ΠΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ Π½Π° ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊΠ° Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠ΅ΠΌ GaAs
Π ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ ΠΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² p-Ge (Au) ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ ΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΡΡ, ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΠΈ Π² Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΈ Ρ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΌ Π² Π΄Π²ΡΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅ «Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅-ΡΠΌΠΈΡΡΠΈΡ». ΠΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ ΡΡΠ΅Ρ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠΎΠ² ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ². ΠΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΎ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅… Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
ΠΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ Π½Π° ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊΠ° Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠ΅ΠΌ GaAs (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
ΠΠΠΠΠ‘Π’ΠΠ Π‘Π’ΠΠ ΠΠΠ ΠΠΠΠΠΠΠΠ― Π ΠΠΠ£ΠΠ Π ΠΠ‘Π‘ΠΠΠ‘ΠΠΠ Π€ΠΠΠΠ ΠΠ¦ΠΠ Π€Π΅Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π³ΠΎΡΡΠ΄Π°ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π±ΡΠ΄ΠΆΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΡΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ
«Π‘Π°ΡΠ°ΡΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΠΉ Π³ΠΎΡΡΠ΄Π°ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅Ρ ΠΈΠΌ. Π§Π΅ΡΠ½ΡΡΠ΅Π²ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ»
ΠΠ°ΡΠ΅Π΄ΡΠ° ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΠ«ΠΠ£Π‘ΠΠΠΠ― ΠΠΠΠΠΠ€ΠΠΠΠ¦ΠΠΠΠΠΠ― Π ΠΠΠΠ’Π ΠΏΠΎ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ «ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ° ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°»
Π½Π° ΡΠ΅ΠΌΡ «ΠΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ Π½Π° ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊΠ° Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠ΅ΠΌ GaAs»
Π‘ΡΡΠ΄Π΅Π½Ρ-Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌΠ½ΠΈΠΊ Π. Π. Π§Π΅ΡΡΠΎΠ² ΠΠ°ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΠ°Π². ΠΊΠ°ΡΠ΅Π΄ΡΠΎΠΉ, ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠ.Π. ΠΠΈΡ Π°ΠΉΠ»ΠΎΠ² ΠΡΡΠΈΡΡΠ΅Π½ΡΠ.Π. ΠΠΎΠΆΠ΅Π²Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΠΠΠ£Π‘ΠΠΠΠ’Π‘Π― Π ΠΠΠ©ΠΠ’Π ΠΠ°Π²Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΉ ΠΊΠ°ΡΠ΅Π΄ΡΠΎΠΉ Π. Π. ΠΠΈΡ Π°ΠΉΠ»ΠΎΠ² Π΄.Ρ.-ΠΌ.Π½., ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡ Π‘ΠΠ ΠΠ’ΠΠ 2014
1. ΠΠ½Π°Π»ΠΈΠ· ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡ, ΠΏΠΎΡΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΎΠΊΠ° Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ
2. ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ Π½Π° ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ Π² ΠΌΠ΅Π·Π°ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ GaAs
2.1 ΠΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ²
2.2 Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ
3. ΠΠ½Π°Π»ΠΈΠ· ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ² ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ Π² ΠΌΠ΅Π·Π°ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ GaAs
ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅
Π‘ΠΏΠΈΡΠΎΠΊ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°
ΠΠ΄Π΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π»Π° ΠΊ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. Π€ΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. ΠΠ½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½Π° Π½Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈ Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΡ Π½Π΅ΡΡ Π΅ΠΌΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ². ΠΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ ΠΈ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½Π°Ρ Ρ Π½ΠΈΠΌΠΈ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠ° ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ²[2]. Π€ΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ°, ΠΊΠ°ΠΊ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ³ΠΎ. Π Π°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΅Π³ΠΎ Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ Π½Π°ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΎ Π³ΡΡΠ΄ΡΡΠΈΠΌ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΎΠ² ΡΡ Π΅ΠΌΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠ΅.
ΠΡΠ°ΠΉΠ½Π΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌ Π°ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΎΠΌ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡ. ΠΡΡΠΎΡΠΈΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ² Π½Π°ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°Π΅Ρ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 60 Π»Π΅Ρ. Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ² ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠ΅ΠΉ Π΄Π΅Π½Ρ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ° Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΎΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ° Π² ΡΠ΅Π»ΠΎΠΌ, ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΠ½Π° ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π΅Π΅ ΠΈ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½Π½Π΅Π΅, ΡΠ΅ΠΌ Π»ΡΡΡΠ΅. ΠΠ½ΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΡ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΠ². ΠΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΡ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌ Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΠΌ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎΠΌ — Π½Π΅ Π²Π»ΠΈΡΡΡ Π½Π° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ ΠΠΠ₯, ΠΏΠ°Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π° Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ Π±ΡΡΡ ΠΏΡΠ΅Π½Π΅Π±ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠΎ ΠΌΠ°Π»ΡΠΌ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΎΠ±ΡΠΈΠΌ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅, Π½Π΅ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌ Π°ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΎΠΌ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠ° ΡΠ°ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ°. ΠΡ Π½Π΅Π΅ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΡΠΎΡΠΌΠ° ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ Π² ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅.
