Виды устройств ВУП-5

Устройство для термического испарения с резистивных испарителей. Данное устройство состоит из целого ряда разрозненных элементов, связанных между собой электрически. Трансформаторы накальные для питания испарителей и регулятор мощности испарителей расположены в правой части стойки внизу. Кнопка и сигнальная лампочка включения и отключения испарителей и ручки регулировки мощности испарителей расположены в пульте управления.

В магазине испарителей предусмотрены три установочные места для испарителей резистивного типа: корзиночки, спиральки и испарители диффузного типа.

Каждое установочное место отделено легкосъемным защитным экраном с откидными заслонками. Заслонки приводятся в действие с помощью приспособления на дугообразной рейке, которая входит в зацепление с зубчатым колесом, жестоко насаженным на вал вакуумного ввода вращения.

Вращение ввода дает возможность поочередно открывать и закрывать заслонки испарителей. Функционально защитные экраны испарителей служат для предотвращения паразитного запыления одного испарителя другим, а так же одновременно служат тепловыми экранами.

Устройство для испарения углей. Кронштейны шарнирно соединены между собой изолирующим наконечником. Кронштейн крепится на специальной заземленной стойке основания, а второй кронштейн соединяется проводом с изолированной клеммой испарителя. Угли закрепляются винтами, экран защищает внутренний объем от запыления. Груз увеличивает контакт между углями и одновременно крепит провод. Включение и работа устройства аналогичны включению и работе устройства с резистивными испарителями.

Электронный испаритель применяется для испарения сыпучих веществ, а так же в тех случаях, когда необходимо испарять большое количество вещества.

Испаритель устанавливается на заземленной стойке и крепится зажимом за специальный уголок. На тигли подается напряжение от высоковольтного выпрямителя через разъем и провод. Катоды подключаются проводами к клеммам испарителей.

В корпусе, изолированным от корпуса изолятора, установлены тигли, которые устанавливаются при испарении вещества в большом количестве или сыпучих веществ.

Устройство ионного травления устанавливается на основания, вместо заглушки, трубкой наружу. При этом конец приводного шарнира ввернуть в валик, застопорив его имеющимся на валике установочным винтом.

Устройство предназначено для обработки поверхностей объектов ионной бомбардировкой, распыления материалов, стравливания поверхностных слоев с целью получения тонких объектов для непосредственного изучения на просвет в электронном микроскопе и других целей.

Для подачи инертного газа в разрядную камеру предусмотрена система напуска, состоящая из пьезоэлектрического вентиля и источника питания. Обработка объектов может производиться при температуре столика объектов от (15−25) ⁰с до минус 160 ⁰с. Регулируется температура с помощью накальной спирали.

Для приварки катодов электронных пушек электронных микроскопов изготовлена панель приварки катодов и карандаш сварочного устройства.

Приварку катода производят следующим образом:

• 1. установить панель приварки катодов на стойке в цинковый держатель испарителей;
• 2. уложить держатель катода на предусмотренное место в панели;
• 3. уложить катод на место приварки;
• 4. карандашом сварочного устройства прижать катод к ножке держателя катода и нажать педаль.

Система напуска состоит из натекателя с пьезостракционным катодом источника питания. В основу принципа работы натекателя предусматривается использование пьезострикции керамики для регулирования зазора в перепускном отверстии, а, следовательно, и величины пропуска газа в рабочие системы.

Натекатель работает следующим образом: гайкой через шайбу и стойку создается усилие, надежно закрывающее перепускное отверстие между клапаном и седловиной. Перемещение блока микроперемещений по резьбе создается противоусилие через шток. В результате этого регулируется начальная точка открывания натекателя, которая устанавливается при напряжении (500−600) V на пьезокерамических пластинах.

Вакуумная блокировка предназначена для автоматического отключения напряжения высоковольтного выпрямителя и питания испарителей при напуске газа до атмосферного давления. Блокировка состоит из корпуса, штуцера с сильфоном, микропереключателя, защитного кожуха и гайки.

Датчик индикатора толщины. Датчик состоит из корпуса, в котором расположен источник света, светопроницаемая пластина и фотодиод. Диафрагмы и полости образуют световую ловушку, которая улавливает отраженные лучи от испарителя и таким образом уничтожает влияние засветки. Для защиты источника света от запыления поставлена вторая светопроницаемая платина.

Толщину осажденного слоя можно определить после осаждения или рассчитать ее до испарения материала. Она будет зависеть от расстояния испарителя до подложки, угла наклона подложки к испарителю и массы испаряемого материала и его плотности.

Расчет можно производить по формуле:

Где M — общая масса испаряемого материала;

T — толщина осажденного слоя;

— угол наклона подложки к испарителю;

— плотность испаряемого вещества;

R — расстояние от испарителя до подложки.

Пользуясь данной формулой, можно строить график зависимости для определения толщины осажденного слоя.

Устройство для осаждения пленок. Устройство представляет собой навесной столик, закрепляемый на трёх стойках, ввинченных в основание.

Столик содержит:

• 1. основание;
• 2. корпус;
• 3. каретку, состоящую из зубчатого колеса с держателем подложек с маской.

Устройство для осаждения пленок позволяет производить напыление на 5 подложек диаметром до 25 мм в задаваемой последовательности или на одну подложку диаметром 100 мм.