Низкотемпературный синтез и автоэмиссионные свойства композитных углеродных пленок
Диссертация
На основании экспериментальных исследований, проведенных в плазме СВЧ газового разряда низкого давления с использованием различных углеродосодержащих газовых сред, определены диапазоны изменения параметров процесса, обеспечивающих смешанный или раздельный синтез алмазоподобных, графитоподобных и углеводородных полимерных пленочных материалов, в том числе, в виде самоорганизующихся наноалмазных… Читать ещё >
Список литературы
- Fursey G.N., Field emission in vacuum microelectronics // Plenum Publishing corporation, New York. USA. 2002.
- Красильник З.Ф., Новиков A.B. // УФН. 2000. T.70 № 3.
- Sitar Z., Collazo R., Schlesser R. Field emission from carbon materials // ITM-FEECM 2001, 2−4 July 2001, Moscow. Russia.
- Боидареико Б.В., Макуха В. И., Шешии В. П. // Электронная техника, сер.1. Электроника СВЧ. 1984. № 10. С. 44.
- Суворов А.Л., Шешин Е. П., Протасенко В. В. и др. // ЖТФ. 1996. Т.66. Вып.7. С. 156.
- Ebbesen T.W., Ajayan P.M. // Nature. 1992. Vol. 358. P.220.
- Алмаз в электронной технике: Сб.ст. / отв. ред. В. Б. Квасков. // М.- Энергоатомиздат. 1990.
- Образцов А.Н., Павловский И. Ю., Волков А. П. Автоэлектронная эмиссия в графитоподобных пленках // ЖТФ. 2001. Том.71. Вып. 11.
- Руденко А.П., Кулакова И. И. Поликонденсация углеродсодержаших молекул и некоторые аспекты теории химического синтеза алмаза. // Вест. Моск. Ун-та. Сер.2. Химия. 1993. Т.34, № 6.
- Zhirnov V.V., WojakG.J. etal. //J.Vac.Soc. A. 1997. Vol.15. P.560.
- Harris P.J.F. // Carbon nanotubes and related Structures: New materials for the 21st Century. N.Y., 1999.
- Глинка H.JI. Общая химия. // JI. Химия. 1985.
- Сладкое A.M., Кудрявцев Ю. П. Алмаз, графит, карбин- аллотропные формы углерода // Природа. 1969.№ 5. С.37−44.
- Kroto H.W., Heatb J.R., O’Brien S.C. et al. // Nature. 1985. V.318. P. 162−163.
- Чернозатонский Л.A. // Природа. 1997. № 1. C.96−99.
- Terms concerned with carbon as chemical element and its reactivity // Proc. 5th London Int. Carbon Graphite Conf. (sept. 18−22 1978). 1979. V.3. P. 103−108.
- Heimann R.B., Evsyukov S.E., Koga Y. // Carbon. 1997. V. 35. P.1654−1658.
- Ман Л.И., Малиновский Ю. А., Семилетов C.A. // Кристаллография. 1990. T.35. С.1029−1039.
- Касаточкин В.И. Переходные формы углерода // Структурная химия углерода и углей / Ред. В. И. Касаточкин. М, 1969. С.7−16.
- Diederich F., Rubin Y. // Angew. Chem. Int. Ed. Engl. 1992. V.31. P. 1101−1123.
- Diederich F. //Nature. 1994. V.369. P.199−207.
- Fullerenes. Chemistry, Physics, and Techology / Ed. Kadich K.M. 2000.
- Haddon R.C. // Phil. Trans. Roy. Soc. London. Ser. A Phys. Sci. Eng. 1993. V.343. P.53−62.
- Хайманн Р.Б., Евсюков C.B. Аллотропия углерода. // Природа. 2003. № 8.
- Johnston R.L., Hoffmann R. //J. Am. Chem. Soc. 1989. V.lll. P.810−819.
- Федосеев Д.В., Лаврентьев A.B., Варшавская И. Г. и др. Осаждение алмазоподобных пленок из газовой фазы // ДАН СССР. 1988. Т.300. С.629
- Руденко А.П., Кулакова И. И., Скворцова В. Л. // Усп. Химии. 1993. Т.62. С. 99.
- Lin Т., Loh К.Р., Wee A.T.S., Shen Z.X., Lin J., Lai C.H., Gao Q.J., Zhang T.J. // Diamond Relat. Matter. 2000. Vol.9. P. 1703
- Tomellini M., Polini R., Sessa V. // J. Appl. Phys. 1991. Vol.70. P.7573.
