На рисунках 4.7−4.9 показаны этапы подготовки данных для 3D моделирования внутреннего р-п-перехода (р->л).
На рисунке 4.7 определена 3D структура внутреннего р-п-перехода. Она получена в результате применения процедуры Extrude для сечения перехода, изображенного на рисунке 4.1. Сечению добавляется третье измерение и задается длина Lz = 40 нм (табл. 4.8). При переходе от 2D к 3D моделированию сохраняются те же, что и в предыдущем разделе, значения концентраций областей и параметры расчетной сетки.
Топологические размеры для моделирования 3D структуры внутреннего р-п-перехода Таблица 4.8.
| Р,. | П2 | Ох. | Anode. | Cathode. |
Ширина Wx, нм. | | | | | |
Высота HY, нм. | | | | | |
Длина Lz, нм. | J________ j. | | | | |
На рисунке 4.8 показаны назначение материалов и расчетная сетка для 3D моделирования внутреннегор-л-перехода. Диапазон изменения размеров расчетной сетки составляет 2,5−10 нм (рис. 4.9).
Рис. 4.7. Определение 3D структуры внутреннего р-л-перехода (процедура Extrude).
Рис. 4.8. Назначение материалов для 3D структуры внутреннего р-л-перехода и задание сетки.
Рис. 4.9. Расчетная сетка для 3D моделирования внутреннего р-л-перехода.
На рисунке 4.10 представлены результаты моделирования 3D наноструктуры внутреннего р-л-перехода для следующих функций:
- а) скорость дырок;
- б) квазипотенциал Ферми для дырок;
- в) подвижность дырок;
- г) плотность дырок;
- д) плотность тока дырок;
- е) скорость электронов;
- ж) квазипотенциал Ферми для электронов;
- з) подвижность электронов;
- и) плотность электронов.
На рисунке 4.11 представлено продолжение результатов моделирования 3D наноструктуры внутреннего р-л-перехода для следующих функций:
- а) плотность тока электронов;
- б) пространственный заряд;
- в) квазипотенциал Ферми;
г) электростатический потенциал;
- б) напряженность электрического поля;
- е) концентрация носителей;
- ж) концентрация доноров;
- з) концентрация акцепторов;
- и) на этом рисунке повторена сетка и система узлов, в которых рассчитывались 17 вышеперечисленных функций.
Рис. 4.10. Результаты моделирования 3D структуры внутреннегорл-перехода для следующих функций: а) скорость дырок; б) квазипотенциал Ферми для дырок; в) подвижность дырок; г) плотность дырок; д) плотность тока дырок; е) скорость электронов; ж) квазипотенциал Ферми для электронов; з) подвижность электронов;
и) плотность электронов.
Рис. 4.11. Результаты моделирования (продолжение) 3D структуры внутреннего р-л-перехода для следующих функций: а) плотность тока электронов; б) пространственный заряд; в) квазипотенциал Ферми; г) электростатический потенциал; д) напряженность электрического поля; е) концентрация носителей; ж) концентрация доноров;
з) концентрация акцепторов; и) на этом рисунке повторена сетка и система узлов, в которых рассчитывались 17 вышеперечисленных функций.