Помощь в написании студенческих работ
Антистрессовый сервис

Закономерности формирования структуры модифицированных поверхностных слоев и покрытий в процессе вакуумной ионно-плазменной обработки сталей и титановых сплавов

Диссертация: Закономерности формирования структуры модифицированных поверхностных слоев и покрытий в процессе вакуумной ионно-плазменной обработки сталей и титановых сплавов
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Изменение текстуры, а — твердого раствора титана при азотировании обусловлено анизотропией диффузионной подвижности азота в а-Ть Более низкая диффузионная подвижность азота вдоль оси «с» приводит к более интенсивному росту нитридного слоя в зернах с базисной ориентировкой. Это приводит такие зёрна к избирательному поглощению азота, росту нитрида и ослаблению текстуры с базисной ориентировкой… Читать ещё >

Закономерности формирования структуры модифицированных поверхностных слоев и покрытий в процессе вакуумной ионно-плазменной обработки сталей и титановых сплавов (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Содержание

  • Глава 1. Состояние вопроса
    • 1. 1. Современное состояние методов модифицирования поверхности и 7 перспективы развития
      • 1. 1. 1. Методы нанесения покрытий,
      • 1. 1. 2. Современные направления «конструирования» вакуумных ионно- 10 плазменных покрытий
    • 1. 2. Физико-химические основы процессов азотирования и нанесения покрытий 21 титановых сплавов
      • 1. 2. 1. Диаграмма состояния
      • 1. 2. 2. Механизм диффузии атомов внедрения в титане
    • 1. 3. Структурные особенности процессов азотирования сталей и титановых 28 сплавов
      • 1. 3. 1. Внутреннее азотирование сталей и жаропрочных сплавов
      • 1. 3. 2. Особенности термодиффузионного азотирования титановых сплавов 30 Ф
    • 1. 4. Методы исследования поверхности
    • 1. 5. Остаточные макронапряжения в вакуумных ионно-плазменных покрытиях
  • Выводы по литературному обзору
  • Глава 2. Материалы и методы исследования
    • 2. 1. Термодиффузионное насыщение титана
    • 2. 2. Ионное азотирование
    • 2. 3. Конденсация вакуумных ионно-плазменных покрытий
    • 2. 4. Рентгеноструктурный анализ
  • Глава 3. Исследование структурных особенностей формирования 58 модифицированных слоев при термодиффузионном и ионном азотировании сталей и титановых сплавов
    • 3. 1. Термодиффузионное азотирование титана
    • 3. 2. Ионное азотирование сплава ВТ
    • 3. 3. Ионное азотирование сталей ЭИ961 и 12Х18Н10Т
  • Глава 4. Исследование состава, структуры и остаточных напряжений в 81 многослойных ТьГГШ/Т! вакуумных ионно-плазменных покрытиях
    • 4. 1. Исследования текстуры покрытий ф
    • 4. 2. Исследование остаточных напряжений в многослойных покрытиях
    • 4. 3. Исследование остаточных напряжений в монослойпых покрытиях
    • 4. 4. Исследование элементного состава и микроструктуры многослойных 96 покрытий
  • Глава 5. Структура многокомпонентных покрытий
    • 5. 1. Анализ химического состава многокомпонентых покрытий
    • 5. 2. Текстуры (Т1,ЫЬ, Ме) Ы покрытий, нанесенных при различных параметрах 111 технологии
    • 5. 3. Анализ структурных особенностей (П, ЫЬ, Ме) Ы покрытий в зависимости от 114 параметров ионно-плазменного процесса
    • 5. 4. Служебные свойства покрытий
  • Выводы по работе
  • Список литературы

Актуальность работы.

Модифицирование поверхности конструкционных и функциональных материалов является одним из наиболее эффективных способов повышения их служебных свойств, поскольку во многих случаях достаточно получить необходимый уровень свойств в поверхностных слоях толщиной 10−100 мкм, что дает возможность избежать проблем, связанных с разработкой новых материалов.

Из всех методов модифицирования поверхности, прежде всего это вакуумное ионно-плазменное напыление, газофазное осаждение покрытий, газо-термическое плазменное распыление, лазерное оплавление и ионная имплантация, наиболее широкое распространение и интенсивное развитие получил вакуумный ионно-плазменный метод. В настоящее время особое внимание здесь уделяется микрохимии и микроструктуре покрытий и модифицированных слоев. Наиболее существенные достижения получены в результате введения в состав покрытий таких элементов, как А1, Сг, У, 81, N1), создания многослойных покрытий, в которых толщина слоев достигает нескольких нанометров, а также методов ионно-плазменного газонасыщения, в частности, методов ионного азотирования и карбоазотирования.

