Формирование рельефа поверхности углеродных конденсатов, получаемых импульсным вакуумно-дуговым методом
Диссертация
Исследования процессов формирования рельефа поверхности углеродной пленки и, в конечном итоге, получение возможности управления ими, открывают новые области применения, в частности, при создании твердотельных электронных элементов нового типа: эмиттеров на основе углеродных пленок, а также в технологии изготовления микрозондов (кантилеверов), применяемых в сканирующей зондовой микроскопии… Читать ещё >
Список литературы
- Лифшиц В.Г. Поверхность твердого тела и поверхностные фазы // Соросовский образовательный журнал. 1995. — № 1. — С.99−107.
- Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии: Пер. с англ. -М.: Мир, 1985.-496 с.
- Бахтизин Р.З. Сканирующая туннельная микроскопия новый метод изучения поверхности твердых тел // Соросовский образовательный журнал. — 2000. — Т.6. — № 11. С. 1−7.
- Э.В. Мюллер, Т. Т. Цонг. Полевая ионная микроскопия, полевая ионизация и полевое испарение: Перевод с англ. М., 1980.
- Рукман Г. И., Клименко И. С. Электронная микроскопия М.: Знание, 1968.
- Смирнова А.В., Кокорин Г. А., Полонская С. М. Электронная микроскопия в металловедении (справ, изд.) М.: Металлургия, 1985. — 192с.
- Еловиков С.С. Оже-электронная спектроскопия // Соросовский образовательный Журнал. 2001. — Т.7. — № 2. — С.82 — 88.
- Биннинг Г., Рорер Г. Сканирующая туннельная микроскопия от рождения к юности // УФН. — Т. 154. — Вып.2. — С.261−278.
- G. Binnig, Н. Rohrer. Scanning tunneling microscopy // Helv. Phys. Acta. -1982. V. 55. — № 6. — P. 726 — 735.
- G. Binnig, H. Rohrer, Ch. Gerber, E. Weibel. Tunneling through a controllable vacuum gap // Appl. Phys. Lett. 1982. — V. 40. — P. 178.
- G. Binnig H. Rohrer. Scanning tunneling microscopy // IBM Journal of Research Development. 1986. — V. 30. — N.4.
- U.R.D. Young. II Rev. Sci. Instrum. 37, 275 (1966).
- Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии // Учебное пособие. М: МИЭТ, 1996. — 91с.
- Неволин В. К, Коньков A.C. «Растровый туннельный микроскоп» // A.C. № 1 471 232 с приоритетом от 14 июля 1987.
- Быков В.А. Приборы и методы сканирующей зондовой микроскопии для исследования и модификации поверхностей // Дисс. докт. техн. наук. М. -2000.
- И.БарашЮ.С. Силы Ван-дер-Ваальса. M.: Наука, 1988. — 344 с.
- Рехвиашвили С.Ш. Современные методы сканирующей зондовой микроскопии и спектроскопии // Приборы и техника эксперимента. -2002. № 5. — С. 149−152.
- Бухараев A.A., Овчинников Д. В., Бухараева A.A. Диагностика поверхности с помощью сканирующей силовой микроскопии (обзор) // Заводская лаборатория. 1996. — № 5. — С. 10−26.
- Рыков С.А. Сканирующая зондовая микроскопия полупроводниковых материалов и наноструктур. С. -Петербург: Наука. — 2001. — 52с.
- Миронов B.JI. Основы сканирующей зондовой микроскопии (Учебное пособие для студентов высших учебных заведений). Институт физики микроструктур РАН. — Нижний Новгород, 2004. — 114с.
- Рубин А.Б. Биофизика: Теоретическая биофизика. М.: Книжный дом Университет, 1999. — 448с.
- Адамсон А. Физическая химия поверхностей. М.: Мир, 1979. — 568с.
- Сивухин Д.В. Курс общей физики: Термодинамика и молекулярная физика. -М.: Наука, 1983.-551с.
- Сивухин Д.В. Курс общей физики: Электричество. М.: Наука, 1983. -687с.
- О. Teschke, M.U. Kleinke, M.E.R. Dotto et al, Magnetic force images of nanomagnetic domains taken with platinum-coated tips // J. Appl. Phys. 2003.- V. 94. Issue 1. — P.626 — 633.
