ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ изготовлСния многослойных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°ΡΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

ΠΠ΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² Π΄Π°Π»ΡŒΠ½Π΅ΠΉΡˆΠ΅ΠΉ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°Ρ‚ΡŽΡ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ элСктронной Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ (ΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ‚Π΅Π»Π΅Ρ„ΠΎΠ½Ρ‹, Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈ Π²ΠΈΠ΄Π΅ΠΎΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹, ΠΏΠΎΡ€Ρ‚Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΡ…Ρ€Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ систСмы ΠΈ Ρ‚. ΠΏ.) ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π»Π° ΠΊ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡŽ конструкций ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ с Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ мСТсоСдинСний, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡƒΠ½Π°Ρ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠΊΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ HDIHigh Density Interconnections. Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° этого ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° прСдставляСт собой ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, ΡΠΎΡΡ‚ΠΎΡΡ‰ΡƒΡŽ… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ изготовлСния многослойных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ изготовлСния многослойных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ изготовлСния многослойных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ (МПП) постоянно ΡΠ²ΠΎΠ»ΡŽΡ†ΠΈΠΎΠ½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚, ΠΏΡ€ΠΈ этом явно Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Π΅Ρ‚ΡΡ гСгСлСвская Π΄ΠΈΠ°Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠΊΠ° развития ΠΏΠΎ ΡΠΏΠΈΡ€Π°Π»ΠΈ: Π²ΠΎΠ·Π²Ρ€Π°Ρ‚ ΠΊ ΡΡ‚Π°Ρ€ΠΎΠΌΡƒ Π² Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΌ качСствС. Π’Π°ΠΊ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ послойного наращивания, ΡƒΡΡ‚ΡƒΠΏΠΈΠ²ΡˆΠΈΠΉ Π² ΡΠ²ΠΎΠ΅ врСмя пСрвСнство ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρƒ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий, вСрнулся ΠΊΠ°ΠΊ способ наращивания слоСв с Π³Π»ΡƒΡ…ΠΈΠΌΠΈ отвСрстиями. А ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠΏΠ°Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ прСссования ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡƒΠ²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ Ρ„Ρ€Π°Π³ΠΌΠ΅Π½Ρ‚ изготовлСния МПП со ΡΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹ΠΌΠΈ мСТслойными ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ описаниС ΠΏΡ€Π΅ΠΆΠ½ΠΈΡ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² изготовлСния МПП, это Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚ΠΎ дань уваТСния истории Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ, Π° Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π²ΠΎΠ·Π²Ρ€Π°Ρ‚Π° ΠΊ Π½ΠΈΠΌ Π² Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… комбинациях. Мало Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Π² Ρ€ΡΠ΄Π΅ ΡƒΡΠΏΠ΅ΡˆΠ½ΠΎ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… элСктронных систСм эти ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ Π΄ΠΎ ΡΠΈΡ… ΠΏΠΎΡ€ ΠΏΡ€ΠΈΡΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚, ΠΈ Π½ΠΈΠΊΡ‚ΠΎ Π½Π΅ ΡΠΎΠ±ΠΈΡ€Π°Π΅Ρ‚ся ΠΈΡ… ΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ Π½Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π°.

Π§Ρ‚ΠΎ касаСтся Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ², Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ Π½Π΅ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ½ΠΎ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄Π²ΠΈΠ³Π°Ρ‚ΡŒΡΡ вслСд Π·Π° ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ элСмСнтной Π±Π°Π·Ρ‹, ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΅Π΅ Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚ΠΎΠ² ΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΡ‹. Если Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ эту ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡƒ с ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΉ российской Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ, Ρ‚ΠΎ Π²ΡΠ»Π΅Π΄ Π·Π° ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€Π΅ΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠΎΠ² развития российской микроэлСктроники ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΡΡ‚ΡŒ всю ΠΎΡ‚Π΅Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΡƒΡŽ ΠΈΠ½Π΄ΡƒΡΡ‚Ρ€ΠΈΡŽ, Ссли Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ отставаниС Π² Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΈΡ… тСхнологиях ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Π² ΡΡ‚ΠΎΡ‚ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π» Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½Ρ‹ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹, ΠΈ ΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ изготовлСния МПП, ΡƒΠΆΠ΅ ΠΎΠ±ΡΡƒΠΆΠ΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ΡΡ ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΎΠ² ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠΏΠ°Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ прСссования

Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ изготовлСния многослойных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ основан Π½Π° Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ мСТслойных соСдинСний посрСдством ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ отвСрстий ΠΏΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΡƒ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹Ρ… двусторонних ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚. Π‘Ρ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π° МПП, рСализуСмая этим ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 1.17. Для изготовлСния МПП ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π΄Π²Π΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈΠ· Π΄Π²ΡƒΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ½Π½Π΅Π³ΠΎ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ диэлСктрика. На ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ сторонС ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ фотохимичСским способом ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ схСмы Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоСв — Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒΠ΅Π³ΠΎ. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ свСрлятся ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ отвСрстия мСТслойных ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ², со Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ ΠΈ Ρ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒΠ΅Π³ΠΎ Π½Π° Ρ‡Π΅Ρ‚Π²Π΅Ρ€Ρ‚Ρ‹ΠΉ слой. ΠŸΡ€ΠΈ элСктрохимичСской ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий, для элСктричСского соСдинСния с ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π²Π°Π½Π½Ρ‹ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ цСликовая Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π° Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰ΠΈΡ… Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоСв. Π—Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ с Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΌΠΈ слоями ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΡΠΏΡ€Π΅ΡΡΠΎΠ²Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ. ВыдавлСнная ΠΏΡ€ΠΈ прСссовании смола заполняСт ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ отвСрстия, защищая, Ρ‚Π΅ΠΌ самым, ΠΈΡ… ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠ΅ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΎΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ Ρ…имичСского воздСйствия ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… тСхнологичСских ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ, Π² Ρ‚ΠΎΠΌ числС ΠΎΡ‚ Ρ‚равлСния. ПослС прСссования Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° МПП обрабатываСтся Ρ‚Π°ΠΊ ΠΆΠ΅, ΠΊΠ°ΠΊ двусторонняя пСчатная ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°, — ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ с ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π° Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоях. НуТно ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹ΠΉ слой МПП ΠΏΠΎΠΏΠ°Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ прСссования Π΄Π²Π°ΠΆΠ΄Ρ‹ подвСргаСтся ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ: ΠΏΡ€ΠΈ осаТдСнии ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π² ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ отвСрстия ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий, ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Π΅ слои. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоСв, считая ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡƒΡŽ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Ρƒ, достигаСт 130—160 ΠΌΠΊΠΌ. Π­Ρ‚ΠΎ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΎ сниТаСт Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоСв, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ Π½Π΅Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ Π½Π΅ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ качСства ΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚ности ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΡ€ΠΈ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠΊΡ€ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π»Π°ΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ затруднСния Π² ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия: Π»Π°ΠΊ стСкаСт с Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², обнаТая ΠΈΡ… ΠΎΡΡ‚Ρ€Ρ‹Π΅ ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠΊΠΈ.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠΏΠ°Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ прСссования ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ МПП с Ρ‡ΠΈΡΠ»ΠΎΠΌ слоСв Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅Ρ…, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π΅ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°.

ΠŸΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π°ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° являСтся ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ простота Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ ΠΎΠ½ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ Π½Π° ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ отвСрстий двусторонних ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚, Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ освоСнной Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ. Однако прСссованиС Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΠΏΡ€ΠΈ нСдостаточной ТСсткости исходного ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, ΠΊ ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π·Π°ΠΌ соСдинСний.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ ΠΈ Π²Ρ‹ΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ²

Π‘ΡƒΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² ΠΏΡ€Π΅ΡΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… слоСв с ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΎΠΊΠ½Π°ΠΌΠΈ для доступа ΠΊ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΌ слоям. ΠœΠ΅ΠΆΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Π΅ соСдинСния, ΠΊΠ°ΠΊ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅, Π² ΡΡ‚ΠΈΡ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°Ρ… изготовлСния ΠΎΡ‚ΡΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ, ΠΏΡ€ΠΈΠ½Π°Π΄Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ‰ΠΈΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Ρ†Π΅ΠΏΠΈ, Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ слоС.