Π ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΡΡΠΈΠΌ, ΡΠ΅Π»ΡΡ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ Π½Π° ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊΠ° Π² ΠΌΠ΅Π·Π°ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ GaAs.
ΠΠ»Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Π»ΠΈ ΡΠ΅ΡΠ°Π»ΠΈΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ Π·Π°Π΄Π°ΡΠΈ:
— ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΠΠ₯ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Me-n+-n-ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ° Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ GaAs Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ.
— ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ ΠΌΠ΅Π·Π°ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊΠ°, ΠΈΡ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Ρ, ΡΠ°ΡΡΠΎΡΡ ΠΈ ΡΠΎΡΠΌΡ.
1. ΠΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΎΠΊΠ° Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ
ΠΠ΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠΈΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΠ»Π°ΡΡ. ΠΠ»Ρ ΠΈΡ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΠΌ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΉ (ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ , ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΡΡ , ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΡΡ ). Π’Π°ΠΊΠΈΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΡΠ°ΡΠΈΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ, Π°Π½ΡΠ°ΠΌΠ±Π»ΠΈ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΈ ΠΊΠ²Π°Π·ΠΈΡΠ°ΡΡΠΈΡ, Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Ρ (ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΠ΅ Π°ΠΊΡΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ, ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ, Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°). ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΡΡΠ΅Π΄Π°ΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ, ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΈΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ (GaAs, GaN, InP, CdTe ΠΈ Π΄Ρ.). Π GaAs n-ΡΠΈΠΏΠ° ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡ Π‘ΠΠ§-ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΡ. Π§Π°ΡΡΠΎΡΠ° ΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 5 ΠΠ³Ρ, ΠΏΡΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 0,1 ΠΌΠΌ. ΠΡΠΎΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π‘ΠΠ§-ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ» Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ ΠΠ°Π½Π½Π°. ΠΠ· Π²ΡΠ΅Ρ Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ»Π°ΡΡ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ, ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄ΠΎΠ² Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ — ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΎΠΊΠ°. ΠΠ΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΠΌ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ Π² ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°Ρ Π»ΠΎΠ²ΡΡΠ΅ΠΊ, ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠ²Π½ΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡ Π² Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠ²Π½ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ, Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Ρ Ρ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΡΠ΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΉ.
Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½Π°Ρ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ Π½Π° ΡΠΈΡ. 1, Π°, ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ Π² ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊΠΎΠ², jv < j < jΡ, Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»Ρ Π΅ΡΡΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ½Π°Ρ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ°. Π ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ²Π°Π»Π΅ jv < j< jΡ ΠΏΡΠΈ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡΡ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΠΈΠ· ΡΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΉ, Π² Π΄Π²ΡΡ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ (ΠΏΡΠΈ Π = Π1 ΠΈ ΠΏΡΠΈ Π = Π3) Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°, Π² ΡΡΠ΅ΡΡΠ΅ΠΌ (ΠΏΡΠΈ Π = Π2)—ΠΎΡΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°. ΠΠΎΠ»ΡΡΠ°ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ½Π°Ρ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ° ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΈΠ΄Π° Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ N-ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ. ΠΡΠ΅Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, Π² ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅Ρ Π·Π½Π°ΠΊ, ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π½ΡΠ»Ρ Π² ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ (Π = Πp, j=jp) ΠΈ (Π = Ev, j = jv).
Π₯Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡΡ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ ΠΎΡΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ Π½Π° ΠΠΠ₯ (Π ΠΈΡ. 1, Π°)[3].
ΠΠ° Π ΠΈΡ. 1,6 ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π° Π²ΠΎΠ»ΡΡΠ°ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ½Π°Ρ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ° Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ°, Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΠ°Ρ S-ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ. ΠΠ½Π° ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΡΠ»ΡΡΠ°Ρ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π² Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ²Π°Π»Π΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ»Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠ° j Π΅ΡΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ½Π°Ρ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΡ Π, Π° Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅Ρ Π·Π½Π°ΠΊ, ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠ°ΡΡΡ Π² Π±Π΅ΡΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π² ΡΠΎΡΠΊΠ°Ρ (Π = Πp, j=jp) ΠΈ (Π = Ev, j = jv) (ΡΠΈΡ. 1, Π±).