Однако для целенаправленной реализации преимуществ новых ионно-плазменных технологий требуется проведение комплексных исследовательских и технологических работ, а также развитие структурных и аналитических методов исследования и контроля, применительно к неравновесным поверхностным структурам.

Таким образом, исследования и разработки, направленные на совершенствование методов исследования структуры поверхности конструкционных и функциональных материалов с покрытиями и модифицированными поверхностными слоями являются актуальными.

Цель работы состояла в развитии комплексного методического подхода к исследованию структуры поверхностных слоев конструкционных материалов полученных в результате вакуумной ионно-плазменной обработки и выявлении закономерностей формирования структурного состояния многокомпонентных и многослойных покрытий, а также модифицированных слоев при термодиффузионном и ионном азотировании.

Для достижения постановленной цели необходимо решить следующие задачи:

1. Разработать рентгеновские методы измерения остаточных напряжений и состава применительно к поверхностным слоям сталей разного класса после ионного азотирования.

2. Установить закономерности формирования фазового состава и кристаллографической текстуры в поверхностных слоях титана и сплава ВТ6 после термодиффузионного и ионного азотирования.

3. Исследовать особенности формирования химического состава, текстуры и остаточных напряжений в многослойных вакуумных ионноплазменных покрытиях 'ЛЛЧИ/'П. в зависимости от количества и протяженности металлических и нитридных слоев.

4. Выявить закономерности формирования химического состава, текстуры и остаточных напряжений в многокомпонентных покрытиях на основе систем (П, >Лэ, Ме) К.

Научная новизна работы:

1. Разработана рентгеновская методика определения остаточных напряжений и содержания азота в твердом растворе для аустенитных нержавеющих сталей, а также объемной доли нитрида хрома в ферритных нержавеющих сталях.

2. Показано, что термодиффузонное азотирование сплава ВТ-1−0 при 950 °C приводит к резкому ослаблению базисной текстуры а-Т1, образованию бестекстурного б-ИЫ нитрида, изменению текстуры тетрагонального 8-Т2Ы нитрида, что обусловлено изменением ориентировки а-твердого раствора титана в результате полиморфного, а ->/?-> а превращения при температуре азотирования в соответствии с ориентационными соотношениями решеток 8-Т2Ы и а-Тк {№)епыН.

ПО)вп.

3. Установлено, что при ионном азотировании титанового сплава гетерогенность структуры модифицированного слоя обусловлена ориентационными эффектами, связанными с анизотропией коэффициентов диффузии и дилатации решетки ГП-титана при формировании твердого раствора внедрения азота в титане.

4. Для многослойных Т^/ТО^ЛЛ. покрытий показано, что распределение химического состава, остаточных напряжений и текстуры в металлических и нитридных слоях в значительной степени зависит от количества и относительной протяженности слоев. С увеличением количества слоев увеличивается критическая толщина покрытия, при которой происходит релаксация остаточных напряжений.

5. Обнаружено, что вариации химического состава приводят к существенным изменениям текстуры и параметров решетки многокомпонентных СП, МЬ, Ме) Ы покрытий, что необходимо учитывать при интерпретации результатов измерения остаточных напряжений.

Практическая значимость работы.

1. Разработанная рентгеновская методика определения остаточных напряжений, содержания примесей внедрения и объемной доли фаз внедрения может быть использована для неразрушающего контроля эффективности процессов модифицирования поверхности сталей различных классов.

2. Выявленные закономерности формирования структурного состояния и остаточных напряжений в многослойных покрытиях позволяют оптимизировать поиск технологических решений при создании износо — и коррозионностойких покрытий на металлических конструкционных материалах.

3. Показано, что изменением энергетических условий нанесения многокомпонентных (П, ЫЬ, Ме) Ы можно в широких пределах варьировать химический состав и структуру покрытий без изменения состава испарителя.

ВЫВОДЫ ПО РАБОТЕ.

1. Изменение текстуры, а — твердого раствора титана при азотировании обусловлено анизотропией диффузионной подвижности азота в а-Ть Более низкая диффузионная подвижность азота вдоль оси «с» приводит к более интенсивному росту нитридного слоя в зернах с базисной ориентировкой. Это приводит такие зёрна к избирательному поглощению азота, росту нитрида и ослаблению текстуры с базисной ориентировкой.

