Комплексное модифицирование сталей и покрытий TiN в плазме дуговых разрядов низкого давления
Диссертация
В тонких (< 3 мкм) покрытиях TiN, синтезированных методом вакуумно-дугового распыления титана в атмосфере молекулярного азота, электронномикроско-пически обнаружено формирование высокодефектных субмикрокристаллических структурных состояний с высокой кривизной кристаллической решетки и дефектов кристаллического строения (дислокаций и дисклинаций) в объеме зерен и высокой эффективной плотностью… Читать ещё >
Список литературы
- Кесаев И.Г. Катодные процессы электрической дуги. М.: Наука, 1968. — 244 с.
- Месяц Г. А. Эктоны в вакуумном разряде: пробой, искра, дуга. М.: Наука, 2000.-424 с.
- Раховский В.И., Ягудаев A.M. К вопросу о механизме разрушения электродов в импульсном разряде в вакууме // ЖТФ. 1969. — Т. 39, вып. 2. — С. 317−320.
- Anders S., Juttner В., et. al. Investigations of the current density in the cathode spot of a vacuum arc // Contrib. Plasma Phys. 1985. — Vol. 25, No 5. — P. 467−473.
- Hantzsche E. Estimation of the current density in cathode arc spots // Ibid. P. 459 466.
- Дородное A.M., Петросов B.A. О физических принципах и типах вакуумных технологических плазменных устройств // ЖТФ. 1981. — Т. 51, вып. 3. — С. 504 524.
- Аксёнов И.И., Коновалов И. И., Падалка В. Г., Сизоненко В.Л., Хороших
- B.М. Неустойчивости в плазме вакуумной дуги при наличии газа в разрядном промежутке. I // Физика плазмы. 1985. — Т. 11, № 11. — С. 1373−1379.
- Барабанов Б.Н., Блинов И. Г., Дородное A.M. и др. Аппаратура плазменной технологии высоких энергий «холодные» системы для генерации плазмы проводящих твердых веществ // ФХОМ. — 1978. — № 1. — С. 44−51.
- Любимов Г. А., Раховский В. И. Катодное пятно вакуумной дуги // УФН. 1978. -Т. 125, вып. 4.-С. 665−706.
- Дородное A.M. Технологические плазменные ускорители // ЖТФ- 1978. -Т. 48.-С. 1858−1870.
- Гринченко В.Т., Ивановский Г. Ф., Зимин С. В. Источники и оборудование вакуумного плазменно-дугового нанесения покрытий // ВТТ. 1992. — Т. 2, № 4.1. C. 42−46.
- Аксёнов И.И., Коновалов И. И., Кудрявцева Е. Е. и др. Исследование капельной фазы эрозии катода стационарной вакуумной дуги // ЖТФ. 1984. — Т. 54, № 8.-С. 1530−1533.
- Аксёнов И.И., Коновалов И. И., Падалка В. Г., Хороших В. М. Исследование влияния давления газа в объеме на прикатодные процессы стационарной вакуумной дуги // Теплофизика высоких температур. 1984. — Т. 22, № 4. — С. 650 654.
- Лунёв В.М., Падалка В. Г., Хороших В. М. Применение однопольного масс-спектрометра для исследования ионного компонента плазменного потока, генерируемого вакуумной дугой // ПТЭ. 1976. — № 5. — С. 189−190.
- Лунёв В.М., Овчаренко В. Д., Хороших В. М. Исследование некоторых характеристик плазмы вакуумной металлической дуги. I // ЖТФ. 1977. — Т. 47, вып. 7.-С. 1486−1490.
- Лунёв В.М., Падалка В. Г., Хороших В. М. Исследование некоторых характеристик плазмы вакуумной металлической дуги. I. I // Там же. — С. 1491−1495.
- Kimblin C.W. Erosion and ionisation in the cathode spot regions of vacuum arc // J. Appl. Phys. 1973. — Vol. 44, No 7. — P. 3074−3081.
- Плютто А.А., Рыжков B.H., Капин A.T. Высокоскоростные потоки плазмы вакуумных дуг // ЖЭТФ. 1964. — Т. 47, вып. 8. — С. 494−507.
- Саксаганский Г. Л. Электрофизические вакуумные насосы. М.: Энергоатом-издат, 1988.-276 с.
- Саблев Л.П., Долотов Ю. И., Ступак Р. И., Осипов В. А. Электродуговой испаритель с магнитным удержанием катодного пятна // ПТЭ. 1976. — № 4. — С. 247 249.
