ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ тСхнологичСскиС процСссы с использованиСм Π’Π§-ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΎΠ²

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

Π‘ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π· ΠΏΠΈΠ³ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΉ двуокиси Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° Π’ ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΡΡ‚ΠΎΠΉ классификациСй высокочастотных ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… процСссов ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΎΠ² выбираСтся Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚ Π’Π§-ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π°, Π² Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠ΅ΠΉ стСпСни ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π»Π΅Ρ‚Π²ΠΎΡ€ΡΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ трСбованиям тСхнологичСского процСсса сТигания ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠ² Ρ‚Π΅Ρ‚Ρ€Π°Ρ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΠ΄Π° Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° (TiCl4) Π² Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ кислородС: Π’Π§-ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ атмосфСрного давлСния, с ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π’Π§Π˜-разряда, срСднСй мощности… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ тСхнологичСскиС процСссы с использованиСм Π’Π§-ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΎΠ² (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

Π‘ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π· ΠΏΠΈΠ³ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΉ двуокиси Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° Π’ ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΡΡ‚ΠΎΠΉ классификациСй высокочастотных ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… процСссов ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΎΠ² выбираСтся Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚ Π’Π§-ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π°, Π² Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠ΅ΠΉ стСпСни ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π»Π΅Ρ‚Π²ΠΎΡ€ΡΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ трСбованиям тСхнологичСского процСсса сТигания ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠ² Ρ‚Π΅Ρ‚Ρ€Π°Ρ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΠ΄Π° Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° (TiCl4) Π² Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ кислородС: Π’Π§-ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ атмосфСрного давлСния, с ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π’Π§Π˜-разряда, срСднСй мощности, с Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСской цилиндричСской Ρ€Π°Π·Π³Ρ€ΡƒΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ разрядной ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΉ Π±Π΅Π· сопла, Π²ΠΈΡ…Ρ€Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° с Π΄ΠΎΠ·Π²ΡƒΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ истСчСниСм Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ струи (ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 2000 К) кислорода. РСакция Π³ΠΎΠΌΠΎΠ³Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° происходит Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ струС, ΠΈΡΡ‚Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π² Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ образуСтся Π³Π΅Ρ‚Π΅Ρ€ΠΎΠ³Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ, состоящий ΠΈΠ· Ρ…Π»ΠΎΡ€Π°, Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΎΡ€Π΅Π°Π³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π²ΡˆΠ΅Π³ΠΎ кислорода ΠΈ Π²Π·Π²Π΅ΡΠΈ ΠΏΠΈΠ³ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΉ двуокиси Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°, направляСмый Π½Π° Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Ρ‹. Π˜Π½Ρ‚Π΅Π½ΡΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΡ тСхнологичСского процСсса осущСствляСтся модуляциСй ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² Π’Π§Π˜-разряда (ΠΏΡƒΡ‚Ρ‘ΠΌ Π°Π½ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ модуляции Π’Π§-Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°), приводящая ΠΊ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡŽ акустичСских ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΉ Π² Π·ΠΎΠ½Π΅ взаимодСйствия Ρ€Π΅Π°Π³Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ², Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π°Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π° Π·ΠΎΠ½Ρƒ взаимодСйствия элСктромагнитных ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΉ, ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… Π’Π§ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ струёй ΠΈΠ· Π·ΠΎΠ½Ρ‹ ΠΈΠ½Π΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π°. ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡ΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ характСристики Π’Π§Π˜-ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π° ΠΈ Ρ‚СхнологичСского процСсса Π΄Π°ΡŽΡ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΈΠ³ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π½ΡƒΡŽ Π΄Π²ΡƒΠΎΠΊΠΈΡΡŒ Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° высокого качСства ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ Π’Π§ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠΏΡ‹Ρ‚Π½ΠΎ-ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ установки Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… нСдСль ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ…Π»ΠΎΡ€Π° Π² ΠΎΡ‚ходящСм ΠΏΡ‹Π»Π΅Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ΅ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 70%; Ρ…Π»ΠΎΡ€-Π³Π°Π· направляСтся Π½Π° Ρ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ, Ρ‡Π΅ΠΌ ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ся Π·Π°ΠΌΠΊΠ½ΡƒΡ‚ΠΎΡΡ‚ΡŒ тСхнологичСского процСсса. Лабораторная установка с Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²ΠΎΠΌ кислорода Π² Π’Π§ ΠΈΠ½Π΄ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌ разрядС рассчитана Π½Π° ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 2 ΠΊΠ³/час. Π”Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ установки ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Π»Π°ΡΡŒ пропускной ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π»Π° 1 час. На ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ² Π»Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ исслСдования Π±Ρ‹Π»Π° Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π° ΠΈ Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π° Π² Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΠ΅ установка ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ 42−100 ΠΊΠ³/час. Π”Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΅Ρ‘ Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ — 5 суток. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΈΠ· ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Ρ… Π’Π§ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… тСхнологичСских установок, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰Π°Ρ стаТ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 22 Π»Π΅Ρ‚ ΠΈ Π½Π°Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ Π½Π° Π’Π§Π˜-ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 70 000 часов. Наряду с ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠΏΡ‹Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ пигмСнтная ΠΎΠΏΡ‹Ρ‚Π½ΠΎ-ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½Π°Ρ установка ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ систСматичСски выпуск ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ — Ρ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ двуокиси Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°. Π’ Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… Π»Π΅Ρ‚ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π»Π° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ мощная Π’Π§ плазмСнная установка ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π΄ΠΎ 400 ΠΊΠ³ TiO2. Π’ Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя спроСктирована ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½Π°Ρ установка ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ 700 ΠΊΠ³ TiO2 Π² Ρ‡Π°Ρ, Ρ‚ΠΎ Π΅ΡΡ‚ΡŒ 5 тыс. Ρ‚ΠΎΠ½Π½ TiO2 Π² Π³ΠΎΠ΄. ВСхнологичСски процСсс ΠΏΠΎ Ρ€ΡΠ΄Ρƒ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² прСвосходит экономичСскиС ΠΈ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ извСстных Π² Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… способов, обСспСчиваСт сниТСниС ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… энСргозатрат Π΄ΠΎ 1 ΠΊΠ’Ρ‚Β· Ρ‡/ΠΊΠ³ ΠΏΡ€ΠΈ Π·Π°ΠΌΠΊΠ½ΡƒΡ‚ΠΎΠΌ тСхнологичСском Ρ†ΠΈΠΊΠ»Π΅ ΠΏΠΎ Ρ…Π»ΠΎΡ€Ρƒ.

