ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

ΠŸΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ элСктронной ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ

ΠšΡƒΡ€ΡΠΎΠ²Π°ΡΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

РСшСниС Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ΠΈ Коши для уравнСния Лапласа Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ, внСшнСй ΠΊ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Ρƒ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ удовлСтворяСт условиям (2.3), находится ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ аналитичСского продолТСния Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π²ΠΈΠ΄ Π€ΠΎΡ€ΠΌΠ° ΡΠΊΠ²ΠΈΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ, опрСдСлСнная с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ этого выраТСния, прСдставлСна Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 2.2. НулСвая ΡΠΊΠ²ΠΈΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒ являСтся прямой Π»ΠΈΠ½ΠΈΠ΅ΠΉ, Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊ Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π΅ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ΄ ΡƒΠ³Π»ΠΎΠΌ 67,5Β°. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ строго… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ΠŸΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ элСктронной ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

1. НазначСниС элСктронной ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ

2. ΠžΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ конструкции ΠΏΡƒΡˆΠ΅ΠΊ, Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… цилиндричСскиС ΠΈ Π»Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΈ

3. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅Π΄ΡƒΡ€Π° проСктирования элСктронной ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ

4. ΠŸΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ расчСт

5. Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ проСктирования ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ синтСза

6. Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ проСктирования ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° БПИБОК Π›Π˜Π’Π•Π ΠΠ’Π£Π Π«

Π’Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅

Π‘ Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π°ΡƒΡ‡Π½ΠΎ-тСхничСского прогрСсса ΠΎΡ‚ Π½Π°ΡƒΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² трСбуСтся ΡΠΎΠΊΡ€Π°Ρ‰Π°Ρ‚ΡŒ сроки Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ качСство ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚Π°. Π£Π΄ΠΎΠ²Π»Π΅Ρ‚Π²ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΡŒ эти трСбования с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ простого увСличСния числСнности ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Ρ‰ΠΈΠΊΠΎΠ² нСльзя, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ провСдСния ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½Π°.

ЦСль Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ проСктирования — ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡΠΈΡ‚ΡŒ качСство; ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹; ΡΠΎΠΊΡ€Π°Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ сроки проСктирования.

Π’ Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя Π½Π°ΠΈΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ°Ρ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ° ΠΎΡ€Π³Π°Π½ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ процСсса достигаСтся ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ систСм Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ проСктирования (БАПР), основными частями ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ тСхничСскиС срСдства, ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π΅ ΠΈ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚СматичСскоС обСспСчСния. ΠŸΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ БАПР автоматизированная, Π° Π½Π΅ Π°Π²Ρ‚оматичСская систСма, ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€-ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ рассматриваСтся Ρ‚ΠΎΠΆΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π΅Π΅ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ.

Π’ Π‘АПР Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ обСспСчиваСтся ΡΠΎΠ²ΠΎΠΊΡƒΠΏΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π³ΠΎ ΠΈ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ обСспСчСния, Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π½Π΅ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€ΠΎΠΌ-ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΌ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡ эти ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΡ‹, ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π½Π΅ Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ… особСнностСй ΠΈΡ… ΠΏΠΎΡΡ‚роСния ΠΈ Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… Π² Π½ΠΈΡ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°Ρ…, Π° ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΠΈΡΡ‚Ρ‹ ΠΏΠΎ Π‘АПР. ΠŸΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΡ‹ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΎΠΆΠ΄Ρ‹, Π° ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ся ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΊΡ€Π°Ρ‚Π½ΠΎ Π² Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ситуациях, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ… ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ². НСсмотря Π½Π° ΡΡ‚ΠΎ, Π·Π½Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ Π°Π»Π³ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΠΌΠΎΠ², Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… Π² ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ°Ρ… БАПР, ΠΆΠ΅Π»Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ для ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Π°-ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»Ρ БАПР. ΠžΠΏΠΈΡ€Π°ΡΡΡŒ Π½Π° Π½ΠΈΡ…, ΠΎΠ½ ΡΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ… ошибок Π² Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ Π·Π°Π΄Π°Ρ‡, назначСния исходных Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ…, ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€ΠΏΡ€Π΅Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ² ΠΈ Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΡ‡ΡŒ своих Ρ†Π΅Π»Π΅ΠΉ с Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠΈΠΌΠΈ Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚Π°ΠΌΠΈ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π³ΠΎ ΠΈ ΠΌΠ°ΡˆΠΈΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ.

Π’ ΡΡ‚ΠΎΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ проСктируСтся элСктронная ΠΏΡƒΡˆΠΊΠ° ΠŸΠΈΡ€ΡΠ°. ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ БАПР Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ускоряСт этот процСсс.

1. НазначСниС элСктронной ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ Π’ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²Π΅ соврСмСнных элСктронных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² радиотСхничСского назначСния ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚ранствСнной ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ интСнсивныС (высокопСрвСансныС) элСктронныС ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΈ.

Π’ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π°Ρ… с ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚родинамичСским ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ (клистронах, Π»Π°ΠΌΠΏΠ°Ρ… Π±Π΅Π³ΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ ΠΈ Π΄Ρ€.) эта ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ связана нСпосрСдствСнно с ΡΠ°ΠΌΠΈΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΎΠΌ управлСния Ρ‚ΠΎΠΊΠΎΠΌ, основанным Π½Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ прСбывания элСктронов Π² Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΌ пространствС. Π’ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π°Ρ… ΠΆΠ΅ с ΠΊΠ²Π°Π·ΠΈΡΡ‚атичСским ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ элСктронных ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠΎΠ² Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΎ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Ρ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠ² Π½Π΅ ΡΠ²Π»ΡΠ΅Ρ‚ся ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ, Π½ΠΎ ΠΎΠ½ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Π»ΠΎ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ возмоТности Π² Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ свСрхмощных Ρ‚Ρ€ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ². Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Ρ„окусировка интСнсивных элСктронных ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠ² — ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΈΠ· ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Ρ… Π·Π°Π΄Π°Ρ‡, Ρ€Π΅ΡˆΠ°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ соврСмСнных элСктронных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ².

