Разработка методов и средств контроля высокочистого синтетического корунда и технологических сред для его получения
Диссертация
Рентгенофлуоресцентный анализ является современным, высокочувствительным и экспрессным методом. Однако требует сложного и дорогостоящего оборудования и специально подготовленного высококвалифицированного обслуживающего персонала. Для анализа синтетического сапфира методом РФА необходима стадия пробоподготовки с применением специальных установок. Что усложняет и увеличивает стоимость анализа. НИР… Читать ещё >
Список литературы
- Чупахин М.С., Сухановская А. И. Методы анализа чистых химических реактивов. М.: Химия, 1984. 280 с.
- Методы анализа веществ высокой чистоты. Под ред. Алимарина И. П. М.: Наука, 1985.-528 с.
- Методы получения и анализа веществ особой чистоты. Под ред. Девятых Г. Г. М.: Наука, 1980. — 210 с.
- Успехи аналитической химии. Под ред. Золотова Ю. А., Петриковой М. И., -М.- Наука, 1984. 361 с.
- Ляликов Ю.С., Радауцан С. И., Копанская JI.C., Старум Т. Г. Аналитическая химия полупроводников. Кишинев: Штиинца, 1975. — 217 с.
- Золотов Ю.А., Кузьмин Н. М. Концентрирование микроэлементов. М.: Химия, 1982.228с.
- Методы анализа веществ высокой чистоты. Под ред. Алимарина И. П. М.: Наука, 1965. 528 с.
- Методы получения и анализа веществ особой чистоты. Под ред. Девятых Г. Г.-М.: Наука, 1970.-210 с.
- Успехи аналитической химии. Под ред. Золотова Ю. А. Петриковой М.И., -М.- Наука, 1974. 361 с.
- Ляликов Ю.С., Радауцан С. И., Копанская Л. С., Старум Т. Г. Аналитическая химия полупроводников. Кишинев: Штиинца, 1975. — 217 с.
- Современные методы анализа микрообъектов и тонких пленок. Под ред. Алимарина И. П., Луфт БД. М.: Наука, 1977. 305 с.
- Алимарин И.П., Луфт БД., Кузнецов Ю. П., Дворянкин В. Ф. «Проблемы анализа микрообъектов в электронной технике» В Кн. Современные методы анализа микрообъектов и тонких пленок. -М.: Наука, 1977, с. 5−8.
- Получение и анализ веществ высокой чистоты. Под ред. Девятых Г. Г. М.: Наука, 1978, 275 с.
- Чупахин М.С., Крючкова О. Н., Рамендик Г. И. Аналитические возможности искровой масс-спектрометрии. М- Атомиздат, 1982.-222 с.
- Золотов Ю.А., Кузьмин Н. М. Концентрирование микроэлементов. М.: Химия, 1982,-284 с.
- Юделевич И.Г., Буянова Л. Н., Шелпакова И. Р. Химико-спектральный анализ веществ высокой, чистоты, Новосибирск: Наука. 1980. — 224 с.
- Бартенев B JL, Брюнин В. Н., Федотов ВКонтроль технологических сред в производстве ИС //Электронная промышленность. 1985, Вып. З (141), с.80−84.
- Беляев И.А., Денисов Л-К., Ихенов Д. А., Сальников М. А., Сивоволов В. А. и др. Контроль содержания, органических примесей- в технологических средах микроэлектроники с помощью лазерного флуориметра //Электронная промышленность. 1986, Вып. З (151), с.62−64.
- Юделевич И.Г. Лаборатория, контроля чистоты полупроводниковых материалов института неорганической химии СО АН СССР. Ж. аналит. химии, 1982, т. 37, № 10, с. 1903 1907.
- Карпов Ю.А., Алимарин И. П. Методы и проблемы современной аналитической химии высокочистых веществ- // Методы анализа высокочистых веществ. М.: Наука, 1987! с.23−54.
- Андрианов А.В. Оптоэлектроника как область науки и техники. Учебное, пособие.—М-: Микрон-принт, 2001.-147 с:
- Райцын Е. Р: Создание пьезоэлектрических гетероструктур на основе нитрида алюминия методом реактивного испарения. // Дисс. канд. техн. наук. М.: МИЭТ. 1987. 214с.