Π ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ ΠΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² p-Ge (Au) ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ ΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΡΡ, ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΠΈ Π² Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΈ Ρ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΌ Π² Π΄Π²ΡΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅ «Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅-ΡΠΌΠΈΡΡΠΈΡ». ΠΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ ΡΡΠ΅Ρ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠΎΠ² ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ². ΠΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΎ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ Π½Π° Π²ΠΎΠ»ΡΡ-Π°ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ΅ (ΠΠΠ₯) Π²ΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ° Ρ S-ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ Ρ ΡΡΠΌΠΎΠΈΠ½Π΄ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌ Π½Π΅ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ±Π΄ΠΎΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ² ΠΈ ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΡΡΠΎΠΉΠΊΠ°, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, Π½Π΅ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΠΈΠΏΠΈΡΠ½ΡΡ Π½Π΅Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ»ΡΡ-Π°ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ (ΠΠΠ₯) ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ², Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π°, ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΠ»ΠΈΡΡ ΠΎΡ ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΊ ΡΡΠΏΠ΅ΡΠ»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠΉ, Π² ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅ΠΌ ΠΏΠ»Π°Π²Π½ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊ Π½Π°ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ N-ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΠ΅ ΠΈ Π΄Π°Π»Π΅Π΅ Ρ ΡΠΎΡΡΠΎΠΌ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π½Π°Π΄ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ — ΠΊ S-ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ ΠΠΠ₯. Π ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ p+ —p—n+-ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Ρ d = 1 Ρ 3 ΠΌΠΌ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ p-Ge (Au) ΡΠΎ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈ 77 K: I Π³ΡΡΠΏΠΏΠ° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ²—Ρ1 = 8.7 * 104 ΠΠΌ * ΡΠΌ, Β΅1 = 16 500 ΡΠΌ2/Π * Ρ, P01 = 4.33 * 109 ΡΠΌ-3, II Π³ΡΡΠΏΠΏΠ° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² — Ρ2 = 1.95 * 105 ΠΠΌ * ΡΠΌ, Β΅2 = 29 900 ΡΠΌ2/Π * Π‘, P02 = 1.07 * 109 ΡΠΌ-3 (Π³Π΄Π΅ Ρ — ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, Β΅ — ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄ΡΡΠΎΠΊ, P0 — ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π΄ΡΡΠΎΠΊ). ΠΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΈΡΡ Π² ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ²Π°Π»Π΅ 77−130 K Π² ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ Ρ Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ Π΄ΠΎ 500 ΠΌΠΊΡ Π²ΠΎ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΆΠΎΡΠ»Π΅Π²Π° ΡΠ°Π·ΠΎΠ³ΡΠ΅Π²Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°, Π° Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΈΠ»ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ° Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ Π·Π°ΠΏΠΈΡΠΈ Π²ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΈ Π½ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅ΠΉ Π²Π΅ΡΠ²Π΅ΠΉ ΠΠΠ₯ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ»ΠΈ 400 ΠΌΠΊΡ. ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ, Π² ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΈ Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ ΡΠΎΡΡΠΎΠΌ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ Π½Π° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ 2.
Π ΠΈΡ. 2. ΠΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ, ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡ ΠΈ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΡ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΡ ΠΏΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ: 1 — 31.4 V, 2 — 102.4 V, 3 — 107.5 V.
Π Π½Π°ΡΠ°Π»Π΅ ΡΡΠ±Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ N-ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠΎΠ² Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠ°, Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎ ΡΠΎΡΠΌΠ΅ ΠΊ ΠΊΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΠΌ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Ρ ΡΠΎΡΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΊΠ²Π°Π·ΠΈΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ (ΡΠΈΡ. 2,1) ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΡΡ Π² Ρ Π°ΠΎΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΡ (ΡΠΈΡ. 2,2). ΠΠ°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅Π΅ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΠΏΠΈΡΠΊΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠΌ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΡΠΌ Π΄ΠΎΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ° (ΡΠΈΡ. 2,3).
