ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

ИспользованиС установки Π”Π‘Πœ-2 для модСлирования повСдСния ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Ρ… Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» Π² тСрмоядСрном Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅ Π˜Π’Π•Π 

Π”ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

ΠšΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΌΠΎΠ΄ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ Ρ€Π΅Π·ΠΎΠ½Π°Ρ‚ΠΎΡ€ для Π‘Π’Π§ — мощности, которая вводится Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρƒ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Ρ‚Π΅Ρ„Π»ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΎΠΊΠ½ΠΎ, посрСдством ΠΏΡ€ΡΠΌΠΎΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π° ΠΎΡ‚ Π‘Π’Π§-Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π° Ρ‚ΠΈΠΏΠ° «Π₯Π°Π·Π°Ρ€», (Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΌΠ°Π³Π½Π΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ½Π° М-571, с Ρ‡Π°ΡΡ‚ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ 2,375 Π“Π“Ρ†). ΠœΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΠ»Π°Π²Π½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ (2 002 500) Π’Ρ‚. Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π΅ слуТит ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ° Π‘Π’Π§ разряда Π² ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ…… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ИспользованиС установки Π”Π‘Πœ-2 для модСлирования повСдСния ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Ρ… Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» Π² тСрмоядСрном Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅ Π˜Π’Π•Π  (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

ΠœΠ†ΠΠ†Π‘Π’Π•Π Π‘Π’Π’Πž ΠžΠ‘Π’Π†Π’Π˜ Π† НАУКИ Π£ΠšΠ ΠΠ‡ΠΠ˜ Π₯Π°Ρ€ΠΊΡ–Π²ΡΡŒΠΊΠΈΠΉ Π½Π°Ρ†Ρ–ΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΈΠΉ унівСрситСт

Ρ–ΠΌΠ΅Π½Ρ– Π’. Н. ΠšΠ°Ρ€Π°Π·Ρ–Π½Π° Π€Ρ–Π·ΠΈΠΊΠΎ-Ρ‚Π΅Ρ…Π½Ρ–Ρ‡Π½ΠΈΠΉ Ρ„Π°ΠΊΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π΅Ρ‚ ΠšΠ’ΠΠ›Π†Π€Π†ΠšΠΠ¦Π†Π™ΠΠ Π ΠžΠ‘ΠžΠ’Π Π‘ΠΠšΠΠ›ΠΠ’Π Π Π— Π€Π†Π—Π˜ΠšΠ˜ Використання установки Π”Π‘Πœ-2 для модСлювання ΠΏΠΎΠ²Π΅Π΄Ρ–Π½ΠΊΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€ΡˆΠΈΡ… Π΄Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» Ρƒ Ρ‚СрмоядСрному Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Ρ– Π˜Π’Π•Π  Π₯Π°Ρ€ΠΊiΠ² 2010

Π‘ΠžΠ”Π•Π Π–ΠΠΠ˜Π• АННОВАЦИЯ Π’Π’Π•Π”Π•ΠΠ˜Π•

1. ΠΠΠΠ›Π˜Π’Π˜Π§Π•Π‘ΠšΠ˜Π™ ΠžΠ‘Π—ΠžΠ 

1.1 ΠœΠ΅Π΄Π½Ρ‹Π΅ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°

1.2 Π—Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° ΠΈΠ· Π½Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π²Π΅ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ стали

1.3 АморфныС Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°

2. Π­ΠšΠ‘ΠŸΠ•Π Π˜ΠœΠ•ΠΠ’ΠΠ›Π¬ΠΠ«Π• Π˜Π‘Π‘Π›Π•Π”ΠžΠ’ΠΠΠ˜Π―

2.1 ΠžΠ±Ρ‰ΠΈΠ΅ свСдСния ΠΈ Ρ†Π΅Π»ΡŒ исслСдований

2.2 Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ установка

2.3 Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ экспСримСнтов с Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ ΠΈΠ· Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Ρ… сплавов

2.4 ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ° ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ экспСримСнта

2.4.1 Π Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠΉ Ρ†ΠΈΠΊΠ». Π”Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ экспСримСнта для ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΈΠ· ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈ Π½Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π²Π΅ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ стали

2.4.2 Π”Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ экспСримСнта для Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Ρ… ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² Π’Π«Π’ΠžΠ” Π›Π˜Π’Π•Π ΠΠ’Π£Π Π

АННОВАЦИЯ Π΄Π΅ΠΉΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ΅Π²Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ° Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹ΠΉ Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΈΠ΄ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Π’ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ исслСдований Π΄Π΅Π³Ρ€Π°Π΄Π°Ρ†ΠΈΠΈ коэффициСнта отраТСния для мСталличСских Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» ΠΈ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» ΠΈΠ· Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Ρ… сплавов ΠΏΠΎΠ΄ дСйствиСм распылСния ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ дСйтСрия с ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΡΠΌΠΈ 0.1 — 1.5 ΠšΡΠ’.

ΠŸΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ особСнности влияния Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Π΄Π΅ΠΉΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ Π½Π° Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° ΠΈΠ· Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Ρ… сплавов. УстановлСны ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹ поглощСния дСйтСрия Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ ΠΈΠ· Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Ρ… сплавов.

Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€Π΅Π½Π° Π³ΠΈΠΏΠΎΡ‚Π΅Π·Π° ΠΎ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΠΈ дСйтСрия ΠΎΡ‚ Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ отсутствия Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΈΠ΄ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚.

Π‘Π΄Π΅Π»Π°Π½Ρ‹ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΎ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π°Ρ…, Π²Π»ΠΈΡΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π½Π° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ дСйтСрия.

ВступлСниС УправляСмый тСрмоядСрный синтСз (Π£Π’Π‘) Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΈΠ·ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΠΎΠ² Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π° — практичСски нСисчСрпаСмый источник энСргии. На Π‘ΠΎΠ»Π½Ρ†Π΅ ΡƒΠΆΠ΅ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°Ρ€Π΄Ρ‹ Π»Π΅Ρ‚ происходит нСуправляСмый тСрмоядСрный синтСз — ΠΈΠ· Ρ‚яТСлого ΠΈΠ·ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΠ° Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π° дСйтСрия образуСтся Π³Π΅Π»ΠΈΠΉ. ΠŸΡ€ΠΈ этом выдСляСтся колоссальноС количСство энСргии.

Π’ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Π΅, Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π° ΠΏΠΎ Π£Π’Π‘ Π±Ρ‹Π»Π° ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π° Π² Π‘овСтском БоюзС. ИдСя создания тСрмоядСрного Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π° Π·Π°Ρ€ΠΎΠ΄ΠΈΠ»Π°ΡΡŒ Π² 1950;Ρ… Π³ΠΎΠ΄Π°Ρ…. Π’ Π‘овСтском БоюзС Π±Ρ‹Π»Π° ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π° магнитная Π»ΠΎΠ²ΡƒΡˆΠΊΠ° ВОКАМАК (сокращённоС Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π’ΠžΡ€ΠΎΠΈΠ΄Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠšΠΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ с ΠœΠΠ³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠšΠ°Ρ‚ΡƒΡˆΠΊΠ°ΠΌΠΈ). Π’ Π½ΠΎΡΠ±Ρ€Π΅ 1985 Π³ΠΎΠ΄Π° Π±Ρ‹Π»ΠΎ принято Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠœΠ΅ΠΆΠ΄ΡƒΠ½Π°Ρ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ тСрмоядСрного Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π° Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ (ИНВОР). Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ впослСдствии Π±Ρ‹Π» сильно пСрСсмотрСн (ИВЭР), ΠΈ Π² Π½Π΅ΡΡ‚оящСС врСмя Π΅Π³ΠΎ рСализация вСдСтся Π² ΠΊΠΎΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ 34 стран.

