, В. Н. Марютин, В. В. Календин // Микросистемная техника. 2001. — № 4. — С.9−18.
    46. , С.Г. Использование интегрирующих свойств вибрационного микромеханического гироскопа с резонансной настройкой для построения датчика угловой скорости компенсационного типа / С. Г. Кучерков // Гиро-скопия и навигация. 2002. — № 2. — С. 12−18.
    47. , С.Г. Определение необходимой степени вакуумирования рабочей полости осциллятора микромеханического гироскопа / С. Г. Кучерков // Гироскопия и навигация. 2002. — № 1. — С.52−56.
    48. , A.M. Особенности комплексирования объемной микромеханики и БИС в измерительных системах / A.M. Лестев и др. // Материалы X международной конференции по интегрированным системам. СПб.: ЦНИИ «Электроприбор». — 2003. — С.217−225.
    49. , A.M. Современное состояние теории и практических разработок микромеханических гироскопов / A.M. Лестев, И. В. Попова // Гироскопия и навигация. 1998. — № 3. — С.81−94.
    50. , М.А. Нелинейный параметрический резонанс в динамике микромеханического гироскопа / М. А. Лестев М.А. // Известия вузов, Приборостроение. 2004. — т.47, № 2. — С.36−42.
    51. , Д.П. Микроакселерометры и микрогироскопы на ПАВ / Д. П. Лукьянов и др. // Материалы XXIII конференции памяти H.H. Ост-рякова. Гироскопия и навигация. — 2002. — № 4. — С.41.
    52. , А.И. Аналитическая механика / А. И. Лурье. Л.-М.: Физматгиз, 1961.-824 с.
    53. , К. Гироскоп. Теория и применение / К. Магнус. М.: Мир, 1974. — 526 с.
    54. , И.А. Динамическая гравиметрия / И. А. Маслов. М.: Наука, 1983.- 150 с.
    55. , В.В. Зависимость характеристик микромеханического гироскопа от ориентации упругих элементов на пластине монокристаллического кремния /В.В. Матвеев, В. Я. Распопов // Известия вузов, Приборостроение. 2006. — т.49, № 6. — С.61−66.
    56. , А.П. Основные проблемы создания инерциальных блоков на базе микромеханических гироскопов и акселерометров / Мезенцев А. П. и др. // Гироскопия и навигация. 1997. — № 1. — С.7−15.
    57. , П.Г. Неразъемные соединения в микромеханических системах / П. Г. Михайлов // Микросистемная техника. 2003. — № 2. — С.5−10.
    58. , Е.А. Проблемы и перспективы развития датчиковой аппаратуры / Е. А. Мокров // Микросистемная техника. 2003. — № 9. — С. 11−16.
    59. Нанотехнологии в электронике / под редакцией чл.-кор. РАН Ю. А. Чаплыгина. М.: Техносфера, 2005. — 448 с.
    60. , A.C. Микромеханические вибрационные гироскопы /
    61. A.C. Неаполитанский, Б. В. Хромов. М.: Когито-центр, 2002. — 122 с.
    62. , JI.B. Гравиметрия / Огородова JI.B., Шимбирев Б. П., Юзефо-вич А.П. М.: Машиностроение, 1975. — 528 с.
    63. , Я.Г. Основы прикладной теории колебаний и удара / Я.Г. Па-новко. Д.: Машиностроение, 1976. — 320 с.
    64. , Д.С. Динамически настраиваемые гироскопы: Теория и конструкция / Д. С. Пельпор, В. А. Матвеев, В. Д. Арсеньев. М.: Машиностроение, 1988.-264 с.
    65. , В.Г. Гироскопы начала XXI века / В. Г. Пешехонов // Гироскопия и навигация. 2003. — № 4. — С.5−18.
    66. , В.Г. Задачи подводной навигации / В. Г. Пешехонов // Морской сборник. 2006. — № 10. — С.22−24.
    67. , В.Г. Ключевые задачи современной автономной навигации /
    68. B.Г. Пешехонов // Гироскопия и навигация. 1996. — № 1. — С.48−55.
    69. , В.Г. Микромеханический гироскоп. Проблемы создания и состояние разработки / В. Г. Пешехонов, Л. П. Несенюк // Материалы I муль-тиконференции по проблемам управления. СПб.: ЦНИИ «Электроприбор». — 2006. — 5с.
