Свойства гетероэпитаксиальных структур 3C-SiC/Si, полученных химическим газотранспортным методом, и тензопреобразователи на их основе
Диссертация
Основные результаты диссертационной работы были доложены на III Международном семинаре ISSCRM-2000 «Карбид кремния и родственные материалы» (Великий Новгород, 2000) — III Международном совещании по карбиду кремния и сопутствующим материалам (Н. Новгород, 2000) — II Всероссийской молодежной конференции по физике полупроводников и полупроводниковой оптои наноэлектронике (Санкт-Петербург, 2000… Читать ещё >
Список литературы
- Оуэн Г. Методы отвода тепла от полупроводниковых приборов // Электроника. 1980. № 1.-С. 44−53.
- Иванов П.А., Челноков В. Е. Полупроводниковый карбид кремния технология и приборы // ФТП. — 1995. Т.29. Вып. 11. — С. 1921−1942.
- Чепурнов В.И. Способ получения карбида кремния / АС СССР № 1 436 544 от 08.07.1988.
- Чепурнов В.И., Комов А. Н., Смыслов В. И., Блатов В. Г., Соколова А. А. / АС СССР № 179 902 от 10.10.1982.
- Комов А.Н., Кочетков В. Ю., Чепурнов В. И. / АС СССР № 223 477 от 24.10.1984.
- Комов А.Н., Чепурнов В. И. Способ получения эпитаксиальных пленок карбида кремния / АС СССР № 731 113 от 21.08.1980.
- Аш Ж. Датчики измерительных систем. М.: Мир, 1992. — Кн.1. — 432 с.
- Мейзда Ф. Электронные измерительные приборы и методы измерений. М.: Мир. — 1990. — 326 с.
- Yamanaka М., Daimon Н., SakumaE., Misawa S., Kazuhiro Е., Yoshida S. Temperature dependence of electrical properties of nitrogen-doped 3C-SiC // J.Appl.Phys. 1987. Vol.60. — P. L533-L535.
- ГридчинВ.А., Любимский B.M., Берлинский A.C. Особенности проектирования поликремниевых интегральных тензопреобразователей // Приборы и системы управления. 1993. № 5. — С. 23−24.
- Зайцев Ю.В., Марченко А. Н., Ващенко И. И. Полупроводниковые резисторы в электронике. М.: Энергоиздат. — 1988. — 260 с.
- Справочник физико-химических величин. М.: Мир. — 1990. — С. 244.
- Грег О. Методы отвода тепла от полупроводниковых приборов // Электроника. 1980. № 21. — С. 44−48.
- Водаков Ю.А., Вольфсон А. А., Ломакина Г. А., МоховЕ.Н., Остроумов Г. А. Высокотемпературный интегральный тензорезисторный элемент из карбидакремния // Приборы и системы управления. 1981. № 1. — С. 22−25.
- Виглеб Г. Датчики. М.: Мир, 1989. — 118 с.
- Измерительные преобразователи давлений и разности давлений // Контрольно-измерительная техника. 1986. № 36. — С. 5−6.
- Трухачев Б.С., Заседателев С. М. Полупроводниковые датчики механических величин на современном этапе // Приборы и системы управления. 1981. № 1. — С. 16−19.
- Байцар Р.И., Лавитская Е. Н. Способ улучшения характеристик полупроводниковых датчиков со струнным резонатором // Приборы и системы управления. -1998. № 1. С. 51−53.
- Абрамов И.Б., Карцев Е. А. Математическое моделирование и оптимизация параметров микромеханического датчика давлений в вакууме // Приборы и системы управления. 1998. № 5. — С. 31−35.
- Станкевич В.Ч., Шимкявичюс Ч. И. Перспективные датчики абсолютного давления// Приборы и системы управления. 1996. № 6. — С. 27−29.
- Пьезорезистивный сенсор давлений. Halbleitervorrichtung mit einem piezoresistiven Drucksensor: Заявка 4 309 207 ФРГ, МКИ6 G 01 L 9/06/Hartauers.: Texas Instruments Deutschland GmbH.-№ 43 092 071- Заявл. 22.3.93- Опубл. 29.9.94.
- Морозов В.П. Тензометрический преобразователь с частотным выходом // Приборы и системы управления. 1997. № 8. — С. 45−46.
- Датчик давления. Pressure sensor: Заявка 2 307 744 Великобритания, МКИ6 G01L 9/00/Stansfeld J.W.- Solartron Group Ltd., № 96 248 901- Заявл. 29.11.96- Опубл. 4.6.97- НКИ GIG.