Π—Π°Π΄Π°Ρ‡Π° ИВЭР Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² Π΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ возмоТности Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ поддСрТания Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ° горСния Π΄Π΅ΠΉΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ смСси ΠΈ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ физичСских ΠΈ Ρ‚СхнологичСских ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²ΡΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Π½Π° ΡΡ‚ΠΎΠΌ ΠΏΡƒΡ‚ΠΈ. Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ шагом Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ созданиС Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π° Π”Π•ΠœΠž, Ρ†Π΅Π»ΡŒ сооруТСния ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ — дСмонстрация возмоТности коммСрчСского использования тСрмоядСрного Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π°.

Одной ΠΈΠ· Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡˆΠΈΡ… Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ являСтся ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° оптичСской диагностики ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ тСрмоядСрного Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π°. ΠžΠΏΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ диагностика позволяСт бСсконтактными ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ состояниС ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ Π² Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅, Π° Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΡƒΡŽ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅, плотности ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΌ составС ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹. Π’ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰Π΅ΠΌ тСрмоядСрном Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅ (Π² Ρ‡Π°ΡΡ‚ности Π² Π˜Π’Π­Π Π΅) внутрСнняя Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ систСмы оптичСской диагностики Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΡΠΎΡΡ‚ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈΠ· ΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ систСмы Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» [1], которая ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΡ‚ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ ΠΈΠ· Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π° Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΡƒ, для нСпосрСдствСнного измСрСния ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° Π΅Π³ΠΎ характСристик ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΎ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°Ρ… ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹. ΠŸΡ€ΠΈ этом, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Ρ… Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» (ΠŸΠ—) — Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π», ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½Ρ‹ Π² Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅ Π² ΠΏΡ€ΡΠΌΠΎΠΉ видимости ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹. Π­Ρ‚ΠΈ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° окаТутся ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ Π² Ρ‚Π΅Ρ… ΠΆΠ΅ условиях, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π²Π°Ρ стСнка Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹: ΠΎΠ½ΠΈ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Ρ‚ΡŒ Π½Π° ΡΠ΅Π±Ρ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ всСх Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² излучСния ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ — корпускулярного, элСктромагнитного ΠΈ Π½Π΅ΠΉΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ. Π—Π°Π΄Π°Ρ‡Π° ΠŸΠ— состоит Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‚ΡŒ элСктромагнитноС ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΡƒΡŽ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ систСмы диагностики.

Под воздСйствиСм элСктромагнитного излучСния, Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π½Π° ΠΈΡ… ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ способности, ΠΈ Π²ΠΎ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ этого достаточно Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠŸΠ— Π² ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΡƒ ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΡƒΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ охлаТдСния.

НСйтронноС ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ воздСйствиС Π½Π° ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π». ΠŸΡ€ΠΈ достаточно большом Ρ„Π»ΡŽΠ΅Π½ΡΠ΅ Π½Π΅ΠΉΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΎΠ² Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΡŒ структурныС измСнСния ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°.

Π‘Ρ‹Π» ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ ряд исслСдований ΠΏΠΎ ΠΈΠΌΠΈΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ влияния Π½Π΅ΠΉΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ излучСния Π½Π° ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ мСталличСских Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π». ΠŸΡ€ΠΈ ΠΎΠ±Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Cr, ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ — ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Cu c ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΠ΅ΠΉ 1ΠΈ 3 ΠœΡΠ’ ΠΈ Π±Π΅Ρ€ΠΈΠ»Π»ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ — ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Ne Ρ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΠ΅ΠΉ Π΄ΠΎ 100 кэВ [2], Π±Ρ‹Π»ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ коэффициСнт отраТСния Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅Ρ‚ся.

НаиболСС опасным для Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π», ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π² ΠΏΡ€ΡΠΌΠΎΠΉ видимости ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹, являСтся Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° Π½Π΅ΠΉΡ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ частицами («Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ пСрСзарядки»)[3]. Атомы пСрСзарядки ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΉ энСргСтичСский спСктр (10 103 эВ), Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‡Π΅ΠΌ Π½Π° ΠΏΠΎΡ€ΡΠ΄ΠΎΠΊ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΡŽ связи Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² любого ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, поэтому Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ распылСниС повСрхности ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°. Π‘Ρ€Π΅Π΄Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² пСрСзарядки Π½Π° ΡΡ‚Π΅Π½ΠΊΠΈ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ оТидаСтся порядка 2β€’1015Π°Ρ‚/см2, Π² Ρ‚ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ ΠΊΠ°ΠΊ полная Π΄ΠΎΠ·Π° Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² пСрСзарядки, ΠΈΠ· Ρ€Π°ΡΡ‡Π΅Ρ‚Π° Π½Π° Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ†Ρƒ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ, составит

DΠ°ΠΏ (1021 — 1022) Π°Ρ‚ /см2. (1.1)

На ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΎ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ°Ρ… Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² пСрСзарядки Π½Π° ΡΡ‚Π΅Π½ΠΊΡƒ ΠΈ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ² расчСтов[4], Π±Ρ‹Π» сдСлан Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈΠΌΠΈΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ° Π½Π΅ΠΉΡ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… частиц Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠŸΠ— с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π° ΠΈΠ»ΠΈ дСйтСрия, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΉ энСргСтичСский спСктр, качСствСнно ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹ΠΉ спСктру Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² пСрСзарядки.

Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ исслСдования Π΄Π΅Π³Ρ€Π°Π΄Π°Ρ†ΠΈΠΈ коэффициСнта отраТСния (Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ развития ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π°) для мСталличСских Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» ΠΏΡ€ΠΈ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Π³Π°Π·ΠΎΠ², Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π½Π° ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ Π”Π‘Πœ-2.

1. АналитичСский ΠΎΠ±Π·ΠΎΡ€ Π“Π»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΊΡ€ΠΈΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌΡƒ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°, являСтся коэффициСнт отраТСния. ДСградация коэффициСнта отраТСния зависит ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ распылСнного слоя. Π’ ΡΠ²ΠΎΡŽ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ, Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° распылСнного слоя зависит ΠΎΡ‚ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΠΈ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… частиц, Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ экспозиции, Ρ€ΠΎΠ΄Π° ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΈ Π΄Ρ€. Π‘Ρ‹Π»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ экспСримСнты, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° ΠΈΠ· Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°Π»ΠΈ ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅. Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… экспСримСнтов для Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» ΠΈΠ· ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ (Cu) ΠΈ Π½Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π²Π΅ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ стали (SS) прСдставлСны Π½ΠΈΠΆΠ΅.