- P.F. Hopkins, J. Moreland, S.S. Malhotra et al. Superparamagnetic magnetic force microscopy tips. // J. Appl. Phys. 1996. — V. 79. — Issue 8. — P. 6448 -6450.
- H.J. Mamin, D. Rugar, P. Gruetter et al, Bull. II Am. Phys. Soc. 35, 420 (1990).
- P. Grutter, D. Rugar, H.J. Mamin et al, Batch fabricated sensors for magnetic force microscopy // Appl. Phys. Lett. 1990. — V.57. — Issue 17. — P. 1820 -1823.
- ЪЪ.Фейнман P., Лейтон P., Сэндс M. Фейнмановские лекции по физике:
- Физика сплошных сред. М.: Мир, 1977. — 300с. Ъб. Зимон А. Д. Адгезия жидкости и смачивание. — М.: Химия, 1974. — 416с. 37. Handbook of Micro/Nanotribology / Ed. by Bhushan Bharat. — 2d ed. — Boca
- Raton etc.: CRC press, 1999. 859 c. ЪЪ. Фейнман P., Лейтон P., Сэндс M. Фейнмановские лекции по физике, 7часть. М.: МИР, 1966. — 292с. Ъ9. Горшков А. Г., Трошин В. Н., Шалашилин В. И. Сопротивление материалов.- М.: ФИЗМАТЛИТ, 2002. 544 с.
- Феодосъев В.И. Сопротивление материалов. М.: МГТУ, 2000 — 392с.
- Ландау Л.Д., Лившиц Е. М. Теория упругости. М.: Наука, 1987. — 246с.
- Derjaguin B.V., Muller V.M., Toropov Yu.P., J. Colloid. Interface Sei. 53, 314 (1975).
- Дерягин Б.В., Чураев Н. В., Муллер В. М. Поверхностные силы. М.: Наука, 1985.
- Дэюонсон K.JI. Механика контактного взаимодействия. М.: Мир, 1987.
- MaugisD.J., J. Colloid. Interface Sei. 150, 243 (1992).
- П.А. Арутюнов, A.JI. Толстихина, В. И. Демидов. Система параметров для анализа шероховатости и микрорельефа поверхности материалов в сканирующей зондовой микроскопии // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. № 9. — Т.65. — С. 27−37.
- П.А. Арутюнов, A.JI. Толстихина. Атомно-силовая микроскопия в задачах проектирования приборов микро- и наноэлектроники. Часть 1. // Микроэлектроника. 1999. — Т.28. — № 6. — С. 405−414.
- Mandelbrot B.B. The Fractal Geometry of Nature. San Francisco: Freeman, 1982.
- Федер E. Фракталы. M.: Мир, 1991. — 254 с.
- Смирнов Б.М. Физика фрактальных кластеров. М.: Наука, 1991. — 136 с.
- Морозов АД. Введение в теорию фракталов. Учебное пособие. Нижний Новгород: Изд-во Нижегородского университета, 1999. — 140с.
- ЫЖиков В. В. Фракталы // Соросовский образовательный журнал. 1996. -№ 12.-С. 109−117.53 .И. В. Золотухин. Фракталы в физике твердого тела // Соросовский образовательный журнал. 1998. — № 7. — С. 108−113.
- Олемский А.И., Флат А. Я. Использование концепции фрактала в физике конденсированной среды // УФН. Т. 163. -№ 12. — С. 1−50.
- Fractals in Physics // Ed. by L. Pietronero, E. Tosatti. Amsterdam.: North Holland., 1986. (Фракталы в физике // Пер. с англ. — М.: Мир, 1988).
- Б.М. Смирнов. Кластеры с плотной упаковкой и заполненными оболочками // Успехи физических наук. 1993. — Т. 163. — № 10. — С.29−56 185 v
- Б.М. Смирнов. Кластерная плазма // Успехи физических наук. 2000. -Т.170. -№ 5. -С.495−534.
- Б.М. Смирнов. Плавление кластеров с парным взаимодействием атомов // Успехи физических наук. 1994. — Т. 164. — № 11. — С. 1170−1200.