    70. , В.Г. Проблемы и перспективы современной гироскопии / В. Г. Пешехонов // Известия вузов. Приборостроение. 2000. — т.43, № 1−2,327-С.48−56.
    71. , В.Г. Решение проблемы создания гравитационного вариометра для работы на подвижном основании / В. Г. Пешехонов, Г. Б. Вольфсон //ДАН. 1996. — т.351, № 6. — С.766−768.
    72. , В.Г. Судовые средства измерения параметров гравитационного поля Земли / В. Г. Пешехонов и др. // ЦНИИ «Румб», 1989. 90 с.
    73. , Г. С. Рассеяние энергии при механических колебаниях / Г. С. Писаренко. Киев: Изд-во АН Украинской ССР. — 1962. — 436 с.
    74. , Г. С. Справочник по сопротивлению материалов / Г. С. Писаренко, А. П. Яковлев, В. В. Матвеев. Киев: Наукова думка. — 1975. — 704 с.
    75. , И.В. Микромеханические датчики и системы. Практические результаты и перспективы развития / И. В. Попова и др. // Гироскопия и навигация. 2006. — № 1, — С.29−34.
    76. , B.C. Внутреннее трение в металлах / B.C. Постников. М.: Металлургия, 1969. — 332 с.
    77. Прочность, устойчивость, колебания: Справочник в трех томах, т. 3 / под ред. И. А. Биргера, Я. Г. Пановко. -М.: Машиностроение, 1968. 566 с.
    78. , Ю.Н. Механика деформируемого твердого тела / Ю.Н. Работ-нов. М.: Наука, 1988. — 712 с.
    79. Разработка конструкторской системы автоматического проектирования микромеханических гироскопов и акселерометров: отчет о НИОКР «Микротехнология» / ЦНИИ «Электроприбор" — рук. Л. П. Несенюк. СПб., 2002. — 45с. — Инв.№ 10/1−02.
    80. Разработка конструкторско-технологических основ создания интегрированных микромеханических датчиков параметров движения и ИМЭМС на их основе: отчет о НИР «КП-ЭП» / ЦНИИ «Электроприбор" — рук. Л. П. Несенюк. СПб., 2006. — 139с. — Инв. № 10/1−05.
    81. Разработка технологии изготовления дискового микромеханического гироскопа: отчет о НИР «База-ЭП-03» / ЦНИИ «Электроприбор" — рук. Л. П. Несенюк. СПб., 2003. — 48с. — Инв. № 16/81.328
    82. , В.Я. Зависимость динамических характеристик микромеханических гироскопов от стабильности режимов настройки / В. Я. Распопов // Известия вузов, Приборостроение. 2005. — т.48, № 8. — С.9−17.
    83. , В.Я. Классификация конструкций микромеханических гироскопов / В. Я. Распопов, А. В. Никулин, В. В. Лихошерст // Известия ВУЗов, Приборостроение. 2005. — т.48, № 8. — С.5−8.
    84. , В.Я. Микромеханические приборы: Учебное пособие / В. Я. Распопов. Тула: Гриф и К., 2004. — 476 с.
    85. , В.Я. Шум в микромеханических акселерометрах и гироскопах /
    86. B.Я. Распопов // Известия вузов, Приборостроение. 2006. — т.49, № 6.1. C.56−60.
    87. , JI.A. Задачи теории упругости и численные методы их решения / Л. А. Розин. СПб.: Изд-во СПбГТУ, 1998. — 532 с.
    88. , П.И. Вопросы прикладной теории гироскопов / П. И. Сайдов, Э. И. Слив, Р. И. Чертков. Л.: Судпромгиз, 1961. — 427 с.
    89. Свойства элементов: справочник в 2 ч., ч. I. Физические свойства. М.: Металлургия, 1976. — 600 с.
    90. , Л.А. Информационные характеристики вибрационного микромеханического вибрационного микромеханического гироскопа / Л. А. Северов и др. // Гироскопия и навигация. 2003. — № 1. — С.76−82.
    91. , Л.А. Механика гироскопических систем: Учебное пособие / Л. А. Северов. М.: Изд-во МАИ, 1996. — 212 с.