1.1 ΠœΠ΅Π΄Π½Ρ‹Π΅ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° ΠŸΠΎΠ»ΠΈΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Π΅ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° [7], ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½Ρ‹ΠΌ Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΡΡ€Π΅Π΄Π½ΡŽΡŽ ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡΡ‚ΡŒ повСрхности Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠ΅ 20 Π½ΠΌ, Π±Ρ‹Π»ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½Ρ‹ Π½Π° ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»Π΅ Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρƒ. Π˜Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ коэффициСнта отраТСния ® ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΎΡΡŒ пошагово, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΊΡ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… экспозициях; срСдняя Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° распылСнного слоя (h) ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΠ»Π°ΡΡŒ ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€Π΅ массы ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ экспозиции Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅. Π’ ΠΎΠΏΠΈΡΡ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… экспСримСнтах использовали Ρ‚Ρ€ΠΈ ΠΈΠ΄Π΅Π½Ρ‚ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Ρ… Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°.

Одно ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ… Π±Ρ‹Π»ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΅Π½ΠΎ Ρ€Π°ΡΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ с ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΌ спСктром энСргий (0.1 — 1.5 кэВ). Π”Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠ΅ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π»ΠΎΡΡŒ ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ с ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΠ΅ΠΉ 1.5 кэВ, ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒΠ΅, с ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΠ΅ΠΉ 0.65 кэВ (срСдняя энСргия). Π“Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΊ зависимости коэффициСнта отраТСния ΠΎΡ‚ ΡΡ€Π΅Π΄Π½Π΅ΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ распылСнного слоя ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 2.1. Как Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ мСсто дСградация ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ способности — Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ нарастания ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡΡ‚ΠΈ повСрхности. Из Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΊΠ° Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΠΎ, Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ΅ ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ с ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΠ΅ΠΉ 1.5 кэВ, потСряло ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 40% ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ способности ΠΏΡ€ΠΈ распылСнном слоС 1.5 ΠΌΠΊΠΌ. ΠŸΡ€ΠΈ Ρ‚ΠΎΠΉ ΠΆΠ΅ срСднСй Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ распылСнного слоя, Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΠΎ, Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ΅ ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ с ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΌ спСктром энСргий (0.1 — 1.5 кэВ), потСряло Π½Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠΌ большС 25%. НаиболСС Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΈΠ΅ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΠΎ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈ ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ с ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΠ΅ΠΉ 0.65 кэВ: потСря коэффициСнта отраТСния составила 15%. БоотвСтствСнно, ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡΡ‚ΡŒ для Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°, Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ 1.5 кэВ, оказалась сущСствСнно Π²Ρ‹ΡˆΠ΅, Ρ‡Π΅ΠΌ для Π΄Π²ΡƒΡ… Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ². Из Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΊΠΎΠ² Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ мСсто нСбольшоС ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ коэффициСнта отраТСния послС Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… экспозиций. Π”Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ эффСкт связан с Ρ€Π°ΡΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ оксидной ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ с ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°, которая Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ Ρ…Ρ€Π°Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π΅. Рис. 2.1 ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π·Π½Π°Π½ΠΈΠ΅ спСктра энСргий ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ, Ссли ΠΌΡ‹ Ρ…ΠΎΡ‚ΠΈΠΌ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ влияниС Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² пСрСзарядки Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Π΅ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ эффСкт влияния энСргии ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, ΠΏΠΎ-Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΌΡƒ, ΠΎΠ±ΡŠΡΡΠ½ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ распылСния Π·Π΅Ρ€Π΅Π½ с Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΉ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ увСличиваСтся с Ρ€ΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌ энСргии ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ².

1.2 Π—Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° ΠΈΠ· Π½Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π²Π΅ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ стали (SS)

Π—Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ R (h) ΠΎΡ‚ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΠΈ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π±Ρ‹Π»Π° исслСдована Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ для ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ‚ΠΈΠΏΠ½Ρ‹Ρ… поликристалличСских (ПК) SS [8]- Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» (рис. 2.2). Π—Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° Ρ€Π°ΡΠΏΡ‹Π»ΡΠ»ΠΈΡΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… напряТСниях: -300 Π’, -650 Π’, -1500 Π’ ΠΈ Ρ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΌ распрСдСлСниСм ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΡΠΌ (W.S.).

Для сравнСния, Π½Π° Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΊΠ΅ [9]ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½Ρ‹ зависимости, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ для ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Ρ… Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π». Π’ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ качСствСнно коэффициСнт отраТСния для SS Π²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ сСбя Ρ‚Π°ΠΊ ΠΆΠ΅, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ Π΄Π»Ρ Cu — с Ρ€ΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌ энСргии ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ², ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ.

ΠŸΡ€ΠΈ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ повСрхности ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ элСктронным микроскопом (SEM), Π±Ρ‹Π»ΠΎ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡΡ‚ΡŒ повСрхности ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° увСличиваСтся быстрСС, ΠΏΡ€ΠΈΡ‡Π΅ΠΌ с Π½Π°Ρ€Π°ΡΡ‚Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ энСргии ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² увСличиваСтся ΠΈ ΡΡ‚Π° ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ. По ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с Cu, Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ повСрхности SS ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² сущСствСнно ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ. ΠŸΡ€ΠΈ рассмотрСнии Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΉ, Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ нСзависимо ΠΎΡ‚ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΠΈ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² сохраняСтся ΠΌΠΎΠ·Π°ΠΈΠΊΠ° Π³Π»Π°Π΄ΠΊΠΈΡ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ΠΎ Π±Π΅Π· ΠΏΡ€ΠΈΠ·Π½Π°ΠΊΠΎΠ² хаотичСского ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π° Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ распылСнного слоя 4.5 ΠΌΠΊΠΌ. Но Ρ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ энСргии ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² увСличиваСтся Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡŽ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ способности.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Ρ‹Π²Π°ΡΡΡŒ Π½Π° Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π°Ρ…, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ для Π»ΡŽΠ±Ρ‹Ρ… ΠŸΠš Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄Π΅Π³Ρ€Π°Π΄Π°Ρ†ΠΈΠΈ коэффициСнта отраТСния Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ Π²ΠΎΠ·Ρ€Π°ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ с Ρ€ΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌ энСргии Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ². Π’Π°ΠΆΠ½ΡƒΡŽ Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΈΠ³Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ срСдняя энСргия Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² пСрСзарядки. По Ρ€Π°ΡΡ‡Π΅Ρ‚Π°ΠΌ, эта энСргия Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ 300 — 400 эВ. Π’ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… условиях ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» Π½Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΠΎΡ…Ρ€Π°Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ Π½Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠ»Π΅ΠΌΠΎΠΌ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ всСго срока эксплуатации Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π°, Ссли ΠΈΡ… ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ· ΠŸΠš ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²

1.3 АморфныС Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° Π’ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… экспСримСнтах Π±Ρ‹Π»ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ сравнСниС ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚алличСских, монокристалличСских ΠΈ Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Из Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ² слСдуСт, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» ΠΈΠ· Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² сохраняСт Π³Π»Π°Π΄ΠΊΡƒΡŽ структуру ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅.

ЭкспСримСнты ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΈΡΡŒ с Ρ‚рСмя Ρ‚ΠΈΠΏΠ°ΠΌΠΈ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π² Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… мСстах:

1) Liquidmetal Technology Corporation (LTC) Π² Π‘ША

2) Π˜Π½ΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡƒΡ‚ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚Π΅Π»Π°, ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ННЦ Π₯ЀВИ (ISSPMT)

3) Hahn-Meitner-Institute (HMI) Π² Π“Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΈ.