Π ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΎΠ± ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΠΈ Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² — ΡΠ°ΠΊ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΡ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Π²ΠΎΠ»Π½. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Ge n — ΡΠΈΠΏΠ°. Π¦Π΅Π½ΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ Π±ΡΠ»ΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΡ ΠΌΠ°ΡΠ³Π°Π½ΡΠ°. ΠΠ°ΡΠ³Π°Π½Π΅Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π»ΡΡ ΡΡΡΡΠΌΠΎΠΉ ΡΠ°ΠΊ, ΡΡΠΎ Π²Π΅ΡΡ Π½ΠΈΠΉ ΡΡΠΎΠ²Π΅Π½Ρ (ΠΡ — 0,37 ΡΠ²) Π±ΡΠ» Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎ. Π‘ΠΏΠΎΠ½ΡΠ°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠ° Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π»ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ , Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ ΠΊ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ, ΠΈ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈ Π² ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ·ΠΊΠΎΠΌ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ²Π°Π»Π΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ (Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π΄Π΅ΡΡΡΠΊΠΎΠ² Π³ΡΠ°Π΄ΡΡΠΎΠ²). ΠΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ»Π΅ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΠΈ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΌΠ°Π»ΠΎ ΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² Π»Π΅ΠΆΠ°Π»ΠΎ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ Π½Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΡΡΠΊΠΎΠ² Π/ΡΠΌ. ΠΠΠ₯ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² Π΄ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊΠ° Π±ΡΠ»ΠΈ ΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΡΠΌΠΈ. ΠΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³Π° ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠ° ΠΈΠΌΠ΅Π»ΠΈ ΡΡΠΌΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅Ρ, Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈ Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅ΠΌ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ»Ρ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ»ΠΈΡΡ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ. Π§Π°ΡΡΠΎΡΠ° ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ Π»Π΅ΠΆΠ°Π»Π° Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ 0,1 — 1 ΠΠ³Ρ ΠΈ Π½Π΅ Π·Π°Π²ΠΈΡΠ΅Π»Π° ΠΎΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ². ΠΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Π° ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ Π±ΡΠ»Π° Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠ°; Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½Π° ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΡΡΠΈΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° (imax — imin)/ imax Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π»Π° 50−90%. ΠΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»Π° Π² ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅ ΠΈ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ, ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΆΠΈΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π·ΠΎΠ½Π΄Π°, ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎ, ΡΡΠΎ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΠΉ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅Ρ. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»Ρ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π² ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°, ΠΎΡΡΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉ Π½Π° ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ ΠΎΡ ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄ΠΎΠ². Π‘ΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΠΏΡΡΡ Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°ΠΌΠΈ Π²Π΅ΡΡΠΌΠ° ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ, ΡΡΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Π°Ρ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΡ Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ² Π½Π΅ ΠΈΠ³ΡΠ°Π΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΠΈ Π² ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠΈ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΠΈ. Π’ΠΎΡΠ½ΠΎ ΡΠ°ΠΊ ΠΆΠ΅ Π½Π΅ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΎ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ².
Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π² ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Π±ΡΠ» ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ Ρ ΡΠ΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈ. ΠΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° Ρ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ Π² Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ 1.
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 1.
T,Β°K | n0, ΡΠΌ-3 | p0, ΡΠΌ-3 | N, ΡΠΌ-3 | f | EΡΠ΅ΠΎΡ, ΡΠΌ-1 | EΡΠΊΡΠΏ ΡΠΌ-1 | ΡΡΠ΅ΠΎΡ, Ρ-1 | ΡΡΠΊΡΠΏ Ρ-1 | kΡΠ΅ΠΎΡ, ΡΠΌ-1 | |
4,3*1013 | 4,3* 1013 | 5* 1014 | 0,31 | 2 * 105 | 1* 106 | |||||
ΠΠ΄Π΅ n0, p0 — ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ Π΄ΡΡΠΎΠΊ,
N — ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Mn,
f — ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½Π°Ρ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Ρ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Π²Π΅ΡΡ Π½Π΅Π³ΠΎ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ ΠΌΠ°ΡΠ³Π°Π½ΡΠ° ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΎΠΏΡΡΠ°,
E — Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»Ρ Ρ — ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ° ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ
k — Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ Π ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π»Π°ΡΡ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠ° Π² ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ p+ — n- ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Ρ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ Π² n- ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ»ΠΈΡΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² Π½Π° Π΅Π΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅.
ΠΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Π½Π° p-ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΡ (Ρ = 10-2 ΠΠΌ * ΡΠΌ) ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π»ΡΡ n-ΡΠ»ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 10—15ΠΌΠΊΠΌ (Ρ = 2—4 ΠΠΌ * ΡΠΌ). ΠΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Π»ΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π° n-ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π½Π°Π²Π΅ΡΠΎΠΊ ΠΈΠ· ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π°, ΡΠ²ΠΈΠ½ΡΠ° ΠΈ ΠΊΠ°Π΄ΠΌΠΈΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠΎΠ² Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΌ 0.5 ΠΌΠΌ. Π’ΠΈΠΏΠΈΡΠ½Π°Ρ ΠΠΠ₯ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ° (ΠΠ) ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π·ΠΎΠΌΠΊΠ½ΡΡΠΎΠΌ p+ —n- ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π΅ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° Π½Π° ΡΠΈΡ. 2.
ΠΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ ΠΠΠ₯ ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ Ρ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Uak (Uak = 2—8 Π Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ²) Π² ΡΠ΅ΠΏΠΈ ΠΠ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠ° (Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ°Π·ΠΌΡΡΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΠΠ₯, ΡΠΌ. ΡΠΈΡ. 2). ΠΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π½Π° p+— ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄Π° Π±Π°Π·Ρ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡ ΠΏΠΈΠ»ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»Π° Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Ρ. Π’ΠΈΠΏΠΈΡΠ½Π°Ρ ΠΎΡΡΠΈΠ»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊΠ° ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΠ ΠΈ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π° p+ —n-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π΅ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° Π½Π° ΡΠΈΡ. 3.
ΠΠ°ΠΊ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΠΈ, ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ², ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΡ ΡΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΡΠΌ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡΠΌ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ, ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΠΈΠΌΡΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΡΠ·ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎ ΡΠΎΠΊΡ ΠΈ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π°ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΡΡΠΎΠΊ Π² n-ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ, ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΠ΅Π΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° ΠΠ ΠΈ p+ —n-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° ΠΈ, Π² ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π΅ ΠΊ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΅Π΅ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ.
ΠΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π» Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· ΡΠ°Π±ΠΎΡ [2−6] ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠ°, Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ , Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ. ΠΡΠΌΠ΅ΡΠΈΠΌ Π·Π΄Π΅ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅ΠΏΡΡΠΌΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π»Π° ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ, ΠΏΡΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ .
Π Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ Π²ΡΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΎΠΌΠ½ΡΠΉ GaAs. ΠΠ»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ°ΠΌΠΈ Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ Π² ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅.
2. ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ Π½Π° ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ
2.1 ΠΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²
ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΡΠ½ΠΎΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅Π·Π°ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ GaAs Ρ ΡΠ΅ΡΡΡΡΠΌΡ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ: 1 — ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ°ΡΠ°Π»Π»Π΅Π»ΡΠ½Π°Ρ, 2 -ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠ·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ, 3 — Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ-Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ, 4 — Π²ΠΎΠ³Π½ΡΡΠΎ-Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ. ΠΡΠ±ΠΎΡ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½ΡΠΎΠ² ΡΠΎΡΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ ΠΌΠ΅Π·Π°ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡΠΌΠΈ. Π€ΠΎΡΠΌΠ° ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ°ΡΠ°Π»Π»Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΠΉ Π² ΠΏΠ»Π°Π½Π΅ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΈΠ·-Π·Π° Π½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ, ΡΠΎΠΊ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΠΊΠ°Π΅Ρ Π½Π΅ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ΅ΠΌΠΎ ΠΏΠΎ ΠΏΡΡΠΈ Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ. ΠΠ»Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎ-Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΠΊΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠ° ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ, ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΠΊΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΡΡ ΡΠ΄ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΎΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ°. ΠΠΎΠ³Π½ΡΡΠΎ-Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠΎΡΠΌΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΠΎΠΌΠΈΡΡΠΎΠΌ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠ° ΠΈ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠ΅ΠΉ ΡΠΎΡΠΎΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ, Π³Π΄Π΅ Π²ΠΎΠ³Π½ΡΡΡΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π±Ρ ΡΠΎΠ±ΠΈΡΠ°ΡΡΠΈΠΌ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊ ΠΎΡ ΠΎΡΡΡΠΈΡ Π²ΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ°. Π Π°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π·Π°ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎ 60 ΠΌΠΊΠΌ.
Π Π΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ Π² ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ°ΡΠ°Π»Π»Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΡΡΠΈ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ΅Π·Π°ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ², ΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠΆΠ΄Π°ΡΡΠ΅Π΅ΡΡ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΡΠ»ΡΡΠΈΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊΠ°, ΡΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°ΡΡΠΈΡ ΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ Π²ΠΎ Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅ΠΉ ΡΠ΅ΠΏΠΈ.
2.2 Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ
ΠΠ»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ, Π² Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»Π°ΡΡ ΡΡ Π΅ΠΌΠ°, ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½Π°Ρ Π½Π° ΡΠΈΡ. 2.
Π ΠΈΡ. 2. Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ. ΠΠΠ’ — ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ°, RΠ½Π°Π³Ρ — ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠΈ, Π — Π°ΠΌΠΏΠ΅ΡΠΌΠ΅ΡΡ, Π — ΠΎΡΡΠΈΠ»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°Ρ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π·Π°ΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°ΡΡΠΈΠΉ ΠΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΎΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ. ΠΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»ΡΡ Π½Π° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΡΠΎΠ»ΠΈΠΊΠ΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ°. Π‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ° Π½Π° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΊΠ°Ρ Π²ΡΠ±ΡΠ°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Π»ΠΈΡΡ ΠΏΡΠΈΠΆΠΈΠΌΠ½ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠΎΠ²ΡΠ΅ Π·ΠΎΠ½Π΄Ρ. Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠΎΠ²ΡΡ Π·ΠΎΠ½Π΄ΠΎΠ² ΠΊ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°Π»ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ (Π΄ΠΎ 40 Π) ΠΎΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ° (ΠΠΠ’) Π5−49. ΠΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠ° ΡΠ΅Π³ΠΈΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ Π°ΠΌΠΏΠ΅ΡΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΌ (Π) Π Π7- 22Π. Π‘ΠΈΠ³Π½Π°Π» ΡΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΡ Ρ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠΈ (100 ΠΠΌ), Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Ρ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠΎΠΉ, ΠΈ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ°Π»ΡΡ Π½Π° ΡΠΊΡΠ°Π½Π΅ ΠΎΡΡΠΈΠ»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠ° (O)
3. ΠΠ½Π°Π»ΠΈΠ· ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ² ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ Π² ΠΌΠ΅Π·Π°ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ GaAs
Π Ρ ΠΎΠ΄Π΅ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ»ΡΡ-Π°ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ΅Π·Π°ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ.
