Разработка оптических методов создания концентрирующих рельефно-фазовых голограммных структур и исследование их характеристик
Диссертация
Уменьшения влияния границ с разными коэффициентами преломления на форму профиля штриха голограммной ДР рельефно-фазового типа, изготавливаемых на заготовках с высоким коэффициентом отражения, предложен и экспериментально опробован способ уменьшения влияния стоячей волны, в основе которого лежит однородная засветка излучением с. Разработаны и исследованы эффективные способы уменьшения влияния… Читать ещё >
Список литературы
- Ф.М. Герасимов, Э. А. Яковлев. Дифракционные решетки: В кн. Современные тенденции в технике спектроскопии. — 1982, Новосибирск, С. 24 -94.
- E.W.Palmer. Diffraction gratings: Reports on Progress in Physics, 1975, Vol.38, № 8, P.975 — 1048.-(P. 1009−1011).
- H.Watanabe, Y.Todokoro.- E-beam direct wafer writing process using a water-soluble conductive layer: IEEE Trans.Electron.Dev., 1989, Vol. 16, № 3, p.474−478.
- Aoyagi Y., Namba S., Blazed Ion-etched Holographic Gratings, Opt. Acta, 1976, 23, p.701−706.
- Денисюк Ю.Н. Об отображении оптических свойств оъекта в волновом поле рассеянного им излучения. ДАН СССР, т.144: 6, С. 1275 — 1278, 1962 г.
- Rudolf D., Schmachl G. «Spectroskopische Beugungsgitter Hoher Teilungsgenauigkeit erzeugt rn.it Hilfe von Laserlicht und Photoresistschichter.» -Optik, 1970, 30, C.475 487.
- В.П.Антошкина, В. Л. Афанасьева, А. И. Любимов, М. М. Михайлова, В. А. Селезнев. Голографические дифракционные решетки рельефно — фазового типа.- Обзор № 2932, деп.рук. ВИНИТИ св.1162, Биб.указ.отеч. и заруб, лит. 1983, сер.3., № 21, реф.82., 70 стр.
- N.K. Sheridon. Production of blazed holograms. Appl. Physics Letters, 1968, vol.12, 9, P.316 — 318.
- Schmahl G. Holografic structure for Vacuum U-V Rad. and X- ray. -Proc.Int.Conf. on Vacuum U-V Rad.Phys., Hamburg: 1974, p.667 681.
- М.Борн, Э.Вольф. Основы оптики, 1973, М., с. 585.
- W.R.Hynter, G.Hass. Preparation and testing of reflectance coating for diffraction gratings in the extreme ultraviolet: Phys. Thin Films, 1980, Vol.11, New York.
- Стрельников Ю.П. Оптические и механические свойства алюминиевых покрытий для дифракционных решеток: Автореф. диссертации к.ф.м.н, 1990, Казань, КГУ, 20 с.
- Sano К., Aoyagi Y., Namba S., Production of Blazed Holographic Gratings by Ion-etching Technique, — J. Spectroscopic Soc.Japan, 26, p.327, 1977.
- Aoyagi, High-spectroscopic Qualities in Blazed Holographic Gratings, — SPIE, vol.240, p. 63 -71., 1980.
- P.Hariharan. The post-Michelson era./ Austral.J.Phys., 1993, vol.46, № 1, p.103 — 119.
- E.G.Loewen, M. Neviere, D.Maystre.- Grating efficiency theory as it applies to blazed and holographic gratings: Applied Optics, 1977, Vol.16, № 10, P.2711−2721.
- Л.А.Дмитреева, И. В. Голубенко, Г. М. Савицкий. Дифракционная эффективность голографических решеток с симметричной формой профиля: Оптико-механическая промышленность, 1985, № 1, С. 4 — 6.
- Electromagnetic theory of gratings. 1980, Ed. by R. Petit, Springer, 28 lp.
- E.G.Loewen, M. Neviere, D.Maystre. Efficiency optimization of rectangular grove gratings for use in the visible and IR regions: Applied Optics, 1979, Vol. l8, № 13, P.2262−2266.
- D.Maystre, M. Neviere, R. Petit: Experimental verifications and applications of the theory. in: Electromagnetic theory of gratings. — 1980, Ed. by R. Petit, Springer, P.159 — 225.
- Г. М.Савицкий, И. В. Голубенко. Оптимизация эффективности отражательных дифракционных решеток с трапецеидальным профилем штриха: Оптика и спектроскопия. 1985, том 59, вып.2, С. 420 — 425.
- В.П.Шестопалов, А. А. Кириленко, С. А. Масалов, Ю. К. Сиренко: Резонансное рассеяние волн. Дифракционные решетки. 1986, Киев, Наук. думка, 232 с.