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ МПП ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ слои. БоСдинСния Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² навСсных элСмСнтов с ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоСв ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΠΊΠ½Π° Π²Ρ‹ΡˆΠ΅Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ‰ΠΈΡ… слоСв, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 1.18. Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ этого Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΈΠΉ слой ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ доступ ΠΊΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌ Π½ΠΈΠΆΠ½ΠΈΠΌ слоям. ΠžΡ‡Π΅Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, Π½ΠΈΠΆΠ½ΠΈΠΉ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΉ слой ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ для трассировки ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… Ρ†Π΅ΠΏΠ΅ΠΉ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ, Π° Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΈΠΉ Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹ΠΉ слой ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π½Π°ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ для трассировки ΠΈ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠ΅Π΅ количСство ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, ΠΏΡ€ΠΈ использовании ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоСв ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ограничСния, связанныС с Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ для осущСствлСния соСдинСний. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ слойности МПП, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ, Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ пяти становится Π½Π΅ Ρ†Π΅Π»Π΅ΡΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹ΠΌ. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ограничСния ΠΎΡ‚ΡΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ для ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° Π²Ρ‹ΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ².

Π€ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ стСклоткани Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоСв ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ МПП ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π²Ρ‹ΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² производится самим ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΌ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π²Ρ‹ΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ Π²Ρ‹Ρ…одят ΠΈΠ· Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоСв Π² ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΠΊΠ½Π°. ПослС склСивания ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоСв Π²Ρ‹ΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π² ΠΎΠΊΠ½Π° Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΎΡ‚Π³ΠΈΠ±Π°ΡŽΡ‚ Π½Π° Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΠ΄ ΠΊΡ€Π΅ΠΏΡΡ‰ΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ΄ΠΊΡƒ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 1.19, Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΠΏΠ°ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΊ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌ Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя. Окна Π² ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ для размСщСния микросхСм. Из ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠΊΠ½Π° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π² ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅, Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌ числу Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² микросхСм.

Оба этих ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ простотой ΠΈ ΡΡ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΈΠΌ тСхнологичСским Ρ†ΠΈΠΊΠ»ΠΎΠΌ. Однако Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² радиоэлСмСнтов Π½Π° Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½ΡƒΡŽ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρƒ ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ° Π² ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΠΊΠ½Π° ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ°ΡŽΡ‚ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ для ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΡ€ΠΈ этом ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ сущСствуСт ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° Ρ‡ΠΈΡΠ»ΠΎ слоСв (Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 5…7), Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ большСС ΠΈΡ… Ρ‡ΠΈΡΠ»ΠΎ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρƒ ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΡƒ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ Π½Π΅Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΠΉ.

Π’ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ², ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π²Ρ‹ΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ…-Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌΡƒ количСству слоСв. Но ΡΠΎΡΡ€Π΅Π΄ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π² ΡƒΠ·ΠΊΠΈΡ… ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΏΠ»Π΅Ρ‚Π°Ρ… ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΎΠΊΠΎΠ½ создаСт большиС пСрСкрСстныС ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ…ΠΈ ΠΈ, Ρ‚Π΅ΠΌ самым, ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ трассировочныС возмоТности ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ². Наряду с ΡΡ‚ΠΈΠΌ нСдостатком, слСдуСт ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΡΡ‚ΡŒ Π²ΠΎ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ затруднСния Π² Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΈ Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π²Ρ‹ΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… ΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° ΠΎΠΊΠ½Π°.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ послойного наращивания

Π˜Π·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ МПП этим ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ слоя изоляции ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка. БоСдинСния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ проводящими элСмСнтами ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… слоСв производятся Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π½Π°Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π² ΠΎΡ‚вСрстиях слоя изоляции. Випичная структура МПП, рСализуСмая этим ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 1.20.

Π˜Π·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ начинаСтся с ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π΅ΠΉΠΊΠΈ ΠΊ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π΅ изоляционной ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠΈ с ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„орациями Π² ΠΌΠ΅ΡΡ‚Π°Ρ… Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰ΠΈΡ… мСТслой-Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ². На Π²ΡΠ΅Ρ… опСрациях изготовлСния МПП ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ послойного наращивания эта Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π° осущСствляСт соСдинСниС ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… повСрхностСй с ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π²Π°Π½Π½Ρ‹. На ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠΌ этапС Π½Π° Π½Π΅ΠΉ Π²Ρ‹Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ рисунок Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ слоя.