- Баровский Н.В., Добрынин А.В-, Малюков Б. А. и др- Особенности кристаллизации сложных гетероструктур нитридов алюминия и галлия //
- Тез. 3го Вссрос. совсщ. по нитридам, М.: МГУ, 1999 г., с21−22:
- Xu Jianwei, Zhou Vongzong, Zhou Giioqing, Xu Ke, Deng Peizhen and Xu Jun. Growth of large-sized- sapphire boules. by temperature gradient technique (TGT)// Journal of Crystal Growth, Volume 193, Issues 1−2.-1998. -p. 123−126.
- J. A. Schneider, S. E. Guthrie, M. D. Kriese, W. M. Clift and N. R. Moody. Impurity effects on. the adhesion of aluminum films on sapphire substrates// Materials Science andiEngineering A Volume 259jTssue 2.-1999.-p. 253−260.,
- K. P. D. Lagerlof and R. W. Grimes. The defect chemistry of sapphire (a-Al203)//ActaMatcrialia Volume 46, Issue 16.-1998.-p. 5689−5700
- Liu L., J.H. Edgar/ Substrates, for gallium nitride epitaxy // Materials' Science and Engineering, R 37.-2002.-p. 61−127.
- Файнштейн С.М., Обработка и защита поверхности полупроводниковых- приборов: М.: Энергия, 1970. — 296 с. '
- Полтавцев Б.Г., Князев А. С. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике. К.: Техника, 1990, с.5−28.
- Grudner M. Wet chemical treatments of Si surfaces: Chemical composition and morfology // Solid State Technology Vol 34. No. 2. Feb. 1991. P. 69−75.
- Диссертация на соискание ученой степени к.т.н. Ковалева А. А. «Новые технохимические процессы и оборудование жидкостного химического снятия слоев полимеров в планарном микроэлектронном производстве» М., МИЭТ, 2000. 170 с.
- Skidmore К. Cleaning techniques for wafer surfaces // Semiconductor International. Vol. 10. No. 8. Aug. 1987.
- McHatton C., Gumbert C.M. Eliminating backgrind defects with wet chemical etching//Solid state technology. Vol. 41., No. 11., Nov. 1998. P. 85−90.
- Hattory T. Environmentally friendly single-wafer spin cleaning // Solid state technology. Vol. 42. No. 11. Nov. 99. P. 73−80.
- Meuris M., Merteus P.W., Opdebeeck A. The IMEC clean: a new concept for particle and metal removal on Si surfaces // Solid State Technology. Vol. 38. No. 7. Jul. 1995. P. 109.
- Hall R.M. Investigating particle, metallic deposition in megasonic4 wafer cleaning//MICRO. Vol. 14. No. 7. July/August. 1996. P. 81−90:
- Хирацука Ю. Проектирование технологии очистки в процессе изготовления СБИС // Гл. 1. Технология прецизионной очистки. Всесоюзный центр переводов. No. М-35 457. 1984. С. 1−63. •
- А.И. Курносов, В. В. Юдин. Технология производства полупроводниковых приборов // «Судостроение». 1965. С. 20−24.
- BurggraafP. Water cleaning: brush" and high-pressure scrubbers // Semiconductor International. Vol. 4. No. 7. Jul. 1981.
- OCT 11 029.003−80 «ИЭТ. Вода, применяемая в производстве. Марки, технические требования, методы очистки и контроля».
- Диссертация на соискание ученой степени к.т.н. Жиркова М. В. «Разработка методов и средств контроля параметров технологии водоподготовки в производстве изделий микроэлектроники». М.: МИЭТ, 2003. 190 с.
- Чистяков Д., Ю. П. Райнова. Физико-химические основы технологии микроэлектроники.-М.:"МЕТАЛЛУРГИЯ", 1979.-е. 408.
- W.Kern, «The Evolution of Silicon Wafer Cleaning Technology"//Electrochem. Soc., Vol. 197, No.6, p. 1887, 1990.
- K. Yoneda „Wafer Clean Technology for Sub Micron Processing“, // Techical Proceeding Semicon Japan, p.162, 1991.
- Vic Comello „Semiconductor International“, p.76, March, 1991.