- Liu H., Dandy D.S. // Diamond Relat. Mater. 1995. Vol.4. P. l 173.
- Bonnot A.M., Schauer R., Weidner B. // Diamond Relat. Mater. 1998. Vol.7. P.205.
- Кукушкин С.А., Слезов В. В. Дисперсионные системы на поверхности твердых тел // СПб. Наука. 1996.
- Yugo S., Semoto К., Nakamura N., Kimura Т. // Diamond Relat.Mater. 1997. Vol.6. P.1047.
- Jiang X., Schiffmann K., Westphal A., Klages C.-P. // Appl.Phys.Lett. 1993. Vol.63. P. 1203.
- Елинсон M. И. Ненакаливаемые катоды. // M. 1974.
- Baker F.S., Osnorn A.R., Williams J. // Nature. 1972.Vol. 239. P.96.
- Lea C. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1973. Vol. 6. P.1105.
- Baker F.S., Osborn A.R., Williams J. // J. Phys. D: Appl.Phys. 1973. Vol. 7. P.2105.
- Углеродные волокна / под ред. С.Симамурыю. М.- Мир, 1987
- Елинсон М.И., Васильев Г. Ф. // РиЭ. 1957. Т. 2. № 3. С. 126.
- Spindt С.А. A thing-film field emission cathode // J. of Appl. Phys. 1968. v.39. 6. P.3504.
- Суворов A.Jl., Бобков АФ. и др. // Препринт ИТЭФ. № 25−98. М., ИТЭФ. 1998.
- Апин М.П., Бушуев Н. А., Винник В. В., Григорьев Ю. А. и др. // Высокие технологии путь к прогрессу. Сб. раб. Саратов. 2003. С. 159.
- Gulyaev Yu.V., Sinitsyn N.I., Torgashov G.V. et al. // J. Appl. Surface Science. 1997. № 3. P. 145.
- Карасев C.A., Симонов C.B. и др. Влияние микротопографии и режима осаждения на автоэмиссионные свойства графитоподобных углеродных пленок. // ПЖТФ. 2002. том 28. выпуск 23.
- Елецкий А.В., Смирнов Б. М. // УФН. 1995. Т.165. № 9. С. 977.
- Fishbine В.Н., Miglionico C.J., Hacket К.Е., Hendricks K.J. Graphene nanotube cold emission electron sources // Mat.Res.Soc.Symp.Proc. 1994. Vol.349.
- Gulyaev Yu.V., Chermozatonskii L.A., Kosakovskaya Z.Ya. et al. // 7th Intern. Vacuum Microelectronics Conf. (IVMC-94). Grenoble, 1994. Revue «Le Vide, les Couches Minces». Supplement au N 271. Mars-Avril. 1994. P.322.
- Chernozatonskii L.A., Kosakovskaya Z.Ya., Gulaev Yu.V., Sinitsyn N.I. et al. // J. Vac. Sci. Technol. 1996. Vol. В14. N 3. P.2080.
- Bonard J.-M., Croci M., Klinke C., Kurt R. et al. Carbon nanotube films as electron field emitters // Carbone. 2002. Vol.40.
- Гуляев Ю.В., Синицин Н. И., Жбанов А. И. и др. // Инженерная физика. 2004. № 1.
- Белл Р. Эмиттеры с отрицательным электронным сродством. // М. Госэнергоиздат. 1973.
- Himpsel F. J .е.а.// Phys. Rev. В. 1979. V. 20, N 2. Р.624−627.
- Schorr A.J.// Proceed, of Intern. Conf. Chicago. October, 1969.
- Strong H.M., Wentorf R.H.// J. Phys. Chem. 1971. V. 75. P. 1838.
- Бокий Г. Б., Безруков Г. Н., Клюев Ю. А., Налетов A.M., Непша В. И. Природные и синтетические алмазы // М. Наука. 1986. С. 221.
- Zhu W., Kochanski G.P., Seibles L. Defect-enhanced electron field emission from chemical vapor deposited diamond // Journal of Applied Physics. 1995. Vol.78. № 4. p.2707−2711.
- Karabutov A.V., Konov V.I., Pimenov S.M. et al. // J. de Physique IV. Colloque 5. 1996. Vol.6. P.113.
- Robertson J. // Thin Solid Films. 1997. Vol.296. P.6I.
- Бобков А.Ф., Давыдов Е.В.и др. // ЖТФ. 2001. Т.71. в.6. С. 95.