О ΠΏΠ΅Ρ€ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ использования Π’Π§Π˜-ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ 1000 ΠΊΠ’Ρ‚ Π² Ρ‚СхнологичСском процСссС получСния ΠΏΠΈΠ³ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΉ двуокиси Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ 27,6 Ρ‚ΠΎΠ½Π½ Π² ΡΡƒΡ‚ΠΊΠΈ сообщили Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ДандСс ΠΈ Π’ΠΎΡ€ΠΏ. 7].

БфСроидизация Π³Ρ€Π°Π½ΡƒΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΎΠ². ΠžΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ тСхнологичСского процСсса ΠŸΡ€ΠΈ взаимодСйствии ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² с ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΠΉ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ прСбывания, Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ ΠΈ ΠΊΠΎΡΡ„Ρ„ΠΈΡ†ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π° Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΎΠ±ΠΌΠ΅Π½Π° Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ΅Π½ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π² ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ°, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ΅ Π΅Π³ΠΎ испарСниС. ΠΠ΅Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ воздСйствиС ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹, приводящСС лишь ΠΊ ΠΎΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ частиц ΠΈ Π΅Ρ‘ ΡΠΊΠ²ΠΎΠ·Π½ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π²Ρƒ, способствуСт Π΅Ρ‘ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΎΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π²Ρ‹ΠΊΠΈΠΏΠ°Π½ΠΈΡŽ Π»Ρ‘Π³ΠΊΠΈΡ… Ρ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΉ ΠΈΠ· ΠΎΠ±ΡŠΡ‘ΠΌΠ° частицы ΠΈ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌΡƒ ΠΈΡΠΏΠ°Ρ€Π΅Π½ΠΈΡŽ примСсСй с Π΅Ρ‘ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности.