- Барвинок В.А. Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий. М.: Машиностроение, 1990. — 384 с.
- Аксёнов И.И., Падалка В. Г., Хороших В. М. Исследование плазменного потока, генерируемого стационарным эрозионным электродуговым ускорителем с магнитным удержанием катодного пятна // Физика плазмы. 1979. — Т. 5, вып. 3. -С. 607−612.
- Саблев Л.П. Управление движением катодного пятна вакуумной дуги // ПТЭ. -1979.-№ 4.-С. 268−269.
- Аксёнов И.И., Брень В. Г., Падалка В. Г., Хороших В. М. Об условиях протекания химических реакций при конденсации потоков металлической плазмы // ЖТФ. 1978. — Т. 48, вып. 6. — С. 1165−1169.
- Аксёнов И.И., Брень В. Г., Кунченко В. В. и др. Покрытия на основе нитридов компонентов стали Х18Н10Т, полученные способом КИБ // ФХОМ. 1981. — № 5.-С. 100−104.
- Смирнов Б.М. Атомные столкновения и элементарные процессы в плазме. М.: Атомиздат, 1968.
- Демиденко И.И., Ломино Н. С., Овчаренко В. Д., Падалка В.Г., Полякова
- Г. Н. О механизме ионизации реакционного газа в вакуумно-дуговом разряде // ЖТФ. 1984. — Т. 54, вып. 8. — С. 1534−1537.
- Аксенов И.И., Антуфьев Ю. П., Брень В. Г. и др. Влияние замагниченности электронов плазмы вакуумной дуги на кинетику реакции синтеза нитридосодер-жащих покрытий // ЖТФ. 1981. — Т. 51, вып. 2. — С. 303−309.
- Аксёнов И.И., Антуфьев Ю. П., Брень В. Г. и др. Влияние давления газа в реакционном объеме на процесс синтеза нитридов при конденсации плазмы металлов // Химия высоких энергий. 1986. — Т. 20, № 1. — С. 82−86.
- Демиденко И.И., Ломино Н. С., Овчаренко В. Д., Падалка В. Г., Полякова Г. Н. Исследование состояния азота в плазме вакуумной дуги // Химия высоких энергий. 1986. — Т. 20, № 5. — С. 462−467.
- Аксёнов И.И., Антуфьев Ю. П., Брень В. Г. и др. Об условиях синтеза нитридов при конденсации плазменных потоков // ФХОМ. 1981. — № 4. — С. 43−46.
- Будилов В.В., Иванов В. Ю., Мухин B.C. Интегрированные вакуумные ионно-плазменные технологии обработки деталей газотурбинных двигателей. Физические основы, моделирование, проектирование. Уфа: Гилем, 2004. — 216 с.
- Андриевский Р.А., Анисимова И. А., Анисимов В. П. Формирование структуры и микротвердость многослойных дуговых конденсатов на основе нитридов Ti, Zr, Nb и Cr // ФХОМ. 1992. — № 2. — С. 99−103.
- Барвинок В.А., Богданович В. И., Митин Б. С., Бобров Г. В., Бунова Г. З. Закономерности формирования покрытий в вакууме // ФХОМ. 1986. — № 5. — С. 9297.
- Артамонов С.С., Струнин В. И., Тихомиров В. В., Шкуркин В. В. Исследование режимов ионно-плазменной обработки материалов. // Тез. докл. 6 Конф. по физике газового разряда. Казань, 1992. — С. 133−134.
- Вершина А.К., Бельчин И. А., Пителько А. А., Изотова С. Д. Затитно-де-коративные свойства электродуговых вакуумных Ti- и TiN- покрытий, осажденных в потоках плазмы // ФХОМ. 1990. — № 5. — С. 93−96.
- Никитин И.М. Технология и оборудование вакуумного напыления. М.: Металлургия, 1992. — 112 с.
- Бойко Ю.Ф., Белова Е. К., Алексеева О. А. Особенности субструктуры вакуум-но-плазменных конденсатов TiN // ФХОМ. 1986. — Ха 5. — С. 71−73.
- Коган B.C., Серюгин A.JI. Влияние вакуумных условий в приборе и скорости конденсации на преимущественную ориентацию в пленках хрома // ФММ. -1969. Т. 28, вып. 4. — С. 622−628.
- Ensinger W. Growth of thin films with preferential crystallographic orientation by ion bombardment during deposition // Surf. Coat. Technol. 1994. — Vol. 65. — P. 90−105.