- Бокарев В.П., Вахрушев М. Ю., Гизатуллин M.P. „Очистка пластин кремния от органических примесей“//Электронная промышленность, 1993, № 4, с.33−34.
- Kern W. Radiochemical study of semiconductor surface contamination//RCA Rev. 1970. — № 6, p.203−264.
- Черепин В. Т., Васильев М. А. Методы и приборы для анализа поверхности материалов. Киев: Наукова думка, 1982. — 399с.
- Гимельфарб Ф.А. Поверхностные загрязнения и методы их исследования // Методы анализа высокочистых веществ. М.: Наука, 1987. с.75−93.
- Диссертация на соискание ученой степени д.х.н. Юделевича И. Г. „Исследования в области анализа веществ высокой чистоты и полупроводниковых материалов“ Новосибирск, Институт неорганической химии СО АН СССР, 1972. 420 с.
- Шелпакова И.Р., Юделевич И. Г. Послойный химико-спектральный анализ арсенида галлия. // Методические разработки в области материаловедения полупроводниковых и твердотельных структур. Новосибирск, 1982, с. 62.
- Рамендик Г. И., Дергиев В. И., Васюта Ю. В. Общий, послойный и локальный анализ компактных диэлектриков на масс-спектрометре с искровым лоточником ионов. Ж. аналит. химии, 1979, т. 34, № 7, с. 1361 — 1372.
- Кузовкин Б.И., Майоров Н. А., Недлер В. В., Смирнов А. Ю. Использование ионной бомбардировки для послойного анализа материалов спектральными методами. Ж. аналит. химии, 1975, т. 30, № 1, с. 33−39.
- Кузовлев И.А., Сабатовская B.JL, Свердлина С. А., Хоркина А. С., Виноградова М. С., Кузьмин Н. М. Комбинированный высокочувствительный метод определения примесей в эпитаксиальных структурах кремния. Заводск. лаборатория, 1971, т. 37, № 9, с. 1071 — 1077.
- Определение примесей в пленках окисла и нитрида кремния на кремниевой подложке. /Юделевич И.Г., Шелпакова И. Р., Буянова JI.H., Чучалина J1.C., Щербакова О. Н., Середнякова Т. П., Зеленцова J1.B. Ж. аналит. химии, 1974, т. 29, № 3, с. 518 — 522.
- Рамендик Г. Н. Новые направления работ и перспективы развития искровой масс-спектрометрии. Ж. аналит. химии. 1983, т. 38, № 11, с. 2036 — 2050.
- Герасимов В.А., Сапрыкин А. Н., Шелпакова И. Р., Юделевич И. Г. Выбор оптимальных условий послойного анализа полупроводниковых структур на искровом спектрометре. Ж. аналит. химии, 1987, т. 33, № 7, с. 1274−1280.
- Шелпакова И.Р., Сапрыкин А. И., Юделевич И. Г. Искровой масс-спектрометрический анализ материалов высокой чистоты с концентрированием примесей // Методы анализа высокочистых веществ. М.: Наука, 1987. с.143−156.
- Яковлев Ю.В., Догадкин Н. Н., Кучинская О. И. // Структура и свойства соединений А2В6: Науч. Труды МИСиС. М.: Металлургия. 1983, № 146. С.29−35.
- Helmut Baltruschat, Differential Electrochemical Mass Spectrometry, J Am Soc Mass Spectrom, 2004, 15, 1693c.
- Львов Б. В. // Атомно-абсорбционный спектральный анализ М.: Наука, 1966−392 с.
- Коркишко Ю.Н., Борисов А. Г., Никитина Н. Г., Суханова Л. С., Петрова В. З. Методы исследования состава и структуры материалов электронной техники. -М.:МИЭТ, 1997. 256 с.
- Славин У. Атомно-абсорбционная спектроскопия. Пер. с англ. под ред. Б .В. Львова и др. М.: Химия, I97L — 307 с.
- Курносов А.И. Материалы для полупроводниковых приборов иинтегральных схем. М.: Высшая школа, 1975. — 342 с.