Π—Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° ΠΏΡ€ΠΎΡˆΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΡƒ ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΡƒΡŽ очистку. ЭкспСримСнт проводился ΠΏΡ€ΠΈ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°Ρ…: ne?1010 см-3 ΠΈ Te ?5 эВ. ПослС Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π±Ρ‹Π»ΠΈ ΠΎΠ±Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ΅Π½Ρ‹ нСоднородности, Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Π΅ Π² ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ элСктронном микроскопС ΠΈ Π² ΠΎΠΏΡ‚ичСском микроскопС. Π­Ρ‚ΠΈ нСоднородности составляли всСго лишь 1−2% ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° ΠΈ Π½Π΅ ΡΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎ влияли Π½Π° ΠΎΠΏΡ‚ичСскиС свойства. SEM Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ нСоднородностСй ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Ρ‹ Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 2.3, Π° Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ·ΠΎΠ½Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€Π΅Π²Π°Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ элСмСнтов с ΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠΈΠΌ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½Ρ‹ΠΌ числом, ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΡ†Π΅ΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°. Анализ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ выявил ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ нСоднородностСй.

Π‘ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»Π°ΡΡŒ ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ дСйтСрия ΠΈ Π°Ρ€Π³ΠΎΠ½Π°. Π‘Ρ‹Π»ΠΎ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ всС Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π°ΡŽΡ‚ большоС количСство дСйтСрия. Π‘ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ дСйтСрия с ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΡΠΌΠΈ порядка keV, ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π»Π° ΠΊ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΎΠΌΡƒ падСнию ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ способности, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ росту Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρ‹ нСоднородностСй.

На Ρ€ΠΈΡ. 2.4 прСдставлСна Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ способности ΠΎΡ‚ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ экспозиции ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Π΄Π΅ΠΉΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹. Π’ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ послС ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΉ экспозиции ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΌ спСктром энСргий ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΎ ΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ‚. Однако, послС Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ энСргиСй ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ восстанавливаСтся Π΄ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ уровня. ΠŸΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° высокоэнСргСтичными ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ снова вновь ΡƒΡ…ΡƒΠ΄ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π° Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌΠΈ — восстанавливаСт. ΠŸΠΎΡ…ΠΎΠΆΠ΅Π΅ явлСниС Π±Ρ‹Π»ΠΎ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΎ ΠΈ Π½Π° ISSPMT Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°Ρ…. ΠŸΠΎΠ²Ρ‚ΠΎΡ€ΡΠ΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ повСдСния ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ способности ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π°Π΅Ρ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΠ°Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ способности Π²Ρ‹Π·Π²Π°Π½ΠΎ Π½Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡΡ‚ΠΈ повСрхности, Π° ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ…-Ρ‚ΠΎ химичСских Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΉ.

Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ это ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠ΅ описаниС экспСримСнтов с Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, слСдуСт ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ исслСдованныС Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Π΅ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° содСрТат Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΈΠ΄ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Ρ‹, ΠΈ ΠΏΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π°ΡŽΡ‚ большоС количСство дСйтСрия Π²ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Π΄Π΅ΠΉΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹.

2. Π­ΠšΠ‘ΠŸΠ•Π Π˜ΠœΠ•ΠΠ’ΠΠ›Π¬ΠΠ«Π• Π˜Π‘Π‘Π›Π•Π”ΠžΠ’ΠΠΠ˜Π―

2.1 ΠžΠ±Ρ‰ΠΈΠ΅ свСдСния ΠΈ Ρ†Π΅Π»ΡŒ исслСдований Основная Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π° исслСдований — ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ измСнСния ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ способности ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Ρ… Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π», ΠΏΡ€ΠΈ распылСнии ΠΈΡ… ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ностями ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ с ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΌ спСктром энСргий (0,1−1,5) кэВ.

Π’ Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ исслСдований, Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅, ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΠ»Π°ΡΡŒ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ распылСния повСрхности. Данная характСристика Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ опрСдСляСтся с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Ρ‹ 3.1:

(3.1)

Π³Π΄Π΅ ΠΈ S — ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° ΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΅Π³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°.

ΠŸΡ€ΠΈ фиксированной плотности ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° j (А/см2) ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½ΠΎΠΉ постоянной, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ получСнная Π΄ΠΎΠ·Π° Di:

Di = Nit, (3.2)

Π³Π΄Π΅ Ni— ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π½Π° Π΅Π΄. ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ, t — врСмя экспозиции.

Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, зная Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ m (t), ΠΌΡ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ΠΌ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ соотвСтствиС распылСнной Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ h ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠ·Ρ‹ Di.

Π•Ρ‰Ρ‘ ΠΎΠ΄Π½Π° характСристика, ваТная для повСдСния Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°, являСтся коэффициСнт распылСния (КР) Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π», опрСдСляСмый, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ числа распылСнных Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΊ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠ·Π΅:

(3.3)

2.2 Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ установка Π’ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Π΅, экспСримСнты ΠΏΠΎ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ влияния Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² пСрСзарядки Π½Π° ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π», Π±Ρ‹Π»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π² Π˜Π€ΠŸ Π₯ЀВИ Π½Π° ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ Π”Π‘Πœ-2.

Π’ Π”Π‘М-2 ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ простая схСма, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π°Ρ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΡƒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ с Ρ„иксированным ΠΈΠ»ΠΈ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΌ спСктром ΠΏΠΎ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΡΠΌ.

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ схСма установки прСдставлСна Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 3.1,Π° Π½Π° Ρ€ΠΈΡ 3.2 ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° схСма ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡ΠΈ напряТСния Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ†.

Рис. 3.2 схСма ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡ΠΈ напряТСния Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ†

Установка прСдставляСт собой Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρƒ, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΈΠ· Π½Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π²Π΅ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ стали, Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 0,5 ΠΌ ΠΈ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ Π² Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ части 0,5 ΠΌ. На Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Π°Ρ… ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ располоТСны Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΎΡ…Π»Π°ΠΆΠ΄Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΠ°Ρ‚ΡƒΡˆΠΊΠΈ. Они Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½Ρ‹ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Π»ΠΎΠ²ΡƒΡˆΠΊΡƒ (ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΊΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½) с ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½Π΄ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠ΅ΠΉ 0,5 кГс Π² Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π΅ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΈ 2,25 кГс Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΎΠΊ.

ΠšΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΌΠΎΠ΄ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ Ρ€Π΅Π·ΠΎΠ½Π°Ρ‚ΠΎΡ€ для Π‘Π’Π§ — мощности, которая вводится Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρƒ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Ρ‚Π΅Ρ„Π»ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΎΠΊΠ½ΠΎ, посрСдством ΠΏΡ€ΡΠΌΠΎΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π° ΠΎΡ‚ Π‘Π’Π§-Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π° Ρ‚ΠΈΠΏΠ° «Π₯Π°Π·Π°Ρ€», (Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΌΠ°Π³Π½Π΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ½Π° М-571, с Ρ‡Π°ΡΡ‚ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ 2,375 Π“Π“Ρ†). ΠœΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΠ»Π°Π²Π½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ (2 002 500) Π’Ρ‚. Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π΅ слуТит ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ° Π‘Π’Π§ разряда Π² ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ… элСктронно-Ρ†ΠΈΠΊΠ»ΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ рСзонанса (Π­Π¦Π ), Π½Π° ΡƒΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΠΎΠΉ частотС ΠΏΡ€ΠΈ Π²Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ Π‘Π’Π§ — мощности 200 — 400 Π’Ρ‚. ΠŸΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ составляСт ne 1010 см -3, ΠΏΡ€ΠΈ элСктронной Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ Π’e 5 эВ. Π’ ΡΡ‚ΠΈΡ… условиях Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² соотвСтствуСт Π³Π°Π·Ρƒ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, установка, практичСски, прСдставляСт собой ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ источник «Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ…» ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ².

ΠžΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΊΠ° Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ Π½Π° Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΈΠΉ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌ осущСствляСтся турбомолСкулярным насосом ВМН-500 ΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚оразрядным насосом ΠΠžΠ Π”-250, Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ. Π’Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌ Π² Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ напуском Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π³ΠΎ Π³Π°Π·Π° достигаСт 210-6 Ρ‚ΠΎΡ€Ρ€, Π² Ρ‚ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π³ΠΎ Π³Π°Π·Π° Π²ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ экспозиции составляСт (78)10-5 Π’ΠΎΡ€Ρ€. НСпосрСдствСнно ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ напуском Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π° (дСйтСрия) ΠΠžΠ Π” ΠΎΡ‚ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ, Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌ сниТаСтся Π΄ΠΎ (45)10-6 Π’ΠΎΡ€Ρ€, ΠΈ ΠΏΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ примСси Π½Π° ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚ Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π° экспозиции ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 56%. Π”Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΡΠ»ΠΎΡΡŒ ΠΏΠΎ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π»Π°ΠΌΠΏΠ΅ ПМИ-2.

Π˜Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ состава остаточных Π³Π°Π·ΠΎΠ² проводится с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΎΠΌΠ΅Π³Π°Ρ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π° Π˜ΠŸΠ”Πž-2, ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π² Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ Π½Π΅ Ρ…ΡƒΠΆΠ΅ 10-7 Π’ΠΎΡ€Ρ€.

ЭкспСримСнты ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΈΡΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ 2Β· 10-510-3 Π’ΠΎΡ€Ρ€. На Ρ€ΠΈΡ. 3.3 прСдставлСна Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ плотности ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ ne ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ Te ΠΎΡ‚ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π΅. Как Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΊΠ°, Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° элСктронов ΠΌΠΎΠ½ΠΎΡ‚ΠΎΠ½Π½ΠΎ ΡƒΠ±Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ с ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ давлСния. ΠŸΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ элСктронов максимальна ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ (78)Β· 10-5 Π’ΠΎΡ€Ρ€, Ρ‡Ρ‚ΠΎ являСтся ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠΎΠΌ ΠΏΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ.

На Ρ€ΠΈΡ. 3.4 прСдставлСно Ρ€Π°Π΄ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ распрСдСлСниС элСктронной Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚ности ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ «ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΊΠΈ». Как Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, Π½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π»Π° ±10% Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ ~10 см, это Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ Π½Π° Ρ‚СстируСмый ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† Π±Ρ‹Π» ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π΅Π½.

Π‘ΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ° установки Π”Π‘Πœ-2 позволяСт ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† ΠΎΡ‚Ρ€ΠΈΡ†Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ напряТСниС Π΄Π²ΡƒΡ… Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ²: постоянноС (0,1−1,5 ΠΊΠ’) ΠΈ ΠΏΡƒΠ»ΡŒΡΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π΅, ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π΅Π΅ собой ΡΡƒΠΏΠ΅Ρ€ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΡŽ постоянного ΠΎΡ‚Ρ€ΠΈΡ†Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ смСщСния ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠ²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ ΠΎΡ‚ Π΄Π²ΡƒΡ…ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ выпрямитСля. ΠžΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² (Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π») вСдСтся Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ΅, Π²Ρ‹Ρ‚Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΌ ΠΈΠ· ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ Π»ΠΎΠ²ΡƒΡˆΠΊΠΈ вдоль силовых Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ, ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ, ускорСнными ΠΎΡ‚Ρ€ΠΈΡ†Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ, ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΊ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρƒ.

На Ρ€ΠΈΡ. 3.5 прСдставлСна врСмСнная Ρ€Π°Π·Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΊΠ° напряТСния ΠΈ ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π½Π° Ρ‚СстируСмоС Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΠΎ. Π’ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ напряТСниС ΠΈ Ρ‚ΠΎΠΊ быстро ΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ высоких Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ…. Π’Π°ΠΊΠΎΠ΅ распрСдСлСниС позволяСт ΡΠΎΠ·Π΄Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² с ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΌ спСктром энСргий.

ВрСмСнная Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡƒΡΠΊΠΎΡ€ΡΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ напряТСния ΠΈ Ρ„ункция распрСдСлСния ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΡΠΌ прСдставлСна Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 3.6. Данная Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π±Ρ‹Π»Π° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Ρ‹ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ графичСского диффСрСнцирования Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½oΠΉ Ρ€Π°Π·Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΊΠΈ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΏΠΎ Π½Π°ΠΏΡ€ΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡŽ. Π‘Π²Π΅Ρ‚Π»Ρ‹ΠΌΠΈ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π½Π° Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΊΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° ΠΏΠΎΠΏΡ€Π°Π²ΠΊΠ°, связанная с Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΉ элСктронной эмиссиСй.

2.3 Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ экспСримСнтов с Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ ΠΈΠ· Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Ρ… сплавов Π Π°Π½Π΅Π΅, Π½Π° ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ Π”Π‘Πœ-2, Π±Ρ‹Π»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ ΠΏΠΎ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» ΠΈΠ· Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Ρ… сплавов, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ установлСны Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹, Π²Π»ΠΈΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π° (дСйтСрия).

Π‘Ρ‹Π»ΠΈ ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π΅Π½Ρ‹ эффСкты ΠΏΡ€ΠΈ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Π΄Π΅ΠΉΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Ρ… Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» (АЗ) ΠΈ ΡΠ°ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» (ΠšΡ€Π—), ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ· ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° Zr41Ti14Cu12.5Ni10Be22.5.

На Ρ€ΠΈΡ. 3.7 ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Ρ‹ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ рСнтгСновского Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°. Π’ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ интСнсивности отраТСния Π³Π°ΠΌΠΌΠ°-Π»ΡƒΡ‡Π΅ΠΉ ΠΎΡ‚ ΡƒΠ³Π»Π° Π² Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½ΠΎΠΌ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π΅, характСризуСтся «Π³ΠΎΡ€Π±ΠΎΠΌ», Ρ‚ΠΈΠΏΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ для Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½ΠΎΠΉ структуры. Π’Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΎΡ‚ΠΆΠΈΠ³ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ измСняСт Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ: вмСсто Ρ€Π°ΡΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€Π°Π½ΡΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎΡΡ максимума Π½Π° ΠΎΡ‚ΠΎΠΆΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π΅ острыС ΠΏΠΎΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΈΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ спСцифичСскими для кристаллизованной структуры.

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ экспСримСнта с Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°ΠΌΠΈ, Π² ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… условиях, Π±Ρ‹Π»ΠΎ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈΡ… ΠΏΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ сильно отличаСтся. Π‘ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Π°Ρ€Π³ΠΎΠ½Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π»Π° ΠΊ Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΡŽ ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈ ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌΡƒ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ коэффициСнта отраТСния для кристаллизованных ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ², Π½ΠΎ Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ ΠΎΡ‚Ρ€Π°Π·ΠΈΠ»Π°ΡΡŒ Π½Π° ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π° ΠΎΠΏΡ‚ичСских свойствах Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Ρ… ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ².

Π‘ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° кристаллизованных Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ дСйтСрия ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π»Π° ΠΊ ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° (рис3.8).