2. Изменение текстуры s-Ti2N нитрида связано со структурным и текстурным переходом на границе газонасыщенного слоя и а->Р~>а превращенного материала. В результате нагрева до температуры полиморфного превращения (870°С) при ТДА и последующего охлаждения во внутренних слоях происходит преобразование базисной текстуры исходного материала в призматическую текстуру (110).

3. Усиление текстуры (001) s-Ti2N нитрида связано с его ориентированным зарождением на зернах а-Т1 с ориентировкой (110), поскольку при этом в соответствии с известным ориентационным соотношением решеток а-Т1 и еЛ^И плоскость (001) еЛ^Ы должна располагаться параллельно плоскости (110) а-Тк.

4. Предложена методика измерения остаточных напряжений в поверхностных слоях сталей разного класса, включающая измерение параметров решетки для различных рефлексов и разделении вклада напряжений и состава твердого раствора на основе особенностей упругой анизотропии кристаллической решетки. Эффективность методики продемонстрирована на примере сталей ЭИ961 и 12Х18Н10Т после ионного азотирования.

5. Текстура Т1Ы в многослойных покрытиях характеризуется ориентировкой {111} параллельно плоскости покрытия, при этом интенсивность текстуры убывает по мере удаления слоя от подложки и всегда ниже, чем в монослойных покрытиях.

6. Текстура титановой прослойки зависит от ее расположения в покрытии. Граничащий с подложкой титановый слой имеет близкую к бестекстурной ориентацию. Титановые прослойки, расположенные между слоями TiN имеют выраженную (0001) базисную текстуру, обусловленную эпитаксиальным зарождением титановой прослойки на нитридном слое с {111} текстурой и реализацией ориентационного соотношения между решетками TiN нитрида и ГП решеткой титана: (0001)т//(111)™

7. В многослойных покрытиях, состоящих из 2 слоев, присутствуют сжимающие напряжения в -1 ГПа, При добавлении следующего нитридного слоя величина напряжений увеличивается до -1,7 ГПа. Добавление последующих слоев приводит к релаксации напряжений, которые снижаются до нуля в девятислойном покрытии.

8. Для многослойных покрытий, содержащих от 3 до 9 слоев, релаксация напряжений осуществляется за счет металлических прослоек и для нитридных слоев имеет упругий характер. С увеличением толщины покрытия при нанесении последующих слоев возможности упругой релаксации исчерпываются и процесс релаксации переходит в пластическую область.

9. Исследования химического состава, текстуры, а также параметров решетки для различных (hkl) рефлексов для (Ti, Nb, Me) N покрытий показали, полученные при токе дуги 60 и 90А и низком давлении азота (0.04 Па) покрытия характеризуются повышенным содержанием Nb (30−32ат.%) и сильной текстурой {110}. Повышение давления азота до 0.4 Па приводит к снижению содержания Nb до 28 ат.% и формированию двойной текстуры {110}+{111}, а при токах дуги 90 и 150 А содержание Nb составляет 25 ат.%, текстура {111} становится доминирующей.

10. Установлено, что вариации параметров решетки, рассчитанные из различных рефлексов, не могут быть интерпретированы только на основе наличия остаточных напряжений и упругой анизотропии, поскольку значительный вклад в эти вариации вносят различия в химическом составе зерен разных ориентировок, что необходимо учитывать при интерпретации t 2 результатов измерения остаточных напряжений покрытий методом «sin |/».