ΠΠΠ₯ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ°ΡΠ°Π»Π»Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ²
ΠΠΠ₯ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ²
ΠΠΠ₯ Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ²
ΠΠΠ₯ Π²ΠΎΠ³Π½ΡΡΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ²
ΠΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΠΠ₯ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ΄Π΅Π»Π°ΡΡ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄ ΠΎ ΡΠΎΠΌ ΡΡΠΎ, Π²ΠΎΡΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ² Π² Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ ΡΠ΄ΠΎΠ²Π»Π΅ΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°. ΠΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΠΠ₯ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΅Ρ ΠΆΠ΅ ΡΠΎΡΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ ΠΊΠ°ΠΊ Ρ Π½Π΅ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Ρ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ ΡΡΠΆΠ΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΠ°Π·ΡΡΠ·Π½ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ. Π‘ΡΠΎΠΈΡ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Π΅ ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ° ΠΠΠ₯ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠ΄ΠΈΡΡ ΠΎ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Π΅ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊΠ°. ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΉ ΠΏΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠΎΠΊ Π±ΡΠ» Π·Π°ΡΠ΅Π³ΠΈΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ Π½Π° Π²ΠΎΠ³Π½ΡΡΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠ°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠ· ΠΠΠ₯ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ²Π°Π»Ρ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ. ΠΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ²Π°Π»ΠΎΠ² ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΠΎ Ρ Π½Π΅ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Ρ ΡΠ°Π·ΠΎΠ³ΡΠ΅Π²ΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°.
Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΡΠΎΡΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΉ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³Π° [ΠΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΡ 2−5].
ΠΠ°ΠΊ Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΉ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ, Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ, ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ, Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΠΌ Π΅Π³ΠΎ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎ — ΠΏΠ°ΡΠ°Π»Π»Π΅Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠΎΡΠΌΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΊΠΈ. ΠΠ°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΠΎ Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΠΌΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ.
ΠΠΎΠ³Π½ΡΡΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠΎΡΠΌΠ° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΡΠ΄ΠΎΠ²Π»Π΅ΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ, Π² ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ ΠΎΡΡΠ°Π²ΡΠΈΠΌΠΈΡΡ Π΄Π²ΡΠΌΡ ΡΠΎΡΠΌΠ°ΠΌΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ°Π·ΠΌΡΡΡΠΉ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅Ρ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ.
ΠΠ²ΠΈΠ΄Ρ ΠΏΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ΄Π΅Π»Π°ΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ½ΡΠΉ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄, ΡΡΠΎ ΡΠΎΡΠΌΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ Π² Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ.
Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Ρ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π° Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΡΠΎΡΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΉ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Ρ[ΠΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΡ 6−9].
ΠΠ½Π°Π»ΠΈΠ· ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Π΅ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π», ΡΡΠΎ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎ — ΠΏΠ°ΡΠ°Π»Π»Π΅Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠΎΡΠΌΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΡΡ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Π΅, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΡΡΠΎ ΠΊΠΎΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π³ΠΎΠ²ΠΎΡΠΈΡ ΠΎ ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ Π½Π° ΡΡΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ ΡΠΈΡΠ»ΠΎ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ~2 [ΠΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 14]. ΠΠ»ΠΎΡΠΊΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΠΈ Π²ΠΎΠ³Π½ΡΡΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ΅ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Π΅, ΠΎΠ½ΠΈ ΠΆΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π΅ ΡΠΈΡΠ»ΠΎ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΡΡ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊΠ° [ΠΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 14] ΠΈ ΠΎΡ Π²Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ²Π°Π» Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Ρ.
ΠΡΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠΎΡΠΌΠ° ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ°Π·ΠΌΡΡΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Π΅, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΠΌΠ°Π»ΡΠΌ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΡΡ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊΠ° [ΠΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 14].
ΠΠ· Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π²ΡΡΠ΅ΡΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄ ΠΎ ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΡΠΎΡΠΌΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ Π² Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ ΠΈ Π½Π° Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Ρ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ. ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΡΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ ΠΊ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ ΠΈΡΠΎΠ³Π°ΠΌ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΠΈ Π²ΠΎΠ³Π½ΡΡΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ.
Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΡ ΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΡΠΎΡΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΉ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ [ΠΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΡ 2−5].
ΠΠ· Π²ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ ΡΡΠΎΠΈΡ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ ΡΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠΎΡΠΌΠ° ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΡΡ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ΅, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π΅Π΅ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΠ· ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄, ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π²ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅ ΠΏΡΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½Π° Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ² ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ° ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΡΡ Ρ ΠΎΡΠΎΡΡΡ Π²ΠΎΡΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ². ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ, ΡΠΎΡΠΌΡ Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΠΈ Π²ΠΎΠ³Π½ΡΡΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ²Π°Π»ΠΎΠΌ ΡΠ°ΡΡΠΎΡ, Π½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΡΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΡΠΎΠΊΠ°.
Π‘Π»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈ Π²Π΅ΡΡΠΌΠ° ΡΠ΄ΠΎΠ²Π»Π΅ΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ΅ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎ — ΠΏΠ°ΡΠ°Π»Π»Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΡ, Π½ΠΎ ΠΎΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΡ, Π² ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠΉ.
ΠΡΠ΅Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΡΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ, Π² ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ Π²ΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊΠ°, ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠΎΡΠΌΠ°.
ΠΠ»Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ Π½Π° ΡΠΎΡΠΌΡ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠΈΠΌ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΎΡΡΠΈΠ»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ.
ΠΠ»ΠΎΡΠΊΠΎ — ΠΏΠ°ΡΠ°Π»Π»Π΅Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠΎΡΠΌΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ:
ΠΡΡΠΈΠ»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° 1.
ΠΡΡΠΈΠ»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° 2.
ΠΠ»ΠΎΡΠΊΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠΎΡΠΌΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ:
ΠΡΡΠΈΠ»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° 3.
ΠΡΡΠΈΠ»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° 4.
ΠΡΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠΎΡΠΌΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ:
ΠΡΡΠΈΠ»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° 5.
ΠΡΡΠΈΠ»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° 6.
ΠΠΎΠ³Π½ΡΡΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠΎΡΠΌΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ:
ΠΡΡΠΈΠ»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° 7.
ΠΡΡΠΈΠ»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° 8.
ΠΠ· ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΎΡΡΠΈΠ»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌ 1−8, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ΄Π΅Π»Π°ΡΡ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄ ΠΎ ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΡΠΎΡΠΌΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ Π½Π΅ ΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅Ρ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ Π½Π° ΡΠΎΡΠΌΡ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊΠ°. ΠΠ½ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΏΠΈΠΊΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΡ Ρ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΌ ΠΈ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΈΠΌ, Π½ΠΎ ΡΠ³Π»Π°ΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΠΏΡΡΠΊΠΎΠΌ.
ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅
ΠΠ½Π°Π»ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ» ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Ρ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ Π½Π° ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊΠ° Π² ΠΌΠ΅Π·Π°ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ GaAs.
1) ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΊΠ²Π°Π»ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎ, ΡΡΠΎ ΡΠΎΡΠΌΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ Π² Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊΠ°. Π Π°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ, ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ Π½Π° ΡΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½ΠΎΠ΅ Π΄ΠΎΡΡΠΎΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ. ΠΏΠΎ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ°ΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ΅Π³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ 2 ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ, Π° ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ, ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΠΈ Π²ΠΎΠ³Π½ΡΡΠΎ — Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ. Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠΌ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»Ρ Π½Π° ΡΡΠΈΡ ΡΠΎΡΠΌΠ°Ρ .
2) ΠΡΠ»ΠΎ Π²ΡΡΡΠ½Π΅Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΡΠΎΡΠΌΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ Π½Π΅ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° ΡΠΎΡΠΌΡ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ. ΠΠ½Π°Π»ΠΈΠ· ΡΠ°Π±ΠΎΡ [4−6] ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π», ΡΡΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΠΌ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠΌ Π²Π»ΠΈΡΡΡΠΈΠΌ Π½Π° ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΎΡΡΠΈΠ»Π»ΡΡΠΈΠΉ, ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°ΠΌΠ° Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ ΡΡΠ΅Π΄Π°. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΠΎ Ρ ΡΠ΅ΠΌ ΡΡΠΎ Π²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡ Π½Π΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ°ΠΌΠΈ, Π° ΠΏΠΎΠ΄ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ .
Π‘ΠΏΠΈΡΠΎΠΊ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ²
1.ΠΡΡΠ°Π²ΡΠΊΠΈΠΉ Π. Π‘., ΠΡΠΈΠ³ΠΎΡΡΠ½ Π. Π ., Π ΡΠ±ΡΠΎΠ² Π. Π., Π§Π΅ΡΠ½ΡΠΉ Π. Π. ΠΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° Π² ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ //
2.Π©ΡΠΊΠ° Π. Π. Π€ΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ° // Π£ΡΠΏΠ΅Ρ ΠΈ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. 2004. № 5−6. Π‘. 149−168.
3.ΠΠΎΠ½Ρ-ΠΡΡΠ΅Π²ΠΈΡ Π.Π., ΠΠ²ΡΠ³ΠΈΠ½ Π. Π., ΠΠΈΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π. Π. ΠΠΎΠΌΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ . Π.: ΠΠ°ΡΠΊΠ°, 1972. 416 Ρ.