- Зотов В. Д. Полупроводниковые многофункциональные сенсоры широкого применения (Z-сенсоры) // Приборы и системы управления.- 1999. № 1.-С. 38−41.
- Колин Р. Джонсон. Крестообразный датчик давления // Электроника. 1980. № 21. — С. 9−10.
- Ален Р. Новые области применения кремниевых полупроводниковых датчиков // Электроника. 1980. № 24. — С. 28−30.
- Коловертнов Ю.Д., Суханов В. И., Стучебников В. М., Федоров В. И. // Приборы и системы управления. 1990. № 3. — С. 25−28.
- Гридчин В.А., СаринаМ.П., Любимский В. М., СаблинА.В. Датчик давления на основе поликремниевого тензопреобразователя // Приборы и системы управления. 1990. № 3. — С. 21−25.
- Глаговский Ф.Ф., Гранковский Э. В., Дроздов А. К. и др. Некоторые вопросы получения карбида кремния и эпитаксиальных структур на его основе // Проблемы физики и технологии широкозонных полупроводников: Межвузовский сборник. Л.: ЛИЯФ, 1979. — С. 226−240.
- Мохов Е.Н., Водаков Ю. Ф., Ломакина Г. А. Проблемы управляемого получения легированных структур на базе карбида кремния // Проблемы физики и технологии широкозонных полупроводников: Межвузовский сборник. Л.: ЛИЯФ, 1979. — С. 136−149.
- Vodakov Yu.A., Mokhov E.N., Ramm M.C., Roenkov A.D. Epitaxial Growth of SiC layers by sublimation Sendwich method 1 // Cryst.Res.&Techn. 1979. № 14(6).-P. 729−741.
- Mokhov E.N., Schulpina I.L., Tregubova D.S., Vodakov Yu.A. Epitaxial Growthof SiC layers by sublimation Sandwich method II // Cryst.Res.&Techn. 1981. № 16(8).-P. 879−886.
- Ferry D.K. High-field transport in wide-band-gap semiconductors // Phys.Rew.Bl. 1975. V.12. — P. 2361−2369.
- Yoshinobu Т., Nakayama M., Shiomi H., Fuyuki Т., Matsunami H. Atomic level control in gas source MBE growth of cubic SiC // J.Cryst.Growth. 1990. V.99. -P. 520−524.
- Yoshinobu Т., Fuyuki Т., Matsunami H. Interface modification by hydrocarbon gas molecular beams in heteroepitaxy of SiC on Si // Jpn. J.Appl.Phys. 1991. № 6(B). — P. L1086-L1088.
- Motoyama S., Kaneda S. Low-temperature growth of 3C-SiC by the gas sours molecular beam epitaxial method // Appl.Phys.Lett. 1989. V.54. № 3. — P. 242−243.
- Kaneda S., Sakamoto Y., Nishi С., Kanaya M., Hannai S. The growth of single crystal of 3C-SiC of the Si substrate by the MBE method using multi electron beam heating // Jpn. J.Appl.Phys. 1986. V.25. № 9. — P. 1307−1311.
- Motoyama S., Morikazu N., Nasu M., Kaneda S. Carbonization process for low-temperature growth of 3C-SiC by the gas-source molecular beam epitaxial method //J.Appl.Phys. — 1990. V.68. № 1. — P. 101−106.
- Kitabatake M. 3C-SiC(001)/Si (001) interface formation by carbonization: simulations and experiments // Technical Digest of Int. Conf. on SiC and Related Materials. ICSCRM-95. — Kyoto, Japan. — 1995. — P. 329.
- Kitabatake M. Single phase 3C-SiC (001)/Si (001) growth by surface controlled epitaxy // Technical Digest of Int. Conf. on SiC and Related Materials. ICSCRM-95. -Kyoto, Japan. — 1995. — P. 177.
- Nishino S., Suhara H., Ono H., Matsunami H. Epitaxial growth and electrical characteristics of cubic SiC on Silicon // J.Appl.Phys. 1987. V.61. № 10. — P. 48 894 893.
- Furumura Y., Doki M., Mieno F., Eshita Т., Suzuki Т., Maeda M. Heteroepitaxial (3-SiC on Si // J.Electrochem.Soc. 1988. Y.135. № 5. — P. 1255−1260.