ПослС изготовлСния ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ ΠΈΡ… ΠΏΠ»Π°Π½Π°-Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π² ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ с Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΠΊΠΎΠΌ, Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ мСТслойной изоляции ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠ°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ рисунок слоя. На ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ слой проводящСго рисунка Π½Π°ΠΏΡ€Π΅ΡΡΠΎΠ²Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ слой ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ изоляции ΠΈ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π°Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ слои проводящСго рисунка ΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡ†ΠΈΠΈ с ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ.

Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ мСТслойной изоляции ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹ стСк-лотСкстолитовыС ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠΈ с ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„орациями Π² ΠΌΠ΅ΡΡ‚Π°Ρ… мСТслойных ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ, отвСрстия Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… химичСски Π²Ρ‹Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π² Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… мСстах.

ΠšΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ слоСв МПП ΠΏΡ€ΠΈ послойном Π½Π°Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΏΡΡ‚ΡŒΡŽ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ слоя связано с ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΊΡ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ тСрмичСскими (ΠΏΡ€ΠΈ прСссовании) ΠΈ Ρ…имичСскими воздСйствиями Π½Π° ΡƒΠΆΠ΅ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ слои.

ΠŸΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎΠΌ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° изготовлСния МПП являСтся ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ высокая ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ выполнСния мСТслойных ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π² Π»ΡŽΠ±ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠ΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, нСзависимо ΠΎΡ‚ Ρ‚рассировки ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΡ‚ополоТСния мСТслойных соСдинСний смСТных слоСв. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, мСТслойныС ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ нСзависимо Π΄Ρ€ΡƒΠ³ ΠΎΡ‚ Π΄Ρ€ΡƒΠ³Π°, ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π»ΡŽΠ±Ρ‹ΠΌΠΈ слоями Π² Π»ΡŽΠ±ΠΎΠΉ Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠ΅.

Π’Π²ΠΈΠ΄Ρƒ нСобходимости строгой ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ выполнСния ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ, процСсс изготовлСния МПП ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ послойного наращивания ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ тСхнологичСский Ρ†ΠΈΠΊΠ». ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, этот процСсс Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π° изготовлСния, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ любой производствСнный Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚, Π΄ΠΎΠΏΡƒΡ‰Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π½Π° ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΡ… слоях, ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Π±Ρ€Π°ΠΊΡƒ всСй ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. ИспользованиС этого ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° для изготовлСния МПП создаСт Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ тСхнологичСскиС трудности ΠΏΡ€ΠΈ очисткС отвСрстий ΠΏΠΎΠ΄ мСТслойныС ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΎΡ‚ Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΊΠΎΠ² клСя, ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ контроля ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ отвСрстия Π½Π° ΠΎΡ‚сутствиС загрязнСний, ΡΠΎΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Ρ‹Π²Π°Π½ΠΈΡ Π²Ρ€ΡƒΡ‡Π½ΡƒΡŽ Π²Ρ‹ΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π½Π°Π΄ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ столбиков ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ мСТслойных соСдинСний Π΄ΠΎ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Ρ повСрхности изоляции ΠΈ Π΄Ρ€. ΠŸΠΎΠΏΡ‹Ρ‚ΠΊΠΈ Π² ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ-Ρ‚ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ эти ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ‚ ΠΊ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌΡƒ эффСкту. ΠžΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΡ… осаТдСний Π² Ρ‚олстых слоях ΠΈ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ элСктролитов с ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ диэлСктриков приводят ΠΊ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…одимости постоянной Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ очистки элСктролитов ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΎΡ‚вращСния попадания Π² Π²Π°Π½Π½Ρƒ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π½Π΅Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… загрязнСний, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΌ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²Ρ‹Π·Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π· соСдинСний ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρƒ. Для обСспСчСния постоянных условий ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ часто, Ρ‡Π΅ΠΌ для Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… случаСв, ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ химичСский Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·, ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΡƒ ΠΈ ΠΎΡ‡ΠΈΡΡ‚ΠΊΡƒ растворов Π²Π°Π½Π½.