    92. , Л.А. Микромеханические гироскопы: конструкции, характеристики, технологии, пути развития / Л. А. Северов и др. // Известия вузов, Приборостроение. 1998. -т.41, № 1−2. — С.57−73.
    93. , Л.А. Обзор и перспективы совершенствования микромеханических гироскопов / Л. А. Северов, В. К. Пономарев, А. И. Панферов // Аэрокосмические приборные технологии: материалы II международного симпозиума. СПб.: ГУАП. — 2002. — С. 127.
    94. , А.Е. Измерения векторных и тензорных величин / А.Е. Си329нельников, И. Б. Челпанов // Измерительная техника. 2001. — № 4. — С.3−7.
    95. , JI.B. Гравиметрия и гравиметрическая разведка / JI.B. Сорокин. M.-JL: Гостоптехиздат, 1953. — 479 с.
    96. , С.П. Теория упругости: перев. с англ. / С. П. Тимошенко, Дж. Гудьер. М.: Наука, 1975.-576 с.
    97. , С.П. Влияние пор и нанослоев на изгибную жесткость подвеса кремниевого чувствительного элемента МЭМС / С. П. Тимошенков и др. // Нано- и микросистемная техника. 2006. — № 7. — С. 11−16.
    98. , В. Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации / В. Уайт. М.: Клинрум, 2002. — 304 с.
    99. Универсальная десятичная классификация: вып.4, ч.1- 6/62. Прикладные науки. Техника в целом. М.: Изд-во стандартов, 1979. — 360 с.
    100. , А.А. Влияние анизотропии монокристаллического кремния на характеристики микромеханического гироскопа / А. А. Унтилов // Навигация и управление движением: материалы VI конф. молодых ученых. -СПб.: ЦНИИ «Электроприбор». 2005. — С.154−161.
    101. , Ю.В. О перспективе создания микрооптического гироскопа / Ю. В. Филатов // Гироскопия и навигация 2006. -№ 3. — С.41−50.
    102. , А.П. Колебания деформируемых систем / А. П. Филиппов. -М.: Машиностроение, 1970. 736 с.
    103. , С.А. О движениях микромеханического вибрационного гироскопа / С. А. Харламов // Материалы IX международной конференции по интегрированным системам. СПб.: ЦНИИ «Электроприбор». — 2002. -С.210−212.
    104. , П. Наука и искусство проектирования / П. Хилл. М.: Мир, 1973. -264 с.
    105. Асаг, С. Experimental evaluation and comparative analysis of commercial variable-capacitance MEMS accelerometers / C. Acar, A. Shkel // Journal of Mi-cromechanics and Microengineering. 2003. — № 13. — pp.634−645.
    106. Ahn, Y. Thermoelastic effect of silicon for strain sensing / Y. Ahn, H. Guckel //330
    107. Journal of Micromechanics and Microengineering. 2001. — № 11. — pp.443−451.
    108. Albertella, A. GOCE: The Earth Gravity Field by Space Gradiometry / A. Al-bertella, F. Miggliaccio, F. Sanso // Celestial Mechanics and Dynamical Astronomy. 2002. — № 83. — pp. 1−15.
    109. Alper, S. High-Performance SOI-MEMS Gyroscope with Decoupled Oscillation Modes / S. Alper, K. Azgin, T. Akin // Proceedings of MEMS 2006, Istanbul, Turkey. 2006. — pp.70−73.
    110. Alper, S. Ultra-Thick and High-Aspect-Ratio Nickel Microgyroscope Using EFAB™ Multi-Layer Additive Electroforming / S. Alper, I. Ocak, T. Akin // Proceedings of MEMS 2006, Istanbul, Turkey. 2006. — pp.670−673.
    111. Anderson, G. Present and Future Gyro Module and IMU Platform Development at Imego / G. Anderson et al.// Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 2004. — pp.2.0−2.7.
    112. Apostolyuk, V. Analytical Design of Coriolis Vibratory Gyroscopes / V. Apos-tolyuk, V. Logeeswaran, F. Tay // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 2002. -pp.2.0−2.15.
    113. Apostolyuk, V. Efficient Design of Micromechanical Gyroscopes / V. Apostolyuk, V. Logeeswaran, F. Tay // Journal of Micromechanics and Microengineering. 2002. — № 12. — pp.948−954.