Показать весь текст

Список литературы

  1. N. Dahotre, P. Kadolkar, S. Shah Refracory ceramic coatings: processe, systems and wettability/adhesion//Surface and interface analysis, 2001, 31, pp.659−672.
  2. Y.X. Leng and et. al./ Fabrication of Ti-O/Ti-N duplex coatings in biomedical titanium alloys by metal plasma immersion ion implantation and reactive plasma nitriding / oxidation // Surface and Coatings Technology 138 (2001), pp. 296−300.
  3. J.I. He and et.al./ TiNi thin films prepared by cathodic arc plasma ion plating // Thin Solid Films 359 (2000), pp. 46−54.
  4. Buchanan R.A., Rigney E.D., Williams J.M.: Ion implantation of surgical Ti6A14V for improved resistance to wear-accelerated corrosion. J. Biomed. Mater. Res.21: 355, 1987.
  5. O.Knotek, M. Bohmer, T. Leyendecker On the structure and properties of sputtered Ti and Al based hard compound // J. Vac. Sci. Technol. A4(6), Nov/Dec, 1986, pp. 2695−2700.
  6. T. Leyendecker and et. al./ The development of the PVD coating TiAIN as a commercial coating for cutting tools // Surface and Coatings Technology 48 (1991) pp. 175−178.
  7. M. Zlatanovic and et. al. / Structural, mechanical and optical properties of TiN and (Ti, Al) N coatings // Materials Science vol. 352 (2000) pp. 35−42.
  8. H. Hasegava, A. Kimura, T. Suzuki Ti|.xAlxN, Tii. xZrxN and Tii. xCrxN films synthesized by the AIP method // Surface and Coatings Technology V.132, 2000, pp. 76−79.
  9. M.Discerens, J. Patscheider, F. Levy Improving the properties of titanium nitride by incorporation of silicon // Surface and Coatings Technology 108 109 (1998) pp. 241−246
  10. M. Nose, M. Zhou, T. Nagae, T. Mae, M. Yokota, S. Saji Properties of Zr-Si-N coatings prepared by RF reactive sputtering // Surface and Coatings Technology 132 (2000) pp. 163−168.
  11. D.B.Lewis, L.A.Donohue The influence of the yttrium content on structure and properties of Tii.x.y.zAlxCryYzN PVD hard coatings // D.B.Lewis, L.A.Donohue, Surface and Coatings Technology 114 (1999) pp. 187−199
  12. M.Leoni, P. Scardi, S. Rossi and et al. (Ti, Cr) N and Ti/TiN PVD coatings on 304 stainless steel substrates: Texture and residual stress // Thin Solid Films 345 (1999) 263−269
  13. Phase transitions in PACVD (Ti, A1) N coatings after annealing // S. Menzel, Th. Gobel, K. Bartsch., K. Wetzig / Surface Coating and Technology, 124 (2000), pp. 190−195.
  14. Structure and properties of (Tii.xCrx)N coatings produced by the ion-plating method // K.H. Lee, C.H.Park, Y.S. Yoon, J.J.Lee / Thin Solid Films, 385 (2001), pp. 167−173.
  15. J.O.Kim, J.D.Achenbach, P.B.Mirkarami, M. Shinn, S.A.Barnett, J.Appl.Phys. 72 (1992) 1805
  16. Da-Yung Wang, Chi-Lung Chang, Cheng-Hsun Hsu, Hua-Ni Lin Syntesis of (Ti, Zr) N hard coatings by unbalanced magnetron sputtering // Surface and Coatings Technology 130 (2000) pp. 64−68.
  17. R.L. Boxman, V.N. Zhitomirsky, I. Grimberg, L. Rapoport, S. Goldsmith Structure and hardness of vacuum arc deposited multi-component nitride coatings of Ti, Zr, and Nb // Surface and Coatings Technology 125 (2000) pp.257−262.
  18. K.A. Gruss, T. Zheleva, R.F. Davis, T.R. Watkins / Characterization of zirconium nitride coatings deposited by cathodic arc sputtering // Surface and Coatings Technology 107 (1998) pp.115−124.
  19. J. Musil, P. Karvankova, J. Kasl / Hard and super Zr-Ni-N nanocomposite films // Surface and Coatings Technology 139 (2001) pp. 101−109.
  20. M.H. Shiao, F.S. Shieu / A formation mechanism for the macroparticles in arc ion-plated TiN films // Thin Solid Films 386 (2001) pp. 27−31.
  21. A.Thobor, C. Rousselot, C. Clement, J. Takadoum, N. Martin, R. Sanjines, f. Levy Enhancement of mechanical properties of TiN/AIN multilayers bymodifying the number and the quality of interfaces // Surface and Coatings Technology 124 (2000) pp. 210−221.