На Ρ€ΠΈΡ. 3.9 ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ коэффициСнт отраТСния кристаллизованного ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°. ПослС Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Ar Ρ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΠ΅ΠΉ 1 кэВ, ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΎ ΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ‚. Π‘ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ дСйтСрия с ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΠ΅ΠΉ 1 кэВ, Π²Ρ‹Π·Π²Π°Π»ΠΎ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠ°Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ коэффициСнта отраТСния, Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ вСроятно ΠΈΠ·-Π·Π° химичСских процСссов Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, это Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ сниТСниС Π±Ρ‹Π»ΠΎ фактичСски ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ восстановлСно Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Π΄Π΅ΠΉΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ с ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΠ΅ΠΉ 60 эВ. ΠΠ΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π²Π΅Ρ€Π½ΡƒΡ‚ΡŒ коэффициСнт отраТСния Π½Π° Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π΅Π½ΡŒ Π΄ΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° этого — повСрхностная Π½Π΅Ρ€ΠΎΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, развитая ΠΈΠ·-Π·Π° Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Ar.

Π’ Ρ‚Π°Π±Π». 1 ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ условия ΠΈ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… экспозиций ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Π΄Π΅ΠΉΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ (энСргия ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² 60 эВ, ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ° j=2.09ΠΌA/см2) для Π΄Π²ΡƒΡ… ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² (АЗ — АМА-3; ΠšΡ€Π— — АМК-3) с ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ элСмСнтным составом.

Π’Π°Π±Π».1 Условия ΠΈ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… экспозиций ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Π΄Π΅ΠΉΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹

НомСр экспозиции

ПолноС врСмя экспозиции, ΠΌΠΈΠ½

Π”ΠΎΠ·Π° ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ²

1024 ΠΈΠΎΠ½/ΠΌ2

Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ вСса, ΠΌΠΊΠ³

АМА-3

АМК-3

0.47

2.82

— 20 (Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ Π½Π° ΠΊΡ€Π°ΡΡ…)

5.17

7.52

Π Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° (рис. 3.9)

9.09

;

11.45

;

13.80

;

На Ρ€ΠΈΡ. 3.10 ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° фотография, ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚Π΅Π»ΡŒΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ кристаллизованный ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠΈΠ»ΡΡ, Π² Ρ‚ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° Π½Π΅ ΠΎΠ±Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠΈΠ»ΠΈ Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ… Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Ρ… ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ. Π”Π°Π»ΡŒΠ½Π΅ΠΉΡˆΠ°Ρ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ° 13.8Β· 1024 ионсм2 Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π»Π° Π½ΠΈ ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠΌ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ΠΌ измСнСниям.

Π—Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π³ΠΎ привСса ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ„Π»ΡŽΠ΅Π½ΡΠ° ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π΄Π΅ΠΉΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ для Π΄Π²ΡƒΡ… Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Ρ… Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡƒΠ²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ΡŒ Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 3.11. Π’ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ±Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° Π²Π΅Π΄ΡƒΡ‚ сСбя ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²ΠΎ, ΠΈ Π²Π΅Ρ растСт ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠΌΡƒ ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌΡƒ Ρ„Π»ΡŽΠ΅Π½ΡΡƒ.

Из Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ² Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Π΅ сплавы, содСрТащиС Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΈΠ΄ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ элСмСнты, ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π°ΡŽΡ‚ Π΄Π΅ΠΉΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠΉ, Ρ…ΠΎΡ‚ΡŒ ΠΈ Π² Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΉ стСпСни.

ЦСлью Π΄Π°Π»ΡŒΠ½Π΅ΠΉΡˆΠΈΡ… экспСримСнтов, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… я ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π» нСпосрСдствСнноС участиС, стала ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠ° поглощСния Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹ΠΌΠΈ сплавами дСйтСрия, ΠΏΡ€ΠΈ отсутствии Π² Π½Π΅ΠΌ Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΈΠ΄ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚.

2.4 ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ° ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ экспСримСнта

2.4.1 Π Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠΉ Ρ†ΠΈΠΊΠ». Π”Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ экспСримСнта для ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΈΠ· ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈ Π½Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π²Π΅ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ стали ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π΄ экспСримСнтом производится установка ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° Π² Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ. Π”Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ с ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠΌ помСщаСтся Π² ΡˆΠ»ΡŽΠ·ΠΎΠ²ΡƒΡŽ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρƒ, которая откачиваСтся Ρ„ΠΎΡ€Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½Ρ‹ΠΌ насосом Π΄ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ 3−4 ΠΌΠ’ ΠΏΠΎ ΡˆΠΊΠ°Π»Π΅ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° Π’Π˜Π’-1. ΠŸΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ со ΡˆΠ»ΡŽΠ·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΉ откачиваСтся ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π° ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ Π»ΠΎΠ²ΡƒΡˆΠΊΠΈ Π΄ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ 10-5 Ρ‚ΠΎΡ€Ρ€. ПослС ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΊΠΈ ΡˆΡ‚ΠΎΠΊ с ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠΌ вводится Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρƒ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡΡ‰Π΅Π΅ ΡƒΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅, Ρ‚Π°ΠΊ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† оказываСтся Π² ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ΅ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹, Π²Ρ‹Ρ‚Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΌ ΠΈΠ· ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ Π»ΠΎΠ²ΡƒΡˆΠΊΠΈ вдоль силовых Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ. ΠŸΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡΡ ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΊΠ° ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ Π½Π° Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΈΠΉ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌ — (2−3)10-6 Ρ‚ΠΎΡ€Ρ€, ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ с ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡ΠΊΠΎΠΉ Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ заТигаСтся Π‘Π’Π§-разряд, с Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ обСзгаТивания стСнок ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹. ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΡ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ° вСдутся с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° Π’Π˜Π’-1. По Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ°, Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρƒ ΠΈΠ· Π±Π°Π»Π»ΠΎΠ½Π° напускаСтся Π΄Π΅ΠΉΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠΉ. Напуск производится ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΠΈ ΠΏΡŒΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°Ρ‚Π΅ΠΊΠ°Ρ‚Π΅Π»Ρ Π΄ΠΎ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π³ΠΎ давлСния (7−8) 10-6 Ρ‚ΠΎΡ€Ρ€.

Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ заТигаСтся Π‘Π’Π§ Π­Π¦Π  разряд. Экспозиция ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»Π°ΡΡŒ с Π΄Π²ΡƒΠΌΡ Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹ΠΌΠΈ энСргиями ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ²: низкая энСргия (ΡƒΡΠΊΠΎΡ€ΡΡŽΡ‰Π΅Π΅ напряТСниС — 60 эВ) ΠΈ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠ°Ρ энСргия (1 кэВ). Π˜Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ напряТСния ΠΈ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† производится с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π²ΠΎΠ»ΡŒΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° ΠΈ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°ΠΌΠΏΠ΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°. ПослС экспозиции ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† извлСкаСтся ΠΈΠ· Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΈ Π²Π·Π²Π΅ΡˆΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ся. Π˜Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΡ массы производятся Π½Π° Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΏΠ»Π΅Ρ‡ΠΈΡ… вСсах Π’Π›Π -2 с Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π΄ΠΎ 20 ΠΌΠΊΠ³. Из Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ вычисляСтся срСднСС Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π”m.

ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π΄ основным экспСримСнтом с Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, производился Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ установки Π½Π° Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠΉ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌ. ΠŸΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠ° Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΡ… ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΠ»Π°ΡΡŒ посрСдством стандартной совмСстной тСстовой экспозиции Π΄Π²ΡƒΡ… Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» — мСдь ΠΈ Π½Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π²Π΅ΡŽΡ‰Π°Ρ ΡΡ‚Π°Π»ΡŒ.

ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π΄ экспозициСй Π±Ρ‹Π»ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½Ρ‹ Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ массы m0: m0(Cu) = 8,507 205 Π³, m0(SS) = 6.481 005Π³. Π‘ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»Π°ΡΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ плотности Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† j=6.3β€’1015мА/см2ΠΈ ΡƒΡΠΊΠΎΡ€ΡΡŽΡ‰Π΅ΠΌ напряТСнии 1 кэВ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 30 ΠΌΠΈΠ½ΡƒΡ‚. ПослС экспозиции Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° ΠΏΠΎΠ²Ρ‚ΠΎΡ€Π½ΠΎ взвСшивались ΠΈ Π²Ρ‹Ρ‡ΠΈΡΠ»ΡΠ»Π°ΡΡŒ Π”m.

Π”m (Π‘u) = 845β€’10-6 Π³, Π”m (SS) = 270β€’10-6 Π³.

По ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½Π½ΠΎΠΌΡƒ Ρ‚ΠΎΠΊΡƒ ΠΈ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ экспозиции вычисляСтся Ρ„Π»ΡŽΠ΅Π½Ρ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ², ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠΌ, Π² ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΡΡ‡Π΅Ρ‚Π΅ Π½Π° Π΅Π΄. ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ:

Di = Nit = j (А/см2)6,251018 (e/сСк.)t (сСк) (3.4)

Π’ Π½Π°ΡˆΠ΅ΠΌ случаС ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° равнялся

Ni = 0.26β€’1018 (ΠΈΠΎΠ½/см2 с).

Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ Ρ„Π»ΡŽΠ΅Π½Ρ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² дСйтСрия Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ†

Di = 3.12β€’1020 (ΠΈΠΎΠ½/ см2 с) ΠšΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ распылСнных Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ экспозиции Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² с Π΅Π΄. повСрхности

(Π°Ρ‚./см2) (3.5)

Π³Π΄Π΅ m — потСря массы, mΠ°Ρ‚ — масса Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ° Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ элСмСнта.

Для ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° ΠΈ Π½Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π²Π΅ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°:

(Π‘u) = 0.15β€’1021 (Π°Ρ‚/см2),

(SS) = 0.34β€’1020 (Π°Ρ‚/см2) (3.5Π°) ΠšΠΎΡΡ„Ρ„ΠΈΡ†ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ распылСния вычислялся ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ количСства Π²Ρ‹Π»Π΅Ρ‚Π΅Π²ΡˆΠΈΡ… частиц ΠΊ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²Ρƒ ΡƒΠΏΠ°Π²ΡˆΠΈΡ…:

(3.6)

Для ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Y (Cu) = 0.4, для Π½Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π²Π΅ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ стали Y (SS) = 0.1.

Π”Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹ ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ Ρ‚ΠΈΠΏΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ ΠšΠ  для ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈ Π½Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π²Π΅ΠΉΠΊΠΈ Π² ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ… достаточных для провСдСния стандартного экспСримСнта.

Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ экспСримСнтов прСдставлСны Π² Ρ‚Π°Π±Π». 2.

Π’Π°Π±Π».2 Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ экспСримСнтов для Cu ΠΈ SS

Cu

SS

Di = 3.12β€’1020(ΠΈΠΎΠ½/см2с)

Di = 3.12β€’1020(ΠΈΠΎΠ½/см2с)

Π”m = 845β€’10-6 Π³

Π”m = 270β€’10-6 Π³

Y = 0.4

Y = 0.1

2.4.2 Π”Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ экспСримСнта для Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Ρ… ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² Как Π±Ρ‹Π»ΠΎ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ сказано, ΠΏΡ€ΠΈ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Π΄Π΅ΠΉΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹, наблюдалось ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ дСйтСрия Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ ΠΈΠ· Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Ρ… сплавов.

Π’ ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π΅ использовались Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π° с ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ элСмСнтным составом, Π½ΠΎ Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΉ микроструктурой. Π’ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊ вопрос: Π² Ρ‡Π΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° поглощСния дСйтСрия Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ — Π² ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ элСмСнтном составС?

Π’ Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ экспСримСнта Π±Ρ‹Π»ΠΎ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΠ— ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π°Π΅Ρ‚ Π΄Π΅ΠΉΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠΉ Π² Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… количСствах, Ρ‡Π΅ΠΌ ΠšΡ€Π—. ΠŸΡ€ΠΈΡ‡Ρ‘ΠΌ, Π² ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅Π³ΠΎ, (послС экспозиции № 4 [Ρ‚Π°Π±Π».1], ΠšΡ€Π— Ρ€Π°ΡΡΡ‹ΠΏΠ°Π»ΠΎΡΡŒ), Π½Π° ΠΠ— Π½Π΅ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡŒ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ…-Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ оптичСских свойств. ΠŸΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ явлСния, Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎ, Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΠšΡ€Π— происходит Π½Π°ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ дСйтСрия Π² ΠΌΠ΅ΠΆΠ·Ρ‘Ρ€Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ пространствС, Π° Π² ΠΠ— происходит диффузия ΠΈ Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ дСйтСрия Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌ объСмС. Вторая, возмоТная, ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° поглощСния дСйтСрия ΠΠ— ΠΈ ΠšΡ€Π— — Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ Π² Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°Ρ… Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΈΠ΄ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠ°ΠΊ Ti ΠΈ Zr.

Для ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π³ΠΈΠΏΠΎΡ‚Π΅Π·Ρ‹ Π±Ρ‹Π»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ экспСримСнты с Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΎΠΉ, которая Π½Π΅ ΡΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΡ‚ Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΈΠ΄ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚.

ΠšΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ ΠΏΠΎΡ€ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ½Π΅, являлось исслСдованиС поглощСния дСйтСрия Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ ΠΈΠ· Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Ρ… сплавов Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ отсутствия Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΈΠ΄ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚.

Π‘Ρ‹Π»ΠΈ сдСланы экспозиции с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΠΈ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΉ энСргиями.

Низкая энСргия:

ΠŸΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† j=5.03β€’1015 мА/см2, ΡƒΡΠΊΠΎΡ€ΡΡŽΡ‰Π΅Π΅ напряТСниС -60 эВ. ВрСмя экспозиции составило 60 ΠΌΠΈΠ½ΡƒΡ‚. Π”ΠΎ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ экспозиции, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹ Π±Ρ‹Π»ΠΈ Π²Π·Π²Π΅ΡˆΠ΅Π½Ρ‹ ΠΈ ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ вычислСна Π”m= 55β€’10-6 Π³.