Основная Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π° элСктронной ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ интСнсивного элСктронного ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ с Π·Π°Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ значСниями Ρ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΈ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈ, ΠΏΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ, с Π»Π°ΠΌΠΈΠ½Π°Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ элСктронов.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ формирования ΠΈ Ρ„окусировки элСктронных ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠ², ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, связаны с ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΎΠΌ управлСния ΠΈΠΌΠΈ, особСнно Π² Ρ‚Π΅Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π°Ρ…, Π³Π΄Π΅ элСмСнты элСктронно-оптичСских устройств входят нСпосрСдствСнно Π² ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ»ΠΈ Π·Π°ΠΌΠ΅Π΄Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ… систСм.

Рис. 1.1. Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ элСктронная ΠΏΡƒΡˆΠΊΠ° ΠŸΠΈΡ€ΡΠ°, Ua=50 ΠΊΠ’, P=0.5 мкА/Π’3/2, Π‘j=100

ΠŸΠΎΠΏΡ‹Ρ‚ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ с Π·Π°Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ значСниями Ρ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΈ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈ, ΠΏΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ, с Π»Π°ΠΌΠΈΠ½Π°Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ элСктронов ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΠΈ элСктронных ΠΏΡƒΡˆΠ΅ΠΊ, ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ², ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΠΎ-Π»ΡƒΡ‡Π΅Π²Ρ‹Ρ… Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ°Ρ… ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ°Ρ…, Π½Π΅ Π΄Π°Π»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ². ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° Π»ΡƒΡ‡Π΅Π²Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² радиотСхничСского назначСния Π±Ρ‹Π»Π° тСсно связана с ΠΏΠΎΠΈΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΈ Ρ„ΠΎΠΊΡƒΡΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… систСм.

БущСствСнный Π²ΠΊΠ»Π°Π΄ Π±Ρ‹Π» сдСлан амСриканским ΡƒΡ‡Π΅Π½Ρ‹ΠΌ ΠŸΠΈΡ€ΡΠΎΠΌ, ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠΈΠ²ΡˆΠΈΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ формирования прямолинСйных Π»Π°ΠΌΠΈΠ½Π°Ρ€Π½Ρ‹Ρ… элСктронных ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠ² простой ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ: Π»Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ, цилиндричСского ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ. На ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ этого ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° Π±Ρ‹Π»ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Ρ‹ высокоэффСктивныС элСктронныС ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ извСстны ΠΏΠΎΠ΄ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡƒΡˆΠ΅ΠΊ ΠŸΠΈΡ€ΡΠ°.

Π’ ΠΊΠ»ΠΈΡΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π°Ρ… ΠΈ Π»Π°ΠΌΠΏΠ°Ρ… Π±Π΅Π³ΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ Π² Ρ†Π΅Π»ΡΡ… получСния большой высокочастотной мощности Π±Π΅Π· сущСствСнного сокращСния срока слуТбы ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ часто ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ аксиально-симмСтричныС элСктронныС ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΈ с ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Ρ‚ΠΎΠΊΠ°, ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΡ‚ΠΈΠΌΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π°. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΠΈ ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ ΠŸΠΈΡ€ΡΠ° (рис. 1.1), конструкция ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ состоит ΠΈΠ· Π²ΠΎΠ³Π½ΡƒΡ‚ΠΎΠ³ΠΎ сфСричСского ΡΠΊΠ²ΠΈΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π° 2 с ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π²Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΌ 1, ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ раскрытого ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ элСктрода 4 ΠΈ Π°Π½ΠΎΠ΄Π° 3 с Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ отвСрстиСм. ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ элСктрод ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π», ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ с ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, ΠΈ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Π΅Ρ‚ся Ρ‚Π°ΠΊ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ являСтся ΠΊΠ°ΠΊ Π±Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ повСрхности ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π°. Π­Ρ‚ΠΎ Π΄Π°Π΅Ρ‚ основаниС Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΡƒΡŽ ΠΏΡƒΡˆΠΊΡƒ Π΄ΠΈΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ.

ΠŸΡƒΡ‚Π΅ΠΌ ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ расчСта Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ элСктродов, ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ аналитичСским ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ матСматичСского модСлирования, Π² ΠΏΡƒΡˆΠΊΠ΅ создаСтся такая конфигурация элСктричСского поля, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ элСктроны со Π²ΡΠ΅ΠΉ повСрхности ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π° Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ сходятся Π² ΡƒΠ·ΠΊΠΈΠΉ элСктронный ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ, проходящий сквозь отвСрстиС Π°Π½ΠΎΠ΄Π°.

Рис. 1.2. Π­ΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ модифицированная ΠΏΡƒΡˆΠΊΠ° ΠŸΠΈΡ€ΡΠ°, Ua=20ΠΊΠ’, Π =3 мкА/B3/2, Π‘j=6: 1—-ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ; 2—-ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄; 3—ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ элСктрод; 4— -Π°Π½ΠΎΠ΄; 5—ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€.

Π‘Ρ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒ сходимости элСктронов характСризуСтся Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΌ коэффициСнтом сходимости (сТатия ΠΈΠ»ΠΈ компрСссии). Π Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ коэффициСнт сходимости ΠΏΠΎ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚ности Ρ‚ΠΎΠΊΠ° (ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ ΠΏΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ сСчСния ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ°)—Π‘j, Ρ€Π°Π²Π½Ρ‹ΠΉ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ максимальной плотности Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ΅ ΠΊ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚ности Ρ‚ΠΎΠΊΠ°, снимаСмого с ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π°, ΠΈ ΠΊΠΎΡΡ„Ρ„ΠΈΡ†ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ сходимости ΠΏΠΎ Ρ€Π°Π΄ΠΈΡƒΡΡƒ —Π‘r, опрСдСляСмый ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ радиуса ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠΊ Ρ€Π°Π΄ΠΈΡƒΡΡƒ минимального сСчСния (кроссовСра) ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ°. ΠžΡ‡Π΅Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ нСбольшой ΠΊΡ€ΠΈΠ²ΠΈΠ·Π½Π΅ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π° .

По ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ увСличСния коэффициСнта сходимости Π² ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ΅ Π²ΠΎΠ·Ρ€Π°ΡΡ‚Π°ΡŽΡ‚ элСктростатичСскиС силы ΠΏΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ расталкивания, ΠΏΡ€Π΅ΠΏΡΡ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΡΠΆΠ°Ρ‚ΠΈΡŽ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ°. Π‘Π»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, коэффициСнт сходимости Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ Π·Π°Π²ΠΈΡΠ΅Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ заряда Π² Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΌ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ΅, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ опрСдСляСтся пСрвСансом.

Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ΄Ρ‡Π΅Ρ€ΠΊΠ½ΡƒΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² Π΄ΠΈΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡƒΡˆΠΊΠ°Ρ… ΠŸΠΈΡ€ΡΠ°, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‚ Π² Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ пространствСнного заряда, Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ пСрвСанса Π =I/U3/2 Π½Π΅ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ‚ ΠΎΡ‚ Π°Π½ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ напряТСния ΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ слСдуСт ΠΈΠ· Π·Π°ΠΊΠΎΠ½Π° «ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ 3/2» для Π΄ΠΈΠΎΠ΄Π°, опрСдСляСтся Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ гСомСтричСскими Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ пСрвСанс, являясь ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ элСктронного ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ°, ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΉ Π΅Π³ΠΎ интСнсивности, ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ являСтся ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ самой ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ, Ρ‚. Π΅. Π΅Π΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ.

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΠΈ рассмотрСнной ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ ΠŸΠΈΡ€ΡΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ сходящиСся элСктронныС ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΈ с ΠΏΠ΅Ρ€Π²Π΅Π°Π½ΡΠΎΠΌ Π  1 мкА/Π’. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΌΠ°Π»Ρ‹Ρ… значСниях пСрвСанса коэффициСнт сходимости ΠΏΠΎ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚ности ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ 100 ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅, ΠΊΠ°ΠΊ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Π² ΠΏΡƒΡˆΠΊΠ΅, Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π² Π»Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΠΈ радиотСхничСской элСктроники Π›Π­Π’Π˜ ΠΈΠΌ. Π’. И. Ульянова (Π›Π΅Π½ΠΈΠ½Π°) (см. Ρ€ΠΈΡ.1.1). ΠŸΡ€ΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… значСниях Π  ΠΊΠΎΡΡ„Ρ„ΠΈΡ†ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ сходимости ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ составляСт нСсколько Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ†.

Для получСния сходящихся ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠΎΠ² с — Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высоким пСрвСансом ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΡƒΡˆΠ΅ΠΊ ΠŸΠΈΡ€ΡΠ° (рис. 1.2). Они Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ нСбольшими расстояниями ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄—Π°Π½ΠΎΠ΄ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… элСктродов Π·Π°ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΎΠΉ конструкции (см. Ρ€ΠΈΡ. 1.2). Благодаря Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ элСктродам элСктричСскиС поля ΠΏΡƒΡˆΠ΅ΠΊ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ эффСктивно ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡Π½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°ΡΡ„ΠΎΠΊΡƒΡΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ силы пространствСнного заряда, Π²ΠΎΠ·Ρ€Π°ΡΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ пСрвСанса, ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌ самым ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ высокопСрвСансных сходящихся ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠ² с ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ потСрями ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π½Π° Π°Π½ΠΎΠ΄Π΅ (Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 1—2%). Однако ΠΈΠ·-Π·Π° влияния Π°Π½ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий ΠΏΡƒΡˆΠ΅ΠΊ, Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½ΠΎ ΠΎΡΠ»Π°Π±Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ… поля Π² Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π΅ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΊΠ°ΠΊ Ρ€Π°ΡΡΠ΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ со ΡΡ„СричСской Π°Π±Π΅Ρ€Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ, Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Π΅ ΠΈΠΌΠΈ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΈ ΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π΅Π»Π°ΠΌΠΈΠ½Π°Ρ€Π½Ρ‹ΠΌΠΈ, с Π½Π΅Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ распрСдСлСниСм плотности Ρ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΏΠΎ Ρ€Π°Π΄ΠΈΡƒΡΡƒ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠ².

2. ΠŸΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ конструкции ΠΏΡƒΡˆΠ΅ΠΊ, Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ цилиндричСскиС ΠΈ Π»Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΈ ЀизичСскиС ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΡ‹, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π±Π°Π·ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ ΠŸΠΈΡ€ΡΠ°, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ для формирования Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΡΠΏΠ»ΠΎΡˆΠ½Ρ‹Ρ… сходящихся (коничСских) элСктронных ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠ², Π½ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ цилиндричСских, плоских (Π»Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΊΠ»ΠΈΠ½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Ρ…), Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±Ρ‡Π°Ρ‚Ρ‹Ρ… (ΠΏΠΎΠ»Ρ‹Ρ…) ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠ².

Π€ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ°. ЭлСктронная ΠΏΡƒΡˆΠΊΠ°, Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π»Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ, ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ создана ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ использования части ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ°, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ характСризуСтся ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ:

Π³Π΄Π΅ zΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚Π°, отсчитываСмая ΠΎΡ‚ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π° (рис. 2.1); А=Ua/d4/3 ΠΏΡ€ΠΈ z=d, U=Ua.

Если ΠΈΠ· Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ° Π²Ρ‹Ρ€Π΅Π·Π°Ρ‚ΡŒ слой Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 2Ρƒn, Ρ‚ΠΎ Π΄Π»Ρ сохранСния Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π° двиТСния элСктронов Π² ΡΡ‚ΠΎΠΌ слоС Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π½Π° Π΅Π³ΠΎ Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π°Ρ… Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ»ΠΈΡΡŒ условия ΠΏΡ€ΠΈ Ρƒ==0:

Рис. 2.2. Π€ΠΎΡ€ΠΌΠ° ΡΠΊΠ²ΠΈΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ расчСта внСшнСй Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ΠΈ для ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° элСктронов ΠΈ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²: 1— -0,25 Ua 2— -0,1 Ua 3— -0,05 Ua 4—0; 5—0,25 Ua 6—0,5 Ua 7— Ua