  22. K.N. Andersen, E.J. Bienk, K.O. Schweitz, H. Reitz, J. Chevallier Deposition, microstructure and mechanical and tribological properties of magnetron sputtered TiN/TiAIN multilayers / Surface Coating and Technology, 123 (2000), pp. 219−226.
  23. T.S. Li, H. Li, F. Pan Microstructure and nanoidentation hardness of Ti/TiN multilayered films / Surface Coating and Technology, 137 (2001), pp. 225 229.
  24. C.J. Tavares, L. Rebouta, M. Andritschky, A. Cavaleiro Mechanical and surface analysis of Tio.4Alo.6N/Mo multilayers // / Vacuum, 60 (2001), pp. 339−346.
  25. M. Zlatanovic, I. Popovic and S. Zlatanovic / Structural, Mechanical and Optical Properties of TiN and (Ti, A1) N Coatings // Materials Science Forum vol. 352 (2000), pp. 35−42.
  26. D. Chocot, Y. Benarioua, J. Lesage Hardness measurements of Ti and TiC multilayers: a model // / Thin Solid Films, 359 (2000), pp. 228−235.
  27. S. Tixier, P. Boni, h. Van Swygenhoven Hardness enhancement of sputtered Ni3Al/Ni multilayers//Thin Solid films 342 (1999) pp. 188−193
  28. Betsofen S.Ya., Petrov L.M. The Texture & Macrostress for Cutting Tool PVD Proceedings of the International Conference on Texture and Anisotropy Polycrystals, Clausthal, Germany, September 22−25, 1997. Edited by R.A. Schwarzer, pp. 641- 647.
  29. The composite of nitrided steel of H13 and TiN coatings by plasma duplex treatment and the effect of pre-nitriding // Shengli Ma, Yanhuai Li, Kewei Xu / Surface and Coatings Technology (137), 2001, pp. 116−121.
  30. The metastable m phase layer on ion-nitrided austenitic stainless steels Part 2: crustal structure and observation of its two-directional orientational anisotropy // K. Marchev and et. al./ Surface and Coatings Technology (112), 1999, pp. 67−70.
  31. Tribological bechaviour of N or О — doped austenitic stainless steel magnetron sputter-deposited coatings // P. Gutier and et. al./ Surface and Coatings Technology (114), 1999, pp. 148−155.
  32. Coating and superplastic Ti-alloy substrates Ti and Ti-0 films by magnetron DC sputtering // T. Sonoda and et. al. /Thin Solid Films (386), 2001, pp. 227 232.
  33. Synthesis and properties of Ti02 thin films by plasma source ion implantation // Koumei Baba, Ruriko Hatada / Surface and Coatings Technology (136), 2001, pp. 241−243.
  34. Effect of rapid thermal annealing on Ti-AIN interfaces // Youxiang Wang, Xin Chen / Applied Surface Science (148), 1999, pp. 235−240.
  35. Thin film metallization for aluminum nitride // Yoshihiko Imanaka and et. al./ Key Engineering Materials Vols 181−182, 2000, pp. 129−132.
  36. Rafael R. Manory, Anthony J. Perry, Some effects of ion beam treatments on titanium nitride coatings of commercial quality// Surface and Coatings Technology 114 (1999) pp. 137−142.
  37. Y.Itoh, A. Itoh, H. Azuma, T. Hioki Improving the tribological properties of Ti-6A1−4V alloy by nitrogen-ion impantation // Surface and Coatings Technology 111,(1999) pp. 172−176.
  38. S.Rudenija, Duplex TiN coatings deposited by arc plating for increased corrosion resistance of stainless steel substrates// Surface and Coatings Technology 114 (1999) pp. 129−136.
  39. Б.Е. Патон, Б. И. Медовар, Г. М. Григоренко, К. Г. Григоренко Структура и свойства сплавов титана с азотом //МиТОМ N1,1992, сс.45−47.
  40. Структура и коррозия металлов и сплавов: Атлас, Справ. Изд. / Под ред. Ульянина Е. А. М.: Металлургия, 1989, 400с.
  41. В. М. Погрелюк И.М. Азотирование титана и его сплавов. Киев: Наук, думка, 1995, 220с.
  42. Х.Тж.Гольдшмидт Сплавы внедрения, вып.1, М., 1971, ст. 423.
  43. М.К. Hibbs, J.-E. Sundgren, B.O.Johansson, В.Е. Jacobson The microstructyre of reactively sputtered Ti-N films containing the Ti2N phase// Acta metall. 1985. Vol. 33. No.5. pp.797−803. (O.C.)