Врудности послойного наращивания Π² ΡΠΎΡ‡Π΅Ρ‚Π°Π½ΠΈΠΈ с Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π²Ρ‹Π΄Π΅Π»ΠΈΠ»ΠΈ этот ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ для изготовлСния ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… МПП Π² Π»Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π½ΠΎΠΌ производствС с Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΉ тСхнологичСской ΠΊΡƒΠ»ΡŒΡ‚ΡƒΡ€ΠΎΠΉ. Π’Π½Π΅Π΄Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ этого ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° Π² ΡΠ΅Ρ€ΠΈΠΉΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΎΡΠ΅Ρ€ΠΈΠΉΠ½ΠΎΠ΅ производство Π·Π°Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½Π΅Π½ΠΎ.

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ этого ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠΎΠΏΡ€Π°Π²Π΄Π°Π½ΠΎ для создания Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ с Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ. НапримСр, ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ космичСского транспорта ΠΈ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ базирования, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ этим ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π»ΠΈ Π½ΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π·Π° Π·Π° Π²ΡΠ΅ врСмя использования с 80-Ρ… Π³ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΎΡˆΠ»ΠΎΠ³ΠΎ столСтия.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ изготовлСния МПП ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ элСктрохимичСской ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий состоит Π² ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоСв химичСским ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, прСссовании слоСв Π² ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚, свСрлСнии сквозных отвСрстий ΠΈ ΠΈΡ… ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ. ΠŸΡ€ΠΈ свСрлСнии Π½Π° ΡΡ‚Π΅Π½ΠΊΠ°Ρ… отвСрстий Π²ΡΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Ρ‹ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоСв. БоСдинСния ΠΈΡ… Π΄Ρ€ΡƒΠ³ с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΌ ΠΈ Ρ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоСв ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ отвСрстий.

Випичная структура МПП, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий, ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 1.21. ΠŸΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ всС отвСрстия Π² ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ сквозными, ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ мСТсоСдинСний нСсколько ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½Π°, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ΅ отвСрстиС ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Π΅Π³ΠΎ соСдинСния Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Ρ€Π°Π· ΠΈ Π² Ρ‚ΠΎ ΠΆΠ΅ врСмя Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ‚ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ слоС, ограничивая свободу трассировки ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… Ρ†Π΅ΠΏΠ΅ΠΉ. Вводя ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡƒΡ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠ΅ соСдинСния ΠΈΠ»ΠΈ сквозныС отвСрстия для Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏ слоСв, ΠΊΠ°ΠΊ это схСматичСски ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 1.22, мСТслойныС соСдинСния ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Ρ‚ΡŒ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ Π½Π°Π΄ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Ρ‚Π΅ΠΌΠΈ слоями, Π³Π΄Π΅ ΠΎΠ½ΠΈ Π½ΡƒΠΆΠ½Ρ‹, Π½Π΅ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Ρ трассировку ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… Ρ†Π΅ΠΏΠ΅ΠΉ Π½Π° Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… слоях. Π˜Π·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ МПП ΠΏΠΎ ΡΡ…Π΅ΠΌΠ°ΠΌ, прСдставлСнным Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 1.22, обСспСчиваСт Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ свободу Π² Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ мСсторасполоТСния Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… соСдинСний ΠΈ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΉ трассировки ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ мСТсоСдинСний.

ВСхнологичСский процСсс изготовлСния МПП ΠΏΠΎ ΡΡ‚ΠΈΠΌ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚Π°ΠΌ, Π² Ρ‚Π΅Ρ… случах услоТняСтся, Π½ΠΎ, Ρ‚Π΅ΠΌ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅, это оказываСтся ΠΎΠΏΡ€Π°Π²Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ способы уплотнСния ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° приводят ΠΊ Π΅Ρ‰Π΅ большим тСхнологичСским трудностям.

Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° тСхнологичСского процСсса изготовлСния многослойных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 1.23.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий, ΠΏΠΎ-сущСству СдинствСнный ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ создания конструкций с Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ элСктричСской структурой, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΡƒΡŽ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡Ρƒ наносСкундных ΠΈΠΌΠΏΡƒΠ»ΡŒΡΠΎΠ² ΠΈ Ρ€Π°ΡΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ питания ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ элСмСнтами. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ конструкции МПП ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ Ρ†Π΅ΠΏΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ полосковыС Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡ ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ эффСктивноС экранированиС ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΡ‹ Ρ†Π΅ΠΏΠ΅ΠΉ ΠΎΡ‚ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ. Показанная для ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π° Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 1.24 типичная структура 8-слойной МПП содСрТит 4 ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… слоя ΠΈ 2 слоя питания. Π¦Π΅ΠΏΠΈ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… слоСв ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΠΎΡ€Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ располоТСниС ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Ρ‚. Π΅. прСимущСствСнноС Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ вдоль ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· ΠΎΡΠ΅ΠΉ ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚: X ΠΈΠ»ΠΈ Π£. Π‘Π»ΠΎΠΈ питания ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ собой Ρ†Π΅Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡƒΡŽ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Ρƒ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ сСтку с ΠΎΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ Π² ΠΌΠ΅ΡΡ‚Π°Ρ… сквозных ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий. Π’ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠ°Ρ… соСдинСния ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ отвСрстия с Ρ†Π΅ΠΏΡŒΡŽ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Π΅Π³ΠΎ слоя Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΡƒ. Π‘Π»ΠΎΠΈ питания ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ элСктричСских экранов.

На Ρ€ΠΈΡ. 1.25 для ΠΈΠ»Π»ΡŽΡΡ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ структуры МПП ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ Ρ„Ρ€Π°Π³ΠΌΠ΅Π½Ρ‚ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡˆΠ»ΠΈΡ„Π° сквозного ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ отвСрстия.

Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, наряду с Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ МПП, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°, большоС количСство Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚ΠΎΠ² трассировки ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… Ρ†Π΅ΠΏΠ΅ΠΉ, Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ связСй, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ элСктричСского экранирования, ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ характСристик, связанноС с ΡƒΡΡ‚ΠΎΠΉΡ‡ΠΈΠ²ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΊ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСды Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ располоТСния всСх ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π² ΠΌΠ°ΡΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ диэлСктрика, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ увСличСния числа слоСв Π±Π΅Π· сущСствСнного увСличСния стоимости ΠΈ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ процСсса.

НСдостатком ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° являСтся ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ мСханичСски слабая связь ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ отвСрстий с Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Π°ΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоСв. Π˜Π·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ МПП этим ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ослоТнСно ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ совмСщСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… слоСв ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΏΠΎΠ³Ρ€Π΅ΡˆΠ½ΠΎΡΡ‚Π΅ΠΉ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΉ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ изготовлСния Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоСв ΠΈ ΠΏΡ€Π΅ΡΡΠΎΠ²Π°Π½Ρ. Особой Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ΄Π±ΠΎΡ€ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠΎΠ² прСссования для обСспСчСния ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° слоСв, устойчивой ΠΊ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ. И, Π½Π°ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ†, впроцСссС использования МПП Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‚Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ, ΠΏΡ€ΠΈ внСсСнии ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ Π² Ρ‚рассировку ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚.

МПП с ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ

ОбоснованиС нСобходимости

Для МПП со ΡΠΊΠ²ΠΎΠ·Π½Ρ‹ΠΌΠΈ отвСрстиями Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π΅Π½ нСдостаток, состоящий Π² Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…одимости раздСлСния ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ, ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… отвСрстия, ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ для присоСдинСния Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². Π­Ρ‚ΠΎ обусловлСно ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡ΠΊΠΎΠΉ припоя Π² ΡΠΊΠ²ΠΎΠ·Π½Ρ‹Π΅ отвСрстия, Ссли ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ, ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ отвСрстия, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ для ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ.

На Ρ€ΠΈΡ. L.26 ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ конструкции элСмСнтов присоСдинСния, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° МПП ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ с ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ.