4.ΠΠ±ΡΠ°Π³ΠΈΠΌΠΎΠ² Π₯. Π., ΠΠ»ΠΈΠ΅Π² Π. Π., ΠΠ°ΠΌΠΈΠ»ΠΎΠ² Π. Π., ΠΠ±Π°ΠΊΠ°ΡΠΎΠ²Π° Π. Π‘. Π Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΈ Π΄Π²ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠ΅ S-ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² p-Ge (Au) // ΠΠ’Π€. 2003. Π’. 29(3). Π‘. 82−88.
5.Π£ΡΠΏΠ΅Ρ ΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π½Π°ΡΠΊ // 1969. Π’. 98(4). Π‘. 736−738.
6.ΠΡΡΠ°Π²ΡΠΊΠΈΠΉ Π. Π‘., ΠΡΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ² Π. Π., Π§Π΅ΡΠ½ΡΠΉ Π. Π. Π Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠΊΠ° Π² ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ p±n-ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Ρ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ Π² n-ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² Π½Π° Π΅Π΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ // Π€Π’Π. 2003. Π’. 4(37). Π‘. 393−397.
7.ΠΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½Π°Ρ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΡ Π² ΠΏΠ°ΡΠ°Π»Π»Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΎΠΌΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΡΠ½ΠΎ-ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ
8.ΠΠΈΡ Π°ΠΉΠ»ΠΎΠ² Π. Π, ΠΠΈΡΠΈΠ½ Π. Π., ΠΠΎΠΆΠ΅Π²Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π. Π., ΠΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊΠ° Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Ρ Π² Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΎΠΌΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΡΠ½ΠΎ-ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ
ΠΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 2.
ΡΠΎΡΠΌΠ° 1 (ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎ-ΠΏΠ°ΡΠ°Π»Π»Π΅Π»ΡΠ½Π°Ρ), Π | ||||
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 3.
ΡΠΎΡΠΌΠ° 2 (ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎ-Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ), Π | ||||
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 4.
ΡΠΎΡΠΌΠ° 3 | ||||
25,4 | ||||
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 5.
ΡΠΎΡΠΌΠ° 4 (Π²ΠΎΠ³Π½ΡΡΠΎ-Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ) | ||||
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 6.
ΡΠΎΡΠΌΠ° 1 (ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎ-ΠΏΠ°ΡΠ°Π»Π»Π΅Π»ΡΠ½Π°Ρ), ΠΌΠ | |||
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 7.
ΡΠΎΡΠΌΠ° 2 (ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎ-Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ), ΠΌΠ | ||||
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 8.
ΡΠΎΡΠΌΠ° 3 (Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ-Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ), ΠΌΠ | |||
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 9.
ΡΠΎΡΠΌΠ° 4 (Π²ΠΎΠ³Π½ΡΡΠΎ-Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ), ΠΌΠ | |||
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 10.
ΡΠΎΡΠΌΠ° 1 (ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎ-ΠΏΠ°ΡΠ°Π»Π»Π΅Π»ΡΠ½Π°Ρ), ΠΡ | |||
66 666,6 | |||
6666,6 | |||
4166,6 | |||
33 333,3 | |||
666,6 | |||
333 333,3 | |||
16 666,6 | |||
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 11.
ΡΠΎΡΠΌΠ° 2 (ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎ-Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ), ΠΡ | |||
1111,1 | |||
2857,1 | 11 111,1 | ||
11 111,1 | |||
7142,8 | |||
66 666,6 | |||
14 285,7 | 11 111,1 | ||
1428,5 | |||
28 571,4 | |||
1666,6 | 16 666,6 | ||
6666,6 | |||
66 666,6 | |||
33 333,3 | 6666,6 | ||
11 111,1 | |||
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 12.
ΡΠΎΡΠΌΠ° 3 (Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ-Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ), ΠΡ | |||
16 666,6 | 16 666,6 | ||
16 666,6 | |||
6666,6 | |||
16 666,6 | 33 333,3 | ||
16 666,6 | |||
33 333,3 | |||
33 333,3 | |||
6666,6 | 8333,3 | 3333,3 | |
13 333,3 | |||
83 333,3 | |||
6666,6 | 33 333,3 | ||
3333,3 | 7142,8 | ||
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 13.
ΡΠΎΡΠΌΠ° 4 (Π²ΠΎΠ³Π½ΡΡΠΎ-Π·Π°ΠΎΡΡΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ), ΠΡ | |||
2857,1 | 166 666,6 | ||
33 333,3 | |||
33 333,3 | |||
5714,3 | |||
28 571,4 | 90 909,1 | ||
66 666,6 | 28 571,4 | 6666,6 | |
33 333,3 | |||
66 666,6 | |||
16 666,6 | |||
33 333,3 | |||
33 333,3 | 3333,3 | ||
71 428,5 | 11 111,1 | 6666,6 | |
3636,3 | |||
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 14.
β ΠΊΠΎΠ½Ρ. β ΠΎΠ±Ρ. | |||||
Π‘Ρ. ΠΊΠΎΠ»-Π²ΠΎ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠΉ | ~2 | ~3 | ~2 | ~3 | |