Разработка и совершенствование оптических методов измерения комплексной диэлектрической проницаемости и толщины наноразмерных плёнок
Диссертация
Изготовлены эталонные образцы плёнок Ag (толщинами 20, 30, 50, 60 нм), Си (35, 50, 90 нм), А1 (30, 50, 130 нм), нанесённые методом термического испарения в высоком вакууме на промышленные слёкла для фотопластин (выступающие в роли подложек). Измерены значения удельной проводимости изготовленных образцов, и проведено сопоставление с теоретически рассчитанными значениями. В результате проведённого… Читать ещё >
Список литературы
- Сенсорная система для сканирования параметров тонких металлических плёнок /А. С. Левченко, Н. Н. Серёгина //Экологический вестник научных центров Черноморского экономического сотрудничества. № 1. 2006. С. 92−95.
- Гвоздев В. И. Объемные интегральные схемы СВЧ /В. И. Гвоздев, Е. И. Нефедов. М.: Наука, 1985. 256 с.
- Чопра К. Тонкоплёночные солнечные элементы /К. Чопра, С. Дас- Под ред. Колтуна. М.: Мир, 1986. 435 с.
- Нанотехнология в ближайшем десятилетии /Под ред. Д. Г. Роко, Р. С. Уилъямса, П. М. Аливисатоса. М.: Мир, 2002. 292 с.
- Проводящие и отражающие свойства тонких металлических плёнок /И. В. Антонец, Л. Н. Котов, С. В Некипелов, Е. Н. Карпу-шов //ПЖТФ. 2004. Т.74. Вып.И. С. 102−106.
- Серов И.Н. Проблемы нанотехнологии в современном материаловедении /И.Н. Серов, В. А. Жабрее. //Физика и химия стекла, 2003. Т.29, № 4. С. 242−256.
- Андреев В. Г. Экспериментальные исследования поглощения волн миллиметрового диапазона в тонких металлических плёнках / В. Г. Андреев, В. А. Вдовин, П. С. Воронов //ПЖТФ. 2003. Т.29. Вып.22. С. 68−73.
- Рабинович В. А. Краткий химческий справочник. Изд. 4-е /В. А. Рабинович, 3. Я. Хавин. Спб.: Химия, 1994. 432 с.
- Трофимов В. И. Рост и морфология тонких плёнок /В. И. Трофимов, В. А. Осадченко. М.: Энергоатомиздат, 1993. 272 с.
- Палатник Л. С. Механизм образования и субструктура конденсированных плёнок /Л. С. Палатник, М. Я. Фукс, В. М. Косевич. М.: Наука, 1972. 320 с.
- Милъман И. И. Радиоволновой и оптический контроль. Учебное пособие. 4.1. Екатеринбург: УГТУ-УПИ, 2001. 75 с.
- Кухаркин Е. С. Электрофизика информационных систем. М.: Высш.шк., 2001. 671 с.
- Григорьев А. Д. Электродинамика и техника СВЧ. М.: Высш.шк., 1990. 334 с.
- Лансберг Г. С. Оптика. М.: Физматлит, 2003. 848 с.
- Benjamin R. Е. A revie of metallic micro-structures in the microwave regime /А collection of author. eng. URL: http://freespace.virgin.net/benjamin.evans7/LiteratureReview.pdf 04 мая 2004.
- Машкооич М.Д. Электрические свойства неорганических диэлектриков в диапазоне СВЧ. М.: Сов. Радио, 1969. 240 с.
- Князев Б. А. Поверхностные электромагнитные волны: основные свойства, формирование, транспортировка /Б. А. Князев, А. В. Кузьмин. Новосибирск.: ИЯФ СО РАН, 2003. 27 с.
- Семенов Н.А. Техническая электродинамика. М.: Связь, 1973. 480 с.
- Плотников В. П. Физика проводников и диэлектриков. Учебное пособие. Тамбов.: Изд. ТГТУ, 2004. 68 с.
- Блейкмер Дою. Физика твердого тела. Пер. с англ. М.: Мир, 1988. 608 с.
- Займан Дэю. Принципы теории твёрдого тела. М.: Мир, 1974. 452 с.
- Розенберг Г. В. Оптика тонкослойных покрытий. М.: Физматлит, 1958. 570 с.
- Находкин Н. Г. Физика металлических плёнок. Сер. Металлофизика /Н.Г. Находкин, Г. А. Зыков, А. Н. Шалдерван. Киев: Наукова думка, 1968. 218 с.