- С.А.Масалов, Э. А. Яковлев.- Отражательные характеристики эшелета в поляризованном излучении для автоколлимационной установки: Оптика и спектроскопия, 1977, т.43, № 6, С.1129 1137.
- В.П.Шестопалов, Л. Н. Литвиненко, С. А. Масалов, В. Г. Сологуб: Дифракция волн на решетках. 1973, Из-во ХГУ, С. 195 -240.
- Breidne М., Johansson S., Nilsson L., Ahlen H. Blazed holografic gratings. -Optica Acta, 1979, vol.26, ll, p. l427 1441.
- Э.А.Яковлев, Ф. М. Герасимов. Экспериментальное изучение распределения интенсивности дифракционных решеток по спектру в поляризованном свете: Оптика и спектроскопия. — 1961, том 10, вып.1, С. 104 — 112.
- M.Breidne, D.Mayster.-.Optimizatin of Fourier grating, 1980, SPIE, V.240, P.311−317.
- У.Моро. Микролитография. //Пер. с англ./ Принципы, методы, материалы.-ч.1.-ч.2.- Ред.Р. Х. Тимерова.- пред.К. А. Валиева.- М., Мир,-1990.-1239 с.
- Г. Н.Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис. Расчет профилей проявления фоторезиста.// Электронная техника. Сер.З. Микроэлектроника, 1974, вып. 2 (50), С. 40 42.
- Г. Н.Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис. Оптические основы контактной фотолитографии. 1982, М., Радио и связь, 104 с.
- F.H.Dill. Optical lithography.// IEEE Trans. 1975, ED-22, № 7,P.440 444.
- F.H.Dill, A.R.Neureuther, J.A.Tuttle, E.J.Walker. Modeling projection printing of positive photoresists.// IEEE Trans. 1975, ED-22, № 7,P.456 464.
- S.Austin, F.T.Stone. Fabrication of thin periodic structures in photoresist: a model.//Appl.Optics, 1976, Vol.15, P.1071 1074.
- L.Machev, S.Tochev. Formation of holographic diffraction gratings in photoresist.: Appl. Phys., 1981, A26, P.143−149.
- E. Kapon, A. Katzir. Photoresist grating on reflecting surfaces. // J. Appl. Phys., 1982, 53(3), P.1387- 1390.
- R.C.Mc. Phedran, J.Y. Wilson, M.D. Waterworth. Profile formation of holographic diffraction grating. // Optics and Laser Technology, 1973, vol.5, № 4, p.166- 171.
- R.R. Hershey, E.N. Leith. Grating interferometers for producing large holographic gratings: 1990, Appl.Appl.Optics, V.29,p.937 — 943.
- I.N. Ross, С.J. Hooker, P. Dombi. Efficient generation of large diffraction gratings with a grating interferometer: Appl. Optics, 2001, Y.40, N34, p.6153−6156.43 .Боков Ю.С.- Фото-, электроно и рентгено — резисты. — М.: Радио и связь, 1982.53 с.
- Р.Р.Герке, С. Б. Мамедов, М. Д. Михайлов, И. Ю. Юсупов, О. А. Яковук. Свойства голографических решеток на пленках сульфида мышьяка: Успехи научной фотографии, 1990, t. XXIV, М., из. Наука, С. 52 — 55.
- Т.Б.Антонова, М. Н. Астафьева, И. А. Кожинова, А. И. Любимов, Ф. А. Саттаров. О некоторых особенностях тонких пленок селенидов мышьяка и изготовление г. д.р. на их основе.- VI Всесоюзная конференция по голографии, г. Витебск, 1990 г.// Сб. тезисов, с. 38.
- Nagata Н., Kishi М. Production of blazed holografic gratings by a simple optical system.// Jap.J.Appl.Phys., 1975, v.14, Suppl.14−1, p.181 -186.
- Любимов А.И. О получении топографических оптических элементов с пилообразной формой штрихов. IV НТКМС, 23 — 25.05,1979., ЦНИИ информации, тезисы док., с. 72.
- Любимов А.И., Мустафин К. С., Селезнев В. А. Получение голографических дифракционных решеток с несимметричной формой профиля штриха // Оп-тико-механич.промышленность.1982. № 4. с.32−34.
- Cowan J.I., Arakawa Е.Т. Blazed Holografic Gratings Formed with Optical Guided Waves. V International Conf. on Vac. U — V Rad. Phys. and Appl., Meudon, France, 1978, ref. 12, p. 20−23.
- Nagata H., Kishi M. Production of blazed holografic gratings by a simple optical system. Jap.J.Appl.Phys., 1975, v.14, Suppl.14−1, p.181 — 186.
- Breidne M., Johansson S., Nilsson L., Ahlen H. Blazed holografic gratings. -Optica Acta, 1979, vol.26, 11, p. 1427 1441.