- Бедункевич B.B., Гордон М. Б., Миркин Л. И. Структура и толщина ионно-плазменных покрытий нитрида титана на быстрорежущей стали // ФХОМ. -1986. -№ 3. С.57−61.
- Иванченко Л.А., Паскал В. В., Литовченко Н. А. и др. Исследование структуры и физико-химических свойств карбонитрида титана переменного состава // ФХОМ. 1992. — № 4. — С. 83−87.
- Андреев А. А., Гаврил ко И.В., Кунченко В. В., Локошко В. В., Сопрыкин Л. И. Исследование некоторых свойств конденсатов Ti-N2, Zr-N2, полученных осаждением плазменных потоков в вакууме (способ КИБ) // ФХОМ. 1980. — № 3. — С. 64−67.
- Еременко В.Н. Титан и его сплавы. Киев: Изд-во АН УССР, 1960. — 500 с.
- Андриевский Р.А., Уманский Я. С. Фазы внедрения. М.: Наука, 1974. — 239 с.
- Анциферов В.Н., Косогор С. П. Многослойные вакуумно-плазменные покрытия на основе карбидов титана и хрома, их структура и свойства // ФХОМ. ~ 1996. -№ 6.-С. 61−65.
- Моисеев В.Ф., Лякишев В. А., Маштакова Г. С. Структура и свойства плазмен-но-вакуумных покрытий // Поверхностные методы упрочнения металлов и сплавов в машиностроении. М., 1983. — С. 69−73.
- Ажажа В.М., Бердник А. П., Бондаренко В. Н. и др. Структура и сверхпроводимость ниобий-титановых пленок, полученных ионно-плазменным напылением в вакууме // ФХОМ. 1982. — № 4. — С. 52−56.
- Вершина А.К., Изотова С. Д. Влияние шероховатости подложки и времени ионной очистки на защитные свойства ионно-плазменных покрытий // ФХОМ. -1992. -№ 3. -С. 69−72.
- Андреев А.А., Брень В. Г., Калинин А. Т. и др. О плазменном нанесении покрытий на упрочняемую сталь с низкой температурой отпуска // Защита металлов. -1978. Т. 14, вып. 5. — С. 551−557.
- Клебанов Ю.Д., Мусатов В. Н., Сумароков В. Н. О предельной температуре подложки при нанесении покрытий испарением и конденсацией в вакууме // ФХОМ. 1980. — № 3. — С. 60−63.
- Воеводин А.А., Дунаев В. А., Любимов В. В., Ерохин АЛ. Прогнозирование и управление температурой осаждения многослойных покрытий, получаемых электродуговым испарением в вакууме // ФХОМ. 1992. — № 6. — С. 86−91.
- Дубовицкая Н.В., Коленченко Л. Д. Массоперенос титана в стали 08Х18Н10Т при ионно-плазменном осаждении нитрида титана // Металлофизика. 1993. — Т. 15, № 2.-С. 88−91.
- Верещака А.С. Работоспособность режущего инструмента с износостойкими покрытиями. -М.: Машиностроение, 1993. 336 с.
- Гринченко В.Т., Ивановский Г. Ф., Капралова Н. А. Вакуумная плазменно-дуговая металлизация // ВТТ. 1992. — Т. 2, № 4. — С. 47−52.
- Хворостухин Л.А., Белых Л. И., Куксенова Л. И., Рыбакова Л. М., Болманен-ков А.Е. Исследование структурных изменений нитрида титана при алмазном выглаживании // ФХОМ. 1986. — № 5. — С. 111−114.
- Аксёнов И.И., Андреев А. А., Брень В. Г. и др. Покрытия, полученные конденсацией плазменных потоков в вакууме (способ конденсации с ионной бомбардировкой) // УФЖ. 1979. — Т. 24, № 4. — С. 515−525.
- Волин Э.М. Ионно-плазменные методы получения износостойких покрытий // Технология легких сплавов. 1984. — № 10. — С. 55−74.
- Кальнер В.Д., Ковригин В. А., Ярембаш И. Е. Структура и свойства нитридных покрытий на инструментальных сталях // МиТОМ. 1980. — № 9. — С. 56−58.
- Барвинок В.А., Богданович В. И. Расчет остаточных напряжений в плазменных покрытиях с учетом процесса наращивания // ФХОМ. 1981. — № 4. — С. 95−100.