- Физика тонких плёнок. Т.2. /Под ред. Г. Хасса, Р. Э. Туна. М.: Мир., 1967. 344 с.
- Гимпелъсон В. Д. Тонкоплёночные микросхемы для приборостроения и вычислительной техники /В. Д. Гимпелъсон, Ю. А. Радионов. М.: Машиностроение, 1976. 328 с.
- Ларсон Д. К. Физика тонких плёнок. Т.6. / Под ред. М. Франкомба, Р. Гофмана. М.: Мир, 1973. С. 97−170.
- Новиков Н. И. Дефекты кристаллического строения металлов. М.: Металлургия, 1975. 208 с.
- Особенности наноструктуры и удельной проводимости тонких пленок различных металлов /И. В. Антопец, Л. Н. Котов, С. В. Некипелов, Е. А. Голубев //ЖТФ. 2004. Т.74. Вып.З. С. 24−27.
- Полухип В. А. Моделирование аморфных металлов /В. А. Полухии, Н. А. Ватолин. М.: Наука, 1985. 288 с.
- Бондарев Л. А. Основы измерений на СВЧ в оптическом диапазоне воли. М.: МИРЭА, 1983. 80 с.
- Григорьев А. Д. Резонаторы и резоиаторные замедляющие системы СВЧ /А. Д. Григорьев, В. Б. Янкевич. М.: Радио и связь, 1984. 247 с.
- Брандт А. А. Исследование диэлектриков на сверхвысоких частотах. М.: Физматгиз, 1963. 403 с.
- Метод обработки электромагнитного поля поверхностной медленной волны над поглощающим покрытием /Н.П. Федоров, П. А. Федютин, С. Р. Каберов, Д. А. Дмитриев, Н. П. Федоров //Радиотехника. 2004. № 11. С. 90−94.
- Юшкова О. В. Восстановление параметров слоистой среды //Изв. ВУЗов, Радиофизика. 1995. Т.28. № 7. С. 648−652.
- Определение коэффициентов отражения поглотителей электромагнитных волн с использованием модельных образцов /А.Н. Багров, J1. А.
- Мухарев, В. А. Слабиняк, В. В. Склянкииа //Радиотехника и электроника. 1994. Т.39. Вып.11. С. 1716−1720.
- Колоколов А. А. К вопросу об определении коэффициента отражения плоской монохроматической волны //Радиотехника и электроника. 1998. Т.43. № 8. С. 901−910.
- Халиуллии Д. Я. Обобщенные граничные условия импедансного типа для тонких плоских слоев различных сред (обзор) /Д. Я. Халиуллин, С. А. Третьяков //Радиотехника и электроника. 1998. Т.43. № 1. С. 1629.
- Конев В. А. Радиоволновая элипсометрия /В. А. Конев, Е. М. Кулешов, Н. Н. Пунъко. Мн.: Наука и техника, 1985. 104 с.
- Харвей А. Ф. Техника СВЧ. Т.1. М.: Сов. Радио, 1965. 763 с.
- Григулис Ю. К. Электромагнитный метод анализа слоистых полупроводниковых и металлических структур. Рига.: Знание, 1970. 780 с.
- А.с. 1 190 242 СССР, МПК4 G 01 R 22/00. Датчик для измерения параметров листовых материалов /И. М. Бравер, X. J1. Гарб, П. В. Николаев (СССР). № 3 465 821/24−09. Заявл. 07.07.82- Опубл. 07.11.85. Бюл.№ 41
- Афонин Д. Г. Открытые резонаторы в применении и диагностике твёрдого тела // Известия академии наук. 1999. Т.бЗ. № 10. С. 1992−1997.
- Pat. 20 020 118 026 US., Int. CI7 G 01 R 27/26. Permittivity measurement of thin films /Yutaka Doi (US). Honeywell International Inc. (US). № 752 638/09. Pub. date 29.08.2002.
- Двинских В. А. Полупроводниковый генератор для измерения диэлектрической проницаемости материалов на СВЧ /В. А. Двинских, В. Г. Дувинг, Д. А. Усанов //Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ. 1978, № 8. С. 100−102.
- Шестопалов В. П. Физические основы миллиметровой и субмиллиметровой техники. Т.1. Киев: Наукова думка, 1985. 213 с. 1 56. Вайнштпейн Л. А. Открытые резонаторы и открытые волноводы. М.: Сов. радио, 1966. 476 с.