- Breidne M., Influence of the groove profile on the efficiency of diffraction gratings. 1981, Stockholm.- Диссертация.- 70 p.
- Богданова И.Б., Любимов А. И. Оптическая схема получения г.д.р. с несимметричной формой профиля штриха с помощью Фурье-синтеза. Всесоюзная XIV НТКСМ. Л.: ГОИ, 1982, сборник тезисов докл. т.1, с.89−90.
- Brinahle О. Formation of blazed gratings. J.Opt.Soc.Am., 1970, vol. 60, 1, 140 -141.
- Pei-jun Ding, Во Lheng. Prorosed new method for producting blazed holographic gratings. J.Opt.Soc.Am., vol.6., 8, 1228 — 1232, 1989.
- Латыпова Л.И., Мустафина Л. Т., Гамма Е. А. Использование эффекта Та-больта при формировании голографических дифракционных решеток. Оптика и спектроскопия, 1990, 69, вып.1, с.170−173.
- Городецкий А.А. Синтез внеосевых голограммных оптических элементов и контроль оптических поверхностей сложной формы на основе использования принципа обращения волновых фронтов. // Автореферат дисс. кандид. физ.-мат. наук 1992. — Казань, КГУ. — 15 с.
- Афанасьева В.Л., Любимов А. И., Селезнев В. А. Образование ступенчатой формы штрихов с низкими значениями пространственных частот.//П Всесоюзная конференция по голографии. 1978. Ульяновск, с. 59 60.
- Т.Н.Крылова. Интерференционные покрытия. 1973, Л., Машиностроение, 224с.
- И.С.Гайнутдинов, Е. А. Несмелов, И. Б. Хайбуллин.- Интерференционные покрытия для оптического приборостроения.- 2002, Казань, изд. «Фэн», 592 с.
- Голография. //Методы и аппаратура. Под ред. В. М. Гинзбург, Б. М. Степанова. 1974, М., «Сов.радио», 376 с.
- Бобров C.T., Брайнин Ю. И., Туркевич Ю. Р. Исследование фоторезистов как среды для регистрации голограмм. ЖНиПФиК. — 1979. -т. 24. — № 3.-С.161 — 165.
- М.Р.С. Watts. Analitical model of positive resist development applied to linewidth control in optical lithography // J.Vac.Technol. B. 1985.- Vol.3.- № 1.-p.434 — 440.
- Валеев A.C. Определение оптических постоянных тонких слабопоглощаю-щих слоев // Оптика и спектроскопия. 1963.- т. 15. — вып.4. — С.500 -511.
- М.А. Гисин, Г. П. Конюхов, Е. А. Несмелов. Метод определения оптических постоянных и толщины диэлектрических пленок. //Оптика и спектроскопия, 1969, т.26, вып.2, с.301 309.
- Е.А. Несмелов, А. Г. Гусев, О. Н. Иванов, Н. П. Матшина. Метод расчета оптических постоянных тонких диэлектрических пленок. //Оптический журнал, 1991, № 9, с. 27−29.
- Любимов А.И., Селезнев В. А. Некоторые вопросы техники получения голограммных дифракционных решеток. //ОМП, 1984.- № 4, с.41−43.
- Любимов А.И., Селезнев В. А. Применение дифракционного интерферометра для записи г.д.р. // Сб. «Дифракционные решетки разработка и производство», ЦНИИ и ТЭИ, М., 1984, с.15−17.
- Мустафин К.С. Исследование отображающих свойств голограмм и возможностей их применения в оптическом приборостроении. //Автореферат дисс. доктора тех. наук 1975. — Л. — 24с.
- Ершов И.В. Интерферометр с фазовой дифракционной решеткой. // Оптика и спектроскопия, 1986, том 61, вып.6., С.1351 1353.
- D. Post, К. Patorski, P. Ning Compact grating interferometer for producing photoresist gratings with incoherent light.// Appl. Optics, 1987, Vol.26, N 6.-P.1100 1105.
- Кольер P., Беркхард К., Лин Л. Оптическая голография.// Пер. с англ./ Под ред. Островского Ю. И. 1973.-Из-во: Мир. 686с.
- А.И.Любимов, Г. В. Кисунько, З. Г. Мурзаханов, А. Ф. Скочилов. Гравитационно-волновая антенна на основе кольцевой двухрезонаторной лазерной системы, не чувствительной к вращению. // Доклады Академии наук, 1999, т.366, № 3, С.326 329.
- Корн Г., Корн Т. Справочник по математике для научных работников и инженеров. Пер. с англ./ Под ред. И. Г. Арамановича.- М. Наука, 1982, 832 с.