- Никитин М.Д., Кулик А. Я., Захаров Н. И., Шалай А. Н., Пресман Ю. Н. Напряженное состояние плазменных покрытий // ФХОМ. 1978. — № 2. — С. 131 136.
- Воеводин А.А., Ерохин A.JL, Спасский С. Е. Расчет напряжений в ионно-плазменных покрытиях // Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов. Тула, 1990. — С. 122−127.
- Вирник A.M., Морозов И. А., Подзей А. В. К оценке остаточных напряжений в покрытиях, нанесенных плазменным напылением // ФХОМ. 1970. — № 4. — С. 53−58.
- Барвинок В.А., Богданович В. И. Нестационарная задача теплопроводности с произвольно движущейся границей // Изв. АН СССР, сер. Энергетика и транспорт. 1982. — № 6. — С. 128−135.
- Моисеев В.Ф., Фукс-Рабинович Г.С., Досбаева Г. К., Шаурова Н. К., Ковалев А. И. Влияние азота на структуру и свойства упрочняющих поверхностных покрытий на основе титана // ФХОМ. 1991. — № 2. — С. 118−121.
- Тарасенко Ю.П., Романов И. Г., Чмыхов А. А. и др. Влияние предварительной обработки на состояние поверхности титанового сплава перед нанесением покрытий нитрида титана // ФХОМ. 1998. — № 4. — С. 49−52.
- Sanchette F., Damond Е., Buvron М., et al. Single cycle plasma nitriding and hard coating deposition in a cathodic arc evaporation device // Surf. Coat. Technol. 1997. -Vol. 94/95.-P. 261−267.
- Кусков B.H., Парфенов В. Д., Ковенский И. М. Формирование и износостойкость нитридных ионно-плазменных покрытий на твердосплавных режущих пластинах // ФХОМ. 1992. — № 6. — С. 76−81.
- Гаврикова И.С., Додонов А. И., Мокрый В. В., Николаев B.C. Влияние температуры на формирование ионно-плазменных покрытий // ФХОМ. 1989. — № 1. -С. 140−141.
- Ягодкин Ю.Д. Ионно-лучевая обработка металлов и сплавов // Итоги науки и техн. ВИНИТИ. Сер. Металловедение и термическая обработка. 1990. — Т. 24. -С. 167−221.
- Smidt Г. А., Hubler G.K. Recent advances in ion beam modification of metals // Nucl. Inst, and Methods in Phys. Res. B. 1993. — Vol. 80/81. — P. 207−216.
- Ensinger W., Schroder A., Wolf G.K. A comparison of IBAD films for wear and• corrosion protection other PVD coatings // Ibid. P. 445−454.
- Arnault J.C., Delafond J., Templier C., Chaumont J., Enea O. First stages study of energy ion beam assisted deposition // Ibid. P. 1384−1387.
- Kiuchi M., Fujii K., Tanaka Т., Satou M., Fujimoto F. Microstructure of TiN films produced by the dynamic mixing method // Nucl. Inst, and Methods in Phys. Res. B. -1988.-Vol. 33.-P. 649−652.
- Fukushima M., Haginoya M., Nakashima S. et al. Surface modification of structural materials by dynamic ion mixing process // J. Metal Finish Soc. Jap. 1988. — Vol. 39,1. No 10.-P. 618−622.
- Baba K., Nagata S., Hatada R., Daikoku Т., Hasake M. The effect of Ti implantation on corrosion and adhesion of TiN // Nucl. Inst, and Methods in Phys. Res. B.1993.-Vol. 80/81.-P. 297−300.
- Ensinger W., Rauschenbach B. Microstructure investigations in titanium nitride films formed by medium energy ion beam assisted deposition // Ibid. P. 1409−1414.
- Yang Genqing, Wang Dashi, Lice Xianghuai, Wang Xi, Zou Shie Hang. Formation of nanocrystalline TiN film by ion-beam-enhanced deposition // Surf. Coat. Technol.1994.-Vol. 65.-P. 214−219.
- Kant R.A., Sartwell B.D. Ion beam modification TiN films during vapor deposition // Mater. Sci. And Eng. 1987. — No 90. — P. 357−365.
- Bolster R.N., Singer I.L., Kant R.A. et al. Tribological behaviour of TiN films deposited by high energy ion-beam-assisted deposition // Surff. and Coat. Technol. -1988.-Vol. 36.-P. 781−790.
- Wolf G.K. Modification of chemical properties of materials by ion beam mixing and ion beam assisted deposition // J. Vac. Sci. Technol. A. 1992. — Vol. 10, No 4. — P. 1757−1764.
