Математическое моделирование роста многокомпонентных твердых растворов A III B V
Диссертация
Современный этап развития электронной техники требует разработки новых эффективных технологий получения полупроводниковых материалов и приборов на их основе. Многокомпонентные полупроводниковые соединения А" ЛВЛ уже нашли широкое применение в различных областях электроники. На основе этих материалов были созданы полупроводниковые лазеры, промышленные газоанализаторы, волоконно-оптические… Читать ещё >
Список литературы
- Самарский A.A. Математическое моделирование и математический эксперимент. Вестник АН СССР, 1979, № 5.
- Андреев В.М., Долгинов Л. М., Третьяков Д. М. Жидкостная эпитаксия в технологии полупроводниковых приборов. М.: Металлургия, 1974, 392 с.
- Хамский Е.В. Кристаллизация в химической промышленности.-М.-Химия, 1979.344 с.
- Л.С.Лунин, О. Д. Лунина, А. И. Кеда. О некоторых особенностях зависимости v (1) и v (t) при зонной плавке с градиентом температуры в системах с летзАим компонентом // Физика конденсированных сред. Новочеркасск. 1976. — Т. 328. — С. 11−16.
- Александров Л.Н. Кинетика кристаллизации и перекристаллизации полупроводниковых плёнок. Новосибирск: Наука, 1985 г., 222 с.
- Кан Дж., Успехи физических наук, 91,691(1967).
- Кан Дж., Успехи физических наук, 91, 677(1967).
- Джексон К., Ульман Д., Хаит Дж., О механизме роста кристаллов из расплава // Проблемы роста кристаллов: Сб. научи, тр. -М.:Мир, 1968.-С.27−88.
- Алфинцев Г. А. Кинетика, механизм и формы роста кристаллов из расплава. :Автореф. Диссертации докт.физ.-мат.наук.(АН УССР. Ин-т металлофизики).- Киев 1981.-33с.
- Ю.Чернов A.A., Тёмкин Д. Е. Атомная структура кристаллических поверхностей // Известия по химии: Българска академия те науките.- 1978.-11, № 314.- с.643−670.
- П.Хиллиг У., Тернбалл Д., Элементарные процессы роста кристаллов, ИЛ, 1959, с. 291.
- Чернов A.A., Лобов Б. Я. Вопросы теории роста кристаллов // Рост кристаллов. М.: Наука, 1965.-5-С.11−23.
- Гиббс В.Дж. Термодинамические работы. М.: Гостехиздат, 1950.-492с.
- Чернов A.A. Процессы кристаллизации // Современная кристаллография.// Под ред. Вайштейна М.:Наука, 1980 — Зт.
- Volmer М. und Marder М., Z. Phys.Chem., А 154, 97, 1931
- И.Н.Странский и Р. Каишев, УФН, 21, 408,1939
- R. Becker und W. Doring, Annder Phys., 24, 719, 1935
- W.Kossel, Nachr. Ges. Wiss Gottingen, Math.-Phys., 21,135,1927
- I.N.Stranski, Z. Phys. Chem. В1 1, 342, 1931
- Hillig W.B., Symposium on Nucleation and crystallization in Glasses and Melts, American ceramic society, 1962, p.77.,
- Кристиан Дж. Теория превращений в металлах и сплавах. Ч.1.-М.:Мир, 1978.-806 с.
- Флемингс М. Процессы затвердевания.-М.: Мир, 1977.-423с.
- Хонигман Б. Рост и форма кристаллов.-М.:Изд-во иностр. литер., 1961.-210 с.
- Александров Л.Н. Влияние условий эпитаксиального роста на структуру и электрофизические свойства плёнок. В кн.:Дефекты структуры в полупроводниках. Новосибирск: ИФП СО АН СССР, 1973, с. 10−23.
- Tolman R.C., J.Chem. Phys., 17,333 (1949)
- Kirkwood J.G., BuffP.P., J. Chem. Phys., 17, 338, (1949).
- Buff P.P., J. Chem. Phys., 19,1591, (1951).
- Benson G.C., Shuttleworth R., J. Chem. Phys., 19,130, (1951).