- Любимов А.И. Оптические схемы получения концентрирующих голограммных дифракционных решеток.- V Всесоюзная конференция по голографии. г. Рига, тезисы докл. т.1, с. 108, 1985.
- Любимов А.И., Мустафин К. С., Еникеева P.P. Способ изготовления голо-графических дифракционных решеток. А.С. 1 656 484, приор, от 27.06.89 г.
- А.И.Любимов, К. С. Мустафин, В. Л. Окулов, ВЛ.Саенко. Повышение дифракционной эффективности голограммных дифракционных решеток в коротковолновой области спектра.- VI Всесоюзная конференция по голографии. г. Витебск, 1990 г.// Сб. тезисов, с. 32 -33.
- Щеглов Ю.Д. Состояние и перспективы развития измерения оптических параметров диф.решеток в ГИПО.- Дифракционная оптика. Новые разработки в технологии и применении. (Материалы семинара) НТЦ «Информатика», М.-1991.-С.64−65.
- Протасевич В.И. Опыт измерения рассеянного света плоских диф.решеток.-Дифракционная оптика Дифракционная оптика. Новые разработки в технологии и применении. (Материалы семинара) НТЦ «Информатика», М.-1991.-с.49−50.
- Л.М. Восковцова, З. Ю. Давлетшина, Ю. Б. Камардин, А. В. Лукин, Т. П. Плотникова, Ф. А. Саттаров, Ю. П. Чугунов Особенности копий голограммных дифракционных решеток на халькегинидных стеклообразных полупроводниках. Оптический журнал.- 1993.- № 9.- С. 44 — 46.
- Ю.В.Бажанов, М. А. Долотказин, А. И. Любимов, В. Л. Окулов Влияние формы профиля штриха голографических дифракционных решеток на эффективность в УФ области спектра.- Там же. с.400 401.
- Hutly М.С. Apodized apertures of diffraction gratings // Opt.Communs.- 1982.-V.40. №.5. P.317 -321.
- Hadley G.R., Difraction by apodized apertures // IEEE J.Quant.Electronics 1974, vol.10, № 8, p.603−608.
- Loewen E., Neviere M., Mayster D On an asymptotic theory of diffraction gratings used in the scalar domain.- JOSA 1978, vol.68, 4, p.496−502.
- Комиссарук B.A. Некоторые вопросы теории применения интерферометрии сдвига. Автореф. дисс. Л. ГОИ, 1975.
- Баранова Н.Б., Быковский Н. Е., Зельдович Б. Я., Сенатский Ю. В. Дифракция и самофокусировка излучения в усилителе мощных световых импульсов. Квантовая электроника 1974, т.1, № 11, с.2435−2458.
- M.D.Perry, G. Mouron Terawatt to Petawatt Subpicosecond Lasers.: Science, 264, P.917,1994.103 .High. L. Garvin, Aston Au., Monica L.Minden. Ion-etched gratings for laser applications.:Proc.of SPIE, 1980, vol.240, P.63−68.
- M.A.Dubinskii, V.V.Semashko, A.K.Naumov, R.Yu.Abdulsabirov, S.L.Korableva Ce tunable ultraviolet laser // J.Mod.Opt.- 1993. — vol.40. — № 1. -P.l-5.
- E. H. Елисеев, Э. И. Фадеева, В. Д. Заворыкин, Н. В. Морозов, С. И. Саги-тов, П. Б. Сергеев. Лазерная прочность оптических материалов и покрытий для эксимерных ArF- и KrF- лазеров // Оптический журнал, 1996,№ 2, С. 40 -48.
- В.П. Вейко, М. Н. Либенсон Лазерная обработка. / под ред. С. П. Митрофанова, Л., 1973.- 191 с.
- А.И. Любимов, Т. А. Миронова, В. Л. Окулов Получение г. д.р. в кварцевом стекле для ИК-диапазона.- Дифракционная оптика Новые разработки в технологии и применении. (Материалы семинара) НТЦ «Информатика», М.-1991.-C.42−43.
- A.M. Бонч-Бруевич, М. Н. Либенсон Поверхностные электромагнитные волны и воздействие интенсивного излучения на вещество // ОМП.-1988,-№ 12.- С.35−47.
- Depine R.A. Scattering of a wave at a periodic boundary: analytical expression far the surface impedance // JOSA.-1988.-V.21 .-№ 5.-P.413−421.
- Салахутдинов И.Ф., Сычугов B.A., Парье О. Высокоэффективные дифракционные решетки для работы в схеме Литтмана-Меткалфа // Квантовая электроника.-1998.-том 25.- № 11.-СЛ009 1012.
- Винокурова В.Д., Герке P.P., Салль Е. Г., Яшин В. Е. Голографические дифракционные решетки с многослойным диэлектрическим покрытием // Опт. и спектр.-2002.- т.93.- № 2.- С.328 330.