- Алфёров Ж. И. // Физика и техника полупроводников. 1998. том 32. № 1.
- Lutskii V.V. // Phys. St. Sol. (a). 1970. 1. P. 199.
- Tsu R., Esaki L. // Appl. Phys. Lett. 1973. 22. P.562.
- Alferov Zh.I. // Proc. of Nobel Symposium 99, Arild, Sweden, June 4−8, 1996 Physica Scripta 1996. 68. P.32.
- Леденцов H.H., Устинов B.M., Щукин B.A. // Физика и техника полупроводников. 1998. том 32. № 4.
- Vahala K.J. // IEEE J. Quant. Electron., 1988. QE-24. P.523.
- Sotomayor C.M., Wang F.D., Ledentsov N.N., Tang Y-S. // Proc. SPIE — The International Society for Optical Engineering. 1994. v.2141. P.2.
- Optical properties of Low Dimensional Semiconductors, ed. by Abstreiter G., Aydinli A., Leburton J.-P. // NATO ASI Series. Series E: Applied Sciences (Kluwer Academic Publishers, Dordrecht, The Netherlands, 1997) v.344.
- Eкимов А.И., Онущенко A.A. // Письма ЖЭТФ. 1981. 34. C.363.
- Ustinov V.M., Egorov A.Yu., Maximov M.V., Kop’ev P. S., Alferov Zh.I. et.al. // Proc. 22nd Int. Conf. Phys. Semicond, Vancouver, Canada, August 1994, ed. by D.J. Lockwood (World Scientific, Singapore) v. 3, P. 1855.
- Esaki L., Tsu R. // IBM J. Res. Dev. 1970. 14. P.61.
- Haken H. // Synergetics. Springer. Berlin—Heidelberg. 1997.
- Cahn J.W. // Trans. Met. Soc. 1968. 242. P. 166.
- Хачатурян А.Г. Теория фазовых превращений и структура твердых растворов // М. Наука. 1974.
- Марченко В.И., Паршин А. Я. // ЖЭТФ. 1980. 79. С. 257.
- Андреев А.Ф., Косевич Ю. А. //ЖЭТФ. 1981. 81. С. 1435.
- Herring С. //Phys. Rev. 1951. 82. Р.87.
- Андреев А.Ф. // Письма ЖЭТФ. 1980. 32. С. 2654.
- Марченко В.И.//Письма ЖЭТФ. 1981. 33. С. 397.
- Shchukin V.A. // Proc. 23rd Int. Conf. Phys. Semicond., July 22−26, 1996, Berlin, Germany, ed. by M. Scheffler, R. Zimmermann (World Scientific, Singapore) v. 2, P. 1261.
- Бимберг Д., Платова И. П., Леденцов Н. Н., Копьев П. С., Малышкин В. Г., Щукин В. А. // УФН. 1997. 167. С. 552.
- Vanderbilt D., Wickham L.K. // Mater. Res. Soc. Symp. Pro. 1991. 202. P.555.
- Ratsch C., Zangwill A. // Surf. Sci. 1993. 293. P. 123.
- Eaglesham D.E., Cerullo M. // Phys. Rev. Lett. 1990. 64. P.1943.
- Mo J.-W., Savage D.E., Swartzentruber B.S.,. Lagally M.G. // Phys. Rev. Lett. 1990. 65. P. 1020.
- Алфёров Ж.И., Берт H. А.// ФТП. 1996. 30. C.351.
- Технология тонких пленок под ред. Л. Майселла, Р. Гленга М. Сов. Радио. 1977. стр. 330.
- Minn S.S. J.Rech.Centre // Natl. Rech. Sci. Lab., Bellevue Paris. 1960. № 51. P.131.
- Neugebauer C.A., Webb M.B. // J.Appl.Phys. 1962. № 33. P.74.
- Hill R.M. // Nature. 1964. № 204. P.35.
- Крестников И.Л., Лундин В. В. и др. // УФН. 2000. 171.8. С. 857.
- Федосеев Д.В., Дерягин Б. В., Варшавская И. Г., Семенова-Тян-Шанская А.С. Кристаллизация алмаза// М. Наука. 1984.
- Badzian A.R., De Vries R.S. // Mat. Res. Bull. 1988. Vol. 23. P.385−400.
- De Vries R.S. // Am. Rev. Mater. Sci. 1987. Vol. 17. P.181.