- Свердлина О.А., Кузнецов Ю. Н., Кузовлев И. А. Применение электрохимического растворения примесей при атомно-абсорбционном анализа поверхностных загрязнений пластин Si. Электронная техника. Сер.6. Материалы, 1985, вып. 3, с. 45 — 50
- Шулепников М.Н., Шманенкова Г. И., Кондратьева Г. И. // Методы аналитического контроля полупроводниковых материалов: Науч. Тр. ГИРЕДМЕТа.М., 1996. Т.71. С.128−133
- Slavin W» Sprague S. Perkin-Elmer Atomic Absorption Newsletter, № 17, January, 1964.
- Sprague S., Slavin W., Perkin-Elmer Atomic Absorption Newsletter, No 20, May, 1964.
- Сб. Методы анализа химических реактивов и препаратов. Вып. 10., Атомно-абсорбционный анализ, ИРЕА, М., 1965, 250 с.
- Koirtyohaun S. R., Feldman С., in J. Е. Forrelle and E. Lanterman, eds., Developments in Applied Spectroscopy, Vol. 3, Plenum Press, New York, 1964, J p. 180.
- Алимарин И.П., Луфт Б. Д., Кузнецов Ю. П., Дворянкин В. Ф. «Проблемы анализа микрообъектов в электронной технике» В Кн. Современные методы анализа микрообъектов и тонких пленок. -М.: Наука, 1977, с. 5−8.
- Либхафский X. А., Пфейфер Г. Г., Уинслоу Э. Г., Земани П. Д. Применение поглощения и испускания рентгеновских лучей, Металлургиздат, М., 1964.
- Henke В. L., X-Ray Optics and X-Ray Microanalysis, Academic Press, New York, 1963.
- Campbell W. J., Leon M., Thatcher J., Advances in X-Ray Analysis, 1, Plenum Press, New York, 1960, p. 193.
- Ключников A.A., Пучеров H.H., Чеснокова Т. Д. Методы анализа на пучках заряженных частиц Киев: Наук, думка, 1987.-152 с.
- Castaing R., Electron Probe Microanalysis, in L. Marton, ed., Advances in Electronics and Electron Physics, Vol. 13, Academic Press, New York, 1960, p. 370.
- БлохинМ. А. Физика рентгеновских лучей, М.:Наука, 1987. 307 с.
- Clark G.L., ed. Encyclopedia of X-Rays and Gamma Rays, Reinhold, New1. York, 1963.410 р.
- Smith R- W., ed., Symp. on X-Ray and Electron Probe Analysis, ASTM Spec. Tech. Publv,№ 349, 1964.
- Прецизионные рентгеновские и электрохимические приборы, рентгеновские диагностические аппараты-, приборы лабораторной технологии /Официальный каталог Международной выставки конференции- «Человек, город и окружающая среда» (Москва, июнь 1998 г.), с. 22.
- Рентгенофлуоресцентный анализ под ред. Н.Ф. Лосева- Новосибирск «Наука» Сибирское отделение, 1991 175 с.
- Диссертация на соискание ученой степени д.х.н. Каплина А. А. «Инверсионный вольтамперометрический анализ микрообъектов, слоев кристаллов: и пленок» Томск, Томский политехнический университет, 1985- 468 с.
- Выдра Ф., Штулик Н., Юлакова Э. Инверсионная вольтамперометрия. -М.: Мир, 1980.-278 с.
- Гейровский Я., КутаЯ. Основы полярографии. —М.: Мир, 1965. 559 с.
- Кольтгоф И-И., Лингейн Дж.Дж. Полярография. М.: Мир, 1978. — 502 с.
- Mann С.К. Electrochemical Reactions in Nonqueous Systems.-Marcell Dekker, New York, 1969.-236 p.
- Галюс 3- Теоретические основы электрохимического анализа. М.: Мир, 1974.- 552 с.
- Будников F.K., Казаков В. Е. Современные полярографы. Ж. Завод. Лаб., 1999, т. 65, № 11 с.3−12.
- Будников F.K., Казаков В. Е. Электроаналитическое оборудование фирмы «Bioanalytical systems». Ж. аналит. хим., 2000, т. 55, № 2. с.212−217.