    114. Ash, M. Micromechanical Inertial Sensor Development at Draper Laboratory with Recent Test Results / M. Ash et al. // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 1999. — pp. 3.1−3.13.
    115. Ayazi, F. A HARPSS Polysilicon Vibrating Ring Gyroscope / F. Ayazi, K. Na-jafi // Journal of Microelectromechanical Systems. 2001. — vol.10, № 2. -pp. 169−179.
    116. Baker, G. Quartz MEMS GPS/INS Technology Developments / G. Baker et al. // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. -2003. pp.2.0−2.10.
    117. Barbour, N. Inertial Instruments: Where to Now? / N. Barbour et al. // Proceedings of 1st International Conference on Gyroscopic Technology and Naviga331tion, Saint Petersburg, Russia. 1994. — pp. 11−22.
    118. Barbour, N. Inertial MEMS System Applications / N. Barbour et al. // Advances in Navigation Sensors and Integration Technology: RTO Lecture Series 232. Saint Petersburg, Russia. — 27−28 May, 2004. — pp.7.1−7.22.
    119. Barbour, N. Inertial Navigation Sensors / N. Barbour // Advances in Navigation Sensors and Integration Technology: RTO Lecture Series 232. Saint Petersburg, Russia. — 27−28 May, 2004. — pp.2.1−2.22.
    120. Bausells, J. SensoNor Foundary Processes: Design Handbook. Part I: Design Introduction. Version 2.1. www.normic.com/designmicrosystems21 .pdf.
    121. Beeby, S. MEMS Mechanical Sensors / S. Beeby et al. Boston: Artech House Inc., 2004. — 270 p.
    122. Bochobaza-Degani, O. A novel micromachined vibrating rate-gyroscope with optical sensing and electrostatic actuation / O. Bochobaza-Degani et al. // Sensor and Actuators. 2000. — № 83. — pp.54−60.
    123. Breng, U. MEMS Technologies for Inertial Systems / U. Breng // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 2002. — pp.4.0−4.8.
    124. Chen, G.-Sh. Effects of monolithic silicon postulated as an isotropic material on design of microstructures / G.-Sh. Chen, M.-Sh. Ju, Y.-K. Fang // Sensor and Actuators. 2000. — № 86. — pp. 108−114.
    125. Davis, W.O. Nonlinear Mechanics of Suspension Beams for a Micromachined Gyroscopes / W.O. Davis, A.P. Pisano // Modeling and Simulation of Microsystems. 2001.-pp. 270−273.
    126. Dehnert, J. Analysis, Modelling and Implementation of System Identification Methods for z-axis Vibratory MEMS Gyroscope / J. Dehnert et al. // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 2006. -pp.8.0−8.15.
    127. Duwel, A. Experimental study of thermoelastic damping in MEMS gyros / A.332
    128. Duwel et al. // Sensor and Actuators. 2003. — № 103. — pp.70−75.
    129. Eley, R. Design and Development of a Low Cost Digital Silicon MEMS Gyroscope / R. Eley et al. // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 2005. — pp.9.0−9.9.
    130. Fan-Gang, T. Precise 100. crystal orientation determination on <110>-oriented silicon wafers / Tseng Fan-Gang, Chang Kai-Chen // Journal of Micro-mechanics and Microengineering. 2003. — № 13. — pp.47−52.
    131. Farrens, S. Aligned wafer bonding / S. Farrens, P. Linder // Micro/Nano. -2003.-vol.8, № 4.-pp.6−7.
    132. Fell, C.P. A Second Generation Silicon Ring Gyroscope / C.P. Fell et al. // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 1999. -pp.1.0−1.14.
    133. Fountain, R. Characteristics and Overview of a Silicon Structure Gyroscope / R. Fountain // Advances in Navigation Sensors and Integration Technology: RTO Lecture Series 232. Saint Petersburg, Russia. — 27−28 May, 2004. -pp.8.1−8.14.
    134. Freeden, W. Satellite-to-satellite tracking and satellite gravity gradiometry / W. Freeden, V. Michel, H. Nutz // Journal of Engineering Mathematics. 2002. -№ 43.-pp. 19−56.
    135. French, P.J. Polysilicon: a versatile material for Microsystems / P.J. French // Sensors and Actuators. 2002. — № 99. — pp.3−12.
