Свойства оксидных плёнок

Величины параметров, отражающих свойства оксидов кремния, зависят от условий выращивания оксида. Например, коэффициент преломления пленок оксида кремния, выращенного в сухом кислороде, уменьшается с увеличением температуры, достигая постоянного значения 1,462 при температуре выше 1190 °C. Скорость травления термических оксидов меняется в зависимости от температуры и концентрации травитсля. Кроме того, скорость травления зависит от плотности оксида и, следовательно, от температуры оксидирования. Эксперименты показывают, что оксидные пленки, полученные при температуре 725 °C и давлении 2 МПа, обладают более высоким коэффициентом преломления, большей плотностью и пониженной скоростью травления в водных растворах плавиковой кислоты по сравнению с оксидами, выращенными во влажном кислороде при температуре 900 °C и давлении 0,1 МПа. Это различие обусловлено отчасти влиянием температуры оксидирования.

В тонких оксидных пленках значительное влияние на свойства оксида оказывает граница раздела фаз. До сих пор без ответа остаются вопросы о влиянии несоответствия решеток на структуру оксида, оптические свойства, кинетику оксидирования и дефектность оксида, в частности его пористость.