- Nagasawa H., Yamaguchi Y. Suppression of etch pit and hillock formation on carbonization of Si substrate and low temperature growth of SiC // J.Cryst.Growth. -1991. V.115.-P. 612−616.
- Kim H.J., Davis R.F. Theoreticaly predicted and experimentally determined effects of the Si/(Si+C) gas phase ratio on the growth and character of monocrystalline beta silicon carbide films // J.Appl.Phys. 1986. V.60. № 8. -P. 2897−2902.
- Chaudhry M.I., Wright R.L. Fabrication and properties of policrystallin-SiC/Si structures for Si heterojunction devices // Appl.Phys.Lett. 1991. V.59. № 1. -P. 5154.
- Hattori Y., Suzuki Т., Murata Т., Yasuda K., Saji M. Growth mechanism of 3C-SiC at a low temperature region in low-pressure CVD // J.Cryst.Growth. 1991. V.115.-P. 607−611.
- Takahashi K., Nishino S., Saraie J. Effekt of acceptor impurity addition in low temperature growth of 3C-SiC // J.Cryst.Growth. 1991. V. l 15. — P. 617−622.
- Shinohara M., Yamanaka M., Misawa S., Okumura H., Yoshida S. C-V caracteristics of MOS-structures fabricated of Al-doped p-type 3C-SiC epilayers growth on Si by chemical vapor deposition // Jpn. J.Appl.Phys. 1991. V.30. № 2. -P. 240−243.
- Fatemi M., Nordquist P.E. An x-ray topographic study of (3-SiC films on Si substrates // J.Appl.Phys. 1987. V.61. № 5. — P. 1883−1890.
- Suzuki A., Furukawa K., Higashigaki Y., Harada S., Nakajima S., Inoguchi T. Epitaxial growth of (3-SiC single crystals by successive two-step CVD // J.Cryst.Growth. 1984. V.70. — P. 287−290.
- Addamiano A., Klein P.H. Chemically formed buffer layers for growth of cubic silicon carbide on silicon single crystals // J.Cryst.Growth. 1984. V.70. — P. 291−294.
- Addamiano A., Sprague J.A. «Buffer-layer» technique for the growth of single crystal SiC on Si // Appl. Phys. Lett. 1984. V.44. № 5. — P. 525−527.
- Shibahara K., Nishino S., Matsunami H. Antiphase-domain-free growth of cubic
- SiC on Si (100) // Appl.Phys.Lett. 1987. V.50. № 26. — P. 1888−1890.
- Nutt S.R., Smith D.J., Kim H.J., Davis R.F. Interface structures in beta-silicon carbide thin films //Appl.Phys.Lett. 1987. V.50. № 4. — P. 203−205.
- Shibahara K., Nishino S., Matsunami H. Surface morphology of cubic SiC (100) grown on Si (100) by chemical vapor deposition // J. Cryst Growth. 1986. Y.78. — P. 538−544.
- Nishino S., Suhara H., Ono H., Matsunami H. Epitaxial growth and electrical characteristics of cubic SiC on silicon // J.Appl.Phys. 1987. V.61. № 10. — P. 48 894 893.
- Matsunami H., Nishino S., Tanaka T. Heteroepitaxial growth of p-SiC on Silicon substrate using SiCl4-C3H8-H2 system//J.Cryst.Growth. 1978. V.45. — P. 138−143.
- Jocobson K.A. Growth, texture and surface morphology of SiC layers // J.Electrochem.Soc.: Solid State Science. 1971. V.118. № 6. — P. 1001−1006.
- Ohshita Y. Low temperature and selective growth of (5-SiC using SiH2Cl2/i-C4Hi0/HCl/H2 system//Appl.Phys.Lett. 1990. V.57. № 6. — P. 605−607.
- Cimalla Y., Pezoldt J., Ecke G., Eichhorn G. The buffer layers in RPCVD of SiC // Technical Digest of Int. Conf. on SiC and Related Materials. ICSCRM-95. -Kyoto, Japan. — 1995. — P. 328.
- Matmudur R.M., Seijiro F. Preparation and electrical properties of amorphous SiC/crystalline Si p±n heterostructure // Jpn. J.Appl.Phys. 1984. V.23. № 5. — P. 515−524.
- Furumura Y., Doki M., Mieno F., Eshita Т., Suzuki Т., Maeda M. Heteroepitaxial (3-SiC on Si//J.Electrochem.Soc. 1988. V.135, № 5.-P. 1255−1260.