- Wolf G.K., Barth M., Ensinger W. Ion beam assisted deposition for metal finishing // Nucl. Instrum. and Meth. Phys. Res. B. 1989. — Vol. 37/38. — P. 682−687.
- Shimomura J., Kimura Т., Veda S. et al. Formation of TiN films on high carbon-high chromium steel by ion beam implanted vapor deposition (IVD) and its wear resistance // J. Metal Finish. Soc. Jap. 1988. — Vol. 39, No 10. — P. 630−635.
- Ensinger W., Kiuchi M. The formation of chromium/nitrogen phases by nitrogen ion implantation during chromium deposition as a function of ion-to-atom arrival ratio // Surf. Coat. Technol. 1997. — Vol. 94/95. — P. 433−436.
- Yang Genqing, Wang Dashi, Lice Xianghuai, Wang Xi, Zou Shie Hang. Formation of nanocrystalline TiN film by ion-beam-enhanced deposition // Surf. Coat. Technol. -1994.-Vol. 65.-P. 214−219.
- Kiratani N., Imai O., Ebe A., Nishigama S., Ogata K. Internal stress in thin film prepared by ion beam and vapor deposition // Surf. Coat. Technol. 1994. — Vol. 66. -P. 310−312.
- Corts Т., Traverse A., Boise W. Ion beam mixing of ceramic/metals interfaces // Nucl. Inst, and Methods in Phys. Res. B. 1993. — Vol. 80/81. — P. 167−171.
- Brighton D.R., Hubler G.K. Binary collision cascade prediction of critical ion-to-atom arrival ratio in the production of thin films with reduced intrinsic stress // Nucl. Inst, and Methods in Phys. Res. B. 1987. — Vol. 28. — P. 527−533.
- Bradley R.M., Harper J.M.E., Smith D.A. Summary abstract: Theory of thin film orientation by ion bombardment during deposition // J. Vac. Sci. Technol. A. 1987 -Vol. 5, No 4.-P. 1792−1793.
- Kantand R.A., Sartwell B.D. The influence of ion bombardment on reactions between Ti and gaseous N2 //. Vac. Sci. Technol. A. 1990. — Vol. 8, No 2. — P. 861 867.
- Kant R.A., Sartwell B.D., Singer I.L., Vardiman R.G. Adherent TiN film produced by ion beam enhanced deposition at room temperature // Nucl. Inst, and Methods in Phys. Res. B. 1985. — Vol. 7/8. — P. 915−919.
- Dobrev D. Ion-beam-induced texture formation in vacuum-condensed thin metal films //Thin Solid Films. 1982.-Vol. 92.-P. 41−53.
- Ogata K., Yamaguchi K., Kiyama S. et al. Synthesis of aluminum oxide thin films by ion beam and vapor deposition technology // Nucl. Inst, and Methods in Phys. Res. В.- 1993.-Vol. 80/81.-P. 1423−1426.
- Ogata K., Andoh ?., Fujimoto F. Role of ion beam energy for crystalline growth of thin films // Ibid. P. 1427−1430.
- Nishiyama S., Kuratani N., Ebe A., Ogata K. The synthesis and properties of BN films prepared by ion irradiation and vapor deposition // Ibid. P. 1485−1488.
- Yu L.S., Harper J.M.E., Cuomo J.J., Smith D.A. Control of thin film orientation by glancing angle ion bombardment during growth // J. Vac. Sci. Technol. A. 1986. -Vol. 5, No 4.-P. 446−447.
- Nakagawa Y., Ohtani S., Nakata Т., Mikoda M., Takagi T. Titanium nitride film formation by the dynamic ion beam mixing method // Nucl. Inst, and Methods in Phys. Res. В. 1993.-Vol. 80/81.-P. 1402−1405.
- Nagasaka H., Tsuchiya N., Kiuchi M. et al. The properties of titanium nitride prepared by dynamic ion mixing // Ibid. P. 1380−1383.
- Kiuchi M. Advantages of dynamic ion beam mixing // Ibid. P. 1343−1348.
- Kay E., Parmigiani F., Parrish W. Microstructure of sputtered metal films grown in high- and low-pressure discharges // J. Vac. Sci. Technol. A. 1988. — Vol. 6, No 6. -P. 3074−3081.
- Petrov I., Hultman L., Helmersson U., Sundgren J.-E., Greene J.E. Microstructure modification of TiN by ion bombardment during reactive sputter deposition // Thin Solid Films. 1989. — Vol. 169. — P. 299−314.