- Б.М. Смирнов. Процессы в плазме и газах с участием кластеров // Успехи физических наук. 1997. — Т.167. — № 3. — С. 289−1185.
- Б.М. Смирнов. Генерация кластерных пучков. // Успехи физических наук, 2003. Т.173. — № 6. — С. 609−646.
- N. Almqvist. Fractal analysis of scanning probe microscopy images // Surface Science 355 (1996) 221−228.
- Михайлов Е.Ф., Власенко C.C. Образование фрактальных структур в газовой фазе // Успехи физических наук. 1995. — Т.165. — № 3. — С.263−283.
- A. Mannelqvist, N. Almqvist, S. Fredriksson. Influence of tip geometry on fractal analysis of atomic force microscopy images// Appl. Phys. A 66, S891-S895 (1998).
- Renato В., Boragno C., Biscarini F., Buatier de Mongeot F., Valbusa U. The contact mechanics of fractal surfaces // Nature, march. 2003. — P. 1−4.61 .Федосеев Д. В., Новиков H.B., Вишневский А. С. Алмаз. Справочник. -Киев.: Наукова думка, 1981. 78 с.
- Золотухин КВ. Фуллерит новая форма углерода // Соросовский образовательный журнал. — 1996. — № 2.
- Елецкий А.В., Смирнов Б. М. Фуллерены и структура углерода // УФН. -1995.- № 9.
- Ю.Золотухин И. В. Углеродные нанотрубки // Соросовский образовательный журнал. 1999.-№ 3.-С.111−115.
- Х.Нагорный В. Г., Котоносов А. С., Островский B.C. Свойства конструкционных материалов на основе углерода. Справочник. М.: Металлургия, 1975. — 335 с.
- Pirio G, Legagneux Р, Pribat D, Тео К В К, Chhowalla М, Amaratunga G A J and Milne W I. Fabrication and electrical characteristics of carbon nanotube field emission microcathodes with an integrated gate electrode // Nanotechnology 13 (2002) 1−4.
- B.K. Белый, В. П. Варнин, С. А. Гаврилов, Э. А. Ильичев, Э. А. Полторацкий, Г. С. Рычков, ИГ. Теремецкая. Использование тонких алмазных пленок для формирования интегральных схем. // Письма в ЖТФ. 2003. — Т.29. -Вып. 9. — С. 64−68.
- Mihalcea C., Scholz W., Malave A., Albert D., Kulisch W., Oesterschulze E. Fabrication of monolithic diamond probes for scanning probe microscopy applications. // Appl. Phys. A 66, S87-S90 (1998)
- Niedermann Ph., Hanni W., Morel D., Perret A., Skinner N., Indermtihle P.-F., N.-F. de Rooij, Buffat P.-A. CVD diamond probes for nanotechnology // Appl. Phys. A 66, S31-S34 (1998).
- Warren B.E. X-ray diffraction study of carbon black // J.Chem. Phys. 1934. -V.2 — No 9. — P.551−555.
- Олевский С.С., Толстихина А. Л., Сергеев М. С. и др. Особенности структуры и химического состава алмазоподобных пленок // Поверхность. 1982.-№ 7.-С. 118−125.
- E.I. Tochitsky, A.V. Stanishevskii, I.A.Kapustin е.а. Structure and properties of carbon films prepared by pulsed vacuum arc depisition // Surface and Coatings Technology, 47 (1991) 292 298.
- К К Akulich, N.M. Chekan, E.I. Tochitcky Intrinsic Stresses Dynamics in Diamond-Like Carbon Films Growing from Pulsed Arc Plasma Flows // Journal of Chemical Vapor Deposition. 1995. — Vol.3. — P. 324−331.
- Grossman E., Lempert G.D., J. Kulik, D. Marion, J. W. Rabalais, Lifshitz Y. Role of ion energy in determination of the sp3 fraction of ion beam deposited carbon films II Appl.Phys.Lett. 68 (9), 1996, p.1214−1216.
- Lifshitz Y. Diamond-like present status, // Diamond and Related Materials 8 (1999) 1659−1676.
- Buzio R., Gnecco Е., Boragno С., Valbusa U., Piseri P., Barborini E., Milani P. Self-affme properties of claster-assembled carbon thin films // Surface Science 444 (2004) L1-L6.