- Стромберг А.Г., Каплин А. А., Карбаинов Ю. А., Назаров Б. Ф., Колпакова Н. А., Слепченко Г. Б., Иванов Ю. А. Инверсионная вольтамперометрия в работах Томской научной школы. Химия и химическая технология. 2000, т.43, вып. 3, с.8−33.
- Бонд A.M., Полярографические методы в аналитической химии. М.: Химия, 1983,-328 с.
- Будников Г. К., Майстренко-В.Н., Вяселев М. В., Основы современного*электрохимического анализа.-М.: «Мир», Бином. Лаборатория знаний, 2003,-592 с.
- Каплан Б.Я., Пац Р.Г., Салихджанова Р.М.-Ф. Вольтамперометрия переменного тока. М.: Химия, 1985. — 264 с.
- Салихджанова Р.М.-Ф., Гинзбург. Полярографы и их эксплуатация в практическом анализе и исследованиях. М.: Химия, 1988. — 160 с.
- Карбаинов Ю.А. Теоретические основы инверсионной вольтамперометрии растворов комплексов металлов (в т.ч. экстрактов) на ртутных электродах ограниченного объема. Дисс. докт. хим. наук. М.: 1982.-340 с.
- Нейман Е.Я., Никулина И. Н. Современное состояние метода инверсионной вольтамперометрии твердых фаз. Ж. аналит. химии, 1974, т. 29, № 6. с. 1177−1193.
- Брайнина Х.З., Нейман Е. Я. Твердофазные реакции в электроаналитической химии. М.- Химия, 1982. — 264 с.
- Черных С.П., Ковалева А. Ю., Еремин Г. В., Хаханин С.Ю «Проблемысертификации подложек сапфира для производства приборов на основе GaN» // Тез. Докл. Всероссийской научно-технической конференции «Новые материалы и технологии», М.: МАТИ, 2002, Т.4. с. 98.
- Бок Р. Методы разложения в аналитической химии: — М.: Химия, 1984.
- Долежал Я., Повондра П., Шульцек 3. Методы разложения горных пород и минералов.-М.: Мир, 1968.
- Москвин Л-. Н., Царицына Л. Г. Методы разделения и концентрирования в аналитической химии.— Л.: Химия, 1991.
- Карпов Ю.А., Савостин А. П. Методы пробоотбора и пробоподготовки.-М.: «Мир», Бином. Лаборатория знаний, 2003.-241 с.
- Дамаскин Б.Б., Петрий О. А. Введение в электрохимическую кинетику.-М.: Высшая школа, 1975.
- Галюс 3. Теоретические основы электрохимического анализа. -М.: Мир, 1974.
- Гурская А.А. «Разработка и госаттестация методологии контроля наносодержаний примесей в синтетическом сапфире» / Тез. докл. 14-той Всеросс. межвуз. н.-техп. • конф. студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика 2007″ (М.:МИЭТ, 2007), с. 372.
- Т.И. Хаханина, А. Ю. Ковалева, А. А. Гурская „Мониторинг концентрации лития и тяжелых металлов в питьевой воде методом инверсионной вольтамперометрии“ / „Медицинская техника“, 2006, № 6, с. 38−40.
- Т.И. Хаханина, А. А. Гурская „Применение инверсионной вольтамперометрии для контроля содержания микропримесей в синтетическом сапфире“ /"Электроника, Известия вузов», 2008, № 1, с. 79−83.
- Хаханина Т.И., Гурская А. А. «Инверсионно- вольтамперометрический контроль органических загрязнений в воде» / Сб. материалов V Международной н.-практ. конф. «Экология и безопасность жизнедеятельности» (Пенза, 2005), с. 287−289.
- Ковалева А. Ю, Гурская А. А., Хаханин С. Ю. и др. «Анализ наносодержаний экотоксикантов в природных и биологических объектах» / VII Международн. конф. «Опто-наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы». -Ульяновск:УлГУ, 2005. с. 214.
- Ковалева А.Ю., Гурская А. А. «Электроаналитика в высокочувствительном экспресс контроле наносодержаний лития и фтора в воде» / Материалы н.-техн. конф. «Новые материалы и технологии НМТ-2006» (МАТИ-РГТУ им. К. Э. Циолковского, 2006), Т. З, с. 76−77.