- Френкель Я.И., Кинетическая теория жидкостей, Изд-во АН СССР, 1945
- KuhrtF., Z.Phys., 131, 185 (1952)
- Sl.Lothe J, Pound G. M, J. Chem. Phys., 36,2080 (1962)
- VolmerM., WeberA., Z./7Ay5. Chem., 119,227(1949).
- Kantrowitz A., J. Chem., Phys., 19, 1097 (1951).
- Zinsmeister G. Theory of thin film nucleation // Thin sohd films.-1971 .-v.7.-№ 1.-P.51−57.
- Vincent R. A theoretical analysis and computer simulation of the growth of epitaxial films //Proc.Roy.Soc.Land.A.- 1971.-v.321.-#1544.-p.53−68.
- Kariotis R., Lagally M.G. Rate equation modelling of epitaxial growth // Surf Sci.-1989.-V.216.-№ 3.-p.557−586.
- Resh J., Strozier J., Bensolova A., Ignatiev A., Rate equation models of epitaxial growth on stepped surfaces // J.Vac.Sci. and Teclm.A.-v.9.-№ 3.-P. 1551−1557.
- Wheeller A.A., Ratsch C., Marales A., Cox H.M., Zangwill A.-Dynamics of step flow in a model of heteroepitaxy //Phys.Rev.B.-1992.-v.46.-№ 4.-p.2428−2434.
- Жданов Гл. С, Каузова T.A. Совместный анализ кинетики роста островковой пленки методами прямого наблюдения и моделирования на ЭВМ // Изв. АН СССР. Сер.физ.-1986.-Т.50.-№ 8.-с. 1569−1572.
- Salik J. Computer simulation of thin film nucleation and growth // J.Appl.Phys.-1985.-v.57.-№ll.p.5017−5023.
- Natori A., Fukuda M., Yasunada H. Monte-Carlo simulation of heterogeneous thin film growth // J.Cryst.Growth.-1990.v.99.-№l.-p. 112−115.
- Математическое моделирование. Физико-химические свойства вещества. М.: Наука, 1989.- 286 с.
- Любарский Г. Я., Слабоспицкий Р. П., Хажмурадов М. А., Адушкина Р. И. Математическое моделирование и эксперимент. — Киев: Наук. Думка, 1987.-160 с.
- Математическое моделирование в физике. Материалы VIII Всесоюзного рабочего совещания по методам Монте-Карло. Уфа, 1982, 80 с.
- Hracli R. Simulation of thin film growth //Int J.Electronics.-1990.-v.69.-№l.-p.55−64.
- Kardar M., Parisi G., Zhang Y.C. Dynamic scaling of growing interfaces // Phy s.Rev. lett.-1986.-v.56.-№ 6.-p. 4407−4417.
- Takata M ., Ookawa A. On the growth mechanism of an A B crystal. — J. CrystGrowth., 1974, v.24/25, № 2, p.515−518
- Dhanasekaran R., Ramasamy P. Kinetics of crystallization in binary solutions Cryst. Resercerch and Technol., 1981, v. l8, № 8, p.863−868.
- Dhanasekaran R., Ramasamy P. On the theory of growth of an ideally stoichiometric A-B cry stall. Cryst. Resercerch and Technol., 1981, v. l6,№ 12, p.1347−1351
- ЗО.Бартон В., Кабрера В., Франк Ф. Рост кристаллов и равновесная структура их поверхности. В кн.: Элементарные процессы роста кристаллов. — М.: Наука, 1959, с. 11−109.
- Esin W.O., Daniljuk W.I., The fouth inemational Conference on Crystal Growth Collected Abstracts, Tokyo, 1974, p. 364 365.
- Сакало T.B. Кинетика начальных стадий роста тонких пленок на кристаллических поверхностях, канд.дис, г. Харьков, 1991 г.
- Сакало Т.В., Кукушкин С. А., Теоретические основы релаксационной жидкостной эпитаксии с инверсией массопереноса. // ЖТФ. 1990. — т.60, № 7, — с.78−83.
- Скрипов В.П., Коверда В. П. Спонтанная кристаллизация переохлажденных жидкостей. М.: Наука, 1984, 232с.