    136. French, P.J. Surface versus bulk micromachining: the contest for suitable applications / P.J. French, P.M. Sarro // Journal of Micromechanics and Microengineering. 1998. — № 8. — pp.45−53.
    137. Fujita, T. Disk-shaped bulk micromachined gyroscope with vacuum sealing / T. Fujita et al. // Sensors and Actuators. 2000. — № 82. — pp. 198−204.
    138. Fukatsu, K. Electrostatically Levitated Rotational Ring Shaped Gyro/Accele-rometer for Inertial Measurement System / K. Fukatsu et al. // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 2002. — pp.7.0−7.9.
    139. GaiBer, A. Digital Readout Electronics for Micro-Machined Gyroscopes with333
    140. Enhanced Sensor Design / A. GaiBer et al. 11 Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 2002. — pp.5.0−5.11.
    141. GaiBer. A. Evaluation of DAVED Microgyros Realized with a new 50 jam SOI — Based Technology / A. GaiBer et al. // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. — 2003. — pp.4.0−4.7.
    142. Gaisser, A. A Novel Method for Initial- and Online-Calibration for Micro-Machined Gyroscopes / A. Gaisser et al. // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 2005. — pp.10.0−10.10.
    143. Gallacher B.J. Initial Tests Results of a Multi-Axis Vibrating Ring Gyroscope and Issues Associated with its Fabrication / B.J. Gallacher et al. // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 2003. — pp.6.0−6.20.
    144. Gao, Z. A Vibratory Wheel Micromachined Gyroscope / Z. Gao, Y. Dong // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 1998. -pp.9.0−9.10.
    145. Geen J. New iMEMS Angular-Rate-Sensing Gyroscope / J. Geen // Analog Dialogue Volume. March, 2003. — pp. 12−15.
    146. Geen J. Progress in Integrated Gyroscopes / J. Geen // IEEE A&E Systems magazine November, 2004. — pp. 12−17.
    147. Geiger, W. A Mechanically Controlled Oscillator / W. Geiger, Y. Sandmaier, W. Lang // Sensor and Actuators. 2000. — № 82. — pp.74−78.
    148. Geiger, W. A Silicon Rate Gyroscope with Decoupled Driving and Sensing Mechanisms MARS-RR / W. Geiger et al. // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 1998. — pp.2.0−2.8.
    149. Geiger, W. Decoupled Microgyros and the Design principle DAVED / W. Geiger et al. // Sensor and Actuators. 2002. — № 95. — pp. 239−249.
    150. Geiger, W. New designs of micromachined vibrating rate gyroscopes with decoupled oscillation modes / W. Geiger et al. // Sensor and Actuators. 1998. -№ 66.-pp.118−124.
    151. Geiger, W. Test Results of the Micromechanical Coriolis Rate Sensor |iCORS II / W. Geiger et al. // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, 334
    152. Germany. 2004.-pp.1.0−1.8.
    153. Geiger, W. The Micromechanical Coriolis Rate Sensor |uCORS II / W. Geiger et al. // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. -2003. pp.5.0−5.9.
    154. Gerber, M.A. Gravity Gradiometry: Something New in Inertial Navigation / M.A. Gerber // Astronautics and Aeronautics. 1978. — vol.16. — pp. 18−26.
    155. Han, J.S. Robust optimal design of a vibratory microgyroscope considering fabrication errors / J.S. Han, B.M. Kwak // Journal of Micromechanics and Microengineering. 2001. — № 11. — pp.662−671.
    156. Hedenstierna, N. Bulk micromachined angular rate sensor based on the «butterfly» gyro structure / N. Hedenstierna et al. // Proceedings of IEEE. — 2001. -pp.178−181.
    157. Holke, A. Ultra-deep anisotropic etching of (110) silicon / A. Holke, H. Henderson // Journal of Micromechanics and Microengineering. 1999. — № 9. -pp.51−57.
    158. Iafolla, V. Italian spring accelerometer (ISA) a high sensitive accelerometer for «BepiColombo» ESA CORNERSTONE / V. Iafolla, S. Nozzoli // Planetary and Space Science. 2001. — № 49.-pp. 1609−1617.