- Яфаров P.K., Назаров A.A. // Письма в ЖТФ. 1994. Т.20. Вып.12. С.62
- Практикум по волновой электронике и микроэлектронике. / Ред. акад. Ю. В. Гуляев. Ч. II и III: Физика и технология современной микроэлектроники. Саратов: Изд-во СГУ. 2000.
- Былинкина Н.Н., Муштакова С. П., Олейник В. А., Яфаров Р. К. и др. // Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. В. 6. С. 43−47.
- Суздальцев С.Ю., Былинкина Н.Н, Муштакова С. П., Яфаров Р. К. Осаждение углеродных пленок различного фазового состава в плазме газового СВЧ-разряда с ЭЦР // Письма в ЖТФ. 1996. Т.22. Вып.21 С.88−93.
- Суздальцев С.Ю., Сысуев С. В., Яфаров Р. К. Формирование алмазоподобной фазы в условиях преимущественного осаждения неалмазного углерода в плазме газового СВЧ-разряда с ЭЦР.// Письма в ЖТФ. 1998. т.24. 4. С.25−31.
- Гладкий А.Н., Суздальцев С. Ю., Яфаров Р. К. Влияние технологических параметров на структуру и морфологию поверхности углеродных пленок // ЖТФ. 2000. Т.70. Вып.5. С.133- 135.
- Карасев С.А., Суздальцев С. Ю., Яфаров Р. К. Формирование неалмазной фазы углерода в плазме микроволнового газового разряда с электронным циклотронным резонансом // Письма в ЖТФ. 2000. Том 26. вып. 18. С.78−84.
- Суздальцев С.Ю., Яфаров Р. К. Кинетика роста алмазоподобных пленок в плазме микроволнового газового разряда // Письма в ЖТФ. 2001. Том 27. вып. 15. С.77−83.
- Симонов С.В., Суздальцев С. Ю., Яфаров Р. К. Влияние легирующей примеси на электронные свойства поверхности углеродных пленок // ПЖТФ. 2002. том 28. вып. 14.
- Алехин А.А., Суздальцев С. Ю., Яфаров Р. К. Тонкая структура углеводородных пленок, полученных в плазме микроволнового газового разряда низкого давления // ПЖТФ. 2003. том 29. вып. 15.
- Суздальцев С.Ю., Яфаров Р. К. Микротопография и автоэмиссионные свойства углеродных пленок, полученных в плазме микроволнового газового разряда // ФТТ. 2004. том 46. вып.2.
- Гуляев Ю.В., Яфаров Р. К. Микроволновое ЭЦР вакуумно -плазменное воздействие на конденсированные среды в микроэлектронике (физика процессов, оборудование, технология) // Зарубежная электронная техника. 1997. № 143. С.77−120.
- Guliaev Yu.V., Karasyov S.A., Suzdaltsev S.Yu., Yafarov R.K. Microtopogra-phy for nanocrystal carbon films synthesized in the microwave plasma of acetylene-containing gaseous atmospheres // IVMC'2000. China. Guangzhou. 2000.
- Тальрозе В.Л., Любимова A.K. // Докл. АН СССР. 1952. Т.86. С. 909.
- Дерягин Б.В., Федосеев Д. В. Рост алмаза и графита из газовой фазы // М. 1977.
- Уббелоде А.Р., Льюис Ф. А. Графит и его кристаллические соединения // М. Мир. 1965. С. 185.
- Глинка Н.Л. Общая химия. // Л. Химия. 1985.
- Денисов Е.А., Компанией Т. Н. // ЖТФ. 2001. Т.71. Вып.2. С.111−116.
- Powder Diffraction File Data Cards, Inorganic section, JCPDS, Swarthmore, Pennsylvania. USA. 1987.
- Руденко А.П., Кулакова И. И., Скворцова В. Л. // Усп. Химии. 1993. Т.62. С. 99.
- Ковба Л.М., Трунов В. К. Рентгенофазовый анализ // М. 1973.
- Суздальцев С.Ю., Яфаров Р. К. Новый ЭЦР СВЧ-источник плазмы с продольно-поперечным вводом энергии // Тезисы докладов на 3 Международной конференции «Микроэлектроника и информатика» Зеленоград. 1997. С.4−5.
- Суздальцев С.Ю., Сысуев С. В., Яфаров Р. К. Микроструктура и морфология алмазоподобных углеродных пленок при ЭЦР плазменном осаждении // Тезисы докладов на 3 Международной конференции «Микроэлектроника и информатика. Зеленоград. 1997. С. 159−160.
- Таиров Ю.М., Цветков В. Ф. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов. М.: Высшая школа, 1990. С. 424.