РСшСниС Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ΠΈ Коши для уравнСния Лапласа Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ, внСшнСй ΠΊ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Ρƒ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ удовлСтворяСт условиям (2.3), находится ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ аналитичСского продолТСния Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π²ΠΈΠ΄ Π€ΠΎΡ€ΠΌΠ° ΡΠΊΠ²ΠΈΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ, опрСдСлСнная с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ этого выраТСния, прСдставлСна Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 2.2. НулСвая ΡΠΊΠ²ΠΈΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒ являСтся прямой Π»ΠΈΠ½ΠΈΠ΅ΠΉ, Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊ Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π΅ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ΄ ΡƒΠ³Π»ΠΎΠΌ 67,5Β°. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ строго справСдливы для ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ°, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π±Π΅ΡΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΡΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ, пСрпСндикулярном плоскости Ρ‡Π΅Ρ€Ρ‚Π΅ΠΆΠ° (Π² Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ оси Ρ…). Π‘ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹ для ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠΎΠ² ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠΉ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹, ΠΏΡ€ΠΈ условии, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ° Ρ…ΠΏ>>2yΠΏ ΠΈ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΊΡ€Π°Π΅Π²Ρ‹Ρ… эффСктов Π½Π΅Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ. ΠŸΠ΅Ρ€Π²Π΅Π°Π½Ρ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ, рассчитанный Π½Π° Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ†Ρƒ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ°, находится ΠΈΠ· Π·Π°ΠΊΠΎΠ½Π° «ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ 3/2»:

Анодный элСктрод Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ отвСрстиС, Π½Π΅ Π·Π°ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΎΠ΅ сСткой (рис. 2.3). ΠžΡ‚Π²Π΅Ρ€ΡΡ‚ΠΈΠ΅ Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ распрСдСлСниС элСктричСского поля, ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρƒ описанного Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ расчСта, ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ y-ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π΅ΠΉ поля Π²Π±Π»ΠΈΠ·ΠΈ Π°Π½ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ элСктрода ΠΈ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ z-ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π΅ΠΉ поля Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π°. Π­Ρ‚ΠΎ Π² ΡΠ²ΠΎΡŽ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ Ρƒ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΎΠ² Π½Π° Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ ΠΈΠ· ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ y-ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ… скоростСй ΠΈ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ пСрвСанса ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ° (ΠΏΡ€ΠΈ 2ΡƒΠΏ d). Π Π°ΡΡ„ΠΎΠΊΡƒΡΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π΅ дСйствиС Π°Π½ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ отвСрстия ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡƒΡ‡Π΅ΡΡ‚ΡŒ, Ссли Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Π³ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊ Ρ‰Π΅Π»Π΅Π²ΡƒΡŽ Π»ΠΈΠ½Π·Ρƒ. ЀокусноС расстояниС послСднСй опрСдСляСтся Π²Ρ‹Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ f=2U/(Π•1—Π•2), Π³Π΄Π΅ U—ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π» элСктрода Ρ‰Π΅Π»Π΅Π²ΠΎΠΉ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹ (ΠΎΠ½ ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ‚ся Ρ€Π°Π²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»Ρƒ Π°Π½ΠΎΠ΄Π° U= Ua); Π•1 ΠΈ Π•2 напряТСнности поля слСва ΠΈ ΡΠΏΡ€Π°Π²Π° ΠΎΡ‚ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄Π° ΠΏΡ€ΠΈ отсутствии Π² Π½Π΅ΠΌ отвСрстия. Π’ Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΌ случаС Π•2=0, Π° Π•1 рассчитываСтся ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ:

Рис. 2.4. ΠšΠ»ΠΈΠ½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ Π»Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ. Π“Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ условия

Π’ ΡΡ‚ΠΎΠΌ случаС ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌ f= — 3/2d. ΠžΡ‚Ρ€ΠΈΡ†Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° фокусного расстояния ΡƒΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ Π½Π° Ρ€Π°ΡΡΠ΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹. Для ΡƒΠ³Π»Π° Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π° Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΉ элСктронной Ρ‚Ρ€Π°Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΠΈ Π½Π° Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ ΠΈΠ· ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ΅Π½Π½ΡƒΡŽ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Ρƒ:

ΠΈ Π΄Π»Ρ Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… элСктронов:

Π€ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ»ΠΈΠ½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ°. ЭлСктронная ΠΏΡƒΡˆΠΊΠ° для формирования ΠΊΠ»ΠΈΠ½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ (сходящСгося) ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ построСна ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ использования части Ρ€Π°Π΄ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ цилиндричСского ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ° (рис. 2.4). Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ характСризуСтся ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ основными ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ: распрСдСлСниС ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»Π° Π’ΠΎΠΊ Π² ΡΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰Π΅ΠΌ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ‡Π½ΡƒΡŽ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρƒ (Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ Π² Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ оси r) ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ½Π½Ρ‹ΠΉ ΡƒΠ³ΠΎΠ» (ΡƒΠ³ΠΎΠ» Π² Π³Ρ€Π°Π΄ΡƒΡΠ°Ρ…),

Π³Π΄Π΅ (—)2—функция ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ радиуса ΠΊΡ€ΠΈΠ²ΠΈΠ·Π½Ρ‹ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π° rΠΊ ΠΊ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΌΡƒ радиусу r.

Как ΠΈ Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Ρ‹Π΄ΡƒΡ‰Π΅ΠΌ случаС, для сохранСния Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π° двиТСния элСктронов Π² ΡΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅ с ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ½Π½Ρ‹ΠΌ ΡƒΠ³Π»ΠΎΠΌ дСйствиС ΠΎΡ‚Π±Ρ€ΠΎΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ части элСктронного ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ° замСняСтся дСйствиСм Ρ„ΠΎΠΊΡƒΡΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… элСктродов, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ вдоль Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Ρ‹ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… условий: U=f®, Π΄U/Π΄=0. Π€ΠΎΡ€ΠΌΠ° Ρ„ΠΎΠΊΡƒΡΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… элСктродов находится Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ внСшнСй Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ΠΈ синтСза. На Ρ€ΠΈΡ. 2.5 ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ сСмСйство ΡΠΊΠ²ΠΈΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ, Π½Π°ΠΉΠ΄Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ аналитичСски.

ВлияниС Π°Π½ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ отвСрстия Π² Π°Π½ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ элСктродС Π½Π° ΠΎΡ‚Π±ΠΎΡ€ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° с ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½ΠΎ рассмотрСнному Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Ρ‹Π΄ΡƒΡ‰Π΅ΠΌ случаС.