- Gavriline V. V. Microwave ondestructive testing of thin multilayers conductive structures //NDT.net. 1999. Vol.4, № 3. рус. URL: http://www.ndt.net/article/pacndt98/41/41.htm И сентября 2004.
- Валитов P. А. Техника субмиллиметровых воли /Р. А. Валитов, С. Ф. Дюбко, В. В. Кошелев- Под ред. Р. А. Валитова. М.: Сов. Радио, 1969. 480 с.
- Усанов Д. А. Устройство для измерения параметров материалов и сред /Д. А. Усанов, А. В. Скрипалъ. //Саратовский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского (Россия). рус. URL: http://solid.sgu.ru/Science/Brussel/brusselUsanov.pdf,
- URL: http://www.ptechnology.ru/MainPart/Diagriostic/Diagnostic36.html 19 октября 2004.
- Усанов Д. А. Устройство для измерения толщины диэлектрических плёнок, напыляемых на металл /Д. А. Усанов, А. А. Безменов, Б.Н. Ко-ротин // ПТЭ. 1986, № 4. С. 227−228.
- Pat. 2 004 177 274 JP., Int. CI7 G 01 R 27/02. Non-contact electric conductivity measurement system /Kyo Akira, Saka Masumi, Abe Hiroyuki (JP). Tohoku techno arch со. LTD (JP). № 2002−343 833. Publ. date 24.06.2004.
- Усанов Д. А. Использование эффекта автодинного детектирования в генераторах па диодах Ганна для двух параметрового измерения диэлектриков /Д. А. Усанов, А. А. Андреев // Дефектоскопия. 1995. № 4. С. 42−45.
- Коган И.М. Автодины /И.М. Коган, Д. Я. Тамарчок, Ю.Л. Хогпун-цев // Итоги науки и техники. Радиоэлектроника. 1984. Т.ЗЗ. С. 3−175.
- Толщиномеры MEGA-CHECK 10-ST и 20-ST //Из каталога оборудования па сайте компании EuroTest (Санкт-Петербург). рус. URL: http://www.euro-test.ru/cgi/sbox/catalog.cgi?levell=500&-к Ievel2=570&level3=26 304&wcode=25 898 20 августа 2004.
- Андреев С. В. Исследование оптических постоянных металлических слоев /С. В. Андреев, Я. А. Губанов //Оптические и лазерные технологии. Сб. ст. под ред. В. Н. Васильева. СПБ.: 2001. С. 198−203.
- Пашкевич М. Ф. Исследования и изобретательство в машиностроении. Мн.: Адукацыя i выхавапне, 2005. С. 180−186.
- Евтпихиев Н. Н. Прибор для автоматического измерения толщины пленок //ПТЭ. 1983, № 6. 204 с.
- Бутиков Е. И. Оптика. М.: Высш. шк., 1986. 512 с.
- Пат. 2 215 317 Ли., МПК7 G 03 Н 1/00, G 01 В 21/20. Про-филограф /Ю.С. Степанов, Е. А. Белкин, Г. В. Барсуков (Россия). Орловский государственный технический университет (Россия). № 2 002 160 574/28. Заявл. 08.01.2002- Опубл. 27.10.2003.
- Оптическая голография. Т.2. /Под ред. Г. Колфилда. М.: Мир, 1982. С. 622−623.
- Пат. 2 157 513 Ru., МПК7 G 01 J 4/04. Эллипсометрический дат1 чик /В. Н. Федоринин. Конструкторско технологичесикй институт прикладной микроэлектроники СО РАН. № 99 104 550/28. Заявл. 05.03.1999- Опубл. 10.10.2000.
- Астрова Е. В. Измерение параметров и состава тонких пленок пористого кремния в результате окисления. Эллипсометрические исследования /Е.В. Астрова, В. Б. Воронков, А. Д. Ременюк //Физика и техника полупроводников. 1999. Т.ЗЗ. Вып.10. С. 1264−1270.
- Влияние переходного слоя на результаты эллипсометрических исследований наноразмерных слоев/Д. И. Биленко, В. П. Полянская, М. А. Гецьман, Д. А. Горин, А. А. Невешкин, A.M. Ященок //ЖТФ. 2005. Т.75. Вып.6. С. 69−73.
- Либенсон М.Н. Поверхностные электромагнитные волны в оптике //Сорос, образ, жури. 1996, № 11. С. 103−104.