- Kruangam D., Endo Т., Degushi M. Amorphous Silicon carbide thin film emitting diode // Opto-electron-Dev. and Technol. 1986. № 1. — P. 67−84.
- Бережинский Л.И., Власкина С. И., Ивашенко Л. А. Пленки карбида кремния, полученные плазмохимическим осаждением И Оптоэлектрон. и полупр. техн. -1990. Вып. 17. С. 46−51.
- Deguchi М., Kitabatake М., Hirao Т. Synthesis of (3—SiC layer in Silicon by carbon ion «Hot» implantation // Jpn. J.Appl.Phys. 1992. V.31. № 2(A). — P. 343 347.
- Александров П.А., Баранов E.K., Демаков К. Д. и др. Исследование образования монокристаллических слоев Р—SiC на Si методом высокоинтенсивного ионного легирования // ФТП. 1987. Вып.21. № 5. — С. 920−922.
- Комов А.Н., Чепурнов В. И., Фридман Т. П. Гетероструктуры p-SiC/Si для высокотемпературной электроники // Материалы Ш межд. совещ. по карбиду кремния и сопутствующим материалам. Н. Новгород, 2000. — С. 86−88.
- Комов А.Н., Чепурнов В. И., Фридман Т. П. Термопреобразователи на пря-мосмещенном барьере структуры (З-SiC/Si // Материалы III межд. семинара ISSCRM-2000 «Карбид кремния и родственные материалы». Великий Новгород, 2000.-С. 106−107.
- Nishino S., Suhara Н., Ono Н., Matsunami Н. Epitaxial growth and electrical characteristics of cubic SiC on silicon // J.Appl.Phys. 1987. V.61. № 10. — P. 48 894 893.
- Эндрюс К.А. Электронограммы и их интерпретация. М.: Мир, 1971. -С. 256.
- Чепурнов В.И., Фридман Т. П. Высокочувствительный датчик температуры на основе гетероэпитаксиальной структуры SiC/Si // Микросистемная техника. -2002. № 2.-С. 17−21.
- Митюхляев В.Б. Модификация поверхности монокристаллов CdS в результате электронного облучения // Поверхность. 1996. Т.7. — С. 23−29.
- Many A., Goldstein Y. Auger electron spectroscopy for quantitative analysis // Appl.Phys.Lett. 1988. V.53. № 3. — P. 192−194.
- Handbook of auger electron spectroscopy / Eds Lawrence E. David et al. Physical Electronics Industries Inc. 6509 Flying Cloud Drive Eden Praire, Minessota 55 343. -1976.
- Shar J.S., Zhang X.G., Osgood R.M. Laser-assisted photoelecrtochemical etching of n-type beta-SiC // J.Electrochem.Soc. 1992. Y.139. № 4. — P. 1213−1216.
- Уханов Ю.И. Оптические свойства полупроводников. М.: Наука, 1977. -368 с.
- Addamiano A., Klein Р.Н. Chemically formed buffer layers for growth of cubic silicon carbide on silicon single crystals // J.Cryst. Growth. 1984. V.70. — P. 291−294.
- Миков C.H., Атажанов Ш. Р., ПузовИ.П. Исследование гетероэпитаксиальных структур 3C-SiC/Si методом отражательной ИК- спектроскопии // Уч. Записки Ульяновского гос. ун-та. Сер. физ. 1997. Вып. 1(3). — С. 35−39.
- Комов А.Н., Чепурнов В. И., Фридман Т. П. Тензопреобразователи на основе гетероструктуры (3-SIC/SI // Материалы III международного семинара ISSCRM-2000 «Карбид кремния и родственные материалы». Великий Новгород, 2000. -С. 108−109.
- Милне А., Фойхт Д. Гетеропереходы и переходы металл-полупроводник. -М.: Мир, 1975.-462 с.
- Шарма Б.Л., Пурохит Р. К. Полупроводниковые гетеропереходы. М.: Советское радио, 1979. — 232 с.
- Van der Merwe J.H. Single-Crystal Films. (Ed. Francombe M.H. and Sato H.) -U.K.: Pergamon Press, 1964. P. 139.
- Зубрилов А.С. Электрические свойства гетеропереходов 3C-SiC/Si // ФТП. -1994. Т.28. Вып.10. С. 1742−1749.
- Palmour J.W., Kong H.S., Davis R.F. Characteri2ation of device parameters in high-temperature metal-oxide-semiconductor field-effect transistors in P-SiC thin films // J.Appl.Phys. 1988. V.64. № 3. — P. 2168−2177.