- Sundgren J.-E., Johansson B.-O., Hentzell T.G., Karlsson S.-E. Mechanisms of reactive sputtering of titanium nitride and titanium carbide. Ill: Influence of substrate bias on composition and structure // Thin Solid Films. 1983. — Vol. 105. — P. 385 393
- Лахтин Ю.М., Коган Я. Д. Азотирование стали. -М.: Машиностроение, 1976. -256 с.
- Арзамасов Б.Н., Братухин А. Г., Елисеев Ю. С., Панайоти Т. А. Ионная химико-термическая обработка сплавов. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 1 999 400 с.
- Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в металлах. М.: Металлургия, 1990. — 216 с.
- Риссел X., Руге И. Ионная имплантация. М.: Наука, 1983. — 359 с.
- Модифицирование, легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками / Под ред. Дж. М. Поут, Г. Фоти, Д. К. Джекобсон. М.: Машиностроение, 1987.- 424 с.
- Шиллер 3., Гайзиг У., Танцер 3. Электронно-лучевая технология. М.: Энергия, 1980. — 527 с.
- Грибков В.А., Григорьев Ф. И., Калин Б. А., Якушин B.JI. Перспективные ра-диационно-пучковые технологии обработки материалов. М.: Изд. дом «Круглый год», 2001. — 520 с.
- Анисимов С.И., Имос Я. А., Романов Г. С., и др. Действие излучения большой мощности на металлы. М.: Наука, 1970. — 272 с.
- Барвинок В.А., Богданович В. И. Физические основы и математическое моделирование процессов вакуумного ионно-плазменного напыления. М.: Машиностроение, 1999. — 309 с.
- Vaz F., Rebouta L., Goudeau Ph. et al. Residual stress states in sputtered Ti. xSixNy films // Thin Solid Films. 2002. — Vol. 402. — P. 195−202.
- Totch L.E. Transition metal carbides and nitrides. New York: Academic Press, 1971.
- Таблицы физических величин. Справочник. / Под ред. Кикоина И. И. М., 1976.
- Dorfel J., Osterle W., Urban J., Bouzy E. Microstructural characterization of binary and ternary hard coating systems for wear protection. Part I: PVD coatings // Surf. Coat. Technol. 1999. — Vol. 111. — P. 199−209.
- Ensinger W. Low energy ion assist during deposition an effective tool for controlling thin films microstructure // Nucl. Inst, and Methods in Phys. Res., B. — 1997. -Vol. 127/128.-P. 796−808.
- Volz К., Kiuchi M., Ensinger W. Structural investigations of chromium nitride films formed by ion beam-assisted deposition // Surf. Coat. Technol. 1998. — Vol. 108−109.-P. 303−307.
- Zhitomirsky V. N., Grimberg I., Rapoport L. et al. Bias voltage and incidence angle effects on the structure and properties of vacuum arc deposited TiN coatings. // Surf. Coat. Technol. 2000. — Vol. 133−134. — P. 114−120.
- Mayrhofer P.H., Kunc F., Musil J., Mitterer C. A comparative study on reactive and non-reactive unbalanced magnetron sputter deposition of TiN coatings. // Thin Solid Films. 2002. — Vol. 415. — P. 151−159.
- Anders A., Anders S., Brown I.G. Transport of vacuum arc plasmas through magnetic macroparticle filters. // Plasma Sources Sci. Technol. 1995 — No 4 — P. 1−12.
- Рябчиков А.И., Дегтярев C.B., Степанов И. Б. Источники «Радуга» и методы импульсно-периодической ионно-лучевой и ионно-плазменной обработки материалов. // Изв. вузов. Физика. 1998 — № 4 (Тематический сборник) — С. 193−207.
- Keidar М., Bellis I.I., Boxman R.L. Nonstationary macroparticle charging in an arc plasma jet. // IEEE Trans. Plasma Sci. 1995 — Vol. 23, No 6. — P. 902−908.
- Иванов Ю.Ф., Козлов Э. В. Многоступенчатая схема мартенситного превращения низко- и среднеуглеродистых малолегированных сталей // Материаловедение. 2000,-№ 11 .- С.33−37.
- Иванов Ю.Ф., Козлов Э. В. Объемная и поверхностная закалка конструкционной стали морфологический анализ структуры // Изв. вузов. Физика. — 2002. -Т. 45, № 3,-С. 5−23.