    159. Iafolla, V. One axis gravity gradiometer for the measurement of Newton’s gravitational constant G / V. Iafolla, S. Nozzoli, E. Fiorenza // Physics Letters. -2003. -№ A 318. pp.223−233.
    160. IEEE Std 1431 2004. IEEE Standard Specification Format Guide and Test335
    161. Procedure for Coriolis Vibratory Gyros / New York, USA. 69 p.
    162. Janiaud, D. The VIG Vibrating Gyrometer: a New Quartz Micromachined Sensor / D. Janiaud et al. // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 2004. — pp.3.0−3.8.
    163. Jeanroy, A. Low-Cost Miniature and Accurate IMU with Vibrating Sensors for Tactical Applications / A. Jeanroy, P. Featonby, J.-M. Caron // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 2003. — pp.3.0−3.11.
    164. Juneau, Th. Micromachined Dual Input Axis Angular Rate Sensor / Th. Juneau, A. Pisano // Berkeley Sensor & Actuator Center, 497 Cory Hall, University of California at Berkeley, CA 94 720.
    165. Kim, J. Why is (111) silicon a batter mechanical material for MEMS? / J. Kim, D. Cho, R.S. Muller // Proceedings of the 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators (Transducers '01), Munich, Germany. 2001. -pp. 662−665.
    166. Klimov, D. Micromechanics and Advanced Technologies / D. Klimov, V. Gra-detsky, G.G. Rizzotto // Proceedings of IARP Workshop on Micro Robots, Micro Machines and Micro Systems. Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia. 2003. — pp. 17−43.
    167. Krueger, S. Microsystems for Automotive Industry / S. Krueger et al. // MST News March 2005. — pp.8−10.
    168. Kuhlmann, B. Noise of High-Performance Si-Micro-Machined Yaw Rate Sensors / B. Kuhlmann et al. // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 2006. -pp.6.0−6.9.
    169. Kurosawa, M. A surface-acoustic-wave gyro sensor / M. Kurosawa et al. // Sensors and Actuators. 1998. — № 66. — pp.33−39.
    170. Lai, J.M. Precision alignment of mask etching with respect to crystal orientation336
    171. J.M. Lai, W.H. Chieng, Y.-C. Huang // Journal of Micromechanics and Microengineering. 1998. — № 8. — pp.327−329.
    172. Lang, W. Reflections on the Future of Microsystems / W. Lang // Sensor and Actuators.-1999.-№ 72.- pp.1−15.
    173. Lee, D.-J. Glass-to-glass electrostatic bonding with intermediate amorphous silicon film for vacuum packaging of microelectronics and its application / D.-J. Lee et al. // Sensors and Actuators. -2001. № 89. — pp.43−48.
    174. Leger, P. Quapason™ A New Low-Cost Vibrating Gyroscope / P. Leger // Proceedings of 3rd Saint Petersburg International Conference of Integrated Navigation Systems, Russia. — 1996. — part 1. — pp. 143−149.
    175. Legtenberg, R. Comb-drive actuators for large displacements / R. Legtenberg, A. Groeneveld, M. Elwenspoek // Journal of Micromechanics and Microengineering. 1996. — № 6. — pp.320−329.
    176. Li, B. The theoretical analysis on damping characteristics of resonant micro-beam in vacuum / B. Li et al. // Sensor and Actuators. 1999. — № 77. -pp.191−194.
    177. Li, X. A micromachined piezoresistive angular rate sensor with a composite beam structure / X. Li et al. // Sensor and Actuators. 1999. — № 72. — pp.217−223.
    178. Link, T. A New Approach of an On-Chip Self-Test Concept for Micromachined Gyroscopes / T. Link et al. // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 2004. — pp.4.0−4.11.
    179. Link, T. Low Cost Micromachined Angular Rate Sensor for Enhanced Automotive Applications / T. Link et al. // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 2005. -pp.7.0−7.8.
    180. Lowell, J. A Vision for Precision Inertial Navigation Systems / J. Lowell // Air Force Research Laboratory. May 27, 2003. — 8 p. (http://www.darpa.mil).
    181. Lynch, D.D. Vibratory gyro analysis by the method of averaging / D.D. Lynchnrl
    182. Proceedings of 2 International Conference on Gyroscopic Technology and Navigation, Saint Petersburg, Russia. — pp.26−34.