- Либенсон М. Н. Преодоление дифракционного предела в оптике //Сорос. образ, журн. 2000, № 3. С. 99−104.
- Tip-enhanced Fluorescence Microscopy at lOnm resolution / J.M. Gerton, L.A. Wade, G.A. Lessard, Z. Ma, S.R. Quake //Phys. Rev. Lett. 2004. Vol.93, № 180 801.
- Поверхностные поляритоны /Под ред. В. М. Агроновича, Д. Л. Миллса. М.: Наука, 1985. 525 с.
- Либенсон М. Н. Поверхностные электромагнитные волны в оптике /М.Н. Либенсон, В. С. Монин, С. Д. Пудков. JL: Ленинградское отделение о-ва «Знание» РСФСР, 1990. 24 с.
- Дмитрук Н. Л. Поверхностные поляритоны в полупроводниках /Н. Л. Дмитрук, В. Г. Литповченко, В. Л. Стрижевский. Киев.: Наукова думка, 1989. 376 с.
- Валянский С. И. Микроскоп на поверхностных плазмонах //Соросов-ский образовательный журнал. 1999, № 8. С. 76−88.
- Sensia /?-SPR Research Platform /Sensia со. Product details. рус. URL: http://www.sensia.es/index-archivos/betaspr.htm 20 января 2006.
- Bruijn H. E. Determination of dielectric permittivity and thickness of a metal layer from a surface plasmon resonance experiment /Н.Е. Bruijn, R.P.H. Kooyman, J. Greve //Applied optics. 1990. Vol.29. № 13. P. 19 741 978.
- Optical properties and instrumental performance of thin gold films near the surfase plasmon resonance /Н. Neff, W. Zong, A.M.N. Lima, M. Borre, G. Holzhuter //Thin solid films. 2006. Vol.496. P. 688−697.
- Mitsushio M. Sensor proporties and characterization of the metal-deposited SPR optical fiber sensors with Au, Ag, Cu and А1 /М. Mitsushio, K. Miyashita, M. Higo //Sensors and Actuators A: Physical. 2006. Vol.125. P. 296−303.
- Волноводный метод измерения параметров тонких пленок /А. В. Хо-мченко, А. Б. Сотский, А. А. Ромапепко, Е. В. Глазунов, А. В. Шуль-га //ЖТФ. 2005. Т.75. Вып.6. С. 98−106.
- A commercial solution for surface plasmon sonsing /J. Melendez, R. Carr, D. Bartolomow, K. Kukanskis, J. Elkind, S. Yee, C. Furlong, R. Woodbury //Sensors and Actuators B. 1996, № 35−36. P. 212−216.
- Серегина H. H. Микрооптические биосенсоры: методы практической реализации/Я. Н. Серегина, Л. И. Романова, М. М. Векшин /Кубанский гос. ун-т. Краснодар. 2003. 42 с. Деп. в ВИНИТИ 3.04.2003, № 610-В2003.
- Slavi’k R. Simultaneous excitation of long and short range surface plasmons in an asymmetric structure /Radan Slavik, Jiri Homola //Optics communications. 2006. Vol. 259. P. 507−512.
- Shen. Optical phase-shift defection of surface plasmon resonance /Shen, T. Liu, J. Guo //Appied optics. 1998. Vol.37. P. 1747−1751.
- Homola J. Surface plasmon resonance sensors: review / J. Homola, S.S. Yee, G. Gauglits //Sensors and Actuators B: chemical. 1999. Vol.54. P. 3−15.
- Slavik R. Miniaturization of fiber optic surface plasmon resonance I sensor /R. Slavik, J. Homola, J. Ctyroky //Sensors and Actuators B. 1998.1. Vol.51. P. 311−315.
- Старр А. Т. Радиотехника и радиолокация. M.: Сов. радио, 1960. 672 с.
- Лебедев В. И. Техника и приборы СВЧ. М.: Высш. шк., Т.1. 1970. 375 с.
- Запороэ/сец В. В. Волновые процессы и квантовая радиофизика: Лабораторный практикум /В. В. Запорооюец, Н. А. Яковеико. Краснодар: КубГУ, 2001. 172 с.
- Амплитудно частотная характеристика резонансных диафрагм в окрестности частот отсечки /В. В. Запороэ/сец, А. С. Левченко, А. А.