- Современная кристаллография. Т. З. Образование кристаллов. М.: Наука, 1980, 407 с.
- Зб.Кидяров Б. И. Кинетика образования кристаллов из жидкой фазы. Новосибирск: Наука, 1979,130 с.
- Беленький В.З. Геометрико вероятностные модели кристаллизации. М.: Наука, 1980.58. нохилко Б. И. Математическое моделирование процесса в ЖФЭ и электрофореза. Канд. дне, Москва, 1986 г.
- Соловьев В.В. Изучение нормального механизма роста кристалла на основе моделировнаия на ЭВМ. Докт дне. Москва, 1972 г.
- Александров Л.Н., Логинова Р. В., Гайдук Е. А. Моделирование роста автоэпитаксиальных пленок германия на ЭЦВМ.- Изв. АН СССР, Неорган. материалы, 1978, т.14, с.981−984
- Гилмер Дж. Машинные модели роста кристаллов. УФН, 1981, Т.135, с. 317−335.
- КОЛОДКИН В.М., Борисов В. Т. Моделирование роста грани бинарного монокристалла при конечном коэффициенте диффузии в расплаве.-Докл.АН СССР, 1977, т.237, с.379−382.
- Веппета Р., van der Eerden J.P. Crystal growth from solution development in computer simulation.-J.Cryst.Growth., 1977, v.42, p.201−213
- Осипов A.B. Кинетика массовой кристаллизации расплава на начальной стадии. ФТТ, 1994, т.36, № 5.
- Таиров Ю.М., Цветков В. Ф. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов. Уч. пособие для вузов. М.: Высш.шк., 1990.-423 с.
- Лозовский В.Н., Лунин Л. С., Попов В. П. Зонная перекристаллизация градиентом температуры полупроводниковых материалов. •- М.: Металлургия. 1987. — 232 с.
- Шефталь Н.Н., Бузынин А. И. К моделированию процессов роста кристаллов. В сб.:Рост крист. Т.Х. М.:"Наука", 1974, с. 261−265.
- Gilmer G.H. Simulation of crystal growth from the vapor. Proceedings of the 1976 International Conference on Computer Simulation for Materials Applications, 1976, v.20, part 2, p. 964−977.
- Chernov A.A., J. Lewis Computer model of crystallization of binary systems: kinetic phase transition. J. Phys.Chem. Solids, 1967, v. 28, p. 2185 -2198.
- Черепанова T.A., Ширин A.B., Борисов В. Т. Моделирование роста бинарных кристаллов на ЭВМ. Кристаллография, 1977, т. 22, в.2, с. 260 — 267
- Тру нов Н. Н. Моделирование роста металлического ГЦК кристалла из расплава в направлении <100>. ФММ, 1978, т.45, в.4, с. 803−809.
- ПОПОВ В.П., Сушков В. П., Лунин Л. С., Сапелкин СИ. В кн.: Кристаллизация и свойства кристаллов. — Новочеркасск: НПИ. -1976.-ВЫП.З.-С.55−61.
- Соловьев В.В., Борисов В. Т. Изучение кинетики роста грани кристалла методом моделирования. ДАН СССР, 1972, т.202, № 2, с.329−332
- Соловьев В.В., Борисов В. Т. Изучение атомной структуры грани растущего кристалла. Кристаллография, 1972, т. 17, в. 5, с.918−928
- Стрельченко С.С., Лебедев В. В. Соединения аава, М., «Металлургия», 1984 г., с. 145
- Шевченко А.Г. Разработка физико-химических основ получения многокомпонентных твердых растворов на основе InAs в поле температурного градиента. Диссертация канд. тех. наук. -Новочеркасск, 1996.-140 с.
- Хилсум К., Роуз-Инс, «Полупроводники аа"ва» пер с англ. под ред. акад. Н. П. Сажина, М.: «Металлургия», 1963.
- Чалмерс Б. Теория затвердевания. М.: Металлургия, 1989, 288с.
- Григорьев Ф.И., Изучение условий образования и свойства эпитаксиальных структур на основе арсенида галлия. Диссертация канд. физ.-мат. наук. — Москва, 1971.-121 с.