  44. Vykhodets V.B., Kurennykh Т.Е. and Fishman A.Ya., «Identification of Heterogeneous State and Trajectories of Interstitials in the Titanium-Oxygen system using Precise Diffusion Experimenst», «Defect and Diffusion Forum Vols», 1997 г., ст. 143−147
  45. В.Б., Куренных Т. Е., «Механизм атомных перескоков для кислорода в ct-Ti», ФММ, Т.78, № 3, 1994 г., 116−122
  46. В.Б., Клоцман С. М., Куренных Т. Е., «Температурная зависимость анизотропии коэффициентов диффузии кислорода в а-Ti», Доклад Академии наук СССР, Т.302, № 6, 1988 г.
  47. В.Б., Клоцман С. М., Куренных Т. Е., Jlepx П.В., Павлов В. А., «Диффузия кислорода в a-Ti. Исследование диффузии кислорода в твердых растворах систем Ti-О методом ядерных реакций», ФММ, Т.64, № 6, 1987 г.
  48. V.B.Vykhodets, Т.Е.Kurennykh, A.Ya.Fishman, «Identification of heterogeneous state and trajectories of interstitials in the titanium-oxygen system using diffusion experiment», Defect and Diffusion Forum Vols. 143−147(1997) pp.79−84
  49. И.Н., «К вопросу об интенсификации процесса азотирования титановых сплавов», журнал «Металловедение и термическая обработка металлов», № 6, 1999г., ст. 9−12
  50. Buchanan R.A., Rigney E.D., Williams J.M.: Ion implantation of surgical Ti6A14V for improved resistance to wear-accelerated corrosion. J. Biomed. Mater. Res.21: 355, 1987.
  51. Mekellop H. And Rostlunl N.: The wear behavior of ion-implanted Ti6A14V against HMWPE. J. Biomed. Mater. Res.24: 1413, 1990.
  52. B.A. Kehler, N.P. Baker et al. Tribological behaviour of high-density polyethylene in dry sliding contact with ion-implanted CoCrMo//Surface and Coatings Technology 114 (1999) 19−28.
  53. Y.Itoh, A. Itoh, H. Azuma, T. Hioki Improving the tribological properties of Ti-6A1−4V alloy by nitrogen-ion impantation // Surface and Coatings Technology 111,(1999) 172−176
  54. JI.П., «Внутреннее азотирование жаропрочных сталей и сплавов», журнал «Металловедение и термическая обработка металлов», № 1,2001г., ст. 10−14
  55. С.Я., Петров JI.M., Давыдова Г. С., Хикс У. «Исследование структуры поверхностных слоев сталей и титановых сплавов при воздействии ионных пучков.» Сб. «Научные труды МАТИ им. К.Э.Циолковского» вып.2(74), М.: Изд. ЛАТМЭС, 1999, с.68−72.
  56. Д.П., «Влияние азотирования на механические свойства и износостойкость титановых сплавов», журнал «Металловедение и термическая обработка металлов», № 6, 2001 г., ст. 20−24
  57. В.Н. Федирко, И. Н. Погрелюк, О. И. Яскив, Д. М. Завербный «Коррозионное поведение титановых сплавов с нитридными пленками в растворах соляной кислоты», Защита металлов, 1999, т.35, № 3, с.293−295.
  58. W.C Moller, S. Parascandola, Т. Telbizova et.al., «Surface processes and diffusion mechanisms of ion nitriding of stainless steel and aluminium», Surface and Coatings Technology 136 (2001) 73−79.
  59. J. Musil, J. Vlcek, М. ROzicka, «Recent progress in plasma nitriding», Vacuum 59(2000) 940−951.
  60. Y.Itoh, A. Itoh, H. Azuma, T. Hioki, «Improving the tribological properties of Ti-6A1−4V alloy by nitrogen-ion impantation», Surface and Coatings Technology 111,(1999) 172−176
  61. Ионная химико-термическая обработка сплавов. Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана., 1999, 398.
  62. Т.А.Панайоти, Г. В. Соловьев / Особенности формирования диффузионных слоевы при ионном азотировании а- и (а+Р) — титановых сплавов в интервале температур от 500 до 1000 °C, //МиТОМ N6, 1994, с. 8−12.
  63. W.Palmer Elemental analysis of thin films and surfaces// Short courses 3rd Internat.Symp. on Trends and New Applications in Thin Films. Strasbourg, France, 1991, pp.1−25.