Рис. 2.5. Π£Π½ΠΈΠ²Π΅Ρ€ΡΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Π° эквипотСнциалСй для расчСта элСктродов ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ, Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΊΠ»ΠΈΠ½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ Π»Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ.

Π€ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ цилиндричСского ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ°. Π—Π°Π΄Π°Ρ‡Π° формирования ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ цилиндричСского ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° Ρ€Π΅ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½ΠΎ рассмотрСнной Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π΅ формирования ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ°, с Ρ‚ΠΎΠΉ лишь Ρ€Π°Π·Π½ΠΈΡ†Π΅ΠΉ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈΠ· Π±Π΅ΡΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ° «Π²Ρ‹Ρ€Π΅Π·Π°Π΅Ρ‚ся» ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€Π° (рис. 2.6). Для опрСдСлСния Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ Ρ„ΠΎΠΊΡƒΡΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… элСктродов Ρ€Π΅ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ внСшняя Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π° ΠΏΡ€ΠΈ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… условиях, Π·Π°Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… Π½Π° Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π΅ области:

.

Рис. 2.5. Π£Π½ΠΈΠ²Π΅Ρ€ΡΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚Π° эквипотСнциалСй для расчСта элСктродов ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ, Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΊΠ»ΠΈΠ½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ Π»Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ.

ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½Π° ΡΠΊΠ²ΠΈΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 2.7.

ΠŸΠ΅Ρ€Π²Π΅Π°Π½Ρ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ опрСдСляСтся ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, Π²Ρ‹Ρ‚Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΌ ΠΈΠ· Π·Π°ΠΊΠΎΠ½Π° «ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ 3/2»:

(2.5)

Π³Π΄Π΅ rΠΊ—радиус ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π°, Ρ€Π°Π²Π½Ρ‹ΠΉ радиусу ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° (rΠΊ = rΠΏ); d—расстояниС ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄—Π°Π½ΠΎΠ΄; Ua—Π°Π½ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ напряТСниС; I—Ρ‚ΠΎΠΊ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ°.

Π Π°ΡΡ„ΠΎΠΊΡƒΡΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π΅ дСйствиС Π°Π½ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ отвСрстия Π² Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΡƒΡˆΠΊΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡƒΡ‡Π΅ΡΡ‚ΡŒ, Ссли ΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΈΠ· ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ½ΠΎ эквивалСнтно Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ‹-Π΄ΠΈΠ°Ρ„Ρ€Π°Π³ΠΌΡ‹, фокусноС расстояниС ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ

.

Π’ΠΎΠ³Π΄Π° ΡƒΠ³ΠΎΠ» Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π° элСктронных Ρ‚Ρ€Π°Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΠΉ Π½Π° Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ ΠΈΠ· ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ опрСдСляСтся Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»ΠΎΠΉ

.

Если сюда ΠΏΠΎΠ΄ΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ с1, Π½Π°ΠΉΠ΄Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ· (2.5), Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠΌ, Π³Π΄Π΅ Π —пСрвСанс, мкА/Π’3/2.

3. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅Π΄ΡƒΡ€Π° проСктирования элСктронной ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ ΠŸΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ элСктронных ΠΏΡƒΡˆΠ΅ΠΊ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ Π΄Π²Π° основных этапа. На ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΌ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ… производится ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ исходной Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠΈ элСктронной ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² (пСрвСанса, компрСссии ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ…). ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ для этой Ρ†Π΅Π»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ синтСза, основанный Π½Π° ΡƒΠΏΡ€ΠΎΡ‰Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… матСматичСских модСлях элСктронной ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ. Π’Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ этап Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° элСктронной ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ самосогласованных Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ ΠΈ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ Π΅Π΅ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠΈ.

Π‘ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π· ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ ΠΏΠΎ ΠžΠ²Ρ‡Π°Ρ€ΠΎΠ²Ρƒ. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ расчСта ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ прСдусматриваСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Π΅ΠΉ Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ совокупности Π·Π°Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… свойств Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ°. РСшСниС проводится Π² ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ с ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ уравнСния, записанного Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠΉ систСмС ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚. Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΎΡ€Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ сСтки, слуТащСй для построСния ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ систСмы, бСрСтся сСтка, образуСмая сСмСйством ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹Ρ… Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ (сСмСйство Π°) ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΎ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ, ΠΊ Π½ΠΈΠΌ ΠΎΡ€Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… (сСмСйство b). Π’ ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ΅ ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚ q1 q2 (рис. 3.1) Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ, ΠΏΡ€ΠΈΠ½Π°Π΄Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ‰ΠΈΠ΅ этим сСмСйствам, ΠΎΠΏΠΈΡΡ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ уравнСниями:

Π³Π΄Π΅ R (z)—нСкоторая базовая линия ΠΈΠ· ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΠΉΡΡ‚Π²Π° Π°; q— ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ подобия.

Рис. 3.1 ΠžΡ€Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ координатная сСтка, образованная сСмСйством ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹Ρ… Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ (Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ q2=const) ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΎΠΌ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ, ΠΊ Π½ΠΈΠΌ ΠΎΡ€Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… (Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ q1=const)

Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ ΠΎΡ€Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ сСтки соотвСтствуСт ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ° с ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹ΠΌΠΈ траСкториями. ΠŸΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡ ΠΎΡ€Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ сСтки производится ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ. Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° q2, ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ ΠΈΠ· ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΠΉΡΡ‚Π²Π° Π°, бСрСтся ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ подобия q2=q=r (z)/R (z), ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΉ собой ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ расстояниС Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ сСмСйства ΠΎΡ‚ ΠΎΡΠΈ симмСтрии. Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°, ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ ΠΈΠ· ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΠΉΡΡ‚Π²Π° b, бСрСтся расстояниС, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ данная линия пСрСсСкаСт ось симмСтрии, q1=z. ΠŸΡ€ΠΈ использовании Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΎΡ€Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ сСтки Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ систСмы ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ q1 ΠΈ q2 Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ ΠΊΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚, пСрвая ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ… ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ‹, вторая — Π±Π΅Π·Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½Π°.

Если Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Π±Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ R (z} взята Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π° ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ°, Ρ‚ΠΎ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΡƒΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΎΠΏΠΈΡΡ‹Π²Π°ΡŽΡ‰Π΅Π΅ Π΅Π³ΠΎ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π²ΠΈΠ΄ Π³Π΄Π΅ U0—ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π» Π½Π° ΠΎΡΠΈ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° (q2 =());I—Ρ‚ΠΎΠΊ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ°.