- Чудина, Н.А. Яковенко //Изв. вузов. Сев.-Кавк. регион. Техн. науки.
- Спец. выпуск. Математическое моделирование и компьютерные технологии. 2006. С. 25−27.
- Блюменфелъд Л. А. Применение электронного парамагнитного резонанса /Л. А. Блюменфелъд, В. В. Воеводский, А. Г. Семёнов. Новосибирск: Изд. Сибирского отделения АН СССР, 1962. 240 с.
- А. С. Левченко Измерение параметров радиопоглощающих плёночных материалов в сантиметровом диапазоне сверхвысоких частот /Вестник студенческого научного общества за 2003 г. Краснодар КубГу: 2004. С. 22−23.
- Измерение параметров радиопоглощающих плёночных материалов в сантиметровом диапазоне сверхвысоких частот /В. В. Запороэ/сец, А. С. Левченко, Н.А. Яковенко/, Кубан. ун-т — Краснодар, 2002. 13 с. Рус. Деп. В ИНИОН РАН 09.01.2003, № 68-В2003
- Измерения на миллиметровых и субмиллиметровых волнах. Методы и Техника /Под ред. Р. А. Валитова, Б. И. Макаренко. М.: Радио и Связь, 1984. 296 с.
- Микаэлян А. Л. Оптические генераторы на твердом теле /А. Л. Мика-элян, М.Л. Тер-Микаэляи, Ю. Г. Турков. М.: Изд-во Советкое радио, 1967. 384 с.
- Корнблитп С. СВЧ Оптика. Оптические принципы в приложении к конструированию СВЧ антенн. М.: Связь, 1980. 400 с.
- Ворн М. Основы оптики /М. Борн, Э. Вольф. Пер. с англ. М.: Наука, 1973. 720 с.
- Королёв Ф.А. Пропускание электромагнитных волн тонкими плёнками серебра /Ф.А. Королёв, В. И. Гриднев. //РЭ. 1965. С. 1718−1719.
- Бреховских Л.М. Волны в слоистых средах. М.: Наука, 1973. 343 с.
- Анализатор спектра HP 8560 / Agilent Technologies: the premier measurement company advancing electronics, communications, life sciences and chemical analysis — eng. URL: http://www.unitest.com/pdf/ag8560en.pdf 10 октября 2005.
- Савчук В. П. Обработка результатов измерений. Физическая лаборатория. 4.1: Учебное пособие для студентов вузов. Одесса: ОНПУ, 2002. 54 с.
- Новицкий П. В. Оценка погрешностей результатов измерений /П. В. Новицкий, И. А. Зограф. JI.: Энергоатомиздат., 1985. 248 с.
- Determination of dielectric permittivity and thickness of a metal layer from a surface plasmon resonance experiment /Helene E. De Bruijn, Rob P. H. Kooyman, Jan Greve //Applied optics. 1990. Vol.29. № 13. P. 1974−1978.
- Joseph R.L. Radiative decay engineering 3. Surfase plasmon-coupled directional emission //Analytical Biochemistry. 2004. V.324 P. 153−169.
- Агроиович В. А. Краткий химческий справочник. Изд. 4-е /В. А. Агро-иович, В. JI. Гинзбург. М.: Наука, 1965. 376 с.
- Datasheet on SlC7309×01 b/w CCD Processor /Sumsung Electronicseng. URL: http://www.alldatasheet.com/datasheet-pdf/pdf/37 721/SAMSUNG/SlC7309X01.html 10 октября 2005.
- Datasheet on KS7212 timing&sync. generator for b/w CCD /Sumsung Electronics eng. URL: http://www.chip.tomsk.ru/chip/chipfile.nsf/ all/99C7A3O53DA99988C6257O2A00307E0F/$File/ks7212.pdf 10 октября 2005.
- Измеритель КСВн панорамный P2−61. Техническое описание и инструкция по эксплуатации. Краснодар: 1989. С. 24
- Вонсовский С. В. Магнетизм. Магнитные свойства диа-, пара-, ферро-, антиферро- и ферримагнетиков. М.: Наука, 1971. 1032 с.
- Боровик Е.С. Лекции по магнетизму. Изд. 3-е IE. С. Боровик, В. В. Ерёменко, А. С. Милънер. М: Физматлит, 2005. 512 с.
- Мищенко А. В. Справочник физических величин чистых веществ. М.: Изд-во Мир, 1982. 657 с.