МПП со ΡΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π½Π° Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоях

Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° изготовлСния МПП со ΡΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. МоТно ΡƒΠ²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΡΡ‚ΠΎΠΉ схСмС Π΅ΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΏΠ°Ρ€Π½ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΡ€Π΅ΡΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ. ΠžΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ лишь Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ внСшнСго слоя Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΡ‚ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π½Π΅ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π½Π° Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… слоях. Для этого отвСрстия Π² ΡΠ»ΠΎΠ΅ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ Π½Π΅ ΡΠΊΠ²ΠΎΠ·Π½Ρ‹ΠΌΠΈ, Π° Π³Π»ΡƒΡ…ΠΈΠΌΠΈ. НС Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΎ ΡƒΠ²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π²Ρ‹ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΡ‚ΡŒ Π³Π»ΡƒΡ…ΠΎΠ΅ отвСрстиС Π² Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΌ основании Π½Π° Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΡƒΡŽ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Ρƒ, Π½Π΅ ΠΏΠΎΡ€Π²Π°Π² Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ слой с ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΈΠ· Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π° ΠΈ ΠΎΡ‚вСрстия Π²Ρ‹Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΡ‚Π°ΠΌ, Π³Π΄Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ отвСрстия.

НуТно ΡΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ тСхнология изготовлСния МПП со ΡΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ вытСсняСтся ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ послойного наращивания ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий.

ΠšΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°Ρ†ΠΈΡ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ наращивания

ΠΠ΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² Π΄Π°Π»ΡŒΠ½Π΅ΠΉΡˆΠ΅ΠΉ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°Ρ‚ΡŽΡ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ элСктронной Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ (ΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ‚Π΅Π»Π΅Ρ„ΠΎΠ½Ρ‹, Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈ Π²ΠΈΠ΄Π΅ΠΎΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹, ΠΏΠΎΡ€Ρ‚Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΡ…Ρ€Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ систСмы ΠΈ Ρ‚. ΠΏ.) ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π»Π° ΠΊ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡŽ конструкций ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ с Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ мСТсоСдинСний, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡƒΠ½Π°Ρ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠΊΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ HDIHigh Density Interconnections. Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° этого ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° прСдставляСт собой ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, ΡΠΎΡΡ‚ΠΎΡΡ‰ΡƒΡŽ ΠΈΠ· ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚овлСния МПП, напрСссовывания Π½Π° Π½Π΅Π΅ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ слоСв с ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 1.28. Π‘Ρ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Ρƒ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π°ΡŽΡ‚ количСством слоСв МПП, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… ΠΏΠΎ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΈ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎΠΌ послойно Π½Π°Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… слоСв с ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ. НапримСр, структура «2 + 4 + 2» ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π°Π΅Ρ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ основы ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ 4-слойная МПП, ΠΈ Π½Π° Π½Π΅Π΅ с Π΄Π²ΡƒΡ… сторон Π½Π°Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎ Π΄Π²Π° слоя с ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ (см. Ρ€ΠΈΡ. 1.22, Π³).

Π“ΠΈΠ±ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹

ИспользованиС Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… диэлСктричСских ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΠΊΠ°ΠΊ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‡ΠΈΠΊΡƒ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŽ элСктронных устройств ряд ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… возмоТностСй. Π­Ρ‚ΠΎ, ΠΏΡ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅ всСго, — ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ Π²Π΅ΡΠ° конструкции, ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ эффСктивности сборки, ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ элСктричСских характСристик, Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΎΡ‚Π΄Π°Ρ‡ΠΈ ΠΈ, Π² Ρ†Π΅Π»ΠΎΠΌ, надСТности.

Если ΡƒΡ‡Π΅ΡΡ‚ΡŒ основноС свойство Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ — Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ — становится понятным всС Π²ΠΎΠ·Ρ€Π°ΡΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ объСм примСнСния Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π² Π°Π²Ρ‚омобилях, Π±Ρ‹Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ΅, ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠ½Π΅, Π² ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΈ Π°ΡΡ€ΠΎΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ΅, ΠΊΠΎΠΌΠΏΡŒΡŽΡ‚Π΅Ρ€Π°Ρ…, Π² ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ°Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ контроля ΠΈ Π±ΠΎΡ€Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… систСмах.

Π“ΠΈΠ±ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ (Π“ΠŸΠŸ) ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ лавсановой ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ΅ ΠΈ ΠΏΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ, Π΄Π°ΠΆΠ΅ послС формирования проводящСго рисунка. Π‘ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠ°Ρ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ конструкций Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… ΠŸΠŸ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½Π° конструкциям ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π½Π° ΠΆΠ΅ΡΡ‚ΠΊΠΎΠΉ основС.

Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

ΠŸΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², тСхнологичСских процСссов ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Π±Π°Π·Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ соврСмСнных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΌ опрСдСляСт ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π΅Π½ΡŒ работоспособности ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ элСктронного устройства Π² Ρ†Π΅Π»ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… экономичСских Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚Π°Ρ… Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²Π΅. ΠŸΡ€ΠΈ этом Ρ€Π°ΡΡΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ аспСкты:

НазначСниС элСктронной систСмы: тСхничСскиС условия Π½Π° ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ, ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠΉ рСсурс, элСмСнтная Π±Π°Π·Π° с Ρ…арактСристиками ΠΏΠΎ Π±Ρ‹ΡΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ, Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌΡƒ ΡΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ, ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½ΡŽ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΡ… сигналов, Π½Π°ΠΏΡ€ΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡŽ питания ΠΈ Ρ‚. Π΄.

ЭксплуатационныС трСбования ΠΏΠΎ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚опригодности: возмоТности ΠΏΡ€ΠΎΡ„ΠΈΠ»Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°, Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ запасных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² ΠΈ Π±Π»ΠΎΠΊΠΎΠ².

ΠžΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ условия ΠΏΡ€ΠΈ Ρ…Ρ€Π°Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅. ВСхнология изготовлСния: ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡ‚ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ с Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ производством, ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒ ΠΈ Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ объСмС производства.

Π‘Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΈ Π²ΡΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹: объСм Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹Ρ… поставок, ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΡ‚Π±ΠΎΡ€Π° ΠΏΠΎ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ трСбованиям.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ΠΌ, Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ возмоТности Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡ‡ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡƒΡŽ ΠΈΠΌ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ мСТсоСдинСний. ΠŸΡ€ΠΈ этом Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ Π² Π²ΠΈΠ΄Ρƒ практичСски Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ΅ число ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅ΠΊ Π½Π° Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ†Ρƒ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ повСрхности ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. НапримСр, для двусторонних ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ возмоТная ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°, рассчитанная тСорСтичСски, составляСт 15 Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ²/1 см2 ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ способности ΠΏΠΎ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ Π·Π°Π·ΠΎΡ€ΠΎΠ², Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΉ 0,5 ΠΌΠΌ. Однако Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ значСния этой плотности, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°ΡŽΡ‚ 2,8 Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ²/см2. ΠŸΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ плотности ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° обусловлСно Π² Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠ΅ΠΉ стСпСни Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ элСмСнтов ΠΈ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ трСбованиями ΠΊ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСским ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… связСй.

ВсС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡ‚ΡŒ Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ряд возрастания плотности ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°:

односторонниС ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹;

двусторонниС ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ (Π”ΠŸΠŸ) ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ;

Π”ΠŸΠŸ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠ°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ;

Π”ΠŸΠŸ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠ°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ с Π΄ΠΈΡ„Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ;

МПП ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠΏΠ°Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ прСссования;

МПП ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ;

МПП ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий;

МПП ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ послойного наращивания;

МПП ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ наращивания.

РассмотрСниС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ с ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ соврСмСнной ΠΏΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° позволяСт ΠΎΡ‚Π΄Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²Π΅ односторонних ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ — химичСскому ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρƒ, двусторонних — ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΌΡƒ, многослойных — ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρƒ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий. НазванныС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈΠ·Π½Π°Π½Ρ‹ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ Π² ΠΎΡ‚СчСствСнной ΠΈ Π·Π°Ρ€ΡƒΠ±Π΅ΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠΊΠ΅ производства ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… схСм. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ дальнСйшСС ΠΈΠ·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ вопросов контроля ΠΈ ΠΈΡΠΏΡ‹Ρ‚Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ Π½Π° ΡΡ‚ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹. ОсобоС Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΡƒΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρƒ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ сквозных отвСрстий, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ ΠΎΠ½ ΡΠΎΡ‡Π΅Ρ‚Π°Π΅Ρ‚ Π² ΡΠ΅Π±Π΅ ΠΈ Ρ…имичСский ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π² ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоСв, ΠΈ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ отвСрстий ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоСв.

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