- Jordan J. //J. Electrochem. Soc. 1972. 119. P. 122−124.85. желтый учебник Ром.анен.ко
- Meijering J.L. Philips Res.Rep., 1951, v.6, № 2,p. 183 — 204
- Шаскольская М.П. Кристаллография. Учебник для втузов. М., «Высшая школа», 1976, 391 с.
- Тихонов А.Н., Арсенин В. Я., Методы решения некорректных задач. Учебное пособие для вузов. Изд. 3-е, исправленное. -М.:Паука. Гл.ред.физ.-мат. лит., 1986. 288 с.
- Благин A.B., Казаков В. В., Шевченко А. Г. Моделирование роста многокомпонентных слоев твердых растворов А™ВА, получаемыхметодом ЗПГТ. // «Кристаллизация и свойства кристаллов», Новочеркасск, 1996 г. С. З
- Маделунг О., Физика полупроводниковых соединений элементов III и V групп, М.: «Мир», 1967.
- Соловьев В.В., Борисов В.Т. Кристаллография, 17, 5, 918, 1972
- Соловьев В.В., Борисов В. Т. «Механизм и кинетика кристаллизации», тезисы докладов. Изд. «Наука и техника», Минск, 1971, стр. 12.
- Гмурман В.Е., Теория вероятностей и математическая статистика, М.: «Высшая школа», 1998, 478 с.
- Коган А.Н., Миркин Л. И., Муницина Т. Н., Тростина Н. П., Моделирование методом Мойте Карло кристаллизации аморфных материалов при нагреве лучом лазера. — В кн.: Аморфные металлические сплавы. Научные труды МИСиС, № 147.М.: 1983 г, с. 116−121.
- Математическое моделирование в физике. Материалы VIII Всесоюзного рабочего совещания по методам Монте-Карло. Уфа, 1982, 80 с.
- Дьяконова В.И. Изучение процессов роста и легирования полупроводниковых пленок методом моделирования на ЭВМ. Диссертация канд.физ.-мат.наук. Саранск, 1983. — 178с.
- Современная кристаллография. В 4-х т. Т. З. Образование кристаллов, Редкол.: А. Л. Чернов Е.И.Гиваргизов, Х. С. Багдасаров и др. М. :Наука, 1980.-407 с
- КобелевН.Б. Практика применения экономико математических методов и моделей / Учеб.-практ. пособие.-М.:ЗАО «Финстатинформ», 2000. 246с.
- Селин A.A. ., Вигдорович В. Н., Батура В. П. Выбор растворителя для жидкофазной эпитаксии твердых растворов Gax In i-x ASy Pi-y// Изв. АН СССР Неорганические материалы. 1982 -Т.18.№ 9-с.1464−1468
- Ахмедов Д. Получение и исследование гетероструктур и приборов на основе твердых растворов InGaAsP //: Дне. канд. физ.-мат. наук Л. 1985 с. 185
- Лунина О.Д. Выращивание варизонных гетероструктур AlGaAs методом зонной перекристаллизации градиентом температуры и их свойства.//, Новочеркасск 1982. — с.204.
- И. А. Сысоев «Метод зонной перекристаллизации градиентом температур в технологии оптоэлектронных приборов на основе многокомпонентных полупроводниковыхсоединений АЗВ5 „// Кандидатская диссертация Новочеркасск 1993 г. стр 120.
- Тявловская Е.А., Кацапов Ф. М., Осинский В. И. „Химическое травление эпитаксиальных слоев четверных твердых растворов арсенида-фосфида-галлия-индия“ // Электронная техника сер. материалы -1984. вып. 1. № 186 — с.23−25
- Балховитянов Ю.Б., Рудая Н. С., Юдаев В. И. „Влияние обработки поверхности подложки на начальные стадии образования пленок арсенида галлия“ // Неорганические материалы 1993 том 29 № 1 стр. 21−24
- Селин A.A., Ханин В. А., Вигдорович В. Н., Васильев М. Л. „Темп кристаллизации многокомпонентных твердых растворов соединений тина АЗВ5“ // Физическая химия 1984 том 27 № 3 стр 854−858
- Пичугин И.Г., Таиров Ю. М. Технология полупроводниковых приборов. М.: Высш. Шк., 1984.- 288с.