НаиболСС высокая ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ тСхнологичСского процСсса сфСроидизации ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π° использованиСм Π’Π§Π˜-ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΎΠ². ΠŸΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ Π±Ρ‹Π»ΠΎ достигнуто посрСдством аксиального Π²Π²ΠΎΠ΄Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΈ минимальном расходС Ρ‚Ρ€Π°Π½ΡΠΏΠΎΡ€Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π³Π°Π·Π°. Π’ ΡΡ‚ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ пылСгазовая смСсь прСдставляСт ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΡƒΡŽ срСду для Π’Π§Π˜-разряда. Π‘Ρ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡ΠΈ энСргии Π’Π§Π˜-разряда Π² ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΉ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎΠΊ — 25−30%. Напомним, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄ΡƒΠ³ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π°Ρ… удаётся ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‚ΡŒ Π² ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΉ Π³Ρ€Π°Π½ΡƒΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎΠΊ ΠΎΡ‚ 1 Π΄ΠΎ 5% мощности ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ, нСсмотря Π½Π° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ энСргСтичСский ΠšΠŸΠ” Π’Π§ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ установки (60−0%) ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с Π΄ΡƒΠ³ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΎΠΌ (85−90%), Π½Π° ΡΡ‚Π°Π΄ΠΈΠΈ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ° эта Ρ€Π°Π·Π½ΠΈΡ†Π° с ΠΈΠ·Π±Ρ‹Ρ‚ΠΊΠΎΠΌ компСнсируСтся ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ эффСктивным являСтся Π’Π§Π˜ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ способ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ.

Π’ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ расчёта Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°, оплавлСния, проплавлСния ΠΈ ΠΈΡΠΏΠ°Ρ€Π΅Π½ΠΈΡ частиц Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅ слСдуСт ΡƒΡ‡Π΅ΡΡ‚ΡŒ ряд Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ², ΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… влияниС Π½Π° Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ высокой ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ тСхнологичСского процСсса. К Π½ΠΈΠΌ относятся:

  • — Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌ энСргопоглощСния ΠΈ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΎΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π’Π§-Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°;
  • — ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΈ Π³Π°Π·ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° Π’Π§Π˜ разряда ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹;
  • — Π΄ΠΈΡΠΏΠ΅Ρ€ΡΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Ρ…имичСский состав исходного ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ°;
  • — ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ смСшСния Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π²ΡƒΡ…Ρ„Π°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ°, Π² Ρ‚ΠΎΠΌ числС с ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΠΉ Π’Π§Π˜-разряда;
  • — Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ распрСдСлСния ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ° ΠΏΠΎ ΡΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹;
  • — ΠΌΠ΅ΠΆΡ„Π°Π·Π½Ρ‹ΠΉ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΎΠ±ΠΌΠ΅Π½;
  • — Ρ‚СрмичСскиС, химичСскиС ΠΈ Ρ‚СрмомСханичСскиС явлСния Π² Ρ‡Π°ΡΡ‚ΠΈΡ†Π°Ρ…;
  • — ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, испарСниС ΠΈ Π·Π°Ρ€ΡΠ΄ΠΊΠ° частиц;
  • — ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡ ΠΏΠ°Ρ€Π° ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСды;
  • — ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠ°Ρ€ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ частиц;
  • — ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ парообразования;
  • — ΡΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ рассСяния ΠΈΡΠΏΠ°Ρ€ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅ частиц;
  • — ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΡΠΆΡ‘Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ тСрмичСски Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹;
  • — Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ прСбывания частиц Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅;
  • — ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ Π·Π°ΠΊΠ°Π»ΠΊΠΈ ΠΈ Ρ„ормирования ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Π°;
  • — ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ кондСнсата Π½Π° ΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… частицах;
  • — Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ примСсСй, Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΎΠΊ ΠΈ ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ²;
  • — ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± пассивации Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°.