Вводя Π½ΠΎΡ€ΠΌΠ°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅, u=U0 / UΠ½ ΠΈ, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌ

(3.1)

РасчСт элСктронной ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ проводится ΠΏΠΎ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ схСмС. ΠŸΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ задаСтся осСвоС распрСдСлСниС ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»Π°, ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π»Π΅Ρ‚Π²ΠΎΡ€ΡΡŽΡ‰Π΅Π΅ условиям.

ΠŸΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Π΅ Π΄Π²Π° ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ… ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΡƒ ограничСния Ρ‚ΠΎΠΊΠ° с ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π° пространствСнным зарядом, Π²Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π΄Π²Π° — двиТСнию ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° Π² ΡΠΊΠ²ΠΈΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π΅ Π½Π° Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ ΠΈΠ· ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ.

Випичная кривая распрСдСлСния ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 3.2, Π±. Для задания ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ использовано аналитичСскоС Π²Ρ‹Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΠΈΠ΄Π°, Π³Π΄Π΅ Рис. 3.2. Π€ΠΎΡ€ΠΌΠ° элСктродов (Π°) ΠΈ ΠΎΡΠ΅Π²ΠΎΠ΅ распрСдСлСниС ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»Π° (Π±) Π² ΠΏΡƒΡˆΠΊΠ΅, рассчитанной ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρƒ ΠžΠ²Ρ‡Π°Ρ€ΠΎΠ²Π°.

.

ΠŸΡ€ΠΈ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΌ Π·Π°Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»Π° условия (3.2) Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ автоматичСски. На ΠΈΡΠΊΠΎΠΌΠΎΠ΅ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ налагаСтся Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π΅Π΅ ΡΡ„Π΅Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π°. Π­Ρ‚ΠΎ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ удовлСтворяСтся, Ссли коэффициСнты k1, a1 ΠΈ a2 ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π°ΠΌΠΈ РСализация условий (3.3) обСспСчиваСтся Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ связСй, Π½Π°Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π½Π° ΠΊΠΎΡΡ„Ρ„ΠΈΡ†ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Ρ‹ a3, a4 ΠΈ a5 :

Π”Π°Π»Π΅Π΅ производится числСнноС ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ уравнСния (3.1), для Ρ‡Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° i ΠΈ Π·Π°Π΄Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ значСния ΠΈ. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ интСгрирования опрСдСляСтся Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ° элСктронного ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ°, ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌΡƒ Ρ€Π°ΡΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»Π°.

РСшСниС внСшнСй Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ΠΈ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ производится Π² ΠΊΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠΉ систСмС ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚. РасчСт ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»Π° Π²Π½Π΅ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²Π΅Π΄Π΅Π½ ΠΏΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅:

Π³Π΄Π΅ —Π½ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π». ПолоТив, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²Ρ‹Ρ‡ΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΡΠΊΠ²ΠΈΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ Π² ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚Π°Ρ…. ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ ΠΊ Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚Π°ΠΌ производится с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΉ:

Випичная Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ° элСктродов рассчитанной Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ способом ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° Π½Π° Π»ΠΈΡ 3.2Π°.

Анализ ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ состоит Π² ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠΈ элСктродов ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ ΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ поля Π΄ΠΎ Ρ‚Π΅Ρ… ΠΏΠΎΡ€, ΠΏΠΎΠΊΠ° ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° Π½Π΅ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈ ΠΊ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ процСсс Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ Π² ΡΠ΅Π±Ρ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ основныС этапы: Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ исходного Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚Π° Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠΈ ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ поля, Ρ‚Ρ€Π°Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π½Ρ‹ΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·, ΠΏΠΎ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π°ΠΌ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ°, внСсСниС ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ Π² ΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄Π½ΡƒΡŽ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΡŽ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Ρ‚Ρ€Π°Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π½Ρ‹ΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚Π° Ρ‚.Π΄.

Анализ элСктронной ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ основываСтся Π½Π° Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΈ самосогласованной Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ΠΈ элСктронной ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΊΠΈ, матСматичСская модСль ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚:

— ΡƒΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ поля, (1)

— ΡƒΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ двиТСния частиц, (2)

— ΡƒΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ нСразрывности ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ°. (3)

Π—Π΄Π΅ΡΡŒ U — ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π», — ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ заряда, m, e — масса ΠΈ Π·Π°Ρ€ΡΠ΄ элСктрона, Π• — Π½Π°ΠΏΡ€ΡΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ элСктричСского поля, Π’ — индукция ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ поля, V — ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ частицы.

БовмСстноС Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡƒΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ (1) — (3) выполняСтся ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ. Π’ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ производится расчСт поля элСктронной ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ Π±Π΅Π· ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚Π° пространствСнного заряда. На Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… приблиТСниях внСшнСС ΠΏΠΎΠ»Π΅ ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΠΈ Ρ€Π°ΡΡΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ с ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ пространствСнного заряда. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ продолТаСтся Π΄ΠΎ Ρ‚Π΅Ρ… ΠΏΠΎΡ€, ΠΏΠΎΠΊΠ° Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ n-Π³ΠΎ приблиТСния Π½Π΅ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ достаточно Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈ ΠΊ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π°ΠΌ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ (n+1)-Π³ΠΎ приблиТСния. Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ критСрия сходимости процСсса ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΡΠ»ΡƒΠΆΠΈΡ‚ΡŒ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ измСнСния Ρ€Π°Π΄ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚ r ΠΈ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚Π΅ΠΉ Vr ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… элСктронов Π² ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅ расчСтной области ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ:

. (4)

Π³Π΄Π΅ — заданная ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ расчСта Ρ‚Ρ€Π°Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΠΉ.

РаспрСдСлСниС пространствСнного заряда Π² ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ΅ учитываСтся с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ дискрСтной ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΈΠ· Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… элСмСнтов. Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ разбиваСтся Π² ΠΏΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠΌ сСчСнии Π½Π° ΡΠ»ΠΎΠΈ. Π€ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ элСмСнтов проводится ΠΈΠ· ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ получСния ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ заряда ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ элСмСнта, ΠΈ ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ слоя. ΠŸΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ слоСв с ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ Π½Π΅Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ распрСдСлСния плотности Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π½Π° ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ.