ΠŸΠΎΡ‚ΠΎΠΊ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° составил

Ni = 0.41β€’1018(ΠΈΠΎΠ½/ см2 с) По Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅ (3.4) Π±Ρ‹Π» вычислСна Ρ„Π»ΡŽΠ΅Π½Ρ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ²

Di = 1,49β€’1020(ΠΈΠΎΠ½/ см2 с) (3.4Π±) ΠšΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ распылСнных Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ экспозиции Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² с Π΅Π΄. повСрхности

= 1.6β€’1018 (Π°Ρ‚/см2) (3.5Π±) По ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π±Ρ‹Π» вычислСн коэффициСнт распылСния

Y = 0.01

Высокая энСргия:

А) U = -1500 Π’ ΠŸΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† j=8.04β€’1015 мА/см2, ΡƒΡΠΊΠΎΡ€ΡΡŽΡ‰Π΅Π΅ напряТСниС -1 ΠšΡΠ’. ВрСмя экспозиции составило 30 ΠΌΠΈΠ½ΡƒΡ‚. Π”ΠΎ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ экспозиции, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹ Π±Ρ‹Π»ΠΈ Π²Π·Π²Π΅ΡˆΠ΅Π½Ρ‹ ΠΈ ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ вычислСна Π”m= 480β€’10-6 Π³.

ΠŸΠΎΡ‚ΠΎΠΊ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° составил

Ni = 0.47β€’1018(ΠΈΠΎΠ½/ см2 с) По Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅ (3.4) Π±Ρ‹Π»Π° вычислСна Π΄ΠΎΠ·Π° ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ²

Di = 1β€’1021(ΠΈΠΎΠ½/ см2 с) (3.4Π±) ΠšΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ распылСнных Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ экспозиции Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² с Π΅Π΄. повСрхности

= 0.8β€’1019 (Π°Ρ‚/см2) (3.5Π±) По ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π±Ρ‹Π» вычислСн коэффициСнт распылСния

Y = 0.04

Π‘) = -650 Π’ ΠŸΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† j=8.04β€’1015 мА/см2, ΡƒΡΠΊΠΎΡ€ΡΡŽΡ‰Π΅Π΅ напряТСниС = -650 Π’. ВрСмя экспозиции составило 30 ΠΌΠΈΠ½ΡƒΡ‚. Π”ΠΎ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ экспозиции, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹ Π±Ρ‹Π»ΠΈ Π²Π·Π²Π΅ΡˆΠ΅Π½Ρ‹ ΠΈ ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ вычислСна Π”m= 375β€’10-6 Π³.

ΠŸΠΎΡ‚ΠΎΠΊ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° составил

Ni = 0.47β€’1018(ΠΈΠΎΠ½/ см2 с) По Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅ (3.4) Π±Ρ‹Π» вычислСна Ρ„Π»ΡŽΠ΅Π½Ρ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ²

Di = 0.8β€’1021(ΠΈΠΎΠ½/ см2 с) (3.4Π²) ΠšΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ распылСнных Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ экспозиции Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² с Π΅Π΄. повСрхности

= 0.64β€’1019 (Π°Ρ‚/см2) (3.5Π²) По ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π±Ρ‹Π» вычислСн коэффициСнт распылСния

Y = 0.032

ΠŸΡ€ΠΈ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹Ρ… Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π», Π½Π΅ ΡΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‰ΠΈΡ… Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΈΠ΄ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚, Π½Π΅ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π°Π²ΠΊΠΈ вСса, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, Π΄Π΅ΠΉΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠΉ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π°Π»ΡΡ.

Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ экспСримСнтов прСдставлСны Π² Ρ‚Π°Π±Π». 3.

Π’Π°Π±Π».3 Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ экспСримСнтов для Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ

U = -60 Π’

U = -1500 Π’

= -650Π’

Di = 1,49β€’1020 (ΠΈΠΎΠ½/см2с)

Di = 1β€’1021 (ΠΈΠΎΠ½/см2 с)

Di = 0.8β€’1021 (ΠΈΠΎΠ½/см2 с)

Π”m= 55β€’10-6 Π³

Π”m= 480β€’10-6 Π³

Π”m= 375β€’10-6 Π³

Y = 0.01

Y = 0.04

Y = 0.032

Π’Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ аморфная Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π°, Π½Π΅ ΡΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‰Π°Ρ Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΈΠ΄ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Ρ‹, Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π°Π΅Ρ‚ Π΄Π΅ΠΉΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ экспонировании ΠΊ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΡƒ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π΄Π΅ΠΉΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹, Π² ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» ΠΈΠ· ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° Zr41Ti14Cu12.5Ni10Be22.5. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Ρ‹Π²Π°ΡΡΡŒ Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π°Ρ…, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄: ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΌ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ поглощСния дСйтСрия Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΈ Π·Π°ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, являСтся Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΈΠ΄ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ Π² ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΌ составС Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» (Ρ†ΠΈΡ€ΠΊΠΎΠ½ΠΈΠΉ ΠΈ Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½). Π’Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ, Π²Π»ΠΈΡΡŽΡ‰ΠΈΠΌ Π½Π° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ дСйтСрия, являСтся микроструктура ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°, Ρ‚ΠΎ Π΅ΡΡ‚ΡŒ, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹ с Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½ΠΎΠΉ структурой ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ сущСствСнно Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°ΠΌΠΈ ΠΈΠ· Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, Π½ΠΎ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ Π½Π°Π½ΠΎ-ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ структуру.

1. Nuclear Fusion 49 (2009)/ Progress in research and development of mirrors for ITER diagnostics.

2. V.S. Voitsenya et. al./ Simulation of radiation effects on reflectors using heavy ion beams/ Journal of Nuclear Materials1994. № 212−215. P. 443

3. H. Verbeek, J. Stober, D.P. Coster, W. Eckstein, R. Schneider/ interaction of charge exchange neutrals with the main chamber walls of plasma machines.

4. V.S. Voitsenya et.al./ Imitation of fusion reactor environment effects on optical properties of metallic mirrors/ 7th Int. Conf. on Fusion Reactor materials, Obninsk, Russia, September 1995.

5. V.S. Voitsenya et.al./ Overview metal mirrors prospects in Fusion Reactors/ Plasma Physics Reports Vol. 20 № 2 (1994).

6. V.S. Voitsenya et. al./ On the choice of material for the first mirrors of fusion reactor plasma diagnostics/ Plasma Devices and Operations, 1999, Vol. 7, pp. 243−254.

7. V.S. Voitsenya et. al./ Ion energy distribution effects on degradation of optical properties of ion-bombardment copper mirrors/ Surface and Coating Technology 103 — 104 (1998) 365 — 369.

8. V.S. Voitsenya et.a./ Erosion of steel under bombardment with ions of a deuterium plasma/ Vacuum 58 (2000) 10 — 15.

9. V.S. Voitsenya et. al./ Erosion of steel under bombardment with ions of a deuterium plasma/ Vacuum 58 (2000) 10−15.

10. V.S. Voitsenya et. al./ On the choice of material for the first mirrors of fusion reactor plasma diagnostics/ Journal of Nuclear Materials 258−263 (1998) 1919;1923.

11. V.S. Voitsenya et.al. Behavior of amorphous metal alloy mirrors under ion bombardment.

12. V.S. Voitsenya et. al./ Modification of optical characteristics of metallic amorphous mirrors under ion bombardment/ Plasma devices and operations Vol. 17, No. 2, June 2009, 144−154

13. Π’. Π‘. ВойцСня, Π’. Π“. Коновалов ΠΈ Π΄Ρ€./ ΠžΡ‡ΠΈΡΡ‚ΠΊΠ° повСрхности ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Ρ… Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» Π² Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅/ Π”ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ Π½Π° ΠΊΠΎΠ½Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠΈ «Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ° ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹» Минск 13−15 ΡΠ΅Π½Ρ‚ября 1994.

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