    183. Maenaka, K. Analysis of a highly sensitive silicon gyroscope with cantilevel337beam as vibrating mass / K. Maenaka et al. // Sensors and Actuators. 1996. -№ 54. — pp.568−573.
    184. Maenaka, K. Novel Solid Micro-Gyroscope / K. Maenaka et al. // Proceedings of MEMS 2006, Istanbul, Turkey. 2006. — pp.634−637.
    185. Matthews R. Mobile Gravity Gradiometry / R. Matthews // Ph.D.dis.- Department of Physics, University of Western Australia. 2002. — 429p.
    186. Microelectromechanical Systems Opportunities // Department Dual-Use Technology Industrial Assessment. December, 1995. — 53p.
    187. Military Critical Technologies. Part III: Developing Critical Technologies. Section 16: Positioning, Navigation and Time Technology // Defense Threat Reduction Agency. 2000. — 155 p. (http://www.dtic.mil).
    188. Mochida, Y. A micromachined vibrating rate gyroscope with independent beams for the drive and detection modes / Y. Mochida, M. Tamura, K. Ohwada // Sensors and Actuators. 2000. — № 80. — pp. 170−178.
    189. Muchlstein, C. High-cycle fatigue of single-crystal silicon thin films / C. Muchlstein, S. Brown, R. Ritchi // Journal of Microelectromechanical Systems. December 2001. — vol. 10, №. 4. — pp.593−600.
    190. Nerem, R. Gravity Field Determination and Characteristics: Retrospective and Prospective / R. Nerem, C. Jekeli, W. Kaula // Geophysical Research. 1995. -vol.100, №B8. — pp. 15,053−15,074.
    191. Paik, H. Tests of general relativity in Earth orbit using a superconducting gravity gradiometer / H. Paik //Advances in Space Research. 1989. — № 9. — pp.41−50.338
    192. Parmentola, J. The Gravity Gradiometer as a Verification Tool / J. Parmentola // Science and Global Security. 1990. — vol.2. — pp.43−57.
    193. Peterson, K. Silicon as mechanical material / K. Peterson // Proceedings of IEEE. 1982. — vol. 70, № 5. — pp. 420^*57.
    194. Piyabongkarn, D. The Development of a MEMS Gyroscope for Absolute Angle Measurement / D. Piyabongkarn, R. Rajamani // Department of Mechanical Engineering University of Minnesota Minneapolis. MN 55 455 — pp. 1−6.
    195. Renard, S. Industrial MEMS on SOI / S. Renard // Journal of Micromechanics and Microengineering. 2000. — № 10 — pp.245−249.
    196. Rourke, A. Development and Testing of a Novel, Multi-Channel Vibrating Structure Rate Sensor / A. Rourke et al. // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 2003. — pp.7.0−7.10.
    197. Rummel, R. Dedicated gravity field missions—principles and aims / R. Rummel et al. // Journal of Geodynamics. 2002. — № 33. — pp.3−20.
    198. Sassen, S. High Resolution Bulk-Micromachined Capacitive Gyroscope / S. Sassen et al. // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. -2002.-pp.3.0−3.19.
    199. Sassen, S. Tuning fork silicon angular rate sensor with enhanced performance for automotive applications / S. Sassen et al. // Sensor and Actuators. 2000. -№ 83. — pp.80−84.
    200. Selvakumar, A. Vertical Comb Array Microactuators / A. Selvakumar, K. Na-jafi // Journal of Microelectromechanical Sistems. August, 2003. — vol.12, № 4. — pp.440−449.
    201. Shearwood, C. Development of a levitated micromotor for application as a gyroscope / C. Shearwood et al. // Sensor and Actuators. 2000. — № 83. — pp.85−92.
    202. Shkel, A. Type I and Type II Micromachined Vibratory Gyroscopes / A. Shkel
    203. PLANS-2006: Proceedings of Position Location and Navigation Symposium, San Diego, California. 2006. -pp.586−593.
    204. Soderkvist, J. Micromachined gyroscopes / J. Soderkvist // Sensors and Actuators. 1994. — № 43. — pp.65−71.
    205. Song, H. Wafer level vacuum packaged decoupled vertical gyroscope by a new fabrication process / H. Song et al. // Proceedings of IEEE. 2000. — pp. 520 524.