Π‘Ρ€Π΅Π΄ΠΈ пСрСчислСнных Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ… ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ достаточно ΠΌΠ°Π»Π° ΠΈ Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Ρ‚ΡŒΡΡ Π² Ρ€Π°ΡΡ‡Ρ‘Ρ‚. Однако для ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, уровня мощности Π’Π§Π˜-ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π°, Ρ€ΠΎΠ΄Π° ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π³Π°Π·Π° общая модСль ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΎΠ² Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ достаточно ΡƒΠ½ΠΈΠ²Π΅Ρ€ΡΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ провСдСния ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ тСхнологичСского процСсса ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠœΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, расходуСмая Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², складываСтся ΠΈΠ· Ρ€ΡΠ΄Π° ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ…: Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° Ρ‚Π²Ρ‘Ρ€Π΄ΠΎΠΉ частицы Π΄ΠΎ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ частицы, Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π² расплавлСнной частицы Π΄ΠΎ ΠΊΠΈΠΏΠ΅Π½ΠΈΡ, испарСниС частицы, Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π² ΠΏΠ°Ρ€Π°, ионизация ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° частицы.

Π’Π°ΠΊ, ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ для испарСния алюминиСвого ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ° Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ частиц ΠΎΡ‚ 0,1 Π΄ΠΎ 30 ΠΌΠΊΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ процСсса 1 Π³/с составляСт ΠΎΡ‚ 15,1 Π΄ΠΎ 22,2 ΠΊΠ’Ρ‚. ΠŸΡ€ΠΈ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… трСбованиях ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄ΡƒΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠΉ установки составляСт 500−1800 ΠΊΠ’Ρ‚, Π° ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π’Π§Π˜-разряда — 100−106 ΠΊΠ’Ρ‚.

Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, ΠΏΡ€ΠΈ сфСроидизации Π³Ρ€Π°Π½ΡƒΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΎΠ² Π²Ρ‹Π³ΠΎΠ΄Π½Π΅Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π’Π§Π˜ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ установки. 1].

БфСроидизация ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΎΠ² Ρ‚ΡƒΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΡ… окислов ΠŸΡ€ΠΈ сфСроидизации ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΎΠ² окислов Π² Π½Π΅ΠΉΡ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ Π°Ρ€Π³ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ, ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅ Π½Π΅Ρ€Π΅Π΄ΠΊΠΎ Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ химичСский состав окисла ΠΈΠ·-Π·Π° частичного Π΅Π³ΠΎ восстановлСния. Π’ Ρ‚ΠΎΠΌ случаС, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ΅ диспропорционированиС Π½Π΅ΠΆΠ΅Π»Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, ΡΡ„Π΅Ρ€ΠΎΠΈΠ΄ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ слСдуСт ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Π² ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅. ЕстСствСнно, сто ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚Π΄Π°Π½ΠΎ Π’Π§ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌΡƒ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Ρƒ кислорода ΠΈΠ»ΠΈ кислородсодСрТащСго Π³Π°Π·Π°. Π¨ΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠ΅ тСхнологичСскиС возмоТности для сфСроидизации ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π’Π§Π•ΠΈ Π’Π§Π˜-разрядов. Малая ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ°, большой ΠΎΠ±ΡŠΡ‘ΠΌ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΠΏΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠΌ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ Π΅Ρ‘ ΡΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠ³Π»ΡΡ‚ΡŒ частицы Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚ΡƒΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΡ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² с Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΎΠΉ ΡΡ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ. Π‘ΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ° Π’Π§Π˜ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ разряда Π΄Π°Ρ‘Ρ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π²Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΉ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎΠΊ нСпосрСдствСнно Π² Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π΅ струи ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΡŽ Π’Π§Π˜-разряда Π½Π°ΠΈΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ. Π’ ΠΏΡ€ΠΈΠΎΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ области Π’Π§Π˜-разряда ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Ρ€Π°Π²Π½Π° Π½ΡƒΠ»ΡŽ, поэтому ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡Π° ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ° Π² Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Π·ΠΎΠ½Ρƒ Π½Π΅ Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ горСния разряда.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ тСхнологичСскиС процСссы с использованиСм Π’Π§-ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΎΠ².

ΠŸΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ установки довольно высока (ΠΏΡ€ΠΈ мощности Π’Π§Π˜ разряда 6,5 ΠΊΠ’Ρ‚ — 1,5−2 ΠΊΠ³/час ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ° оксида алюминия с Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ частиц 63−1000 ΠΌΠΊΠΌ). ΠΠ½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½ΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π½Π° Π΄ΡƒΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ мощности 100 ΠΊΠ’Ρ‚.

Π’ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΡ‡Π°ΡΡ‚ΠΎΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ сущСствСнно эффСктивнСС процСссы сфСроидизации, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ся Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ округлСния Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΊΡ€ΡƒΠΏΠ½Ρ‹Ρ… частиц. НапримСр, Π² Π΄ΡƒΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅ удаётся ΡΡ„Π΅Ρ€ΠΎΠΈΠ΄ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎΠΊ оксида алюминия с Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ частиц Π΄ΠΎ 60−70 ΠΌΠΊΠΌ, Π² Ρ‚ΠΎΠΌ врСмя ΠΊΠ°ΠΊ Π² Π’Π§Π˜ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… частиц ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ Π΄ΠΎ 600−800 ΠΌΠΊΠΌ. ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ ΠΊ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ ΠΊΡ€ΡƒΠΏΠ½Ρ‹Ρ… Ρ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΉ оксида алюминия ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΎΠ² Ρ‚Π΅Ρ… ΠΆΠ΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ², Π½ΠΎ ΠΈΠ· ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° с Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΡ‘ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ увСличСния Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠΎΠ² ΠΎΡ‚ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ ΠΊ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΡƒ. Π­Ρ‚ΠΎΠΌΡƒ Π² Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ стСпСни ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠΈ кислорода Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Π³Π°Π·. Π’ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅ Π’Π§Π˜-разряда ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡŒ ΡΡ„Π΅Ρ€ΠΎΠΈΠ΄ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΈ двуокиси крСмния, оксида магния ΠΈ Π΄Π²ΡƒΠΎΠΊΠΈΡΠΈ циркония, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π² Π°Ρ€Π³ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅ Π’Π§Π˜-разряда ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚ΠΎΠΉ ΠΆΠ΅ мощности. 1].

ΠŸΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ процСсс ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅…

Для Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π’Π§Π˜-ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ° ΠΎΠ±Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠΈΠ»Π° свои прСимущСства, Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎ Π½Π°ΠΉΡ‚ΠΈ Ρ‚Π΅ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΈ Ρ€Π°ΡΡ…ΠΎΠ΄Ρ‹, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ позволяли Π±Ρ‹ Π²ΠΏΡ€Ρ‹ΡΠΊΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π°ΡΡ€ΠΎΠ·ΠΎΠ»ΡŒ Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡƒ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ:

  • — Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π½Π΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΠ»ΠΈΡΡŒ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ (Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΌ случаС измСняСтся Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ° ΠΈ ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ);
  • — Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π°ΡΡ€ΠΎΠ·ΠΎΠ»ΡŒ успСл ΠΈΡΠΏΠ°Ρ€ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ, Π° ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»Π° Π΄ΠΈΡΡΠΎΡ†ΠΈΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ, Π²ΠΎΠ·Π±ΡƒΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ ΠΈ ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ.