- Иванов-Омский В.И., Лодыгин А. Б., Ястребов С. Г. Сканирующая туннельная микроскопия и спектроскопия аморфного углерода // Физика и техника полупроводников. 2000. — Т.34. — Вып.12. — С.1409−1416.
- В. Marchon, М. Salmeron, W. Siekhaus. Observation of graphitic and amorphous structures on the surface of hard carbon films by scanning tunneling microscopy // Phys. Rev. B, 39 (17), 12 907 (1989).
- N.H. Cho, D. K Veirs, J.W. Ager III, M.D. Rubin, C.B. Hopper, D.В. Bogy. Effects of substrate temperature on chemical structure of amorphous carbon films // J. Appl. Phys., 71 (5), 2243 (1992).
- V.L. Arbuzov, V.B. Vykhodets, I.Sh. Trakhtenberg, A.E. Davletshin, O.M. Bakunin, S.A. Plotnikov, J.H. Lee, S.J. Kim, B.S. Chung. II J. de Psusique IV, 6 (5), 185 (1996).
- A.A: Gorbunov, S.M. Pimenov, A.A. Smolin, H.-J. Schiebe, D. Drescher. II Phys. St. Sol. (a), 145, 393 (1994).
- T.W. Mercer, N.J. DiNardo, J.P. Sullivan, J.P. Friedmann, M.P. Siegal, L.J. Martinez-Miranda. Diamond for Electronic Applications, ed. by D.L. Dreifus (1995) p. 175.
- Золотухин ИВ., Соколов Ю. В., Иевлев В. П. Структура, внутреннее трение и модуль упругости фрактального углеродного депозита // Физика твердого тела. 1998. — Т.40. — № 3. — С.584−586.
- Соколов Ю.В., Железный B.C. Фрактальная структура углеродного депозита, получаемого при распылении графита в электрической дуге // Письма в ЖТФ. Т.29. — Вып.8. — С.91−94.
- Соколов Ю.В., Железный B.C. Получение, структура и некоторые физические свойства углеродного депозита и хрома, имеющих фрактальное строение // Письма в ЖТФ. 2003. — Т.29. — Вып.15. — С.24−28.
- Bogana М., Donadio D., Benedek G., Colombo L. Simulation of atomic force microscopy of fractal nanostructured carbon films // Europhys. Lett., 54 (1), p.72−76 (2001).
- Ландау Л.Д. Квантовая механика: Нерелятивистская теория. М.: Наука, 1989.-767 с.
- Галлямов И.О. Сканирующая зондовая микроскопия нуклеиновых кислот и тонких органических пленок // Дисс. канд. физ.-мат. наук М., 2000.-228с.
- Маслов А.И., Дмитриев Г. К., Чистяков Ю. Д. Импульсный источник углеродной плазмы для технологических целей. // Приборы и техника эксперимента. 1985. -N3. — С. 146−149.
- Inkin V.N., Kolpakov A.Y., Oukhanov S.I., Barbakov V.I., Galkina M.E., Goncharov I.U. Change of internal stress of carbon superhard condensates at a process of annealing // Diamond and Related Materials. 2004. — Vol. 13. — P. 1474 — 1479.
- D. Drescher, J. Koskinen, H.-J. Scheibe, A. Mensch. A model for particle growth in arc deposited armophous carbon films. // Diamond and Related Materials 7 (1998) 1375−1380.
- Magonov S.N., Elings V. and Whangbo M.-H., Phase imaging and stiffness in tapping-mode atomic force microscopy. // Surf. Sci. Lett. 375 (1997) L385.
- Ahn H.-S., Chizhik S.A., Dubravin A.M., Kazachenko V. P. and Popov V. V. On the use of phase image of atomic force microscopy for the characterization of the tribolayer on a DLC film. // Tribology Letters. 2000.
- David T. Britton, Margit Harting. The influence of strain on point defect dynamic // Advanced engineering materials. 2002. — V.4. — No. 8.
- Eshelby J. D-, J. Appl. Phys., 25, 255, (1954)
- Eshelby J. D., Solid State Phys., 3, 107, (1956)
- Кассандрова O.H., Лебедев B.B. Обработка результатов наблюдений -М.: Наука, 1970.192