    206. Steffensen, L. BICEPS: a modular environment for the design of micro-machined silicon devices / L. Steffensen, O. Than, S. Buttgenbach // Sensors and Actuators. 2000. — № 79 — pp.76−81.
    207. Sung, W. Design and Fabrication of An Automatic Mode Controlled Vibratory Gyroscope / W. Sung et al. // Proceedings of MEMS 2006, Istanbul, Turkey. -2006. pp.674−677.
    208. Teegarden, D. How to model and simulate gyroscope systems / D. Teegarden, G. Lorenz, R. Neul // IEEE Spectrum. July 1998. — v.35, № 7.
    209. Thomsen, K. Bearing-Less Gyroscopes / K. Thomsen // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 2005. — pp.6.0−6.9.
    210. Trachtler, M. A New Approach for Multi-Axis Inertial Sensor Units on a Single Silicon Die Based on SOI-Technology / M. Trachtler et al. // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 2006. — pp.7.0−7.10.
    211. Trageser, M. Floated Gravity Gradiometer / M. Trageser // Proceedings of IEEE Transactions on Aerospace and Electronic Systems. 1984. — v.20, № 4.
    212. U.S. Patent 5 650 568. Gimballed Vibrating Wheel Gyroscope having Strain Relief Features / Greiff P., Bernard M., Antkowaik- The Draper Charles Stark Draper Laboratory, Inc., Cambridge, Mass. Jul.22, 1997. — 15 p.
    213. U.S. Patent 6 062 082. Micromechanical Acceleration or Coriolis Rotating-rate Sensor / Guenter G. et al.- Robert Bosch, Germany. May 16, 2000. — 9 p.
    214. U.S. Patent 6 122 961. Micromachined Gyros / Geen J., Donald C.- Analog Devices, Inc., Norwood, Mass. Sep.26, 2000. — 11 p.
    215. U.S. Patent 6 370 937 B2. Method of Canceling Quadrature Errors in an angular
    216. Rate Sensor / Hsu Y. — Microsensors, Inc., CA. Apr. 16, 2002. — 11 p.
    217. U.S. Patent US2005/13 9005A1. Micromachined Sensor with Quadrature Suppression / Geen J. — Analog Devices, Inc. Jun.30, 2005. — 14 p.
    218. Van Leeuwen, E. Three years of practical use of Airborne Gravity Gradiometer / E. van Leeuwen // Geophysical Research Abstracts. 2003. — vol. 5. — p.22.
    219. Watson, W. Coriolis Gyro Configuration Effects on Noise and Drift Performance / W. Watson, T. Henke // Proceedings of Symposium Gyro Technology, Stuttgart, Germany. 2002. — pp. 1.0−1.10.
    220. Weinberg, M. Error Sources in In-Plane Silicon Tuning-Fork MEMS Gyroscopes / M. Weinberg, A. Kourepenis // Journal of Microelectromechanical Systems. -June 2006. vol.15, № 3. -pp.479−491.
    221. Xie, H. Integrated Microelectromechanical Gyroscopes / H. Xie, G. Fedder // Journal of Aerospace Engineering. April 2003. — pp.65−75.
    222. Yazdi, N. Micromachined Inertial Sensors / N. Yazdi, F. Ayazi, K. Najafi // Proceedings of the IEEE. August 1998. — vol.86, № 8. — pp. 1640−1659.
    223. Yi, T. Microscale material testing of single crystalline silicon: process effects on surface morphology and tensile strength / T. Yi, L. Li, C.-J. Kim // Sensors and Actuators. -2000. -№ 83. pp. 172−178.
    224. Zaman, M. High Performance Matched-Mode Tuning Fork Gyroscope / M. Zaman, A. Sharma, F. Ayazi // Proceedings of MEMS 2006, Istanbul, Turkey. 2006. — pp.66−69.
    225. Теория и методы расчета упругих подвесов инерциальных чувствительных элементов приборов навигации» в разработках ЦНИИ «Электроприбор»
    226. Классификация инерциальных чувствительных элементов и алгоритмы расчета их основных характеристик использованы в НИР «Микротехнология» для создания интерактивной системы автоматизированного проектирования микромеханических датчиков.
    Заполнить форму текущей работой

    Сессия? Спокойно!