Заряд Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ элСмСнта находится ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅:

Π³Π΄Π΅ I0 — Ρ‚ΠΎΠΊ Π»ΡƒΡ‡Π°; Nсл — число слоСв; t — шаг интСгрирования.

РазнСсСниС ΠΏΠΎ ΡƒΠ·Π»Π°ΠΌ сСтки заряда Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ элСмСнта производится с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ разбиСния Π΅Π³ΠΎ Π½Π° ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ частицы ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊ Π½ΠΈΠΌ Π°Π»Π³ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΠΌΠ° «Ρ‡Π°ΡΡ‚ΠΈΡ†Π° Π² ΡΡ‡Π΅ΠΉΠΊΠ΅».

Π’ΠΎΠΊ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° опрСдСляСтся суммированиСм Ρ‚ΠΎΠΊΠΎΠ² с ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ€Π½Ρ‹Ρ… участков ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π°:

(5)

Π³Π΄Π΅ М — число Π΄Ρ€ΠΎΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ ΡΠΌΠΈΡ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ повСрхности ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π°.

Π’ΠΎΠΊΠΈ с ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ€Π½Ρ‹Ρ… участков Π²Ρ‹Ρ‡ΠΈΡΠ»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎ Π½Π°ΠΉΠ΄Π΅Π½Π½ΠΎΠΌΡƒ ΠΈΠ· ΡƒΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ (1) Ρ€Π°ΡΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»Π° Π²Π±Π»ΠΈΠ·ΠΈ повСрхности ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π° с ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π·Π°ΠΊΠΎΠ½Π° «ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ 3/2» для плоского Π΄ΠΈΠΎΠ΄Π°:

(6)

Π³Π΄Π΅ Um — ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π» Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ, Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ‰Π΅ΠΉ ΠΏΠΎ Π½ΠΎΡ€ΠΌΠ°Π»ΠΈ Π½Π°ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ² Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π° элСмСнтарного участка Π½Π° Ρ€Π°ΡΡΡ‚оянии d ΠΎΡ‚ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π°,

Sm — ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ элСмСнтарного участка ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π°.

Для ускорСния сходимости ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ примСняСтся ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΏΠΎ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Ρƒ Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΉ рСлаксации:

(7)

Π³Π΄Π΅ In, In-1 — Ρ‚ΠΎΠΊΠΈ Π½Π° n-ΠΎΠΌ ΠΈ (n-1)-ΠΎΠΌ приблиТСниях; i<1 — ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΉ рСлаксации.

РасчСт элСктричСских ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΉ, описываСмых ΡƒΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ (1), проводится ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½Ρ‹Ρ… разностСй с ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΡ‚Π΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Ρ‹ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½Π΅ΠΉ рСлаксации. Π’ Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΡƒΠ·Π»Π°Ρ… сСтки, находящихся Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄Π°Ρ… ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ, задаСтся условиС Π”ΠΈΡ€ΠΈΡ…Π»Π΅, Π° Π½Π° ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Ρ… участках — условиС НСймана.

Π£Ρ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ двиТСния (2) для ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… элСктронов Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π ΡƒΠ½Π³Π΅-ΠšΡƒΡ‚Ρ‚Π° 4-Π³ΠΎ порядка с Π°Π²Ρ‚оматичСским Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ΠΎΠΌ шага интСгрирования. ΠΠ°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ условия — стартовыС ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… элСктронов Π½Π° ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ — ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ слоСв.

НСобходимыС для Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ уравнСния (2) ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ напряТСнности элСктричСского поля находятся ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌ Π±Π»ΠΈΠΆΠ°ΠΉΡˆΠΈΡ… ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² сСтки с ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ числСнного диффСрСнцирования. Π‘ΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΈΠ½Π΄ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ поля Ρ€Π°ΡΡΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π°ΠΌ:

,

Π³Π΄Π΅ B (z) — извСстноС распрСдСлСниС ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½Π΄ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ Π½Π° ΠΎΡΠΈ ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ.

4. ΠŸΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ расчСт

Π’ΠΠ Π˜ΠΠΠ’ № 18

PΠ²Ρ‹Ρ…,ΠΊΠ’Ρ‚

ср, см

f / fср,%

20,5

11,2

1,4

a. ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΠΌ fср :

[ Π“Π“Ρ† ].

b. Π—Π°Π΄Π°Π΄ΠΈΠΌ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠšΠŸΠ” :

Ссли 5 ΡΠΌ < ср < 15 ΡΠΌ, Ρ‚ΠΎ 50% < max < 70%. Π’Ρ‹Π±Π΅Ρ€Π΅ΠΌ max = 60%.

c. ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΠΌ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠΉ ΠšΠŸΠ” :

.

d. ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΠΌ ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ источника питания :

[Π’Ρ‚].

e. ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΠΌ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ микропСрвианса, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΡƒΡŽ полосу пропускания :

[мкА/Π’3/2].

f. РассчитаСм ΡƒΡΠΊΠΎΡ€ΡΡŽΡ‰Π΅Π΅ напряТСниС :

[ΠΊΠ’].

g. ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΠΌ Ρ‚ΠΎΠΊ Π»ΡƒΡ‡Π° :

[А].

h. По Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π½Π½ΠΎΠΌΡƒ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ a ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΠΌ радиус ΠΏΡ€ΠΎΠ»Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±Ρ‹ Π°, см.

Π’Ρ‹Π±Π΅Ρ€Π΅ΠΌ a ΠΈΠ· ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π²Π°Π»Π° 0,4…1,0. МСньшиС значСния относятся ΠΊ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ клистронам, большиС — ΠΊ ΠΊΠ»ΠΈΡΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π°ΠΌ сантимСтрового Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π°: a = 0,9.

Для опрСдСлСния радиуса ΠΏΡ€ΠΎΠ»Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±Ρ‹, рассчитаСм Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρƒ ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅:

.

НайдСм a :

[см].

i. ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΠΌ радиус Π»ΡƒΡ‡Π° :

Для этого Π²Ρ‹Π±Π΅Ρ€Π΅ΠΌ коэффициСнт заполнСния Кз ΠΈΠ· ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π²Π°Π»Π° 0,5…0,8.