- Нашельский А.Я. монокристаллы полупроводников. М.: „Металлургия“, 1978. 200 с.
- Лозовский В.Н. Зонная плавка с градиентом температуры. -М.: Металлургия. 1971. — 344с.
- ИЗ. Lozovskii V.N., Popov V P. (Лозовский В Н., Попов В.П.) -Prog.Crystal Growth Charact. 1983. — V.6, № 1. — P. 1−23.
- Литвак A.M., Чарыков H.A. Термодинамический расчет зависимости ширины запреш-енной зоны от состава многокомпонентных твердьж растворов на основе соединений ААВ"А // Физика и техника полупроводников, 1990, т.24, вып. 12.
- Лунин Л.С. А.Г.Шевченко Технология получения многокомпонентных материалов электронной техники из жидкойфазы в поле температурного градиента // Тезисы докладов молодежной научно-технической конференции, Москва, 1994, с.56
- Пригожий И., Дефэй Р. Химическая термодинамика. М., 1966, 510 с.
- Сальтелли А., Соболь И. М. Анализ чувствительности нелинейных математических моделей: численные опыты. // Математическое моделирование 1995, т.7, № И, с. 16−28.
- Соболь И.М. Об оценке чувствительности нелинейных математических моделей // Математическое моделирование, 1990, т.2,№ 1,с. 112−118
- Накадзима К., Танахаси Т., Акита К. Эпитаксиальное выращивание из жидкой фазы согласованного по решетке Alo.48lno.52As на InP // Journal of Crystal Grouth, 1982, v.41, № 2, p. 194−196
- Takeda J., Noda S., Nakashima K., Sasuki A. Surface treatment of GaSb substrate and extremely low temperature LPE growth of AlGaAs. //Journal of Electronic Materials, 1984, v. l3, № 6, p.855−866
- Brunemmeier P.E., Roth T.J., Holonyak N., jr., and Stillmann G.E. Measurment of compositional inhomogenity of liquid phase epitaxial InGaPAs. // Applied Phisics Letters, 1983, v. 43, p. 373−375.
- Motosugi G., Kagawa T. Liquid phase epitaxial growth and characterization of AlGaAsSb lattice — matched to GaSb substrates. // Journal of Crystal Growth, 1980, v. 49, p. 102−108.
- Кузнецов B.B., Лунин Л. С., Ратушный В. И. Термодинамика и расчет фазовых диаграмм: Учеб. пособие, Новочеркасск, 1991, 46 с.
- Ракитин В.И., Первушин В. Е. Практическое руководство по методам вычислений с приложением программ для персонального компьютера: Учеб пособие. М.: Высш. шк., 1998. 383 с.
- Уфимцев В.Б., Акчурин Р. Х. Физико-химические основы жидкофазной эпитаксии, М.: Металлургия, 1983. — 221 с
- Калинина В.Н., Панкин В. Ф. Математическая статистика: Учеб для студ. сред. спец. учеб. заведений. 3-е изд., испр. — М.: Высш.шк., 2001. — 336 с: ил.
- Кочковая Н.В. Описание процесса ЗПГТ методами неравновесной термодинамики. ХХШ Гагаринские чтения: Сб. тез.докл. Всерос. молод, науч. конф., (8−12 апр. 1997 г., Москва) -М., 1997 г.-116
- Лунин Л.С., Шевченко А. Г., Семенцев A.M., Кочковая Н. В., Распределение мольных долей ближайших соседних пар многокомпонентных твердых растворов соединений А“» ВА. // Известия СКНЦВШ серия «Естественные науки», № 3 1997 г.142
- Influence of seeds borders on initial growth stage. Single crystal growth, strength problems, and heat mass transfer: 3 International Conference, Obninsk -1999
- Кочковая Н.В. О математическом моделировании роста кристаллов // Образование основной фактор развития культуры и духовности человека: Тез.докл. 2 всерос. науч-практич.конф 2 000 143