  64. С.Я., Петров JI.M. Прибор для неразрушающего определения, толщины покрытий. Тезисы докладов научно-технической конференции «Покрытия, упрочнение, очистка. Экологически безопасные технологии и оборудование», Москва, 1821 апреля 1995 г., с. 45.
  65. S.Y.Betsofen Film Thickness Measurements Make TiN Coatings Reliable// TECHNICAL INSIGHTS, INC. Advanced Coatings & Surface Technology/ Copyright, Sept 1996, pp.3−4.
  66. С.Я., Петров Л. М., Лазарев Э. М., Коротков H.A. Структура и свойства ионно-плазменных TiN покрытий.// Изв. АН СССР. Металлы, 1990, N3, с. 158−165.
  67. С.М. Сарычев, А. И. Чернявский, Л. М. Петров, B.C. Спектор Оценка энергетического состояния поверхности методом измерения контактной разности потенциалов. // Научные труды МАТИ, в.5(77), 2004, с. 96−100.
  68. А.А.Ильин, С. Я. Бецофен, Л. М. Петров, А. Н. Луценко, С. М. Сарычев Исследование состояния поверхностных слоев никелевых сплавов после нанесения конденсационно-диффузионных покрытий. // Авиационная промышленность, 2003, № 2, с.39−42.
  69. С.М. Сарычев, Ю. В. Чернышева. Влияние состояния исходной поверхности на коррозионную стойкость азотированных образцов из сплава ВТ6. // XXXI Тезисы докладов Международной молодежной научной конференции. Гагаринские чтения. Москва 2005. с37−38.
  70. A.Thomas Microhardness measurement as a quality control technique forthin, hard coatings // Surface Engineering, 1987, v.3,№ 2, p. l 17.
  71. С .Я. Исследование характеристик тонких керамических покрытий с помощью измерения микротвердости.// Изв. РАН, Металлы, 1993, N2, с. 181−186.
  72. H.A.Jehn, U. Kopacz Ultramikrohartemessungen an aufgestaubten hartstoffschichten // Proc. l 1th Plansee-Seminar, 1985, May 20−25, pp.1−19.
  73. G.J.Wolfe, C.J.Petrosky, D.T.Quinto The role of hard coatings in carbide milling tools // Vac. Sci.Technol. 1986, A4(6), p. 2747.
  74. S.Vuorinen, E. Niemy, A.S.Korhonen Microstructural study of TiN-coated threading taps // J.Vac.Sci.Technol.A3(6), 1985, p. 2445.
  75. A.T.Santhanam, D.T.Quinto, G.P.Grab Comparison of Steel Milling Performance of Carbide Inserts with MTCVD and PVD TiCN Coatings Proc. l3th Intern. Plansee Seminar'93, v.3, pp. 31−50.
  76. H. Randhawa / TiN-coated high-speed steel cutting tools // J.Vac.Sci.Technol.A4(6), 1986, pp.2755−2758.
  77. E. Posti / Coating thickness effects on the life of titanium nitride PVD coated tools // Materials & Manufacturing Processes, 1989, 4(2), pp. 239 252.
  78. J.P. Tu, L.P. Zhu, H.X. Zhao / Slurry erosion characteristics of TiN coatings on a-Ti and plasma-nitrided Ti alloy substrates // Surface and Coatings Technology 122 (1999) pp. 176−182.
  79. H.G. Prengel and et. al. / A new class of high performance PVD coatings for carbide cutting tools // Surface and Coatings Technology 139 (2001) pp. 2534.
  80. С. Ernsberger, J. Nickerson and T. Smith / Low temperature oxidation behavior of sputtered TiN by X-ray photoelectron spectroscopy and contact resistance measurements // J.Vac.Sci.Technol.A4(6), 1986, pp.2784−2788.
  81. D.S.Rikerby Internal stress and adherence of titanium nitride coatings // J.Vac. Sci. Technol. 1986, NA4, p.2809.
  82. D.C.Rikerby, B.A.Bellamy, A.M.Jones Internal stress and microstructure of titanium nitride coatings // Surface Eng., 1987, v.3, № 2, p. 138.
  83. L.Chollet, H. Boving, H.E.Hintermann Residual stress measurements of refractory coatings as a nondestructive evaluation // J.Mater. for Energy Systems, 1985, v.6, № 4, p. 293
  84. A J. Perry, L. Chollet States of residual stress both in films and in their substrates //J. Vac. Sci.Technol. 1986, A4(6), P. 2801.
  85. H.Suzuki, H. Matsubara, A. Matsuo, K. Shibuki The residual compressive stresses in ion plated Ti (C, N) coatings on carbide alloys // J.Jap.Inst.of Metals, 1985, v.49, № 9, p.773.
  86. A.J.Perry Tempering effects in ion-plated TiN films: texture, residual stress, adhesion and color//Thin solid films, № 146, p. 165.