Кз = 0,8.

РассчитаСм радиус Π»ΡƒΡ‡Π° :

[см].

j. РассчитаСм ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π»ΡƒΡ‡Π° :

[А/см2].

k. Π’Ρ‹Π±Π΅Ρ€Π΅ΠΌ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ коэффициСнта сходимости Ак, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ являСтся тангСнсом ΡƒΠ³Π»Π° Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π° ΠΎΠ³ΠΈΠ±Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° Π½Π° ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅, ΠΈΠ· ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π²Π°Π»Π° -1,8… -2,4 :

Ак = -2.

l. Π’Ρ‹Π±Π΅Ρ€Π΅ΠΌ коэффициСнт ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ поля Π½Π°Π΄ Π±Ρ€ΠΈΠ»ΡŽΡΠ½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΠΌ NΠ±Ρ€ ΠΈΠ· ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π²Π°Π»Π° 1,3…1,7:

NΠ±Ρ€ = 1,5.

5. Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ проСктирования ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ синтСза

Π’ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ проСктирования вводились исходныС Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅:

P = 1,12 [мкА/Π’3/2] - микропСрвианс;

b = 0,32 [см] - радиус Π»ΡƒΡ‡Π°;

NΠ±Ρ€ = 1,5 — коэффициСнт ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ поля Π½Π°Π΄ Π±Ρ€ΠΈΠ»ΡŽΡΠ½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΠΌ ;

KΠ· =0,8 — коэффициСнт заполнСния;

AΠΊ = -2 — коэффициСнт сходимости;

U0 = 16,1 [ΠΊΠ’] - ΡƒΡΠΊΠΎΡ€ΡΡŽΡ‰Π΅Π΅ напряТСниС;

ΠŸΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ° синтСза Π²Ρ‹Π΄Π°Π»Π° ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹:

— Π’Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹:

Pm= 1.120 RΠΊΡ€ (см)= 2.46 BΠΊ (Гс)= 6.4 NΠ±Ρ€=1.50

UΠΎ (Π’)= 16 100.0 RΠ½ (см)= 1.75 B (см)= 0.32 AΠΊ=-2.00

JΠΊ (А/см*см)= 0.41 BΠ±Ρ€ (Гс)= 345.90 Кs= 29.90 KΠ·=0.80

— Π­ΡΠΊΠΈΠ· ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ:

6. Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ проСктирования ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°.

ΠŸΡ€ΠΈ проСктирования ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° вводились исходныС Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅:

Π”Π»ΠΈΠ½Π° ΠΏΡƒΡˆΠΊΠΈ (cΠΌ)…Zu= 7.500

НапряТСниС (Π’)…Uo= 16 100.000

Число Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ 2-Π³ΠΎ порядка… N2= 1.000

Число Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ 1-Π³ΠΎ порядка… N1= 7.000

Π¨Π°Π³ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ поля (cΠΌ)…HΠΌ= .500

Число Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅ΠΊ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ поля. NΠΌ= 16.000

Π’ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ поля: 6.4 7.5 8.6 12. 18. 30. 45. 60. 95. 130. 175. 225. 300. 375. 430. 480.

Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ проСктирования Π±Ρ‹Π»Π° Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π½Π° ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ гСомСтрия элСктродов:

Линия№ 1 ZΠ½, YΠ½, ZΠΊ, YΠΊ, UΠ½, Zo, Yo, Ro: 0, 0, 0.9, 1.90, 0, 2.46,0, 2.46

Линия№ 2 ZΠ½, YΠ½, ZΠΊ, YΠΊ, UΠ½:… -0.2, 1.90, 0.9, 1.90, 0

Линия№ 3 ZΠ½, YΠ½, ZΠΊ, YΠΊ, UΠ½:… -0.20, 2.15, 2.00, 2.15, 0

Линия№ 4 ZΠ½, YΠ½, ZΠΊ, YΠΊ, UΠ½:… 2.00, 2.15, 2.00, 6.00, 0

Линия№ 5 ZΠ½, YΠ½, ZΠΊ, YΠΊ, UΠ½:… 3.10, 6.00, 3.10, 1.60, 1.00

Линия№ 6 ZΠ½, YΠ½, ZΠΊ, YΠΊ, UΠ½:… 3.10, 1.60, 6.00, 0.40, 1.00

Линия№ 7 ZΠ½, YΠ½, ZΠΊ, YΠΊ, UΠ½:… 6.00, 0.40, 8.00, 0.40, 1.00

Линия№ 8 ZΠ½, YΠ½, ZΠΊ, YΠΊ, UΠ½:… 8.00, 0.40, 8.00, 0, 1.00,

которая ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π° Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 6.1. ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ Ρ‚ΠΎΠΊ I0=2,32 А ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π²Π΅Π°Π½Ρ мкА/Π’3/2.

1. «ΠœΠ°Ρ‚СматичСскиС ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ ΠΈ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ элСктронных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² «. ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ указания ΠΊ Π»Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π½Ρ‹ΠΌ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΠΌ. Под Ρ€Π΅Π΄Π°ΠΊΡ†ΠΈΠ΅ΠΉ Π’. К. ЀСдяСва. № 2143. Рязань 1993. 60 с.

2. Π‘. И. Молоковский А.Π”. Π‘ΡƒΡˆΠΊΠΎΠ². «Π˜Π½Ρ‚СнсивныС элСктронныС ΠΈ ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΈ». М.: Π­Π½Π΅Ρ€Π³ΠΎΠ°Ρ‚ΠΎΠΌΠΈΠ·Π΄Π°Ρ‚, 1991. — 304 с.

3. А. А. Π–ΠΈΠ³Π°Ρ€Π΅Π² Π“. Π“. Π¨Π°ΠΌΠ°Π΅Π²Π°. «Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΠΎ-Π»ΡƒΡ‡Π΅Π²Ρ‹Π΅ ΠΈ Ρ„отоэлСктронныС ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹». М.: Π’Ρ‹ΡΡˆΠ°Ρ школа, 1982. — 463с.

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