- Бецофен С.Я., Петров JI.M., Лазарев Э. М., Короткое Н. А. Структура и свойства ионно-плазменных покрытий TiN. // Металлы. 1990. — № 3. — С. 158−165.
- Борисов Д.П., Коваль Н. Н., Щанин П. М. Генерация объемной плазмы дуговым разрядом с накаленным катодом. // Изв. вузов. Физика. 1994. — Т. 37, № 3. -С. 115−120.
- Щанин П.М., Коваль Н. Н., Гончаренко И. М., Григорьев С. В. Азотирование конструкционных сталей в газовых разрядах низкого давления // ФХОМ. 2001. -№ 3. — С. 16−19.
- Уманский Я.С., Скаков Ю. А., Иванов А. Н., Расторгуев Л. Н. Кристаллография, рентгенография и электронная микроскопия. М.: Металлургия, 1982. -631 с.
- Контроль качества термической обработки стальных полуфабрикатов и деталей: Справочник М.: Машиностроение, 1984. -380 с.
- Практические методы в электронной микроскопии / Под ред. О. М. Глоэра: Пер. с англ. Л.: Машиностроение, 1980. — 375 с.
- Эндрюс К., Дайсон Д., Киоун С. Электронограммы и их интерпретация. М.: Мир, 1971.-256 с.
- Хирш П., Хови А., Николсон Р. и др. Электронная микроскопия тонких кристаллов. М.: Мир, 1968. — 574 с.
- Черепин В.Т. Ионный зонд. Киев: Наук, думка, 1981. — 328 с.
- Нефедов В.И., Черепин В. Т. Физические методы исследования поверхности твердых тел. М.: Наука, 1983. — 296 с.
- Valli J. A review of adhesion test methods for hard coatings. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1986. — Vol. 4, No 6. — P. 3007−3014.
- Костржицкий А.И., Карпов В. Ф. и др. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме. М.: Машиностроение, 1991. — 176 с.
- Истомин Н.П. Машина для испытания на трение и изнашивание втулок и образцов из пластмасс // Заводская лаборатория. 1967. — № 8. — С. 1021−1022.
- Лахтин Ю.М., Коган Я. Д., Шпис Г.-И., Бемер 3. Теория и технология азотирования. М.: Металлургия, 1991. — 320 с.
- Лахтин Ю.М. Физические основы процесса азотирования. М.: Машгиз, 1948.- 144 с.
- Лахтин Ю.М., Арзамасов Б. Н. Химико-термическая обработка металлов. М.: Металлургия, 1985. — 256 с.
- Борисенок Г. В., Васильев Л. А., Ворошнин Л. Г. и др. Химико-термическая обработка металлов и сплавов: Справочник. М.: Металлургия, 1981. — 424 с.
- Гусева М.И., Гордеева Г. М., Мартыненко Ю. В. и др. Имплантационно-плазменная обработка мартенситной стали и титанового сплава // ФХОМ. -1999,-№ 2.-С. 11−16.
- Банных О.А., Будберг П. Б., Алисова С. П. и др. Диаграммы состояния двойных и многокомпонентных систем на основе железа: Справоч. изд. М.: Металлургия, 1986. — 440 с.
- Матюшенко Н.Н. Кристаллические структуры двойных соединений. М.: Металлургия, 1969. — 304 с.
- Parascandola S., Kruse О., Moller W. The interplay of sputtering and oxidation during plasma diffusion treatment // J. Appl. Phys. Lett. 1999. — Vol. 75, No. 13. -P. 1851−1853.
- Альвен Г., Фельтхаммар К.-Г. Космическая электродинамика. М.: Мир, 1967.- 260 с.
- Фромм Е., Гебхард Е. Газы и углерод в металлах. М.: Металлургия, 1980. -712 с.
- Лариков Л.Н., Исаичев В. И. Структура и свойства металлов и сплавов. Киев: Наукова думка, 1987. — 511 с.
- Leutenecker R., Wagner G., Lowis Т. et al. Phase transformation of a nitrogen-implanted austenitic stainless steel // Mater. Sci. Engrs. A. 1989. — Vol. 115. -P. 229−244.
- Гольдшмидт X. Дж. Сплавы внедрения. М.: Мир, 1971. — 424 с.
- Самсонов Г. М., Виницкий И. М. Тугоплавкие соединения. М.: Металлургия, 1976.-558 с.
- Самсонов Г. М. Физико-химические свойства окислов: Справочник. М.: Металлургия, 1978. — 472 с.