- Daimon H., Yamanaka M., Shinohara M., Sakuma E., Misawa S., Endo K. Operation of Shottky-barrier field-effect-transistors of 3C-SiC up to 400 °C //
- Appl.Phys.Lett. 1987. V.51. № 25. — P. 2106−2108.
- Хениш У.Р., Рой P.M. Карбид кремния. М.: Мир, 1972. — 386 с.
- Карклина М.И., Саидбеков Д. Т. Травление SiC // Изв. АН СССР. Сер. Неорг. материалы. 1972. Т.8. № 2. — С. 378−380.
- Блаженина С.В., Дмитриев В. А., Иванов Н. Г., Попов И. В., Семенова Г. Н. Обработка кристаллов карбида кремния в расплаве КОН //В сб.: «Технология быстродействующих силовых приборов». Таллин, Валгус, 1984. — С. 182−186.
- Лучинин В.В., Таиров Ю. М. Карбид кремния перспективный материал электронной техники//Изв. вузов. Электроника. — 1997. № 1. — С. 10−37.
- Wessels B.W., Gatos Н.С. Electronic properties of epitaxial 6H silicon carbide // J.Phys.Chem.Sol. 1977. V.38. — P. 345−350.
- Водаков Ю.А., Остроумов А. Г. Карбид кремния материал для твердотельной электроники // Измерения, контроль, автоматизация. — 1987. Т.62. № 2. -С. 53−60.
- Patryk L. Electron mobilities in SiC polytypes // J.Appl.Phys. 1967. V.38. -P. 50−52.
- Barret D.L., Campell R.B. Electron mobility measurements in SiC polytypes // J.Appl.Phys. 1967. V.38. — P. 53−59.
- Patryk L. High electron mobility of cubic SiC // J.Appl.Phys. 1966. V.37. -P. 4911−4913.
- Конуэлл Э. Кинетические свойства полупроводников в сильных электрических полях. М.: Мир, 1970. — 384 с.
- Ferry D.K. High-field transport in wide-band-gap semiconductors // Phys.Rew.B 1. 1975. V.12. — P. 2361−2369.
- Sasaki K., Sakuma E., Misawa S., Yoshida S., Gonda S. High-temperatureelectrical properties of 3C-SiC epitaxial layers grown by chemical vapor deposition // Appl.Phys.Lett. 1984. V.46. № 1. — P. 72−73.
- Yamanaka M., Daimon H., Sakuma E., Misawa S., Yoshida S. Temperature dependence of electrical properties of n- and p-type 3C-SiC // J.Appl.Phys. 1987. V.61. № 2. — P. 599−603.
- Yamanaka M., Daimon H., Sakuma E., Misawa S., Endo K. Temperature dependence of electrical properties of nitrogen-doped 3C-SiC // Jap. J.Appl.Phys. -1987. V.5. P. L533-L535.
- Nishino S., SuharaH., Ono H. and Matsunami H. Epitaxial growth and electrical characteristics of cubic SiC on silicon // J.Appl.Phys. 1987. V.61. № 10. — P. 48 894 893.
- Shor J.S. High temperature ohmic contact metallizations for n-type 3C-SiC // J.Electrochem.Soc. 1994. V.141. -P. 579−582.
- Фридман Т.П. Тензопреобразователи на основе гетероструктуры (3-SIC/SI // Материалы II всероссийской молодежной конференции по физике полупроводников и полупроводниковой опто- и наноэлектронике. Санкт-Петербург, 2000. — С. 103.
- Комов А.Н., Чепурнов В. И., Фридман Т. П. Бифункциональный датчик температура-деформация для теплофизическких исследований // Материалы IV межд. теплофизической школы «Теплофизические измерения в начале XXI века». Тамбов, 2001. — С. 36−37.
- Антипов С.А., Батаронов И. А., Дрожжин А. И., Рощупкин A.M. Изменение электросопротивления тензорезисторов при изгибе // ФТП. 1993. Т.27. Вып.6. — С. 937−942.
- Феодосьев В.И. Сопротивление материалов. М.: Наука, 1970. 544 с.
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е. М. Теоретическая физика. Т.VII.: Теория упругости. М.: Наука, 1987. — 246 с.
- Фридман Т.П. Преобразователи деформации на основе SiC на Si подложке // Материалы VIII всеросс. науч. конф. студ.-физиков и молодых уч. Екате