- Туров Е.А. Лекции по магнетизму /Е.А. Туров, А. В. Колчанов, И. Ф. Мирсаев, В. В. Николаев. М.: Физматлит, 2001. 560 с.
- Бичурин М. И. Магнитоэлектрические материалы на СВЧ /М.И. Би-чурии, В. М. Петров. Новгород. 1998. 154 с.
- Справочные данные на стёкла для электровакуумных приборов. М.: НИИЭС 1986.
- John Т New approaches to aluminum passivation for corrosion prevention /Т. John, Jr. Yates. //Finel rept. 1998. eng. URL: http://www.stromingmedia.us/69/6993/A699353.html 10 октября 2005.
- Быков Ю. А. О некоторых особенностях структуры и свойств металлических «тонких плёнок» /Ю.А. Быков, С. Д. Корпухин, Е.И. Газуки-па. //МиТОМ 2000. № 6. С. 45−47.
- Reinhold В. Sulfide corrosion of silver contacts during satellite storage //Journal of spacecraft and rockets, 1988 Vol.25. № 6. C. 439−440.
- Федоров Д. Г. Электронная структура Ag2S //Сб. докл. м.н.к. Актуальные проблемы физики твёрдого тела. Мн.: ФТТ 2005 Т.1. С. 231−232.
- Арсеев И. Е. Влияние близости приёмной и передающей антенн на измерение диэлектрической проницаемости вещества //Радиотехника и электроника. 1970. № 10. С. 2071−2080.
- Восстановление оптических параметров R и Т зеркал по зависимости коэффициента передачи квазиоптического СВЧ резонатора образованного этими зеркалами- 141. TOL := 10с := 299 792 458 м/с ти := 3.141 592 653 589 793
- Промежуточные вычисления по математическому восстановлению зависимости коэффициента передачи «идеального» резонатора1. Ко
- Ко := 10 10 Хо := — Qn := — нагруженная добротность резонатораfo Af24. TU-S-fo28f := fo1 «Л * 8fp om := — относительная расстройка между отсчетами для1. Qnидеального» резонатора
- Р = 8.0942×10 Qn = 40.5172−31. Jmax := lOlog (Jmax)5m = 0.01665f = 1.5591×108 Гц Jmax = -25.748 дБ
- Математические зависимости коэффициентов передачи экспериментальные и расчётные (с учётом потерь)1. K (f) :=1. J (f) :=4.Qn Ко1 Г | 4-(f- fo)'1. Sfr) fo4. Qn Коf Л2 | 4-(f- fo)21. J fo2f := 9 000 000 000,9001000000. 10 000 000 000
- График зависимости коэффициентов передачи резонатора от частоты измеренный K (f) и восстановленный с учётом потерь J (f)
- Восстановление оптических параметров R и Т для второго зеркала (по параметрам эталонного зеркала) частично образующего квазиоптический СВЧ резонатор.
- Изначальные данные полученные в ходе эксперимента: параметры эталонного зеркала (в данном случае расчитанные выше)
- Qn = 47 5f= 1.2391×108 Гц Jmax = -33.6418 дБ
- Математические зависимости коэффициентов передачи -экспериментальные и расчётные (с учётом потерь)1. K (f) :=1. J (f) :=4.Qn' Ко1 V 4-(f- fo)2kQnfof := 9 000 000 000,9001000000. 10 000 000 000
- График зависимости коэффициентов передачи резонатора от частоты измеренный K (f) и восстановленный с учётом потерь J (f)
- Численные зависимости трёх параметров металических плёнок
- R (d, a), T (d, cr) и расчёт по экспериментально измеренным значениям
- Т и R возможных значений cj (d), что позволяет по одному из параметров найти другой и расчитать погрешностьч- 14
- TOL := 10 с := 299 792 458 м/ся := 3.141 592 653 589 793 гО := 8.854 187 827−10'-12
- Зависимости R (d, a) и T (d, a), в окрестности определённой частоты ff:= 10−109 Гц l:=- 1 = 0.03 мf
- Jt-sO-f 2-Ti-sO-f 2−7r-e0-f-9 -9 -9dmin := 10−10 нм Ad:=5−10 им dmax:=90−10 нм d := dmin, dmin +Ad., dmaxзависимости комплексного коэффициента отражения p (d,^) и пропускания x (d,^)cosh, (¦ 2-я•sinhVVyjc, i-^-sinh i---yjc, — i-^-dIcosh