  87. L.Chollet, A.J.Perry The stress in ion-plated HfN and TiN coatings // 176, Thin solid films, № 123,p.223.
  88. H.Dolle The influence of multiaxial stress states, stress gradients and elastic anisotropy on the evaluation of (residual) stresses by X-rays // J.Appl.Cryst., 1979, v.12, p. 489.
  89. H.Dolle, J.B.Cohen Evaluation of (residual) stresses in textured cubic metals // Metallurgical Trans. A, 1980, v. l 1 A, p. 831.
  90. С.Я., Петров JI.А. Особенности рентгеновского измерения остаточных напряжений в TiN топких покрытиях.// Изв. АН СССР. Металлы, 1991, N1, с. 179−185.
  91. S.Ya.Betsofen. Refractory Metals & Hard Materials, v.14, (1996) 1−3, pp.213−221.
  92. Betsofen S. Ya., Specificity of residual stress measurements in TiN coatings. Proceedings of 3rd International Symposium on Trends and New Applications in Thin Films, November 1991, Strasbourg, France, pp. 153−157.
  93. S. Inoue, T. Ohba, H. Takata, K. Koterazava Effect of partial pressure on the internal stress and crystallographic structure of r.f. reactive sputtered TiN films// Thin Solid Films 343−344 (1999) pp. 230−233.
  94. L. Karlsson, L. Hultman, J. -E. Sundgren Influence of residual stresses on the mechenicals properties of TiCxNix (x=0, 0.15, 0.45) thin films deposited by arc evaporation // Thin Solid Films, 371 (2000) pp. 167 177.
  95. F. Arrando, J. Bassas, X. Alcobe and J. Esteve / Residual stress in Ti (C, N) coatings on HSS substrate // Materials Science Forum vols. 228 231 (1996), pp. 317−322.
  96. V.Valvoda, R. Cherny, R. Kuzel, M. Blomberg, M. Merisalo Structure of thin film grains in dependence on their crystallographic orientation. Materials Sci. Forum Vols. 79−82 (1991) pp.903−908.
  97. Saerens, P. Van Houtte, B. Meert and C. Quaeyhaegens Assesment of different X-ray stress measuring techniques for thin titanium nitride coatings//J. Appl. Cryst.(2000) 33, pp. 312−322.
  98. , B.B. Трофимов Современное состояние рентгеновского способа измерения макронапряжений (Обзор)// Зав. лаб. 1984, т.50, № 7, с. 20−29.
  99. Betsofen S. Ya., Specificity of residual stress measurements in (TiN coatings. Proceedings of 3rd International Symposium on Trends and New Applications in Thin Films, November 1991, Strasbourg, France, pp. 153−157.
  100. A.A., Бецофен С. Я., Скворцова C.B., Петров Л. М., Банных И. О. «Структурные аспекты ионного азотирования титановых сплавов». Металлы, 2002, № 3, 6−15.
  101. Ю.М. «Современное состояние процесса азотирования» МиТОМ N7,1993 г.ст.6−11.
  102. Ю.М., Коган Я. Д., Шпис Г. И., Бемер З. М. «Теория и технология азотирования», М., Металлургия, 1991, с. 319.
  103. К. Shinozuka, M. Susa, T. Maruyama, К. Nagata Nitrogen diffusion in 5-TiN and a-Ti (N) at high pressures// Defect and Diffusion Forum Vols., 143−147(1997) pp.1237−1242.
  104. С.Я., Ильин A.A., Скворцова C.B., Филатов A.A., Дзунович Д.А Закономерности формирования текстуры и анизотропии механических свойств в листах титановых сплавов. Металлы, 2005, № 2, с. 54−62.
  105. С.Я., Петров Л. М., Давыдова Г. С., Хикс У. «Исследование структуры поверхностных слоев сталей и титановых сплавов при воздействии ионных пучков.» Сб. «Научные труды МАТИ им. К.Э.Циолковского» вып.2(74), М.: Изд. ЛАТМЭС, 1999, с.68−72.
  106. С.Я., Смыслов A.M., Банных И. О. «Исследование химического, фазового состава и текстуры в многослойных TiN/Ti/./TiN ионно-вакуумных покрытиях на сплаве ВТ6», Труды конференции молодых специалистов ИМЕТ РАН, 2005, с. 61−63.
  107. И.О., Сарычев С. М. «Исследование структурных особенностей многокомпонентных ионно-вакуумных покрытий». Научные труды международной конференции «XXXI1 Гагаринские чтения», М., 2006, том 1, с. 9
Заполнить форму текущей работой

Сессия? Спокойно!