Для этого Π°ΡΡ€ΠΎΠ·ΠΎΠ»ΡŒ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€Π΅Π»ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π΅ ΠΊΠ°ΡΠ°ΡΡΡŒ ΠΊΠΎΠ»ΡŒΡ†Π° с Ρ‚ΠΎΠΊΠΎΠΌ (ΠΏΠΎ ΠΎΡΠΈ), ΠΈ Π² Ρ‚ΠΎ ΠΆΠ΅ врСмя Π½Π΅ ΡΠ»ΠΈΡˆΠΊΠΎΠΌ быстро, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ диссоциация ΠΈ Π²ΠΎΠ·Π±ΡƒΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ успСли ΡΠΎΡΡ‚ΠΎΡΡ‚ΡŒΡΡ Π΅Ρ‰Ρ‘ Π² Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π΅. ВсС эти ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° нСсовмСстимыС условия обСспСчиваСт Π’Π§Π˜-ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½, ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ЀассСлом.

ΠŸΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ состоит ΠΈΠ· Ρ‚Ρ€Ρ‘Ρ… концСнтричСских Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±, ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌ подаётся Π³Π°Π·, ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Π°Ρ€Π³ΠΎΠ½. Π’ Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½Π΅ΠΉ части ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π° располоТСны Π²ΠΈΡ‚ΠΊΠΈ ΠΈΠ½Π΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π°, связанныС с Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΡ‡Π°ΡΡ‚ΠΎΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ. Плазма образуСтся Π² ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ΅ Π°Ρ€Π³ΠΎΠ½Π° ΠΈ Π²Ρ‹Π΄ΡƒΠ²Π°Π΅Ρ‚ся Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Ρ„Π°ΠΊΠ΅Π»Π° Π½Π°Π΄ ΠΎΠ±Ρ€Π΅Π·ΠΎΠΌ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±Ρ‹, Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π° Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ аэрозоля подаётся ΠΏΠΎ Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ΅ ΠΈ Π²Π΄ΡƒΠ²Π°Π΅Ρ‚ся Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΡŒ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ„Π°ΠΊΠ΅Π»Π°. Π’Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ Π³Π°Π·Π° экранируСт ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡƒ ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π½ΠΈΡ атмосфСрных Π³Π°Π·ΠΎΠ² ΠΈ ΠΎΡ…Π»Π°ΠΆΠ΄Π°Π΅Ρ‚ стСнки Π’Π§Π˜-ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π°.

Высокая Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ‹ способствуСт Ρ‚ΠΎΠΌΡƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π°ΡΡ€ΠΎΠ·ΠΎΠ»ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠ±Ρ‹, находящийся Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1−2 мс Π³ΠΎΡ€Π°Π·Π΄ΠΎ большСС врСмя, Ρ‡Π΅ΠΌ Π² Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… источниках возбуТдСния), успСваСт ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈΡΠΏΠ°Ρ€ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ, Π° ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ΡΡ молСкулярныС соСдинСния Π΄ΠΈΡΡΠΎΡ†ΠΈΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Ρ‚Π°ΠΊ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ вся ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π° ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Π² Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ€Π½ΠΎΠ΅ состояниС. БлСдствиСм ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ достаточно Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Ρ‹ обнаруТСния, ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, для Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡ€ΡƒΠ³Π° элСмСнтов. Π’ Π˜Π‘П Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈ всСх элСмСнтов, Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ слоТныС для Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°, ΠΊΠ°ΠΊ Ρ€Π΅Π΄ΠΊΠΎΠ·Π΅ΠΌΠ΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅, Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ½ΠΎΠΈΠ΄Ρ‹ ΠΈ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΡƒΡ‡ΠΈΠ΅. 1].

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