- Goncharenko I. M, Grigoriev S.V., Lopatin I.V. et al. Surface modification of steels by complex diffusion saturation in low pressure arc discharge // Surface and Coatings Technology.-2003.-Vol. 169−170C.-P. 419−423.
- Бабичев А.П., Бабушкина H.A., Братковский A.M. и др. Физические величины: Справочник / Под ред. И. С. Григорьева, Е. З. Мейлихова. М.: Энергоатом-издат, 1991.- 1232 с.
- Martin P.J., Bendavid A., Netterferfield R.P., Kinder T.J., Jahan F., Smith D.
- Plasma deposition of tribological and optical thin film materials with a filtered ca-thodic arc source // Surf. Coat. Technol. 1999. — Vol. 112. — P. 257−260.
- Meunier J.-L. Pressure limit for the vacuum arc deposition. // IEEE Trans. Plasma Science. 1990.-Vol. 18, No 6.-P. 904−910.
- Tanaka Y., Gur T.M., Kelly M. et al. Properties of (Tii.xAlx)N coatings for cutting tools prepared by the cathodic arc ion plating method // J. Vac. Sci. Technol. A. -1992. Vol. 10, No 4. — P. 1749−1754.
- Томас Г., Гориндж М.Дж. Просвечивающая электронная микроскопия материалов. М.: Наука, 1983. — 320 с.
- Иванов Ю.Ф., Пауль А. В., Козлов Э. В., Игнатенко JI.H. Электронно-микроскопический дифракционный анализ ультрадисперсных материалов // Заводская лаборатория. 1992. — № 12. — С. 38−40.
- Утевский JI. М. Дифракционная электронная микроскопия в металловедении. -М.: Металлургия, 1973. 584 с.
- Тюменцев А.Н., Коротаев А. Д., Пинжин Ю. П. и др. Влияние низкоэнергетического ионного облучения на микроструктуру покрытий нитрида титана // Поверхность. 1998. — № 10. — С. 92−100.
- Конева Н.А., Козлов Э. А. Природа субструктурного упрочнения // Изв. вузов. Физика. 1982. — № 8. — С. 3−14.
- Rie К.-Т. Recent advances in plasma diffusion processes // Surf. Coat. Technol. -1999.-Vol. 112.-P. 56−62.
- A.c. № 2 131 480, кл. 6 С 23 С 14/06, 14/48. Способ формирования износостойкого покрытия на поверхности изделий из конструкционной стали / П. М. Щанин, Н. Н. Коваль, Д. П. Борисов, И. М. Гончаренко / Заявлено 15.07.1998 // БИ. -1999.-№ 16.
- Borisov D.P., Goncharenko I.M., Koval N.N., Schanin P.M. Plasma-assisted deposition of a three-layer structure by vacuum and gas arcs // IEEE Trans. Plasma Sci. -1998.-Vol. 26, No 6.-P. 1680−1684.
- Аксёнов И. И. Белоус В.А., Падалка В. Г., Хороших В. М. Устройство для очистки плазмы вакуумной дуги от макрочастиц // Приборы и техника эксперимента. 1978. — № 5. — С. 236−248.
- Anders S. et al. S-shaped magnetic macroparticle filter for catodic arc deposition // Proc. Int. Symp. on Discharge & Electr. Insul. in Vacuum, Berkeley, USA, 1996.
- Aksenov I.I. et al. Transformation of vacuum-arc plasma flows into radial streams and their use in coating deposition processes // Proc. XVIIIth Int. Symp. on Discharge & Electr. Insul. in Vacuum, Einhoven, The Netherland, 1998.
- Keunel К. et al. Modified pulse arc deposition for reducing of groplet emission // Proc. XVIIP Int. Symp. on Discharge & Electr. Insul. in Vacuum, Einhoven, The1. Netherland, 1998.
- Ragozin A.F., Fontana R.P. Reactive gas-controlled arc process // IEEE Trans. Plasma Sci. 1997. — Vol. 25. — P. 680−684.
- Schanin P.M., Koval N.N., Kozyrev A.V., Goncharenko I.M. et al. Interaction of the droplet fraction of a vacuum arc with the plasma of a gas discharge // J. Techn. Physics.-2000.-Vol. 41, No 2.-P. 177−184.
- Walch В., Horanyi M., Robertson S. Measurement of the charging of individual dust grains in a plasma // IEEE Trans. Plasma Sci. 1994. — Vol. 22, No 2. — P. 97−102.